JPH0249520B2 - - Google Patents
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- JPH0249520B2 JPH0249520B2 JP59041067A JP4106784A JPH0249520B2 JP H0249520 B2 JPH0249520 B2 JP H0249520B2 JP 59041067 A JP59041067 A JP 59041067A JP 4106784 A JP4106784 A JP 4106784A JP H0249520 B2 JPH0249520 B2 JP H0249520B2
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- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 36
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/56—External testing equipment for static stores, e.g. automatic test equipment [ATE]; Interfaces therefor
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
- Test And Diagnosis Of Digital Computers (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は例えばIC試験装置のパターン発生
装置に適用され、パターンデータを蓄積した大容
量のパターンフアイルから、被試験ICに供給す
るパターンデータを発生するためのパターンメモ
リへパターンデータを転送するために用いられる
パターンデータ転送装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention is applied, for example, to a pattern generator of an IC testing device, and is used to transfer pattern data from a large-capacity pattern file storing pattern data to a pattern memory for generating pattern data to be supplied to an IC under test. The present invention relates to a pattern data transfer device used to transfer pattern data.
<従来技術>
従来のパターンデータ転送装置を第1図に示
す。磁気デイスク、磁気テープなどの大容量の記
憶装置であるパターンフアイル11から、高速度
にアクセスすることができるパターンメモリ1
a,1b,1c,1dにパターンデータを転送す
る場合、従来においては中央処理装置(CPU)
12によりパターンフアイル11からパターンデ
ータを読出し、そのパターンデータと必要な制御
信号とを転送インタフエース13に与え、転送イ
ンタフエース13は中央処理装置12からのパタ
ーンデータをデータバス14を通じてパターンメ
モリ1a乃至1dの各データ入力端子Dに与え、
またパターン制御回路15を通じてアドレスバス
16よりパターンメモリ1a乃至1dの各アドレ
ス端子Aに共通のアドレスを与え、更に転送イン
タフエース13は各パターンメモリ1a乃至1d
の書き込み制御端子Wと書き込み制御線2a乃至
2dで接続され、これら書き込み制御線2a乃至
2dの一つを選択して書き込みパルスを与えてい
る。<Prior Art> A conventional pattern data transfer device is shown in FIG. A pattern memory 1 that can be accessed at high speed from a pattern file 11 that is a large capacity storage device such as a magnetic disk or magnetic tape.
When transferring pattern data to a, 1b, 1c, and 1d, conventionally the central processing unit (CPU)
12 reads pattern data from the pattern file 11, and provides the pattern data and necessary control signals to the transfer interface 13, and the transfer interface 13 transfers the pattern data from the central processing unit 12 to the pattern memories 1a through the data bus 14. 1d to each data input terminal D,
Further, a common address is given to each address terminal A of the pattern memories 1a to 1d from the address bus 16 through the pattern control circuit 15, and the transfer interface 13 is connected to each of the pattern memories 1a to 1d.
It is connected to the write control terminal W of the write control terminal W by write control lines 2a to 2d, and one of these write control lines 2a to 2d is selected to apply a write pulse.
まずパターンメモリ1a乃至1dに対して共通
のアドレスを指定してそれと共に例えばパターン
メモリ1aに対する書き込み制御線2aに書き込
みパルスを与えてその時のデータバス14上のパ
ターンデータをパターンメモリ1aに書き込み、
次にデータ線14上のパターンデータを変えた
後、書き込み制御線2bに書き込みパルスを与え
てパターンメモリ1bにパターンデータを書き込
み、以下同様にしてパターンメモリ1c,1dに
パターンデータを順次書き込み、その後アドレス
バス16上のアドレスを変更して同様にパターン
メモリ1a乃至1dに順次パターンデータを書き
込む。 First, a common address is specified for the pattern memories 1a to 1d, and at the same time, a write pulse is applied to the write control line 2a for the pattern memory 1a to write the pattern data on the data bus 14 at that time to the pattern memory 1a.
Next, after changing the pattern data on the data line 14, a write pulse is applied to the write control line 2b to write the pattern data in the pattern memory 1b, and thereafter in the same manner, pattern data is sequentially written in the pattern memories 1c and 1d, and then The addresses on the address bus 16 are changed and pattern data is sequentially written into the pattern memories 1a to 1d in the same manner.
このようにして所要のパターンデータをパター
ンメモリ1a乃至1dに書き終ると、タイミング
発生装置17に中央処理装置12から転送インタ
フエース13を通じて被試験ICに応じたタイミ
ングを示すデータを与えてタイミング信号を発生
させる。タイミング発生器17より発生したタイ
ミング信号をパターン制御回路15に与え、これ
より予め決められた一定の手順で読出しのための
アドレスを発生し、そのアドレスをアドレスバス
16に与えてパターンメモリ1a乃至1dよりい
つせいに読出す。この読出されたパターンデータ
は被試験IC18の対応する端子ピンに、図に示
してない駆動回路を通じて与えると共に被試験
IC18よりの出力に対する期待値を示すデータ
が図に示してない比較器に供給される。 After writing the required pattern data into the pattern memories 1a to 1d in this way, the central processing unit 12 supplies data indicating timing according to the IC under test to the timing generator 17 via the transfer interface 13, and generates a timing signal. generate. The timing signal generated by the timing generator 17 is applied to the pattern control circuit 15, from which an address for reading is generated according to a predetermined procedure, and the address is applied to the address bus 16 to control the pattern memories 1a to 1d. Read it out more often. This read pattern data is applied to the corresponding terminal pin of the IC under test 18 through a drive circuit not shown in the figure.
Data indicating the expected value for the output from IC 18 is supplied to a comparator, not shown.
IC試験を効率的に行うため複数の同一種の被
試験ICに対して同時に試験を行う場合がある。
この場合例えば第1図に点線で示すように被試験
IC18a,18bを設け、被試験IC18aには
パターンメモリ1a,1bよりの試験パターンデ
ータ及び期待値を出力し、パターンメモリ1c,
1dからは被試験IC18bに対して試験パター
ンデータ及び期待値を出力する。この被試験IC
18a,18bは同一種類のICであるから、こ
れらに順次与えるパターンデータも同一のもので
ある。このためパターンメモリ1a,1bとパタ
ーンメモリ1c,1dに書き込んでおくべきパタ
ーンデータも同一のものである。 In order to perform IC testing efficiently, there are cases where multiple ICs of the same type are tested simultaneously.
In this case, for example, as shown by the dotted line in Figure 1,
ICs 18a and 18b are provided, and test pattern data and expected values from pattern memories 1a and 1b are output to IC 18a under test, and pattern memories 1c and 18b are provided.
From 1d, test pattern data and expected values are output to the IC under test 18b. This IC under test
Since the ICs 18a and 18b are of the same type, the pattern data sequentially applied to them is also the same. Therefore, the pattern data to be written in pattern memories 1a, 1b and pattern memories 1c, 1d is also the same.
このように同一のパターンデータを書き込む場
合において、従来の転送装置によればパターンメ
モリ1a,1bに対して一連のパターンデータを
書き込んだ後に、パターンメモリ1c,1dに対
して再び同一の一連のパターンデータを書き込
み、つまり同一パターンデータに対する転送を2
回する必要があつた。ところでパターンデータを
パターンフアイル11から読出し、更にパターン
メモリ1a,1b,1dへ転送する処理は比較的
遅く、長い一連のパターンデータを転送するには
転送時間が比較的長くなり、同一パターンデータ
を2回転送することは試験装置全体としての効率
が悪くなり好ましくない。 In the case of writing the same pattern data in this way, according to the conventional transfer device, after writing a series of pattern data to the pattern memories 1a and 1b, the same series of pattern data is written to the pattern memories 1c and 1d again. Write data, that is, transfer the same pattern data 2 times.
I needed to turn it. By the way, the process of reading pattern data from the pattern file 11 and further transferring it to the pattern memories 1a, 1b, 1d is relatively slow, and the transfer time is relatively long to transfer a long series of pattern data. Transferring the data twice is undesirable because it reduces the efficiency of the test apparatus as a whole.
<発明の概要>
この発明の目的は同一パターンデータを複数の
パターンメモリに書き込む場合に、その一連のパ
ターンデータに対しては1回の転送制御で転送す
ることができ、従つて転送時間が短かく、例えば
IC試験装置に適用してその全体としての試験時
間を短縮することができるパターンデータ転送装
置を提供するものである。<Summary of the Invention> An object of the present invention is to make it possible to transfer a series of pattern data with one transfer control when writing the same pattern data to a plurality of pattern memories, thereby shortening the transfer time. For example,
The present invention provides a pattern data transfer device that can be applied to an IC test device to shorten the overall test time.
この発明によれば各パターンメモリと対応して
書き込みセレクタが設けられ、そのセレクタは転
送インタフエースよりのすべての書き込み制御線
が入力側に接続され、その出力側は対応するパタ
ーンメモリの書き込み制御端子にそれぞれ接続さ
れ、選択制御信号によつて書き込み制御線の一つ
を書き込み制御端子に選択的に接続することがで
きる。またこの書き込みセレクタに対する選択を
行う選択制御信号は選択制御信号発生部に転送イ
ンタフエースから、パターンメモリ全体として記
憶する同一パターンの数を示す情報が与えられ、
その同一パターン数を示す情報に応じて選択制御
信号を発生する。この結果一つの書き込み制御線
が選択した1乃至複数のパターンメモリの書き込
み制御端子に同時に接続され、これにより同一パ
ターンデータを同一アドレス位置において同時に
複数のパターンメモリに対して書き込むことがで
きる。 According to this invention, a write selector is provided corresponding to each pattern memory, and all the write control lines from the transfer interface are connected to the input side of the selector, and the output side of the selector is the write control terminal of the corresponding pattern memory. , and one of the write control lines can be selectively connected to the write control terminal by a selection control signal. In addition, the selection control signal that performs selection for this write selector is given to the selection control signal generation section from the transfer interface with information indicating the number of identical patterns to be stored in the entire pattern memory,
A selection control signal is generated in accordance with information indicating the number of identical patterns. As a result, one write control line is simultaneously connected to the write control terminals of one or more selected pattern memories, thereby making it possible to simultaneously write the same pattern data to a plurality of pattern memories at the same address position.
<実施例>
例えば第2図に第1図と対応する部分に同一符
号を付けて示すようにパターンメモリ1a乃至1
dとそれぞれ対応して書き込みセレクタ3a乃至
3dが設けられる。書き込みセレクタ3a乃至3
dのそれぞれの入力側は転送インタフエース13
よりの書き込み制御線2a乃至2dがそれぞれす
べて入力側に接続されている。書き込みセレクタ
3a乃至3dの各出力側は一つであつて、それぞ
れパターンメモリ1a乃至1dの対応する書き込
み制御端子Wに接続されている。これら書き込み
セレクタ3a乃至3dには選択制御信号発生部1
9よりの選択制御線4a乃至4dを通じてそれぞ
れ選択制御信号が与えられ、各書き込みセレクタ
3a乃至3dにおいてその入力側の書き込み制御
線2a乃至2dの一つを出力側の線に選択的に接
続することができる。選択制御信号発生部19に
は転送インタフエース13からパターンメモリ1
a乃至1dと全体として同一パターンを書き込む
数を示す情報が入力されて、その情報に応じて書
き込み制御信号をそれぞれ対応して制御線4a乃
至4dに発生する。<Embodiment> For example, as shown in FIG. 2 with the same reference numerals attached to the parts corresponding to those in FIG.
Write selectors 3a to 3d are provided corresponding to d, respectively. Write selectors 3a to 3
Each input side of d is a transfer interface 13
All of the write control lines 2a to 2d are connected to the input side. Each of the write selectors 3a to 3d has one output side, and is connected to the corresponding write control terminal W of the pattern memories 1a to 1d, respectively. These write selectors 3a to 3d are provided with a selection control signal generator 1.
A selection control signal is applied through each of the selection control lines 4a to 4d from 9, and one of the write control lines 2a to 2d on the input side of each write selector 3a to 3d is selectively connected to a line on the output side. Can be done. The selection control signal generator 19 has a pattern memory 1 from the transfer interface 13.
Information indicating the number of times to write the same pattern as a to 1d as a whole is input, and corresponding write control signals are generated on control lines 4a to 4d, respectively, in accordance with the information.
この構成において例えばパターンメモリ1a,
1bとパターンメモリ1c,1dとに同一の一連
のパターンデータを記憶する場合においては従来
と同様にその記憶すべきパターンデータをデータ
バス14に出力すると共にこれと対応したアドレ
スをアドレス制御回路15を通じてアドレスバス
16に発生し、従つて同一パターンデータと同一
アドレスとがパターンメモリ1a乃至1dに与え
られている。またこの時従来と同様に一つの書き
込み制御線、例えば2aにのみ書き込みパルスが
発生される。 In this configuration, for example, the pattern memory 1a,
1b and the pattern memories 1c and 1d, the pattern data to be stored is outputted to the data bus 14 and the corresponding address is sent through the address control circuit 15 as in the past. The same pattern data and the same address are generated on the address bus 16, and therefore the same pattern data and the same address are applied to the pattern memories 1a to 1d. At this time, a write pulse is generated only on one write control line, for example 2a, as in the conventional case.
この例においてはパターンメモリ1a乃至1d
としては同一のパターンデータがパターンメモリ
1a〜1d全体として二つに記憶されることを示
す情報が選択制御信号発生部19に与えられてお
り、選択制御信号発生部19から制御線4aに書
き込み制御線2aを選択する信号が、制御線4b
に何れの書き込み制御線も選択しない信号が、制
御線4cに書き込み制御線2aを選択する信号
が、制御線4dに何れの書き込み制御線も選択し
ない信号がそれぞれ与えられる。従つて書き込み
制御線2aは書き込みセレクタ3a,3cをそれ
ぞれ通じてパターンメモリ1a,1cの書き込み
制御端子Wにそれぞれ接続される。従つて書き込
みパルスが書き込み制御線2aに発生するとパタ
ーンメモリ1a及び1cに対してその時のデータ
バス14上のパターンデータがアドレスバス16
上のアドレスにより指定されて書き込まれる。次
にアドレスバス16上のアドレスを更新すると共
に次に書き込むべきパターンデータをデータバス
14に与えて再び書き込みパルスを書き込み制御
線2aに与えることによつてパターンメモリ1
a,1cにそのパターンデータを書くことがで
き、以下同様にしてパターンメモリ1a及び1c
に同じパターンデータを順次書き込む。 In this example, pattern memories 1a to 1d
In this case, information indicating that the same pattern data is stored in two of the pattern memories 1a to 1d as a whole is given to the selection control signal generation section 19, and the selection control signal generation section 19 sends write control to the control line 4a. The signal that selects the line 2a is the control line 4b.
A signal that does not select any write control line is applied to the control line 4c, a signal that selects the write control line 2a is applied to the control line 4d, and a signal that does not select any write control line is applied to the control line 4d. Therefore, write control line 2a is connected to write control terminals W of pattern memories 1a and 1c through write selectors 3a and 3c, respectively. Therefore, when a write pulse is generated on the write control line 2a, the pattern data on the data bus 14 at that time is transferred to the address bus 16 for the pattern memories 1a and 1c.
Written as specified by the address above. Next, the address on the address bus 16 is updated, pattern data to be written next is given to the data bus 14, and a write pulse is given again to the write control line 2a, so that the pattern memory 1
The pattern data can be written to pattern memories 1a and 1c in the same manner.
Write the same pattern data sequentially to
このようにしてパターンメモリ1a,1cに対
する書き込みが終了すると、選択制御信号発生部
19から制御線4aに何れの書き込み制御線も選
択しない信号を、制御線4bに書き込み制御線2
bを選択する信号を、制御線4cに何れの書き込
み制御線も選択しない信号を、制御線4dに書き
込み制御線2bを選択する信号をそれぞれ与え
る。従つて書き込みセレクタ3b,3dにおいて
は書き込み制御線2bが選択されてそれぞれパタ
ーンメモリ1b,1dの書き込み制御端子Wに接
続する。この状態で従来と同様にパターンメモリ
1aに対する書き込みが終了して次のパターンメ
モリ1bに対する書き込みを行う動作と同様の動
作を行うことによつて同一のパターンデータがパ
ターンメモリ1b及び1dの同一アドレス位置に
書き込まれる。 When writing to the pattern memories 1a and 1c is completed in this way, a signal that does not select any write control line is sent to the control line 4a from the selection control signal generator 19, and a signal is sent to the control line 4b to select the write control line 2.
A signal for selecting the write control line 2b is applied to the control line 4c, a signal for selecting no write control line is applied to the control line 4d, and a signal for selecting the write control line 2b is applied to the control line 4d. Therefore, the write control line 2b is selected in the write selectors 3b and 3d and connected to the write control terminal W of the pattern memories 1b and 1d, respectively. In this state, the same pattern data is stored at the same address location in the pattern memories 1b and 1d by performing the same operation as in the past after writing to the pattern memory 1a is completed and writing to the next pattern memory 1b. will be written to.
この発明の装置は従来の装置に対し、書き込み
セレクタ3a乃至3dを設けると共に選択制御信
号発生部19を設け、転送インタフエース13か
ら同一パターンデータ数を示す情報を選択制御信
号発生部19に与えることによつて、例えばパタ
ーンメモリ1a,1bに書き込んだ一連のパター
ンデータと同一のものをパターンメモリ1c,1
dに同時に書き込むことができる。 The device of the present invention is different from the conventional device by providing write selectors 3a to 3d and a selection control signal generation section 19, and providing information indicating the number of identical pattern data from the transfer interface 13 to the selection control signal generation section 19. For example, the same series of pattern data written in the pattern memories 1a and 1b is stored in the pattern memories 1c and 1.
d can be written at the same time.
なおパターンメモリの数は4個に限らず任意の
数とすることができ、またこの同一パターンを同
時に書き込む数も任意とすることができ、例えば
第2図においてパターンメモリ1a乃至1dに同
一のパターンデータを書き込むようにすることが
できる。選択制御信号発生部19は記憶すべき同
一パターン数に対応した制御信号を発生するが、
これは例えば転送インタフエース13からの同一
パターン数を示す情報によりメモリを続出して必
要な選択制御信号を発生する構成とすることがで
きる。 Note that the number of pattern memories is not limited to four, but can be any number, and the number of identical patterns written simultaneously can also be arbitrary. For example, in FIG. It is possible to write data. The selection control signal generating section 19 generates a control signal corresponding to the number of identical patterns to be stored.
This can be configured, for example, by using information indicating the number of identical patterns from the transfer interface 13 to sequentially read out the memory and generate a necessary selection control signal.
なお各パターンメモリ内における1ワード内の
各ビツトを選択するようにすることもできる。例
えばパターンメモリ1aについて第3図に示すよ
うにパターンメモリは1ワード3ビツトとし、従
つてパターンメモリはメモリプレーンの三面より
成つており、その各メモリプレーンに書き込み制
御端子W1,W2,W3があり、書き込みセレクタ
3aはその内部においてセレクタ部3a1,3a2,
3a3の三つが設けられる。これらセレクタ部3
a1,3a2,3a3の入力側に書き込み制御線2a乃
至2dが接続され、選択制御信号発生部19から
の選択信号によつてセレクタ部3a1乃至3a3は個
別に書き込み制御信号線を選択することができ、
セレクタ部3a1,3a2,3a3の各出力側はそれぞ
れ書き込み制御端子W1乃至W3に接続される。こ
のようにして書き込みビツト位置を自由に選択す
ることも可能である。またそのパターン長が1ワ
ード長の整数倍でない場合があるが、その場合に
おいても1ワード内におけるビツト配列について
書き込み選択を行うことによつて同一データをパ
ターンメモリの全体として複数個所に同時に書き
込むことができる。 It is also possible to select each bit within one word in each pattern memory. For example, regarding the pattern memory 1a, as shown in FIG. 3, the pattern memory has 1 word and 3 bits, and therefore the pattern memory consists of three memory planes, each of which has write control terminals W 1 , W 2 , W. 3 , and the write selector 3a has selector parts 3a 1 , 3a 2 ,
There are three types: 3a 3 . These selector parts 3
Write control lines 2a to 2d are connected to the input sides of a 1 , 3a 2 , and 3a 3 , and the selector units 3a 1 to 3a 3 individually select the write control signal lines by the selection signal from the selection control signal generator 19 . you can choose,
Each output side of the selector sections 3a 1 , 3a 2 , 3a 3 is connected to write control terminals W 1 to W 3 , respectively. In this way, it is also possible to freely select the write bit position. In addition, the pattern length may not be an integral multiple of one word length, but even in that case, the same data can be simultaneously written to multiple locations in the pattern memory as a whole by selecting the bit arrangement within one word. Can be done.
<効果>
以上述べたようにこの発明のパターンデータ転
送装置によれば、複数の同一パターンデータを複
数のパターンメモリに対して同時に書き込むこと
ができ、同一パターンデータを転送する場合にそ
の転送時間は一回分で済み、しかもこのために設
けるハードウエア部分は僅かであつて転送時間を
著しく短かくすることができる。<Effects> As described above, according to the pattern data transfer device of the present invention, multiple pieces of the same pattern data can be written to multiple pattern memories at the same time, and when transferring the same pattern data, the transfer time is It only needs to be done once, requires only a small amount of hardware, and can significantly shorten the transfer time.
第1図は従来のパターンデータ転送装置を示す
ブロツク図、第2図はこの発明によるパターンデ
ータ転送装置の一例を示すブロツク図、第3図は
その一部変形を示すブロツク図である。
1a乃至1d:パターンメモリ、2a乃至2
d:書き込み制御線、3a乃至3d:書き込みセ
レクタ、4a乃至4d:選択制御線。11:パタ
ーンフアイル、12:中央処理装置、13:転送
インタフエース、14:データバス、15:パタ
ーン制御回路、17:タイミング発生回路、1
6:アドレスバス、19:選択制御信号発生部。
FIG. 1 is a block diagram showing a conventional pattern data transfer device, FIG. 2 is a block diagram showing an example of the pattern data transfer device according to the present invention, and FIG. 3 is a block diagram showing a partial modification thereof. 1a to 1d: pattern memory, 2a to 2
d: write control line; 3a to 3d: write selector; 4a to 4d: selection control line. 11: Pattern file, 12: Central processing unit, 13: Transfer interface, 14: Data bus, 15: Pattern control circuit, 17: Timing generation circuit, 1
6: address bus, 19: selection control signal generator.
Claims (1)
数のパターンメモリへ書き込みデータとして共通
に与えられ、これらパターンメモリに対し上記転
送インタフエースからアドレス指定し、かつ上記
パターンメモリのそれぞれに対応して設けられた
各書き込み制御線の一つを上記転送インタフエー
スから選択してそれに書き込みパルスを発生し、
パターンデータをパターンメモリへ転送するパタ
ーンデータ転送装置において、上記各パターンメ
モリと対応してそれぞれ設けられ、上記書き込み
制御線が入力側に接続され、出力側が上記対応す
るパターンメモリの書き込み制御端子に接続さ
れ、選択制御信号により入力側の書き込み制御線
の一つを選択して出力側の書き込み制御端子に接
続する書き込みセレクタと、上記パターンメモリ
全体として記憶される同一パターンデータの数を
示す情報が上記転送インタフエースから与えら
れ、その情報に応じて上記書き込みセレクタに選
択制御信号をそれぞれ出力する選択制御信号発生
部とを設けたことを特徴とするパターンデータ転
送装置。1 Pattern data is commonly given as write data from the transfer interface to a plurality of pattern memories, addresses are specified to these pattern memories from the transfer interface, and each write data is provided corresponding to each of the pattern memories. Select one of the control lines from the above transfer interface and generate a write pulse to it;
In a pattern data transfer device for transferring pattern data to a pattern memory, a pattern data transfer device is provided corresponding to each of the pattern memories, the write control line is connected to the input side, and the output side is connected to the write control terminal of the corresponding pattern memory. and a write selector that selects one of the write control lines on the input side according to a selection control signal and connects it to the write control terminal on the output side, and information indicating the number of identical pattern data stored in the entire pattern memory. A pattern data transfer device comprising: a selection control signal generating section which outputs selection control signals to the write selectors according to the information given from the transfer interface.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59041067A JPS60185300A (en) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | Transfer device of pattern data |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59041067A JPS60185300A (en) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | Transfer device of pattern data |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60185300A JPS60185300A (en) | 1985-09-20 |
JPH0249520B2 true JPH0249520B2 (en) | 1990-10-30 |
Family
ID=12598089
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59041067A Granted JPS60185300A (en) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | Transfer device of pattern data |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60185300A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0541524U (en) * | 1991-11-11 | 1993-06-08 | 真弓 山本 | napkin |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP3820006B2 (en) * | 1997-09-19 | 2006-09-13 | 株式会社ルネサステクノロジ | Semiconductor device |
JP2006294104A (en) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Yokogawa Electric Corp | Apparatus and method for testing device |
-
1984
- 1984-03-02 JP JP59041067A patent/JPS60185300A/en active Granted
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH0541524U (en) * | 1991-11-11 | 1993-06-08 | 真弓 山本 | napkin |
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Publication number | Publication date |
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JPS60185300A (en) | 1985-09-20 |
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