JPH0249133A - 圧力測定装置 - Google Patents
圧力測定装置Info
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- JPH0249133A JPH0249133A JP1181825A JP18182589A JPH0249133A JP H0249133 A JPH0249133 A JP H0249133A JP 1181825 A JP1181825 A JP 1181825A JP 18182589 A JP18182589 A JP 18182589A JP H0249133 A JPH0249133 A JP H0249133A
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- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 1
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
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-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B5/00—Measuring for diagnostic purposes; Identification of persons
- A61B5/02—Detecting, measuring or recording pulse, heart rate, blood pressure or blood flow; Combined pulse/heart-rate/blood pressure determination; Evaluating a cardiovascular condition not otherwise provided for, e.g. using combinations of techniques provided for in this group with electrocardiography or electroauscultation; Heart catheters for measuring blood pressure
- A61B5/021—Measuring pressure in heart or blood vessels
- A61B5/0215—Measuring pressure in heart or blood vessels by means inserted into the body
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/025—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning with temperature compensating means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、流体の圧力測定装置に関するものである。
［従来技術とその問題点］
一般に、トランスジューサを用いる流体の圧力測定装置
の構成には、流体の圧力が印加される圧力応答面と、機
械的に圧力応答面と結合・し、前記圧力に従って変化す
る電気的インピーダンスと、前記圧力を表示するための
出力信号を発生させるため、前記インピーダンスの値に
依存する大きさで平衡をはずすブリッジ回路が含まれて
いる。温度変化によって生ずるブリッジ回路の出力信号
の変化を低減するために、（つまり、温度係数を最小化
するために）、従来は温度応答が調整可能なインピーダ
ンスをブリッジ内に設けることが一般的であった。測定
する流体圧力をトランスジューサの圧力感知面に伝導さ
せるために、トランスジューサ側と一体になった手段を
用いれば、温度係数が全体として０となるように、温度
応答インピーダンスを調整することができる。しかしな
がら、血圧測定では、他の患者の血圧を測定する前に、
流体に接触した全ての面を殺菌しなければならないので
、この構成は不都合である。この殺菌を行なうにともな
う出費をさけるために、従来より、圧力ドーム（ｐｒｅ
ｓｓｕｒｅ ｄｏｍｅ）と呼ばれる安価なプラスチック
製の器具が使用されている。圧力ドームは、血圧をトラ
ンスジューサーの圧力感知面に伝導させ、各患者の血圧
測定が終了毎に取り替えられる。この場合、通常、トラ
ンスジューサの温度係数のみを０に調整するため、取り
替え可能な圧力ドームの影響は補償されない。圧力ドー
ムの各々についてその温度係数の最小化の調整を行う場
合では、圧力ドームの使用による経費の節減は差引勘定
としては得になるのである。したがって、従来技術の血
圧測定では、使用後毎に殺菌しなければならない恒久的
に取り付けられている圧力ドームまたは温度補償されな
い安価で取り替え可能なプラスチック製の圧力ドームを
必要としていた。
の構成には、流体の圧力が印加される圧力応答面と、機
械的に圧力応答面と結合・し、前記圧力に従って変化す
る電気的インピーダンスと、前記圧力を表示するための
出力信号を発生させるため、前記インピーダンスの値に
依存する大きさで平衡をはずすブリッジ回路が含まれて
いる。温度変化によって生ずるブリッジ回路の出力信号
の変化を低減するために、（つまり、温度係数を最小化
するために）、従来は温度応答が調整可能なインピーダ
ンスをブリッジ内に設けることが一般的であった。測定
する流体圧力をトランスジューサの圧力感知面に伝導さ
せるために、トランスジューサ側と一体になった手段を
用いれば、温度係数が全体として０となるように、温度
応答インピーダンスを調整することができる。しかしな
がら、血圧測定では、他の患者の血圧を測定する前に、
流体に接触した全ての面を殺菌しなければならないので
、この構成は不都合である。この殺菌を行なうにともな
う出費をさけるために、従来より、圧力ドーム（ｐｒｅ
ｓｓｕｒｅ ｄｏｍｅ）と呼ばれる安価なプラスチック
製の器具が使用されている。圧力ドームは、血圧をトラ
ンスジューサーの圧力感知面に伝導させ、各患者の血圧
測定が終了毎に取り替えられる。この場合、通常、トラ
ンスジューサの温度係数のみを０に調整するため、取り
替え可能な圧力ドームの影響は補償されない。圧力ドー
ムの各々についてその温度係数の最小化の調整を行う場
合では、圧力ドームの使用による経費の節減は差引勘定
としては得になるのである。したがって、従来技術の血
圧測定では、使用後毎に殺菌しなければならない恒久的
に取り付けられている圧力ドームまたは温度補償されな
い安価で取り替え可能なプラスチック製の圧力ドームを
必要としていた。
また、平均的な圧力ドームの温度係数が０付近となるよ
うに、トランスジューサ及び取り替え可能な圧力ドーム
を設計するという代案もあるが、これは極めて難しかっ
た。
うに、トランスジューサ及び取り替え可能な圧力ドーム
を設計するという代案もあるが、これは極めて難しかっ
た。
［発明の目的］
本発明の目的は、圧力ドームをトランスジューサに取り
付けた時に生ずるトランスジューサの温度係数変化等の
温度補償を行う圧力測定装置を提供することにある。
付けた時に生ずるトランスジューサの温度係数変化等の
温度補償を行う圧力測定装置を提供することにある。
［発明の概要コ
本発明にかかる圧力測定装置では、構成されるトランス
ジューサの温度係数が、平均的な圧力ドームによっても
たらされる系全体の温度係数の変化に着目し、トランス
ジューサにこれと同量で逆方向の温度係数を製作時に与
えてお（。これにより、本圧力測定装置に安価な取り替
え可能な圧力ドームを用いなおかつ総合的な温度係数を
０付近に設定することができる。
ジューサの温度係数が、平均的な圧力ドームによっても
たらされる系全体の温度係数の変化に着目し、トランス
ジューサにこれと同量で逆方向の温度係数を製作時に与
えてお（。これにより、本圧力測定装置に安価な取り替
え可能な圧力ドームを用いなおかつ総合的な温度係数を
０付近に設定することができる。
例えば、平均的な圧力ドームを装着することによって生
じるトランスジューサの温度係数が摂氏１度上昇変化当
り−０，２ｍｍＨｇだけ変化する場合、トランスジュー
サ単独の温度係数を０．２１ｍｍ ）Ｉｇ／ ℃に調整
する。従って、このトランスジューサに平均的な圧力ド
ームを装着すれば総合的な温度係数は、はぼ０になる。
じるトランスジューサの温度係数が摂氏１度上昇変化当
り−０，２ｍｍＨｇだけ変化する場合、トランスジュー
サ単独の温度係数を０．２１ｍｍ ）Ｉｇ／ ℃に調整
する。従って、このトランスジューサに平均的な圧力ド
ームを装着すれば総合的な温度係数は、はぼ０になる。
この温度係数０からのずれは、圧力ドームによるトラン
スジューサの温度係数の変化のばらつきに依存し、経験
によれば、このずれを±０．１ｍｍ Ｈｇ／ ｔ：の範
囲内におさえることができる。
スジューサの温度係数の変化のばらつきに依存し、経験
によれば、このずれを±０．１ｍｍ Ｈｇ／ ｔ：の範
囲内におさえることができる。
［発明の実施例］
第１図に、本発明の一実施例である圧力測定装置を示す
。本装置は、圧力ドームＤ、トランスジューサＴそして
温度補償手段を含むブリッジ回路Ｂで構成される。圧力
ドームＤは、その中に空洞Ｃを有し、空洞Ｃは、膜Ｍに
よって密封される。
。本装置は、圧力ドームＤ、トランスジューサＴそして
温度補償手段を含むブリッジ回路Ｂで構成される。圧力
ドームＤは、その中に空洞Ｃを有し、空洞Ｃは、膜Ｍに
よって密封される。
管１．，１．は、各々バルブＶｌ、Ｖ２を介して前記空
洞Ｃに連結する。患者の血圧測定を行なう場合、カテー
テルを、Ｔ型接続部（図示せず）を介して管１．に接続
する。生理食塩水（ｓａｌｉｎｅ ｓ。
洞Ｃに連結する。患者の血圧測定を行なう場合、カテー
テルを、Ｔ型接続部（図示せず）を介して管１．に接続
する。生理食塩水（ｓａｌｉｎｅ ｓ。
ｏｌｕｔｉｏｎ＞は、Ｔ型接続のステムより、前記カテ
ーテルの開口端部に流れ込み、そして空洞Ｃへ流入する
。そして、食塩水が管ｔ２から流れ出だすと、バルブ■
２を閉める。バルブｖ１の目的は、バルブＶｌを閉じ、
バルブ、を開くことによって０あるいは、雰囲気圧の読
みを得ることにある。
ーテルの開口端部に流れ込み、そして空洞Ｃへ流入する
。そして、食塩水が管ｔ２から流れ出だすと、バルブ■
２を閉める。バルブｖ１の目的は、バルブＶｌを閉じ、
バルブ、を開くことによって０あるいは、雰囲気圧の読
みを得ることにある。
圧力ドームＤがトランスジューサＴに適切に取り付けら
れると、その膜ＭはトランスジューサＴの活性表面（ａ
ｃｔｉｖｅ ５ｕｒｆａｃｅ） Ｓと密着し、空洞Ｃ内
の流体の圧力変化をトランスジューサＴが有する圧力応
答インピーダンス２へ印加する。前記応答インピーダン
スＺの値の変化は、点線１で示す１のように任意のやり
方でブリッジ回路Ｂ°に結合できる。これによりブリッ
ジ回路Ｂのインピーダンス、つまり抵抗Ｒｖ、ＲＡ、Ｒ
ｅ 、ＲＣのひとつまたはそれ以上の値を前記変化に対
応して変化させてブリッジ回路已に不平衡状態を生じさ
せる。
れると、その膜ＭはトランスジューサＴの活性表面（ａ
ｃｔｉｖｅ ５ｕｒｆａｃｅ） Ｓと密着し、空洞Ｃ内
の流体の圧力変化をトランスジューサＴが有する圧力応
答インピーダンス２へ印加する。前記応答インピーダン
スＺの値の変化は、点線１で示す１のように任意のやり
方でブリッジ回路Ｂ°に結合できる。これによりブリッ
ジ回路Ｂのインピーダンス、つまり抵抗Ｒｖ、ＲＡ、Ｒ
ｅ 、ＲＣのひとつまたはそれ以上の値を前記変化に対
応して変化させてブリッジ回路已に不平衡状態を生じさ
せる。
第１図において、応答インピーダンスＺの変化は、抵抗
Ｒ１を変化させる。圧力応答インピーダンスＺが、抵抗
器である場合、このインピーダンスＺは実際には抵抗Ｒ
Ｖと同じものでもよい。しかし、圧力応答インピーダン
スＺがキャパシタである場合、このキャパシタのインピ
ーダンス値の変化にしたがって抵抗器Ｒｖの値を変化さ
せる適切な回答を介してブリッジ回路に接続することが
できる。このような回路は、たとえば本出願人が以前出
願した特願昭６０−６９８４４の（特開昭６ｌ−１６３
９９）の「状態検出装置」中に記載されている。
Ｒ１を変化させる。圧力応答インピーダンスＺが、抵抗
器である場合、このインピーダンスＺは実際には抵抗Ｒ
Ｖと同じものでもよい。しかし、圧力応答インピーダン
スＺがキャパシタである場合、このキャパシタのインピ
ーダンス値の変化にしたがって抵抗器Ｒｖの値を変化さ
せる適切な回答を介してブリッジ回路に接続することが
できる。このような回路は、たとえば本出願人が以前出
願した特願昭６０−６９８４４の（特開昭６ｌ−１６３
９９）の「状態検出装置」中に記載されている。
第１図中の実施例では、駆動電圧の陽極側を、抵抗器Ｒ
Ａ、Ｒ，の共通接続点に接続し、また陰極側を抵抗器Ｒ
，，Ｒｃの共通接続点に接続する。
Ａ、Ｒ，の共通接続点に接続し、また陰極側を抵抗器Ｒ
，，Ｒｃの共通接続点に接続する。
温度によって、その値が増加する抵抗器ＲＴと可変抵抗
器Ｒ，の直列回路が抵抗器ＲＡに並列接続されている。
器Ｒ，の直列回路が抵抗器ＲＡに並列接続されている。
また可変抵抗器Ｒ１が抵抗器Ｒ，に並列接続されている
。出力ラインＯＩは、抵抗器ＲＡ、Ｒｍの接続部に接続
し、もう一方の出力ラインｏ２は、抵抗器Ｒｖ、Ｒｃの
接続部に接続する。抵抗器ＲＡ、Ｒ，，ＲＣの値と、圧
力が０である時の圧力感知インピーダンスＲｖの値は等
しいものとする。
。出力ラインＯＩは、抵抗器ＲＡ、Ｒｍの接続部に接続
し、もう一方の出力ラインｏ２は、抵抗器Ｒｖ、Ｒｃの
接続部に接続する。抵抗器ＲＡ、Ｒ，，ＲＣの値と、圧
力が０である時の圧力感知インピーダンスＲｖの値は等
しいものとする。
本出願人が以前出願した実願昭６０−１２４１９１ （
実開昭６ｌ−５９３０７）の「温度補償回路」に説明さ
れているように、図中の可変抵抗器ＲＸは、厚膜技術に
よって構成することができ、そのインピーダンス値はレ
ーザー光のトリミングによって調整することができる。
実開昭６ｌ−５９３０７）の「温度補償回路」に説明さ
れているように、図中の可変抵抗器ＲＸは、厚膜技術に
よって構成することができ、そのインピーダンス値はレ
ーザー光のトリミングによって調整することができる。
どちらの方法でも、抵抗器Ｒｘは、製造過程が定まる公
称値を有する。この値はトランスジューサ毎にわずかに
変化する場合がある。
称値を有する。この値はトランスジューサ毎にわずかに
変化する場合がある。
このような変化が極めて大きくなっても、抵抗器Ｒ１を
上述する方法と同様にトリムし、ブリッジ回路の平衡状
態を回復することができるので、問題にならない。
上述する方法と同様にトリムし、ブリッジ回路の平衡状
態を回復することができるので、問題にならない。
例えば、第２図に示すトランスジューサの温度特性グラ
フＡ、Ｂ、Ｃ，’Ｄを用いて、以下に説明する。抵抗器
Ｒｘが公称抵抗値のときのトランスジューサＴの温度係
数ＴＣがグラフＡに示すように−０，０６２＋ｎ＋ｎ
Ｈｇ／ ｔであり、また第２図に示すように、統計的に
充分な個数の圧力ドームの測定結果により定まる平均的
な圧力ドームをトランスジューサＴに接続すると、その
温度係数ＴＣを−０．２１ｍｍＨｇ／ｌ：だけ変化させ
る効果が現れた場合を考える。このときは、グラフＣの
ようにトランスジューサＴの温度係数ＴＣが０．２４ｍ
ｍ ｔ１ｇ／ ｔまで抵抗器Ｒｘにより調整する。この
ようにすることにより、個々のトランスジューサＴに平
均的な圧力ドームを取り付けた場合の総合的な温度係数
ＴＣがほぼ０に設定される。これらのグラフは、全て補
正することはできないが、無視できる量のヒステリシス
が存在することに注意しなければならない。
フＡ、Ｂ、Ｃ，’Ｄを用いて、以下に説明する。抵抗器
Ｒｘが公称抵抗値のときのトランスジューサＴの温度係
数ＴＣがグラフＡに示すように−０，０６２＋ｎ＋ｎ
Ｈｇ／ ｔであり、また第２図に示すように、統計的に
充分な個数の圧力ドームの測定結果により定まる平均的
な圧力ドームをトランスジューサＴに接続すると、その
温度係数ＴＣを−０．２１ｍｍＨｇ／ｌ：だけ変化させ
る効果が現れた場合を考える。このときは、グラフＣの
ようにトランスジューサＴの温度係数ＴＣが０．２４ｍ
ｍ ｔ１ｇ／ ｔまで抵抗器Ｒｘにより調整する。この
ようにすることにより、個々のトランスジューサＴに平
均的な圧力ドームを取り付けた場合の総合的な温度係数
ＴＣがほぼ０に設定される。これらのグラフは、全て補
正することはできないが、無視できる量のヒステリシス
が存在することに注意しなければならない。
［発明の効果］
したがって、安価で取り替え可能な圧力ドームを用いる
にもかかわらず、温度補償を容易に行なうことのできる
圧力測定装置を得ることができる。
にもかかわらず、温度補償を容易に行なうことのできる
圧力測定装置を得ることができる。
第１図は、本発明の一実施例である血圧測定装置の概略
図。 第２図は、本装置のトランスジューサの温度特性を示す
グラフ。 Ｄ＝圧力ドーム。 Ｃ：空洞。 Ｓ：活性表面。 Ｚ：圧力応答インピーダンス。 Ｔニドランスジューサ。 ｔ＋、ｔｚ：管。 Ｖ、、Ｖ２：バルブ。 Ｂニブリッジ回路。 ０＋ ／ ０２ ：出力ライン。 Ｒ，、Ｒｖ、ＲＡ、Ｒ，、、ＲＣ：抵抗器。 Ｒ，、Ｒ，：可変抵抗器。
図。 第２図は、本装置のトランスジューサの温度特性を示す
グラフ。 Ｄ＝圧力ドーム。 Ｃ：空洞。 Ｓ：活性表面。 Ｚ：圧力応答インピーダンス。 Ｔニドランスジューサ。 ｔ＋、ｔｚ：管。 Ｖ、、Ｖ２：バルブ。 Ｂニブリッジ回路。 ０＋ ／ ０２ ：出力ライン。 Ｒ，、Ｒｖ、ＲＡ、Ｒ，、、ＲＣ：抵抗器。 Ｒ，、Ｒ，：可変抵抗器。
Claims (3)
- （１）圧力ドームと前記圧力ドームが装着されるトラン
スジューサを有する圧力測定装置において、前記トラン
スジューサは前記圧力ドーム内の圧力に応じてその値が
変化するインピーダンス素子と前記インピーダンス素子
に接続するブリッジ回路と前記トランスジューサに前記
圧力ドームが装着する際に生じる前記トランスジューサ
の温度係数を相殺するように調整する温度係数補償手段
とを具備することを特徴とする圧力測定装置。 - （２）特許請求の範囲第１項記載の圧力測定装置におい
て、前記圧力ドームが装着した際の前記トランスジュー
サの温度係数と前記トランスジューサ自体の温度係数は
符号が逆の傾斜をそれぞれ有することを特徴とする。 - （３）圧力ドームと連結し、実質的にほぼ０に近い温度
係数を示すトランスジューサにおいて、前記トランスジ
ューサは、圧力応答インピーダンスと温度補償手段を有
するブリッジ回路を備え、前記ブリッジ回路は前記圧力
応答インピーダンスと接続し、前記圧力応答インピーダ
ンスの値に依存する量だけ平衡をはずし、前記温度補償
手段は前記圧力ドームと接続していない時のトランスジ
ューサの温度係数を圧力ドームによって生じる温度係数
変化の符号が逆の量だけ変化させるように調整すること
を特徴とする。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/668,608 US4581940A (en) | 1984-11-06 | 1984-11-06 | Dome and transducer with compensating temperature coefficient |
| US668608 | 1991-03-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0249133A true JPH0249133A (ja) | 1990-02-19 |
| JPH0567894B2 JPH0567894B2 (ja) | 1993-09-27 |
Family
ID=24683039
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985170798U Pending JPS6184535U (ja) | 1984-11-06 | 1985-11-06 | |
| JP1181825A Granted JPH0249133A (ja) | 1984-11-06 | 1989-07-14 | 圧力測定装置 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985170798U Pending JPS6184535U (ja) | 1984-11-06 | 1985-11-06 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4581940A (ja) |
| EP (1) | EP0180954A3 (ja) |
| JP (2) | JPS6184535U (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5135002A (en) * | 1989-08-29 | 1992-08-04 | Abbott Laboratories | Pressure transducer compensation system |
| US5269311A (en) * | 1989-08-29 | 1993-12-14 | Abbott Laboratories | Method for compensating errors in a pressure transducer |
| US5753820A (en) * | 1996-10-25 | 1998-05-19 | Arthur D. Little, Inc. | Fluid pressure sensing unit incorporating diaphragm deflection sensing array |
| EP3110317B1 (en) | 2014-02-25 | 2023-05-03 | ICU Medical, Inc. | Patient monitoring system with gatekeeper signal and corresponding method |
| AU2016341195B2 (en) | 2015-10-19 | 2019-03-14 | Icu Medical, Inc. | Hemodynamic monitoring system with detachable display unit |
Citations (4)
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| JPS5532500U (ja) * | 1978-08-23 | 1980-03-01 | ||
| JPS578425A (en) * | 1980-06-18 | 1982-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | Pressure detector |
| JPS57115873A (en) * | 1981-01-09 | 1982-07-19 | Hitachi Ltd | Semiconductor diaphragm type pressure sensor |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1563140A (ja) * | 1968-02-26 | 1969-04-11 | ||
| US4145847A (en) * | 1978-01-13 | 1979-03-27 | Hutchins Manufacturing Co. | Straight line abrading tool with balancing counterweight |
| US4300395A (en) * | 1978-11-08 | 1981-11-17 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor pressure detection device |
| US4333349A (en) * | 1980-10-06 | 1982-06-08 | Kulite Semiconductor Products, Inc. | Binary balancing apparatus for semiconductor transducer structures |
-
1984
- 1984-11-06 US US06/668,608 patent/US4581940A/en not_active Expired - Fee Related
-
1985
- 1985-11-05 EP EP85114027A patent/EP0180954A3/en not_active Ceased
- 1985-11-06 JP JP1985170798U patent/JPS6184535U/ja active Pending
-
1989
- 1989-07-14 JP JP1181825A patent/JPH0249133A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5454661A (en) * | 1977-10-11 | 1979-05-01 | Shimadzu Corp | Method and apparatus for calibration of detection circuits |
| JPS5532500U (ja) * | 1978-08-23 | 1980-03-01 | ||
| JPS578425A (en) * | 1980-06-18 | 1982-01-16 | Mitsubishi Electric Corp | Pressure detector |
| JPS57115873A (en) * | 1981-01-09 | 1982-07-19 | Hitachi Ltd | Semiconductor diaphragm type pressure sensor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0180954A2 (en) | 1986-05-14 |
| EP0180954A3 (en) | 1988-03-30 |
| JPS6184535U (ja) | 1986-06-04 |
| JPH0567894B2 (ja) | 1993-09-27 |
| US4581940A (en) | 1986-04-15 |
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