JPH024839A - ポリテトラフルオロエチレン多孔質シートの製造法 - Google Patents
ポリテトラフルオロエチレン多孔質シートの製造法Info
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- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 title claims abstract description 18
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 title claims abstract description 18
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 title claims abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 6
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 229940057995 liquid paraffin Drugs 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001474374 Blennius Species 0.000 description 1
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008034 disappearance Effects 0.000 description 1
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000001028 reflection method Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はポリテトラフルオロエチレン(以下。
PTFEと称す)多孔質シートの新規な製造法に関する
。
。
(従来の技術)
未焼成PTFEシートは既に知られ、「生テープ」と称
せられることもある。
せられることもある。
この未焼成シートは、 PTFE粉末に適量の液状潤滑
剤を加えて成る混和物を圧延してシート成形し2次いで
液状潤滑剤を抽出、蒸発等の手段により除去して得られ
ており、ネジシール材等として実用に供されている。
剤を加えて成る混和物を圧延してシート成形し2次いで
液状潤滑剤を抽出、蒸発等の手段により除去して得られ
ており、ネジシール材等として実用に供されている。
この未焼成シートはシート成形した後、液状潤滑剤を除
去しているので、潤滑剤の抜けた部分が微細気孔となっ
た多孔質シートと観念することもできる。
去しているので、潤滑剤の抜けた部分が微細気孔となっ
た多孔質シートと観念することもできる。
ところで、 PTFE多孔質シートは分離膜、電池用セ
パレータ、布類と貼り合わせた透湿防水性衣服、バダフ
ィルター等広範な用途がある。
パレータ、布類と貼り合わせた透湿防水性衣服、バダフ
ィルター等広範な用途がある。
しかしながら、未焼成シー)1そのまま上記用途に適用
した場合、微細気孔が小さ過ぎて充分な性能を発揮する
ことができないことが判明している。
した場合、微細気孔が小さ過ぎて充分な性能を発揮する
ことができないことが判明している。
未焼成シートの多孔質体としての性能改善のため、シー
ト成形後にその両面に潤滑剤吸収材(布。
ト成形後にその両面に潤滑剤吸収材(布。
紙)1−あてて圧延し8次いで残存潤滑剤を除去する方
法(特公昭48−39813号公報)が提案されている
が、未だ充分なものではない、(発明が解決しようとす
る課題) 従って1本発明は多孔質シートとしての性能が改善され
た未焼成シートを容易に生産する方法?提供することを
目的とする。
法(特公昭48−39813号公報)が提案されている
が、未だ充分なものではない、(発明が解決しようとす
る課題) 従って1本発明は多孔質シートとしての性能が改善され
た未焼成シートを容易に生産する方法?提供することを
目的とする。
(課題を解決するための手段)
本発明者は従来技術の有する問題を解決するため種々検
討の結果、常法によって得られた未焼成シートを特定温
度で熱処理し之後、その表面をスパッタエツチング処理
することにより、その′目的が達成できることを見出し
5本発明を完成するに至ったものである。
討の結果、常法によって得られた未焼成シートを特定温
度で熱処理し之後、その表面をスパッタエツチング処理
することにより、その′目的が達成できることを見出し
5本発明を完成するに至ったものである。
即ち1本発明に係るPTFE多孔質シートの製造法は、
未焼成PTFEシート金280り〜327℃米満の温度
で熱処理し1次いで該シート表面をスパッタエツチング
処理することを特徴とするものである。
未焼成PTFEシート金280り〜327℃米満の温度
で熱処理し1次いで該シート表面をスパッタエツチング
処理することを特徴とするものである。
本発明に用いる未焼成シートは従来から知られている方
法によって得ることができる。
法によって得ることができる。
例えば、この未焼成7−トはPTFE粉末に適量の液状
潤滑剤を加えて成る混和物を圧延によりシート状とし1
次いで潤滑剤を除去する方法により得られる。なお、シ
ート成形に際し、圧縮、押出等を行なうこともできる。
潤滑剤を加えて成る混和物を圧延によりシート状とし1
次いで潤滑剤を除去する方法により得られる。なお、シ
ート成形に際し、圧縮、押出等を行なうこともできる。
かような未焼成シートを得るための方法は、特公昭42
−13560号公報、特公昭58−25332号公報等
に記載されており、ペースト成形とも称せられる。液状
潤滑剤も、これら文献記載のものを用いることができ、
その便用量も従来と同じく。
−13560号公報、特公昭58−25332号公報等
に記載されており、ペースト成形とも称せられる。液状
潤滑剤も、これら文献記載のものを用いることができ、
その便用量も従来と同じく。
PTFE I O0重量部に対し1通常、約5〜50重
量部である。
量部である。
本発明に2いては、上記未焼成シートが先ず。
280℃またはそれよりも高く、且つ327℃未満の温
度で熱処理さ九る。処理時間は温度によって変わり得る
が0通常、約3〜30分である。
度で熱処理さ九る。処理時間は温度によって変わり得る
が0通常、約3〜30分である。
この熱処理は次に行なわルるスパッタエツチング効果を
充分なものとするためのもので、熱処理しない未焼成シ
ートまたは低温で熱処理した未焼成シートでは、スパッ
タエツチング効果が不充分で、実用性能金有する多孔質
シートが得られない。
充分なものとするためのもので、熱処理しない未焼成シ
ートまたは低温で熱処理した未焼成シートでは、スパッ
タエツチング効果が不充分で、実用性能金有する多孔質
シートが得られない。
また、熱処理温度が高すぎると、未焼成シート中の微細
気孔の減少乃至消滅を招くので好ましくない。
気孔の減少乃至消滅を招くので好ましくない。
本発明に2いては、上記熱処理を施された未焼成PTF
Eシートが1次いでスパッタエツチング処理される。
Eシートが1次いでスパッタエツチング処理される。
このスパッタエツチング処理とは、耐圧容器内で減圧雰
囲気下において陰陽両電極間に高周波電圧を印加し、放
電域のイオンエネルギーの大きい陰極暗部に2いて、放
電によって生じ念陽イオンを加速して、陰極上の未焼成
PTFEフィルム表面に衝突させる処理である。このた
めの装置は、耐圧容器内に陰極と陽極が対向して配設さ
れ、!極はインピーダンス整合器を介して高周波電源に
接続され、#h極は高周波電源のアース側に接続されて
構成されている。陰極の外側にはシールド用電極が配設
され、アース電位に保たれている。かような装置の具体
例としては6例えば特公昭56−1337号公報、特公
昭56−1340号公報等に記載の装置が挙げられる。
囲気下において陰陽両電極間に高周波電圧を印加し、放
電域のイオンエネルギーの大きい陰極暗部に2いて、放
電によって生じ念陽イオンを加速して、陰極上の未焼成
PTFEフィルム表面に衝突させる処理である。このた
めの装置は、耐圧容器内に陰極と陽極が対向して配設さ
れ、!極はインピーダンス整合器を介して高周波電源に
接続され、#h極は高周波電源のアース側に接続されて
構成されている。陰極の外側にはシールド用電極が配設
され、アース電位に保たれている。かような装置の具体
例としては6例えば特公昭56−1337号公報、特公
昭56−1340号公報等に記載の装置が挙げられる。
本発明においては、 PTFEフィルムに対するスパッ
タエツチング処理を安定して行なうため雰囲気圧を通常
約0.001〜0.5Torrに設定するのがよい。
タエツチング処理を安定して行なうため雰囲気圧を通常
約0.001〜0.5Torrに設定するのがよい。
また、放電電力は実用1約0.1〜5 Wat t /
c4が好適であり、放電処理量、即ち、放電電力(Wa
tt/c4)と処理時間(see )の積は通常約0.
1〜200Watt−see/−好ましくは約1〜18
0Watt−8eC/−である。
c4が好適であり、放電処理量、即ち、放電電力(Wa
tt/c4)と処理時間(see )の積は通常約0.
1〜200Watt−see/−好ましくは約1〜18
0Watt−8eC/−である。
スパッタエツチング処理に用いる高周波電源としては1
通常数百KHz〜数十MHzの周波数のものを用い得る
が、実用上は工業割当周波数の13.56MHzの電源
を用いるのが好ましい。
通常数百KHz〜数十MHzの周波数のものを用い得る
が、実用上は工業割当周波数の13.56MHzの電源
を用いるのが好ましい。
雰囲気ガスとしては種々の気体を用いることができるが
、実用とはアルゴン、ヘリウム等の不活性ガス、チッ素
ガス、炭酸ガス、水蒸気等が好ましい。
、実用とはアルゴン、ヘリウム等の不活性ガス、チッ素
ガス、炭酸ガス、水蒸気等が好ましい。
この処理により、未焼成フィルムの表面層がエツチング
除去される。このエツチング除去は重要であり、これに
より、未焼成フィルムの表面に存在する皮張りJim
(無孔状態に近いと)が除去され。
除去される。このエツチング除去は重要であり、これに
より、未焼成フィルムの表面に存在する皮張りJim
(無孔状態に近いと)が除去され。
その結果、該フィルムに存する微細気孔の性能が発揮し
得るようになると考えられる。
得るようになると考えられる。
なお、この処理により未焼成フィルム表面に無数の微細
針状凸起(電子顕微鏡により確認でさる)が生成するが
、得られる多孔質シートを用いる場合の障害にはなり得
ないので、格別の考慮を払う必要は無い。
針状凸起(電子顕微鏡により確認でさる)が生成するが
、得られる多孔質シートを用いる場合の障害にはなり得
ないので、格別の考慮を払う必要は無い。
(実施例〕
以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。
実施例I
PTFE粉末100ffi量部に対し、液状潤滑剤流動
パラフィン24重量部を均一に混合した混和物を圧力2
0kg/c4で圧縮予備成形し1次にこれを丸棒状に押
出成形し、更に1対の金属製圧延ロール間を通し、厚さ
380μ惧の長尺シート状とする。
パラフィン24重量部を均一に混合した混和物を圧力2
0kg/c4で圧縮予備成形し1次にこれを丸棒状に押
出成形し、更に1対の金属製圧延ロール間を通し、厚さ
380μ惧の長尺シート状とする。
次に、これtトリクロルエチレン中に浸漬し。
流動パラフィンを抽出除去し、未焼成シートを得る。
この未焼成シートを320℃で30分間m熱し。
次いでその両ff1lスパッタエツチング処理して未焼
成の多孔質シート(気孔率30%、気孔径0.4μS)
を得た。
成の多孔質シート(気孔率30%、気孔径0.4μS)
を得た。
なお、スパッタエツチング処理は、雰囲気ガスとしてA
rを用い、雰囲気圧0.007 Torr 、放電電力
0.5 Wat t /−の条件で180秒間行なり几
。
rを用い、雰囲気圧0.007 Torr 、放電電力
0.5 Wat t /−の条件で180秒間行なり几
。
この多孔質シートについて、ASTM 317−80に
示される方法に準じ、エタノールフラックスを測定し念
ところ、 0.03au/c4・minであった。
示される方法に準じ、エタノールフラックスを測定し念
ところ、 0.03au/c4・minであった。
また、粒径0.039μ溝のポリスチレンを水に分散せ
しめたエマルジョン(ポリスチレン含filO直量%)
を上記多孔質シートをフィルターに用いて吸引し1粒子
除去率を測定したところ、90%であった。なお、この
除去率はf液を対象とし。
しめたエマルジョン(ポリスチレン含filO直量%)
を上記多孔質シートをフィルターに用いて吸引し1粒子
除去率を測定したところ、90%であった。なお、この
除去率はf液を対象とし。
分光光度計を用いて反射法によって測定し念。
なお、参考のため上記未焼成シート(熱処理訃よびスパ
ッタエツチング処理を施してないもの)について、エタ
ノールフラクス試験を行なったが、エタノールの透過は
認められなかった。
ッタエツチング処理を施してないもの)について、エタ
ノールフラクス試験を行なったが、エタノールの透過は
認められなかった。
(発明の効果)
本発明は上記のように構成されており、未焼成シートに
対し、熱処理およびスパッタエツチング処理を施すよう
にしたので、多孔質シートとしての性能を発揮し得るP
TFE未焼成シートを提供できる特徴がある。
対し、熱処理およびスパッタエツチング処理を施すよう
にしたので、多孔質シートとしての性能を発揮し得るP
TFE未焼成シートを提供できる特徴がある。
Claims (1)
- 未焼成ポリテトラフルオロエチレンシートを280℃〜
327℃未満の温度で熱処理し、次いで該シート表面を
スパッタエッチング処理することを特徴とするポリテト
ラフルオロエチレン多孔質シートの製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15559988A JPH024839A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | ポリテトラフルオロエチレン多孔質シートの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15559988A JPH024839A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | ポリテトラフルオロエチレン多孔質シートの製造法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH024839A true JPH024839A (ja) | 1990-01-09 |
Family
ID=15609547
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15559988A Pending JPH024839A (ja) | 1988-06-23 | 1988-06-23 | ポリテトラフルオロエチレン多孔質シートの製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH024839A (ja) |
-
1988
- 1988-06-23 JP JP15559988A patent/JPH024839A/ja active Pending
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