JPH0246179A - Ultrasonic linear motor - Google Patents

Ultrasonic linear motor

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JPH0246179A
JPH0246179A JP63195002A JP19500288A JPH0246179A JP H0246179 A JPH0246179 A JP H0246179A JP 63195002 A JP63195002 A JP 63195002A JP 19500288 A JP19500288 A JP 19500288A JP H0246179 A JPH0246179 A JP H0246179A
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修 川崎
Takahiro Nishikura
西倉 孝弘
Katsu Takeda
克 武田
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Abstract

PURPOSE:To excite two flexural oscillations effectively by machining the neighborhood of both ends of an elastic body square pillar into circular cross sections and by supporting and fixing these cross sections. CONSTITUTION:An oscillator 20 used for an ultrasonic linear motor has an elastic body square pillar 16 with a square cross section. At the part equivalent to 0.22 of the length from both sides the pillar is machined to be a slit 19 with a circular cross section. The oscillator 20 is constituted by sticking piezoelectric bodies 17 and 18 to two rectangular surfaces side by side of the elastic body 16. When AC electric field close to resonance frequency is applied to this piezoelectric body 17, the oscillator 20 performs flexural oscillation in the direction of an arrowhead B; when AC electric field is applied to the piezopelectric body 18, the oscillator 20 performs flexural oscillation in the direction of an arrowhead C. In this way, a low oscillating energy will do because of stable movement of the oscillator 20.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は圧電体による弾性振動を用いて駆動力を発生す
る超音波リニアモータに関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to an ultrasonic linear motor that generates driving force using elastic vibrations produced by a piezoelectric body.

従来の技術 近年、圧電セラミック等の圧電体により構成した振動体
に弾性振動を励振し、これを駆動力とした超音波リニア
モータが注目されている。
BACKGROUND OF THE INVENTION In recent years, ultrasonic linear motors have attracted attention in which elastic vibrations are excited in a vibrating body made of a piezoelectric material such as a piezoelectric ceramic, and this vibration is used as a driving force.

以下、図面を参照しながら超音波リニアモータの従来技
術について説明を行う。
Hereinafter, the conventional technology of ultrasonic linear motors will be explained with reference to the drawings.

第6図は、従来の超音波リニアモータの概観図であり、
円板形圧電体1および2を、円筒形の弾性体3および4
で挟んで固定することにより振動体5を構成している。
FIG. 6 is an overview diagram of a conventional ultrasonic linear motor.
The disk-shaped piezoelectric bodies 1 and 2 are replaced by cylindrical elastic bodies 3 and 4.
The vibrating body 5 is configured by sandwiching and fixing the vibrating body 5 between the vibrating body 5 and the vibrating body 5.

圧電体1および2に、振動体5の共振周波数近傍の交流
電界を印加すれば、同図中の矢印で示されるように、振
動体5は縦振動モードで上下方向に振動する。
When an alternating current electric field near the resonant frequency of the vibrating body 5 is applied to the piezoelectric bodies 1 and 2, the vibrating body 5 vibrates in the vertical vibration mode in the vertical vibration mode, as shown by the arrow in the figure.

振動体5の振動面から見た機械インピーダンスは、ホー
ン6によりインピーダンス変換されて、伝送棒7の撓み
振動に対する機械インピーダンスに整合される。ホーン
6の先端は伝送棒7の一端に近い一部に音響的に結合さ
れる。従って、振動体5の上下振動は、ホーン6により
効率良く伝送棒7に伝えられ、伝送棒7は撓み振動する
。この撓み振動は、伝送棒7の一端から他端に向かって
進行する。
The mechanical impedance seen from the vibration surface of the vibrating body 5 is impedance-converted by the horn 6, and matched to the mechanical impedance for the bending vibration of the transmission rod 7. The tip of the horn 6 is acoustically coupled to a portion of the transmission rod 7 near one end. Therefore, the vertical vibration of the vibrating body 5 is efficiently transmitted to the transmission rod 7 by the horn 6, and the transmission rod 7 bends and vibrates. This bending vibration progresses from one end of the transmission rod 7 to the other end.

伝送棒7の他端に近い一部では、一端と同様にホーン8
の先端が音響的に結合されている。円板膨圧電体9およ
び10を、円筒形の弾性体11および12で挟んで固定
することにより、振動体5と全く同じ撮動体13を構成
している。ホーン8には、この振動体13が接続されて
いる。従って、伝送棒の一端から他端に向かって進行し
てきた撓み振動は、ホーン8により撮動体13に伝えら
れ、振動体13の上下振動に変換される。圧電体9およ
び10には、インピーダンス整合した負荷Rが接続され
、上記の上下振動は負荷Rによって消費される。故に、
伝送棒7には撓み振動が進行波としてのみ存在する。
In a part near the other end of the transmission rod 7, the horn 8 is connected as in the one end.
The tips of the two are acoustically coupled. By sandwiching and fixing the disk expansion piezoelectric bodies 9 and 10 between cylindrical elastic bodies 11 and 12, a moving body 13, which is exactly the same as the vibrating body 5, is constructed. This vibrating body 13 is connected to the horn 8. Therefore, the bending vibration that has progressed from one end of the transmission rod toward the other end is transmitted to the moving body 13 by the horn 8 and converted into vertical vibration of the vibrating body 13. A load R with impedance matching is connected to the piezoelectric bodies 9 and 10, and the above-mentioned vertical vibration is consumed by the load R. Therefore,
In the transmission rod 7, bending vibration exists only as a traveling wave.

14は移動体であり、伝送棒7を進行する撓み振動によ
り駆動され、進行波の進行方向とは逆の方向に運動する
。上の説明では、移動体14の進行方向は一方向として
いるが、駆動端を逆にすれば、逆の方向にも進行する。
A moving body 14 is driven by the bending vibration traveling through the transmission rod 7, and moves in a direction opposite to the traveling direction of the traveling wave. In the above description, the moving direction of the moving body 14 is assumed to be one direction, but if the driving end is reversed, the moving body 14 also moves in the opposite direction.

第7図は、搗みの弾性進行波が、移動体を駆動する原理
を示している。伝送棒7の撓み撮動により、伝送棒7の
表面の点(例えば点A)は、縦方向W−横方向Uの楕円
軌跡を描く。この楕円軌跡の頂点での速度は、波の進行
方向とは反対である。伝送棒7の上に移動体14を加圧
設置すれば、移動体14は波の頂点近傍でのみ伝送棒7
に接触する。従って、伝送棒7と移動体14との摩擦力
と、楕円軌跡の横方向の速度によって、波の進行方向と
逆の方向に移動体14が駆動される。
FIG. 7 shows the principle of how the traveling elastic wave of pounding drives the moving body. By photographing the deflection of the transmission rod 7, a point (for example, point A) on the surface of the transmission rod 7 draws an elliptical locus in the vertical direction W and the horizontal direction U. The velocity at the apex of this elliptical trajectory is opposite to the direction of travel of the wave. If the movable body 14 is placed on top of the transmission rod 7 under pressure, the movable body 14 will only touch the transmission rod 7 near the top of the wave.
come into contact with. Therefore, the movable body 14 is driven in the direction opposite to the direction in which the waves travel due to the frictional force between the transmission rod 7 and the movable body 14 and the speed in the lateral direction of the elliptical trajectory.

また、同図中の15は、上記楕円軌跡の横方向成分を、
効率良く取り出すための耐磨耗性の摩擦材である。
In addition, 15 in the same figure indicates the horizontal component of the elliptical locus,
A wear-resistant friction material for efficient removal.

発明が解決しようとする課題 以上、説明した従来の超音波リニアモータは、ランジュ
バン構造の撮動体を縦振動モードで励振し、上記撮動体
の振動面の振動をホーンによって伝送棒に撓み振動を励
振しているため、振動面とホーン、ホーンと伝送棒との
間の機械インピーダンスの整合を正確にとらねばならな
い。現実には、このことは非常に困難であり、幾分かの
損失を生じる。
Problems to be Solved by the Invention As described above, the conventional ultrasonic linear motor described above excites a Langevin-structured moving body in a longitudinal vibration mode, and transmits the vibration of the vibrating surface of the moving body to a transmission rod using a horn to excite bending vibration. Therefore, it is necessary to accurately match the mechanical impedance between the vibration surface and the horn, and between the horn and the transmission rod. In reality, this is very difficult and results in some losses.

また、伝送棒に進行波のみを励振するために、一方から
入力した振動エネルギーは、他方で完全に清失しなれけ
ばならない。
Furthermore, in order to excite only traveling waves in the transmission rod, the vibration energy input from one side must be completely eliminated from the other side.

加えて、比較的小さな移動体を移動するためにも、振動
体と伝送棒を撮動させなければならない。従って、効率
が低い、寸法が太き(なるという課題があった。
In addition, in order to move a relatively small moving body, the vibrating body and transmission rod must be moved. Therefore, there were problems of low efficiency and large dimensions.

課題を解決するための手段 正方形断面を持つ弾性体角柱の隣り合う2つの長方形面
に、圧電体を固着することにより撮動体を構成し、上記
角柱の両端、もしくは両端がら′上記角柱の長さの0.
22に相当する近傍を、円形断面になるように加工し、
上記円形断面部を支持固定し、上記2′つの圧電体に交
流電界を印加して上記振動体に撓み振動を励損し、上記
振動体の圧電体のない2つの長方形面のいずれかの面を
、レールに加圧設置することにより、上記撮動体を移動
させる。
Means for Solving the Problem A photographing body is constructed by fixing a piezoelectric material to two adjacent rectangular surfaces of an elastic prism having a square cross section, and the length of the prism is fixed at both ends of the prism, or between both ends. 0.
Process the vicinity corresponding to 22 so that it has a circular cross section,
The circular cross section is supported and fixed, and an alternating current electric field is applied to the two piezoelectric bodies to excite bending vibration in the vibrating body. , the above-mentioned photographing body is moved by being pressurized and installed on the rail.

作用 上記2つの圧電体に交流電界を印加することにより、振
動体に空間的に90度位相の異なる2つの撓み振動が励
振され、上記振動体の圧電体のない2つの長方形面のい
ずれかの面を、レールに加圧設置して上記撮動体の方を
移動させることにより、振動体の振動エネルギーと機械
出力の比を小さくして、寸法を小さく、重さを軽く、効
率を高めることができる。
Effect By applying an alternating current electric field to the two piezoelectric bodies, two bending vibrations with a spatially different phase of 90 degrees are excited in the vibrating body, and the vibration of one of the two rectangular surfaces of the vibrating body without the piezoelectric body is excited. By installing the surface under pressure on the rail and moving the above-mentioned moving body, the ratio of the vibration energy of the vibrating body to the mechanical output can be reduced, making it possible to reduce dimensions, reduce weight, and increase efficiency. can.

上記弾性体角柱の両端、もしくは両端から上記角柱の長
さの0.22に相当する近傍を、円形断面になるように
加工し、上記円形断面部を支持固定することにより、上
記2つの撓み撮動に対する影響が同程度になるように、
撮動体を支持固定することができ、従って、効率良く上
記2つの撓み振動が励振でき。
By processing both ends of the elastic prism, or the vicinity corresponding to 0.22 of the length of the prism from both ends, into a circular cross section, and supporting and fixing the circular cross section, the two deflection images can be obtained. so that the effect on the movement is the same.
The photographing body can be supported and fixed, and therefore the above two flexural vibrations can be efficiently excited.

実施例 以下、図面に従って本発明の一実施例について詳細な説
明を行う。
EXAMPLE Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

第1図は、本発明の1実施例の超音波リニアモータに使
用する振動体の斜視図である。正方形断面を持つ弾性体
角柱16は、両端から長さの0゜22に相当する近傍を
、円形断面になるようにスリット19に加工している。
FIG. 1 is a perspective view of a vibrating body used in an ultrasonic linear motor according to an embodiment of the present invention. The elastic prism 16 having a square cross section has a slit 19 formed in the vicinity corresponding to a length of 0°22 from both ends so as to have a circular cross section.

そして、弾性体16の隣り合う2つの長方形面に、圧電
体17と18を、それぞれ接着することにより、振動体
20を構成している。圧電体17に、共振周波数近傍の
交流電界を印加すると、振動体20は矢印Bの方向に撓
み撮動をする。また、圧電体18に、交流電界を印加す
ると、振動体20は矢印Cの方向に撓み振動をする。
The vibrating body 20 is constructed by bonding the piezoelectric bodies 17 and 18 to two adjacent rectangular surfaces of the elastic body 16, respectively. When an alternating current electric field near the resonance frequency is applied to the piezoelectric body 17, the vibrating body 20 bends in the direction of arrow B and performs imaging. Furthermore, when an alternating electric field is applied to the piezoelectric body 18, the vibrating body 20 bends and vibrates in the direction of arrow C.

第2図は、第1図の振動体の1つの圧電体のみを駆動し
た時の長さ方向の変位分布図である。2つの撓み撮動は
空間的に90度位相がずれているので、2つの圧電体1
7と18に、90度位相のずれた交流電界を印加すれば
、振動体20の長方形面は、長方形面に直角な面内で回
転運動をする。回転運動は、第2図に示した変位分布よ
り振動体20の中央で最大となる。
FIG. 2 is a longitudinal displacement distribution diagram when only one piezoelectric body of the vibrating body of FIG. 1 is driven. Since the two deflection images are spatially out of phase by 90 degrees, the two piezoelectric bodies 1
When alternating current electric fields with a phase shift of 90 degrees are applied to 7 and 18, the rectangular surface of the vibrating body 20 rotates within a plane perpendicular to the rectangular surface. According to the displacement distribution shown in FIG. 2, the rotational motion is maximum at the center of the vibrating body 20.

スリット20の位置は、第2図に示す変位分布の節の位
置に対応している。第3図に示すように、振動体20を
、半円形の穴を持った支持体A21と22、およびスリ
ット20の位置に対応した2つの半円形の穴を持った支
持体823とで、スリット20を介して支持固定するこ
とにより。
The position of the slit 20 corresponds to the position of the node of the displacement distribution shown in FIG. As shown in FIG. 3, the vibrating body 20 is connected to supports A21 and A22 having semicircular holes, and a support 823 having two semicircular holes corresponding to the positions of the slits 20. By supporting and fixing via 20.

損失の小さな、しかも2つの撓み振動に対する影響が同
一の位置固定が可能である。これにより、2つの振動の
インピーダンス特性が一致し、上記回転運動の制御が簡
単になる。
It is possible to fix the position with small loss and with the same effect on two bending vibrations. As a result, the impedance characteristics of the two vibrations match, and the control of the rotational movement described above becomes easy.

振動体20の圧電体の接着していない長方形面の中央部
にレール24が当たるように構成すれば、2つの圧電体
に、それぞれ交流電圧を印加することにより、振動体そ
のものが、レール24に沿って最大速度で移動する。本
実施例では、振動体を1つ使用しているが、複数個並列
に並べても、同様の運動を実現できる。
If the rail 24 is configured so as to touch the center of the rectangular surface of the vibrating body 20 to which the piezoelectric body is not bonded, the vibrating body itself will touch the rail 24 by applying an AC voltage to each of the two piezoelectric bodies. move along at maximum speed. In this embodiment, one vibrating body is used, but a similar motion can be achieved even if a plurality of vibrating bodies are arranged in parallel.

第4図は、本発明の別の実施例の超音波リニアモータに
使用する振動体の斜視図である。25は正方形断面を有
する弾性体角柱であり、隣り合う2つの長方形面に圧電
体26と27を接着して、振動体28を構成している。
FIG. 4 is a perspective view of a vibrating body used in an ultrasonic linear motor according to another embodiment of the present invention. 25 is an elastic prism having a square cross section, and piezoelectric bodies 26 and 27 are adhered to two adjacent rectangular surfaces to form a vibrating body 28.

弾性体25の両端は断面が円形になるように加工されて
いる。圧電体26に、共振周波数近傍の交流電界を印加
すると、振動体28は矢印りの方向に撓み振動をする。
Both ends of the elastic body 25 are processed to have a circular cross section. When an alternating current electric field near the resonance frequency is applied to the piezoelectric body 26, the vibrating body 28 bends and vibrates in the direction of the arrow.

また、圧電体27に、交流電界を印加すると、撮動体2
8は矢印Eの方向に撓み振動をする。
Furthermore, when an alternating current electric field is applied to the piezoelectric body 27, the moving body 2
8 bends and vibrates in the direction of arrow E.

第5図は、第4図の振動体の一方の圧電体を駆動したと
きの長さ方向の変位分布である。第1図に示した撮動体
20の撓み振動と同様に、2つの撓み振動は空間的に9
0度位相がずれているので、2つの圧電体26と27に
、90度位相のずれた交流電界を印加すれば、振動体2
8の長方形面は、長方形面に直角な面内で回転運動をす
る。
FIG. 5 shows the displacement distribution in the length direction when one piezoelectric body of the vibrating body shown in FIG. 4 is driven. Similar to the bending vibration of the imaging body 20 shown in FIG. 1, the two bending vibrations are spatially 9
Since the phase is shifted by 0 degrees, if an AC electric field with a phase shift of 90 degrees is applied to the two piezoelectric bodies 26 and 27, the vibrating body 2
The rectangular surface of 8 rotates in a plane perpendicular to the rectangular surface.

回転運動は、第5図の変位分布より振動体28の中央で
最大となる。
According to the displacement distribution shown in FIG. 5, the rotational motion is maximum at the center of the vibrating body 28.

第3図に示したように、撮動体28を半円形の穴を持っ
た2つの支持体で、両端の円形断面を挟むように支持固
定することにより、損失の小さな、しかも2つの撓み振
動に対する影響が同一の位置固定が可能である。これに
より、2つの振動のインピーダンス特性が一致し、上記
回転運動の制御が簡単になる。
As shown in FIG. 3, by supporting and fixing the image pickup body 28 between two supports having semicircular holes so as to sandwich the circular cross section at both ends, the loss is small and the vibration is resistant to two bending vibrations. Position fixation with the same influence is possible. As a result, the impedance characteristics of the two vibrations match, and the control of the rotational movement described above becomes easy.

また、第3図に示した時と同様に、振動体28の圧電体
の接着していない長方形面の中央部にレールが当たるよ
うに構成すれば、2つの圧電体に、それぞれ交流電圧を
印加することにより、振動体そのものが、レールに沿っ
て最大速度で移動する。
In addition, as in the case shown in FIG. 3, if the rail is configured so that it hits the center of the rectangular surface of the vibrating body 28 to which the piezoelectric body is not bonded, an alternating current voltage can be applied to each of the two piezoelectric bodies. By doing so, the vibrating body itself moves along the rail at maximum speed.

発明の効果 本発明によれば、振動体の方を移動させることにより、
小さな振動エネルギーによって超音波リニアモータを実
現できる。つまり、簡単な構造によって、寸法の小さな
、重さの軽い、しかも効率の高い超音波リニアモータを
提供できる。
Effects of the Invention According to the present invention, by moving the vibrating body,
An ultrasonic linear motor can be realized using small vibration energy. In other words, it is possible to provide an ultrasonic linear motor with a simple structure, small size, light weight, and high efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例の超音波リニアモータに使用
する振動体の斜視図、第2図は第1図の撮動体の撓み振
動の長さ方向の変位分布図、第3図は第1図の振動体の
支持固定と超音波リニアモータの構成を示す斜視図、第
4図は他の実施例の超音波リニアモータに使用する振動
体の斜視図、第5図は第4図の振動体の撓み撮動の長さ
方向の変位分布図、第6図は従来の超音波リニアモータ
の概観図、第7図は超音波リニアモータの駆動原理を示
す説明図である。 16・・・・・・弾性体、17.18・・・・・・圧電
体、19・・・・・・スリット、20・・・・・・振動
体、21.22・・・・・・支持体A、23・・・・・
・支持体B24・・・・・・レール、25・・・・・・
弾性体、26.27・・・・・・圧電体、28・・・・
・・振動体。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 ほか1名処 図 第 図
FIG. 1 is a perspective view of a vibrating body used in an ultrasonic linear motor according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a longitudinal displacement distribution diagram of the bending vibration of the moving body shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 1 is a perspective view showing the support and fixation of the vibrating body and the configuration of the ultrasonic linear motor, FIG. 4 is a perspective view of the vibrating body used in the ultrasonic linear motor of another embodiment, and FIG. FIG. 6 is an overview diagram of a conventional ultrasonic linear motor, and FIG. 7 is an explanatory diagram showing the driving principle of the ultrasonic linear motor. 16...Elastic body, 17.18...Piezoelectric body, 19...Slit, 20...Vibrating body, 21.22... Support A, 23...
・Support B24...Rail, 25...
Elastic body, 26.27...Piezoelectric body, 28...
...Vibrating body. Name of agent: Patent attorney Shigetaka Awano and one other person

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims]  正方形断面を持つ弾性体角柱の隣り合う2つの長方形
面に圧電体を固着することにより振動体を構成し、上記
角柱の両端、もしくは両端から上記角柱の長さの0.2
2に相当する近傍を、円形断面になるように加工し、上
記円形断面部を介して支持固定し、上記2つの圧電体に
交流電界を印加して上記振動体に2つの撓み振動を励振
し、上記振動体の圧電体のない2つの長方形面のいずれ
かの面をレールに加圧設置することにより、上記振動体
を移動させることを特徴とする超音波リニアモータ。
A vibrating body is constructed by fixing a piezoelectric material to two adjacent rectangular surfaces of an elastic prism having a square cross section, and the vibrating body is formed from both ends of the prism, or from both ends to 0.2 of the length of the prism.
The vicinity corresponding to 2 is processed to have a circular cross section, supported and fixed via the circular cross section, and an alternating current electric field is applied to the two piezoelectric bodies to excite two bending vibrations in the vibrating body. An ultrasonic linear motor, characterized in that the vibrating body is moved by pressurizing one of the two rectangular surfaces of the vibrating body without a piezoelectric body on a rail.
JP63195002A 1988-08-04 1988-08-04 Ultrasonic linear motor Expired - Lifetime JP2543149B2 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01274675A (en) * 1988-04-25 1989-11-02 Tokin Corp Ultrasonic motor

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JPH01274675A (en) * 1988-04-25 1989-11-02 Tokin Corp Ultrasonic motor

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