JPH0245107A - Manufacture of ceramic green sheet and casting apparatus - Google Patents

Manufacture of ceramic green sheet and casting apparatus

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Publication number
JPH0245107A
JPH0245107A JP19450088A JP19450088A JPH0245107A JP H0245107 A JPH0245107 A JP H0245107A JP 19450088 A JP19450088 A JP 19450088A JP 19450088 A JP19450088 A JP 19450088A JP H0245107 A JPH0245107 A JP H0245107A
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JP
Japan
Prior art keywords
air
green sheet
slurry
point
ceramic green
Prior art date
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Pending
Application number
JP19450088A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takumi Yasunaga
安永 拓見
Sakae Sanada
眞田 栄
Tetsuo Miyoshi
三好 徹夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPH0245107A publication Critical patent/JPH0245107A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To make the contraction stress generated by drying escape to the end part, and form a ceramic green sheet in a high yield by making the evaporation rate of solvent in the central part of a strip-form green sheet faster than that of the end, and drying the central part earlier than the end part. CONSTITUTION:A first drying box part is provided with air blowers 71-73 blowing dried air 9, and exhaust blowers 81-83 exhausting the air containing solvent evaporated corresponding respectively to them. The blowing ports 14 of the air blower 71-73 and the suction ports 15 of the exhaust blowers 81, 82, 83 are divided respectively into many parts in the width direction of strip form slurry, and besides constituted such that the air-flow speed can be controlled by each blowing ports. In this fashion, the air-flow speed around the B point is controlled to be greater than that around A point and C point. Consequently, setting the difference of air-flow speed to be +0.1m/s or more, the cracking generating rate of a green sheet becomes low considerably.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、スラリーからグリーンシートを製造するセラ
ミックグリーンシートの製造方法及びそれを行なうキャ
スティング装置に係り、特に多層配線基板等に用いられ
るセラミックグリーンシートの製造方法及びそれを行な
うキャスティング装置に関する。
Detailed Description of the Invention [Field of Industrial Application] The present invention relates to a ceramic green sheet manufacturing method for manufacturing green sheets from slurry and a casting device for the same, and particularly relates to ceramic green sheets used for multilayer wiring boards, etc. The present invention relates to a sheet manufacturing method and a casting device for performing the same.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

第2図(、)にドクターブレード法によりセラミックグ
リーンシートを製造する従来のキャスティング装置の斜
視図を示す、混合スラリー2をバイナーシート3上に流
し込み、ベルト1を矢印の方向に移動させるとそれに伴
ってバイナーシート3は図の左から右に移動する。混合
スラリー2はドクターブレード10とバイナーシート3
の間から一定の厚さとなって流出し、乾燥ボックス4に
入る。乾燥ボックス4は3個の乾燥ボックス部に分かれ
ており、第1乾燥ボックス部41は、その断面を第2図
(b)に示すように空気9を送風する送風ブロワ−7と
、排気のための排気ブロワ−8を有する。ここにおいて
混合スラリー2は所定の温度で乾燥され、ついで第2乾
燥ボックス部42、第3乾燥ボックス部43でさらに乾
燥されてグリーンシート6が作成される。乾燥ボックス
部の温度は第1、第2.第3と順次上げることもできる
。なおこの種の装置に関連するものとして特開昭57−
852872がある。
Figure 2 (,) shows a perspective view of a conventional casting device for manufacturing ceramic green sheets by the doctor blade method. Mixed slurry 2 is poured onto the biner sheet 3, and when the belt 1 is moved in the direction of the arrow, Accordingly, the biner sheet 3 moves from left to right in the figure. Mixed slurry 2 includes doctor blade 10 and binder sheet 3
It flows out from between the holes to a certain thickness and enters the drying box 4. The drying box 4 is divided into three drying box parts, and the first drying box part 41 has a blower 7 for blowing air 9 and a blower for exhaust, as shown in FIG. 2(b) in cross section. It has an exhaust blower 8. Here, the mixed slurry 2 is dried at a predetermined temperature, and then further dried in a second drying box section 42 and a third drying box section 43 to form a green sheet 6. The temperature of the drying box section is 1st, 2nd, . It is also possible to raise it sequentially to the third. In addition, as related to this type of device, Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-
There is 852872.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

上記従来技術は、より正確な寸法精度を有するセラミッ
ク基板を製造するということについて配慮されておらず
、そのようなセラミック基板を得難いという問題があっ
た。すなわち、ドクターブレード法により混合スラリー
からグリーンシートを製造する場合、混合スラリーはバ
インダーと可塑剤を含有する。これらの量が多い程、グ
リーンシート状態での穴明け、穴埋め、パターン印刷時
の変形が生じ、レジストレーションが悪くなり、またシ
ート焼成時の収縮が大きく、正確な寸法精度が得難い。
The above-mentioned conventional technology does not give consideration to manufacturing a ceramic substrate with more accurate dimensional accuracy, and there is a problem in that it is difficult to obtain such a ceramic substrate. That is, when producing a green sheet from a mixed slurry by the doctor blade method, the mixed slurry contains a binder and a plasticizer. The larger the amount of these, the more deformation occurs during drilling, hole filling, and pattern printing in the green sheet state, resulting in poor registration, and the greater the shrinkage during sheet firing, making it difficult to obtain accurate dimensional accuracy.

従って、バインダー等の量は少ないことが望ましい。し
かしバインダー等の量を少なくするにつれてグリーンシ
ートの粘性が低下し。
Therefore, it is desirable that the amount of binder etc. be small. However, as the amount of binder etc. is reduced, the viscosity of the green sheet decreases.

混合スラリーからグリーンシートを作成する際に、ひび
割れを生じ易くなり、グリーンシートの作成が困難にな
るという問題があった。
When creating green sheets from mixed slurry, there was a problem in that cracks were likely to occur, making it difficult to create green sheets.

この状態を第2図(c)に示す。帯状に進行するスラリ
ーの端部A、端部C付近の溶剤の蒸発速度が中央部B付
近のそれより大のため、中央部付近の乾燥がおくれ、乾
燥状態のグリーンシート6と未乾燥状態のスラリー2と
の境界1】が図のような形状に表われる。このようにグ
リーンシート6が端から乾燥するため、乾燥により収縮
しようとする応力が中心線13付近に蓄積され、ひび割
れ12が中央部に発生する。また急激に混合スラリーを
乾燥すると、第2図(d)に示すようなひび割れ12が
端部に発生する。
This state is shown in FIG. 2(c). Since the evaporation rate of the solvent near the ends A and C of the slurry that progresses in a band shape is higher than that near the center B, drying near the center is delayed, and the green sheet 6 in a dry state and the green sheet 6 in an undried state are separated. The boundary 1 with slurry 2 appears in the shape shown in the figure. Since the green sheet 6 dries from the edges in this manner, stress that tends to shrink due to drying is accumulated near the center line 13, and a crack 12 occurs in the center. Furthermore, if the mixed slurry is rapidly dried, cracks 12 as shown in FIG. 2(d) will occur at the ends.

本発明の目的は、より正確な寸法精度を有するセラミッ
ク基板を製造するためのセラミックグリーンシートを製
造する方法及びそれを行なうキャスティング装置を提供
することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a ceramic green sheet for manufacturing a ceramic substrate with higher dimensional accuracy, and a casting apparatus for performing the same.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

上記目的は、(1)ドクターブレード法により、スラリ
ーを流出し、送風によりスラリーを乾燥してセラミック
グリーンシートを作成するセラミックグリーンシートの
製造方法において、上記送風は、スラリーの移動方向に
直交する線における中央部と端部の風速若しくは風量又
はその両者を変化させて行ない、スラリーの上記中央部
を上記端部より先に乾燥せしめることを特徴とするセラ
ミックグリーンシートの製造方法、(2)スラリーを移
動させるための手段と、スラリーを所定の厚さにする手
段と、スラリーを乾燥するための送風手段とを少なくと
も有し、セラミックグリーンシートを製造するキャステ
ィング装置において、上記送風手段は、上記スラリーの
移動方向に直交する線における中央部を端部より先に乾
燥させるために風速若しくは風量又はその両者を制御す
るように構成することを特徴とするキャスティング装置
によって達成される。
The above purpose is as follows: (1) A method for manufacturing a ceramic green sheet in which slurry is flowed out by a doctor blade method and a ceramic green sheet is created by drying the slurry by air blowing, in which the air blowing is carried out along a line perpendicular to the moving direction of the slurry. (2) A method for producing a ceramic green sheet, characterized in that the central part of the slurry is dried before the end parts by varying the wind speed or the air volume, or both, at the central part and the end parts of the slurry. In a casting apparatus for producing ceramic green sheets, the casting apparatus includes at least means for moving the slurry, means for making the slurry a predetermined thickness, and an air blowing means for drying the slurry. This is achieved by a casting device characterized in that it is configured to control the wind speed or air volume, or both, in order to dry the center portion in a line perpendicular to the direction of movement before the end portions.

本発明における送風の制御は、帯状のスラリーの中央部
が端部より先に乾燥するように行なう。
The air blowing in the present invention is controlled so that the central portion of the band-shaped slurry dries earlier than the end portions.

送風は、乾燥空気でもよく、また加熱した乾燥空気でも
よい。
The blowing air may be dry air or heated dry air.

(作用〕 帯状のグリーンシートの中央部における溶剤の蒸発速度
を端部のそれより速くし、中央部を端部より先に乾燥さ
せる。それによって乾燥による収縮応力を端に逃すので
ひび割れは発生しない。
(Function) The evaporation rate of the solvent in the center of the strip-shaped green sheet is made faster than that at the edges, and the center dries before the edges.Thereby, shrinkage stress due to drying is released to the edges, so no cracks occur. .

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。第1
図(a)は本発明の一実施例のキャスティング装置の第
1乾燥ボックス部の縦断面図、第1図(b)はその平面
断面図、第1図(c)はグリーンシートの斜視図である
。第1乾燥ボックス部には乾燥した空気9を送風する送
風ブロワ−71゜72.73と、それぞれに対応して蒸
発した溶剤を含む空気を排気する排気ブロワ−81,8
2,83が備えられている。送風ブロワ−71,72,
73の送風口14と排気ブロワ−81,82,83の吸
引口15は、帯状のスラリーの幅方向にそれぞれ複数に
分割され、各送風口毎に風速を調整し得るように構成さ
れる。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1st
Figure 1(a) is a longitudinal sectional view of the first drying box part of a casting device according to an embodiment of the present invention, Figure 1(b) is a plan sectional view thereof, and Figure 1(c) is a perspective view of a green sheet. be. The first drying box part includes a blower 71, 72, 73 for blowing dry air 9, and corresponding exhaust blowers 81, 8 for exhausting air containing evaporated solvent.
2,83 are provided. Air blower 71, 72,
The air outlet 14 of 73 and the suction ports 15 of exhaust blowers 81, 82, and 83 are each divided into a plurality of parts in the width direction of the belt-shaped slurry, and are configured so that the wind speed can be adjusted for each air outlet.

これにより第1図(b)に示すB点(中央部)付近の風
速をA点及び0点(端部)付近より大になるように調整
する。
As a result, the wind speed near point B (center) shown in FIG. 1(b) is adjusted to be higher than near point A and zero point (edge).

この装置を用い、B点とA点(又は0点)との風速差を
変化させてグリーンシートの割れ発生率を検討した結果
を第4図に示す。A点と0点との風速は同じに設定する
。第4図の横軸はB点の風速からA点(又は0点)の風
速を減じた値でプラスの値はB点の風速が大であること
を示す。図のように上記風速差を十〇、1m/s以上と
すればグリーンシートの割れ発生率は極めて低くなる。
FIG. 4 shows the results of examining the incidence of cracking in green sheets by using this device and varying the wind speed difference between point B and point A (or point 0). The wind speeds at point A and point 0 are set to be the same. The horizontal axis in FIG. 4 is the value obtained by subtracting the wind speed at point A (or point 0) from the wind speed at point B, and a positive value indicates that the wind speed at point B is high. As shown in the figure, if the above-mentioned wind speed difference is set to 10.1 m/s or more, the incidence of cracking in the green sheet becomes extremely low.

また、中央部B点の風速によってもグリーンシートの割
れ発生率は変化する。その関係を第5図に示す。あまり
に急激な乾燥は割れ発生率を高める。なお、第5図は第
1図(b)のB点の風速。
Furthermore, the rate of occurrence of cracking in the green sheet also changes depending on the wind speed at the central point B. The relationship is shown in FIG. Too rapid drying increases the chance of cracking. Furthermore, Figure 5 shows the wind speed at point B in Figure 1(b).

すなわち、スラリーを最初に乾燥させる送風の風速に関
する。この点である程度スラリーを乾燥させれば、スラ
リーの進行に伴ってより強い条件で乾燥させてもよい。
That is, it relates to the wind speed at which the slurry is initially dried. If the slurry is dried to some extent at this point, it may be dried under stronger conditions as the slurry progresses.

例えば送風ブロワ−71と排気ブロワ−81の間の点の
風速を0.5+a/s、送風ブロワ−72と排気ブロワ
−82の間の点の風速を0.9m/S、送風ブロワ−7
3と排気ブロワ−83の間の点の風速を1.5m/sと
しても割れはほとんど発生しない。上記風速はそれぞれ
中央部の風速であり、中央部と端部との風速差はいずれ
も+0.1m/sとした。
For example, the wind speed at a point between blower 71 and exhaust blower 81 is 0.5+a/s, the wind speed at a point between blower 72 and exhaust blower 82 is 0.9 m/s, and blower 7
Even if the wind speed at the point between No. 3 and the exhaust blower 83 is 1.5 m/s, almost no cracking occurs. The above wind speeds are the wind speeds at the center, and the difference in wind speed between the center and the ends was +0.1 m/s.

第3図は、本発明の他の実施例を説明するための第1乾
燥ボックス部の側面断面図である。第1図(a)及び(
b)に示した送風ブロワ−の送風口14と排気ブロワ−
の吸引口15を、それぞれ分割することなく、それに変
えて第3図に示すアーチ形の遮へい板16を送風ブロワ
−71,72,73と排気ブロワ−81,82,83の
間にそれぞれ設ける。このため帯状のスラリーの中央部
付近の風速、風量と端部付近のそれを変化させることが
できる。
FIG. 3 is a side sectional view of the first drying box section for explaining another embodiment of the present invention. Figure 1 (a) and (
Air blower air outlet 14 and exhaust blower shown in b)
Instead of dividing the suction ports 15, arch-shaped shielding plates 16 shown in FIG. 3 are provided between the ventilation blowers 71, 72, 73 and the exhaust blowers 81, 82, 83, respectively. Therefore, it is possible to change the wind speed and volume near the center of the belt-shaped slurry and those near the ends.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明によれば、より正確な寸法精度を有するセラミッ
ク基板を製造するためのセラミックグリーンシートを高
い歩留りで製造することができた。
According to the present invention, a ceramic green sheet for manufacturing a ceramic substrate having more accurate dimensional accuracy could be manufactured at a high yield.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図(a)は本発明の一実施例のキャスティング装置
の第1乾燥ボックス部の縦断面図、第1図(b)はその
平面断面図、第1図(c)はグリーンシートの斜視図、
第2図(、)は従来のキャスティング装置の斜視図、第
2図(b)はその第1乾燥ボックス部の縦断面図、第2
図(Q)及び第2図(d)はグリーンシートの斜視図、
第3図は本発明の他の実施例の第1乾燥ボックス部の側
面断面図、第4図及び第5図は本発明を説明するための
図である。 1・・・ベルト       2・・・スラリー3・・
・バイナーシート  4・・・乾燥ボックス5・・・ロ
ーラー     6・・・グリーンシート7.71.7
2.73・・・送風ブロワ−8,81,82,83・・
・排気ブロワ−9・・・空気 11・・・境界 13・・・中心線 15・・・吸引口 41・・・第1乾燥ボックス部 42・・・第2乾燥ボックス部 43、・・・第3乾燥ボックス部
FIG. 1(a) is a longitudinal sectional view of the first drying box part of a casting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 1(b) is a plan sectional view thereof, and FIG. 1(c) is a perspective view of a green sheet. figure,
Fig. 2(,) is a perspective view of a conventional casting device, Fig. 2(b) is a vertical sectional view of its first drying box section,
Figure (Q) and Figure 2 (d) are perspective views of the green sheet;
FIG. 3 is a side sectional view of the first drying box section of another embodiment of the present invention, and FIGS. 4 and 5 are diagrams for explaining the present invention. 1...Belt 2...Slurry 3...
・Viner sheet 4...Drying box 5...Roller 6...Green sheet 7.71.7
2.73...Air blower-8, 81, 82, 83...
- Exhaust blower 9... Air 11... Boundary 13... Center line 15... Suction port 41... First drying box section 42... Second drying box section 43,... 3 Drying box section

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.ドクターブレード法により、スラリーを流出し、送
風によりスラリーを乾燥してセラミックグリーンシート
を作成するセラミックグリーンシートの製造方法におい
て、上記送風は、スラリーの移動方向に直交する線にお
ける中央部と端部の風速若しくは風量又はその両者を変
化させて行ない、スラリーの上記中央部を上記端部より
先に乾燥せしめることを特徴とするセラミックグリーン
シートの製造方法。
1. In a ceramic green sheet production method in which a ceramic green sheet is created by flowing out slurry using a doctor blade method and drying the slurry by air blowing, the air blowing is performed in a direction perpendicular to the direction of movement of the slurry. A method for producing a ceramic green sheet, characterized in that the central part of the slurry is dried before the end parts by varying the wind speed, the air volume, or both.
2.スラリーを移動させるための手段と、スラリーを所
定の厚さにする手段と、スラリーを乾燥するための送風
手段とを少なくとも有し.セラミックグリーンシートを
製造するキャスティング装置において、上記送風手段は
、上記スラリーの移動方向に直交する線における中央部
を端部より先に乾燥させるために風速若しくは風量又は
その両者を制御するように構成することを特徴とするキ
ャスティング装置。
2. It has at least a means for moving the slurry, a means for making the slurry a predetermined thickness, and an air blowing means for drying the slurry. In the casting device for manufacturing ceramic green sheets, the blowing means is configured to control the wind speed, the air volume, or both in order to dry the central part in a line perpendicular to the moving direction of the slurry before the end parts. A casting device characterized by:
JP19450088A 1988-08-05 1988-08-05 Manufacture of ceramic green sheet and casting apparatus Pending JPH0245107A (en)

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Cited By (5)

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