JPH0244445Y2 - - Google Patents
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- JPH0244445Y2 JPH0244445Y2 JP3726785U JP3726785U JPH0244445Y2 JP H0244445 Y2 JPH0244445 Y2 JP H0244445Y2 JP 3726785 U JP3726785 U JP 3726785U JP 3726785 U JP3726785 U JP 3726785U JP H0244445 Y2 JPH0244445 Y2 JP H0244445Y2
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- sample
- cooling tank
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- cooled
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Description
【考案の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本考案は電子顕微鏡等における試料冷却装置ま
たは試料汚染防止装置に関し、さらに詳述すると
試料または汚染防止用トラツプと冷却槽とを熱的
に接続する可撓性を有する熱伝導部材を熱絶縁線
で被覆した冷却装置に関する。
たは試料汚染防止装置に関し、さらに詳述すると
試料または汚染防止用トラツプと冷却槽とを熱的
に接続する可撓性を有する熱伝導部材を熱絶縁線
で被覆した冷却装置に関する。
［従来の技術］
電子顕微鏡等における試料冷却装置では、試料
冷却用の冷却槽を鏡体外壁に固定する構造のもの
が広く使用されている。そこで、試料と冷却槽と
の間を熱的に接続するために、銅で形成された熱
伝導棒が用いられるわけであるが、このとき両者
を直接熱伝導棒で連結したのでは、試料の移動を
行うことができなくなり、また、冷却槽内での冷
媒の沸騰による振動が試料に伝達される。これら
の不都合を防止するために、銅線で編んだ編線を
試料と熱伝導棒との間に介在させることにより可
撓性をもたせている。一方、この編線が置かれる
部分には色々な部材が接近して配置されており、
その結果、試料の移動時に編線が周囲の常温の部
材に接触して熱損失の原因となるため、この編線
に熱絶縁性で、且つ可撓性を有したテフロン（登
録商標名）チユーブを被せている。
冷却用の冷却槽を鏡体外壁に固定する構造のもの
が広く使用されている。そこで、試料と冷却槽と
の間を熱的に接続するために、銅で形成された熱
伝導棒が用いられるわけであるが、このとき両者
を直接熱伝導棒で連結したのでは、試料の移動を
行うことができなくなり、また、冷却槽内での冷
媒の沸騰による振動が試料に伝達される。これら
の不都合を防止するために、銅線で編んだ編線を
試料と熱伝導棒との間に介在させることにより可
撓性をもたせている。一方、この編線が置かれる
部分には色々な部材が接近して配置されており、
その結果、試料の移動時に編線が周囲の常温の部
材に接触して熱損失の原因となるため、この編線
に熱絶縁性で、且つ可撓性を有したテフロン（登
録商標名）チユーブを被せている。
［考案が解決しようとする問題点］
しかしながら、このようにテフロン（登録商標
名）チユーブを使用した場合には、このチユーブ
が冷却されることにより硬くなり、このチユーブ
を伝つて沸騰による振動が試料に伝達される。ま
た、チユーブ内に水分等が閉込められるため、排
気時間が長くなる等の不都合が生じる。
名）チユーブを使用した場合には、このチユーブ
が冷却されることにより硬くなり、このチユーブ
を伝つて沸騰による振動が試料に伝達される。ま
た、チユーブ内に水分等が閉込められるため、排
気時間が長くなる等の不都合が生じる。
本考案はかかる点に鑑み、冷却されても硬くな
らず、しかも内部に水分等が溜らない構造を持つ
冷却装置を提供することを目的としている。
らず、しかも内部に水分等が溜らない構造を持つ
冷却装置を提供することを目的としている。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本考案は試料また
はトラツプ等の被冷却部と冷却槽とを熱的に接続
するための可撓性を有した熱伝導部材を螺旋また
は編組状に加工された熱絶縁線で被覆することを
特徴とする。
はトラツプ等の被冷却部と冷却槽とを熱的に接続
するための可撓性を有した熱伝導部材を螺旋また
は編組状に加工された熱絶縁線で被覆することを
特徴とする。
［実施例］
添附図面は本考案の一実施例を示す図であり、
１は電子顕微鏡等の鏡体である。２はこの鏡体内
に置かれた対物レンズで、上部にボール等を介し
て環状のステージ３が移動可能に載置されてい
る。４は前記ステージ３の内側に断熱部材５を介
して熱的に遮断された状態で固定された受け台
で、試料を保持した試料筒６が着脱可能に装着さ
れる。７は前記鏡体１の外壁に固定された冷却槽
で、この冷却槽は鏡体１内に連通した外槽８とこ
の外槽の内部に断熱体９を介して熱的に遮断され
た状態で固定された内槽１０とから構成されてい
る。前記内槽１０内には液体窒素等の冷媒１１が
溜められている。１２はこの冷却槽７と受け台４
とを熱的に接続するための銅の如き熱良導体で形
成された熱伝導棒で、一端は内槽１０内を貫通し
て冷媒１１内に浸漬され、また、他端は前記ステ
ージ３の近傍に置かれ、編線１３を介して受け台
４に連結されている。前記編線１３は銅の如き熱
良導体の細線を編むことにより形成されているた
め、可撓性を有しており、それによつて試料を冷
却しながらこの試料を任意に移動させることがで
き、また、冷媒の沸騰に基づく振動が試料に伝達
されるのを防止することができる。１４は編線１
３の両端を受け台４及び熱伝導棒１２に夫々着脱
可能に取付けるためのビスである。
１は電子顕微鏡等の鏡体である。２はこの鏡体内
に置かれた対物レンズで、上部にボール等を介し
て環状のステージ３が移動可能に載置されてい
る。４は前記ステージ３の内側に断熱部材５を介
して熱的に遮断された状態で固定された受け台
で、試料を保持した試料筒６が着脱可能に装着さ
れる。７は前記鏡体１の外壁に固定された冷却槽
で、この冷却槽は鏡体１内に連通した外槽８とこ
の外槽の内部に断熱体９を介して熱的に遮断され
た状態で固定された内槽１０とから構成されてい
る。前記内槽１０内には液体窒素等の冷媒１１が
溜められている。１２はこの冷却槽７と受け台４
とを熱的に接続するための銅の如き熱良導体で形
成された熱伝導棒で、一端は内槽１０内を貫通し
て冷媒１１内に浸漬され、また、他端は前記ステ
ージ３の近傍に置かれ、編線１３を介して受け台
４に連結されている。前記編線１３は銅の如き熱
良導体の細線を編むことにより形成されているた
め、可撓性を有しており、それによつて試料を冷
却しながらこの試料を任意に移動させることがで
き、また、冷媒の沸騰に基づく振動が試料に伝達
されるのを防止することができる。１４は編線１
３の両端を受け台４及び熱伝導棒１２に夫々着脱
可能に取付けるためのビスである。
１５は前記編線１３を周囲の部材に対して熱絶
縁するための被覆部材で、この被覆材料は樹脂あ
るいはガラス繊維等の熱絶縁線をコイル状に巻く
ことにより形成されている。
縁するための被覆部材で、この被覆材料は樹脂あ
るいはガラス繊維等の熱絶縁線をコイル状に巻く
ことにより形成されている。
尚、前述の説明では編線の被覆部材として熱絶
縁線をコイル状に巻いた場合を示したが、これに
限定されることなく、熱絶縁線を編んで組むこと
により形成しても良い。また、本考案を試料の冷
却装置に実施した場合について述べたが、試料汚
染防止装置におけるトラツプを冷却する場合にも
同様に実施することができる。
縁線をコイル状に巻いた場合を示したが、これに
限定されることなく、熱絶縁線を編んで組むこと
により形成しても良い。また、本考案を試料の冷
却装置に実施した場合について述べたが、試料汚
染防止装置におけるトラツプを冷却する場合にも
同様に実施することができる。
［考案の効果］
以上のように本考案においては、編線の被覆部
材として熱絶縁線をコイルまたは網組状に形成し
たものを使用しているため、従来のように温度に
影響されることなく被覆部材に柔軟性をもたせる
ことができる。また、被覆部材には部分的に隙間
ができるため、チユーブに比べて水分等が溜るこ
とが少なくなり、排気時間の短縮等を図ることが
できる。
材として熱絶縁線をコイルまたは網組状に形成し
たものを使用しているため、従来のように温度に
影響されることなく被覆部材に柔軟性をもたせる
ことができる。また、被覆部材には部分的に隙間
ができるため、チユーブに比べて水分等が溜るこ
とが少なくなり、排気時間の短縮等を図ることが
できる。
添附図面は本考案の一実施例を示す図である。
１：鏡体、２：対物レンズ、３：ステージ、
４：受け台、５：断熱部材、６：試料筒、７：冷
却槽、８：外槽、９：断熱体、１０：内槽、１
１：冷媒、１２：熱伝導棒、１３：編線、１４：
ビス、１５：被覆部材。
４：受け台、５：断熱部材、６：試料筒、７：冷
却槽、８：外槽、９：断熱体、１０：内槽、１
１：冷媒、１２：熱伝導棒、１３：編線、１４：
ビス、１５：被覆部材。
Claims (1)
- 試料またはトラツプ等の被冷却部と、冷媒を満
たした冷却槽と、該冷却槽と前記被冷却部とを熱
的に接続するための可撓性を有した熱伝導部材と
を備え、前記熱伝導部材を螺旋または編粗状に加
工された熱絶縁線で被覆してなる電子顕微鏡等に
おける冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3726785U JPH0244445Y2 (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3726785U JPH0244445Y2 (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS621358U JPS621358U (ja) | 1987-01-07 |
| JPH0244445Y2 true JPH0244445Y2 (ja) | 1990-11-26 |
Family
ID=30543194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3726785U Expired JPH0244445Y2 (ja) | 1985-03-15 | 1985-03-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244445Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63189599A (ja) * | 1987-02-02 | 1988-08-05 | 清水建設株式会社 | シ−ルド機のエレクタ装置 |
| WO2008098084A1 (en) * | 2007-02-06 | 2008-08-14 | Fei Company | High pressure charged particle beam system |
-
1985
- 1985-03-15 JP JP3726785U patent/JPH0244445Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS621358U (ja) | 1987-01-07 |
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