JPH0244327U - - Google Patents

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JPH0244327U
JPH0244327U JP12307088U JP12307088U JPH0244327U JP H0244327 U JPH0244327 U JP H0244327U JP 12307088 U JP12307088 U JP 12307088U JP 12307088 U JP12307088 U JP 12307088U JP H0244327 U JPH0244327 U JP H0244327U
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liquid
suction
plate
gas injection
gas
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  • Drying Of Solid Materials (AREA)

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【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例を示すものであつて
、ガラス基板に付着した液体を液切り装置によつ
て取り除いている状態を示す説明図、第2図は従
来の液切り装置を示す説明図である。 1はエアーナイフ(ガス噴射部材)、1aは噴
射穴、2は吸引部材、2aは吸引口、3は搬送ロ
ーラ(搬送手段)、4はガラス基板(板状部材)
、4a・4bは液付着面、5は液体である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 搬送手段によつて搬送される板状部材の液付着
    面に、ガス供給手段から供給されるガスを先端部
    から噴射するガス噴射部材を備え、上記のガス噴
    射部材は、先端部が板状部材の液付着面と近接す
    ると共に、ガスの噴射方向が上記の液付着面方向
    かつ板状部材の搬送方向における上流側に向つて
    傾斜するように設けられている液切り装置におい
    て、 上記ガス噴射部材の上流側には、液体の吸引機
    能を有する吸引手段の接続された吸引部材が設け
    られ、この吸引部材の吸引口は、ガス噴射部材の
    先端部と隣接し、かつ板状部材の液付着面と近接
    するように設けられていることを特徴とする液切
    り装置。
JP12307088U 1988-09-20 1988-09-20 Pending JPH0244327U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100412486C (zh) * 2003-06-27 2008-08-20 东京応化工业株式会社 基板干燥装置和基板干燥方法
JP2010181761A (ja) * 2009-02-09 2010-08-19 Hitachi High-Technologies Corp 基板乾燥装置、基板乾燥方法、及び表示用パネル基板の製造方法

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100412486C (zh) * 2003-06-27 2008-08-20 东京応化工业株式会社 基板干燥装置和基板干燥方法
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