JPH0243477Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は水、溶剤などの液体あるいは各種の
気体中に含まれる微粒子などを処理流体から除去
するための精密フイルタに関するもので、過面
積の増大を図ると共に使用の準備のための空気抜
きとバブルテストを容易、円滑に行えるようにす
ることを目的とする。

ICやLSIなどの半導体素子の製造工程では、各
種の薬液、ガスおよび超純水が用いられ、より純
度が高く微粒子の少ないものが要求されており、
医薬品、遺伝子工学あるいは食品、飲料の分野に
おいても同様で、0.5μ以下と云つた微粒子や細菌
でも容易に捕捉できる精密フイルタが望まれてい
る。

従来のこの種のフイルタは、弗素樹脂、ポリプ
ロピレンまたはナイロンなどの樹脂成形品からな
り、板面および中央ボス部に流体通路を形成した
厚目のデスクの上下面に、同質の合成樹脂からな
る多孔質の薄膜材を貼り付けたデスクをセンター
パイプに所要段数取付けて、容器中に収容した構
成になつている。

しかし、このものでは過エレメントの主要部
品として硬くて厚目なデスクを用いているため
に、容器内径より大きなものを使用することがで
きず、そして、一定容積の容器中に占めるデスク
の容積が大きく、材（薄膜）の収納効率が悪く
過面積が小さい。

そこで、本出願人はこの点を改良し過エレメ
ントを柔軟な構造のものとして過面積を大きく
できるようにフイルタを先に提案した。その概略
を示せば第１図イないしニのとおりで、すべての
部材を合成樹脂とし、縦孔を有するボス部１ａと
縦孔に通じる横通孔１ｃを設けた水平片１ｂとか
らなるスペーサ１の水平片１ｂの上下の面に、環
状の多孔質な薄膜材２ａの両面または片面に網体
などの透過性で柔軟な環状の補強用当て材２ｂを
添設した二つの材２の中心孔の部分をそれぞれ
気密に取付け、かつ周縁部を密封して容器内径よ
り大きな過エレメントｅとなし、この過エレ
メントｅをハ図のようにセンターパイプ３に複数
段取付け、センターパイプ３の上端をカバー５に
固定し、この状態で容器６中に過エレメントｅ
を上向きに折り曲げて収容し、カバー５の周縁部
を容器６に溶着してある。そして、容器の取入口
６ａから導入した処理流体は第１図ニのように各
過エレメントｅの波打つた周囲部と容器内面と
の間に形成された多数の通路７を通つて容器６中
に充満し、その間に各材２を通り抜けて浄化さ
れ各エレメントｅ中に入り、スペーサ１の横通孔
１ｃを通つてセンターパイプ３中に流出するよう
になされている。

ところで、この種のフイルタでは組立終了後に
おいて材２のピンホールの有無および溶着部の
シール性の良し悪しを確認するため、バブルテス
トを行うと共に使用前には空気抜きを行うのが普
通である。

空気抜きはカバー５に設けた抜き口８のキヤツ
プを取外しておき、取入口６ａから処理流体を容
器６中に導入し、中の空気をエレメントｅの周面
に沿わせて上昇させることにより行われ、また、
バブルテストは容器６中に先ずアルコール等のテ
スト液を入れて各過エレメントｅを濡らしてお
き、抜き口８にキヤツプを施した状態で取入口６
ａから所定圧力（例えば材の孔径1μのもので
は0.25Kg／cm²、0.2μのものなら１Kg／cm²）の窒素
ガスまたは空気を送り込み、カバーの取出口５ａ
に気泡が表われるか否かを見て、ピンホール等の
欠陥の有無を判定する。

この点につき、上記のものは第１図ハの実線の
ように流体取出口５ａが上で取入口６ａが下にな
つており、抜き口８が流体取入口６ａに対向して
上方に設けられ、かつ過エレメントｅは外上向
きに開かれていてるので、使用初めの空気抜きに
ついては問題はないが、バブルテスト時には或る
エレメントに液膜でおおわれたピンホールまたは
隙間があつて、そこに圧力ガスが入り込むことに
よつて気泡が生じたとしても、これが直ちにセン
ターパイプ３側に出ることなく、第１図イに示す
ようにエレメント内に溜まり、行き場がなくなつ
て初めてセンターパイプ３中に出ることになり、
ピンホールや隙間のある位置または大きさによつ
て気泡の現われ方が異なり検査し難く、欠陥を見
落す恐れがある。

これを改めるべく第１図ハ点線のように過エ
レメントｅを単に下向きに開くようにしたので
は、テストに当たつての気泡の出方は良くなる
が、反面空気抜きの際、各エレメントｅの下側に
空気が溜り上方に抜け難くなつてしまう。

そこで、この考案は上記の不具合を解消すべく
工夫されたもので、過面積の増大を図ると共に
欠陥の有無の判定や使用の準備をやり易くしたフ
イルタを提供するものであり、すべての部材が合
成樹脂からなり、縦孔を有する中央ボス部とその
縦孔に通じる横通孔を設けた水平片とからなるス
ペーサの上下の面に、多孔質環状の薄膜材の両面
または片面に柔軟で透過性の環状の補強用当て材
を添設した二つの材の中心孔の部分を気密に取
付け、かつそれら材の周縁部を密封して容器の
内径より大きな過エレメントを形成し、該過
エレメントを上記スペーサを介してセンターパイ
プに複数段取付け、センターパイプの一端をカバ
ーの取出口に固定し、上記過エレメントを容器
中に収容したフイルタとして、空気の抜き口を取
出口に対向させて上方に設け、各過エレメント
を抜き口に対向して周縁部が外上向きに開くよう
に折り曲げて収容したことを特徴としている。

第２図はこの考案の一実施例を示すものであ
り、１１は弗素系の樹脂、ポリプロピレン、ナイ
ロンのような耐薬品性と耐熱性を有する合成樹脂
製のスペーサであつて、縦孔を有する中央ボス部
１１ａとその縦孔に通じる複数の横通孔１１ｃを
持つた水平片１１ｂからなる水平片１１ｂの上下
の面には、合成樹脂からなる多孔質環状の薄膜材
１２ａの両面または片面に網体などの透過性で柔
軟な環状の補強用当て材１２ｂを添設した二つの
材１２の中心孔の部分を気密に取付け、かつそ
れらの材１２の周縁部を密封して容器の内径よ
り大きな過エレメントＥを形成し、この過エ
レメントＥを合成樹脂製のセンターパイプ１３に
複数段取付け、そのセンターパイプ１３の一端を
合成樹脂からなるカバー１５の取出口１５ａに固
定し、上記の過エレメントＥを折り曲げてセン
ターパイプ１３と共に合成樹脂製コツプ状の容器
１６中に収容した点の構成は上記のものと変りな
い。

ところで、この考案の第１の実施例では、カバ
ー１５と容器１６の位置を上下逆になし、流体の
取入口１６ａを上方に、取出口１５ａを下方に配
設し、空気抜き口１８を取入口１６ａに隣接させ
て取出口１５ａに対向するように設け、そして、
センターパイプ１３に固着された容器１６の内径
より大きな複数段の過エレメントＥは抜き口１
８に対向して周縁部が外上向きに開くように折り
曲げられて収容されている。

そこで、使用準備の空気抜きに当たり、取出口
１５ａを所定の位置に取付けると同時に抜き口１
８のキヤツプを外し、取入口１６ａから目的とす
る処理流体を流入させれば、その流体の増加につ
れて、容器内部の空気は処理流体と入れ換えに
過エレメントＥの表面に沿いかつエレメントＥの
周縁に形成され前記の通路７を通つて順次に上昇
し、抜き口１８から支障なく外部に出ていく、 かくて、抜き口１８から流体が流出する状態に
なつた時点で、抜き口１８にキヤツプを被着すれ
ば、容器内の液は通常のように各エレメントＥの
材２で過されてエレメント中に入り、スペー
サ１１の横通孔１１ｃを経てセンターパイプ１３
内に出て、取出口１５ａからタンクに戻される。

一方、組立後のバブルテスト時には第３図のよ
うに取入口１６ａと取出口１５ａとを上下逆に
し、センターパイプ１３に固定された各エレメン
トＥのスペーサ１１の部分がそれぞれ周縁部より
上方位置にあるようにし、この状態で容器１６中
にアルコール等のテスト液を入れて各エレメント
Ｅの材１２を濡らし、次いで取入口１６ａから
前記のように材１２の種類によつて定まつた所
要圧の不活性ガスを送り込む。

その際、各材１２が仕様のとおりに作られ、
溶着部のシールが良好であれば、上になつた取出
口１５ａに気泡は現われない。これに対し、いず
れかのエレメントＥの材１２および溶着部にピ
ンホールや隙間があれば、供給ガスがその欠陥部
分を通り抜け、そこに付着した液膜を連行し気泡
となつて取出口１５ａに現われる、その場合、エ
レメントＥのセンターパイプ１３に連通している
中央のスペーサ１１の部分が周囲部より上方にな
つているので、エレメントＥ中に生じた気泡は停
滞することなくセンターパイプ１３を介して直ち
に取出口１５ａに現われることになる。

また、第４図は流体の取入口１６ａと取出口１
５ａを下方に並設した変更例を示すものである
が、使用前の空気抜きのやり方および組立後のバ
ブルテストのやり方は上記のものと変りなく、そ
の機能も変りない。

以上のようにこの考案によれば、過エレメン
トを折り曲げ易い柔軟な構造としたので、容器の
内径に制限されることなく大きなものを使用する
ことができ、デスクタイプのものに比べ段数を少
なくして過面積を大きくすることができ、そし
て空気の抜き口を流体の取出口に対向させて上方
に設け、かつ各過エレメントを抜き口に対向し
て周縁部が外上向きに開くように折り曲げて収容
したので、使用に当たつての空気抜きとバブルテ
ストを容易、円滑に行うことができ、製品の欠陥
の有無を確実に知ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図イは先に提案した過エレメントの断面
図。同図ロはその材の一部の斜視図。同図ハの
左半部はエレメントを上向きに収容した状態の判
断図で右半部は下向きに収容したときの説明図。
同図ニはハ図Ａ−Ａ線に沿つた半断面図。第２図
はこの考案の一実施例の断面図。第３図は上下を
逆にしたバブルテスト時の断面図。第４図は変更
例の断面図。 図中、１，１１……スペーサ、１ａ，１１ａ…
…ボス部、１ｂ，１１ｂ……水平片、１ｃ，１１
ｃ……横通孔、２，１２……材、２ａ，１２ａ
……薄膜材、２ｂ，１２ｂ……補強用当て材、
３，１３……センターパイプ、５，１５……カバ
ー、５ａ，１５ａ……取出口、６，１６……容
器、６ａ，１６ａ……取入口、８，１８……抜き
口。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. すべての部材が合成樹脂からなり、縦孔を有す
   る中央ボス部１１ａとその縦孔に通じる横通孔１
   １ｃを設けた水平片１１ｂとからなるスペーサ１
   １の水平片１１ｂの上下の面に、多孔質環状の薄
   膜材１２ａの両面または片面に柔軟で透過性の環
   状の補強用当て材１２ｂを添設した二つの材１
   ２の中心孔の部分を気密に取付け、かつそれら
   材１２の周縁部を密封して容器１６の内径より大
   きな過エレメントＥを形成し、該過エレメン
   トＥを上記スペーサ１１を介してセンターパイプ
   １３に複数段取付け、センターパイプ１３の一端
   をカバー１５の取出口１５ａに固定し、上記過
   エレメントＥを容器１６中に収容したフイルタに
   おいて、空気の抜き口１８を取出口１５ａに対向
   させて上方に設け、各過エレメントの材１２
   を抜き口１８に対向して周縁部が外上向きに開く
   ように折り曲げて収容したことを特徴とする流体
   処理用の精密フイルタ。