JPH044815Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この考案は水等の液体過用のカートリツジフ
イルターの構造に関するものである。

＜従来の技術＞ 第５図は従来の標準型カートリツジフイルター
の一例を示すもので、下部に原液入口１を有する
容器２の中央に垂直に集液管３を設け、この集液
管３の周囲に多数の中空用板状のデイスク４を適
当間隔で設け、この各デイスク４の上下に過膜
５を張り、原液入口１から容器２間に流入させた
原液を各過膜５を透過させて、各デイスク４に
設けた多数の透孔からデイスク４内を経て集液管
３内に流入させ、その上端の透過液出口６へと送
り出す。

上記のフイルターにおいてはデイスク４間の気
泡は容器２の上部の空気抜き７から排出されるよ
うにしてある。

＜考案が解決しようとする問題点＞ 上記のような従来の標準的カートリツジフイル
ターは各デイスク４が水平であるため、各デイス
ク４の間や、各デイスク内の微小気泡が抜けにく
く、原液側、透過液側の両方で気泡が残り易い。

このような問題を解決するため、第６図のよう
な各デイスク４を傘形にしたものがあるが、この
構造はデイスク４内の気泡は抜けるが、デイスク
４間の気泡が抜けにくくなる。

又、第７図のように、各デイスク４を逆傘形に
すると、デイスク４間の気泡は抜けるがデイスク
４内の気泡が抜けにくくなる。

更に、第８図のようにデイスク４を傾けたもの
では、集液管３より上方のデイスク４間と下方の
デイスク４内の気泡は抜けるが集液管３より上の
デイスク４内と下方のデイスク４間の気泡は抜け
にくくなる。

第４図はカートリツジフイルターＡの使用例
で、１１はレジストびん、１２はポンプ、１３は
サツクバツク効果をもつバルブ、１４はノズル、
１５はウエハである。

この場合ポンプ１２で吸上げたレジストはバル
ブ１３を経てカートリツジフイルターＡで微粒子
をカツトしたのち、ノズル１４から、ウエハ１５
に一定量滴下させて塗布する。一定量塗布される
とバルブ１３が閉じ、ウエハ１５を回転させてウ
エハ１５上に均一なレジスト膜を形成する。

上記のようにバルブ１３を閉じたとき、ノズル
１４の先端からたれる液を防ぐためサツクバツク
効果をもつバルブ１３を使用しているが、このバ
ルブ１３の吸込量はレジスト液を一定量安定して
供給するため、小容量（１c.c.以下）である。

従つて、カートリツジフイルターＡ内に少量の
気泡が残存していると、応答性が悪くなり停止時
のサツクバツク効果がなくなりバルブ１３の閉鎖
時にノズル１４からレジストが滴下したりして一
定量の塗布ができなくなる等の問題があつた。

＜問題点を解決するための手段＞ この考案は、上記のような問題を解決するため
になされたもので、原液側の空気抜きが原液側を
構成する部分で使用時において、最上部にあり、
かつ各デイスクが縦に配置され、透過流出口につ
ながる集液管が各デイスクの上端に形成されてい
ることを特徴とする液体過用カートリツジフイ
ルターを提供するものである。

＜作用＞ この考案は上記の構造であり、原液入口から流
入した原液は各デイスクの外側の過膜を透過し
てデイスク内に流入し、縦に配置された各デイス
クの上端にある集液管を経て透過液出口から出て
いく。

このさいデイスク内の気泡は透過液とともに透
過液出口から出ていき、各デイスク間の気泡は原
液側を構成する容器の最上部に設けた空気抜きか
ら排出される。

＜実施例＞ 第１図、第２図の実施例において、２１は原液
側を構成する容器で、一端に原液入口２２があ
り、他端上部に空気抜き２３が設けてある。

容器２１内の上部には集液管２４を設ける。こ
の集液管２４の原液入口側の端部は閉鎖し、空気
抜き２３側の端部は容器２１の端部を貫通突出さ
せて透過液出口２５とする。

２６は円板状の複数のデイスクで、この各デイ
スク２５は前記集液管２４の下部に縦向きで配置
され、その上端に集液管２４が形成されており、
各デイスク２６の外側には過膜２７をそれぞれ
張設している。

上記の実施例の場合、原液入口２２から容器２
１内に流入した原液は各デイスク２６の過膜２
７を透過して集液管２４内に集液され、過液出
口２５から出ていく。

この際デイスク２６内の気泡は、デイスク２６
が縦に配置され、その上端に集液管２４が形成さ
れているため、全て集液管２４を経て速やかに排
出され、各デイスク２５間の気泡も上部の空気抜
き２３から全て排出される。

第３図の実施例は集液管２４を傾斜させて透過
液出口２５側が上位となるようにしたもので、他
は第１図と同様である。

＜効果＞ この考案は上記のように各デイスクを縦に配置
し、集液管を各デイスクの上端に形成したので、
集液管を各デイスクより上に位置するようにして
使用することにより、デイスク内の気泡は速やか
に排出され、また空気抜きも原液側を構成する部
分の最上部に設けてあるから、各デイスク間の気
泡も速やかに該空気抜きから排出される。

従つてこの考案を第４図に示すカートリツジフ
イルターＡとして用いた場合、カートリツジフイ
ルターＡ内に気泡が残存しなくなるのでウエハ１
５に対するレジストの正確な定量供給が行なえ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す縦断側面図、
第２図は同上の縦断正面図、第３図は他の実施例
を示す縦断側面図、第４図はカートリツジフイル
ターの使用例を示す系統図、第５図は従来のカー
トリツジフイルターの縦断面図、第６図ないし第
８図は、デイスクと集液管の従来例を示す断面図
である。 ２１……容器、２２……原液入口、２３……空
気抜き、２４……集液管、２５……透過液出口、
２６……デイスク、２７……過膜。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 複数のデイスクを積層して原水が該デイスク
   の外側の過膜を透過して透過液出口から過
   液として取出されるようにした液体過用カー
   トリツジフイルターにおいて、原液側の空気抜
   きが原液側を構成する部分で、使用時におい
   て、最上部にあり、かつ各デイスクが縦に配置
   され、透過液出口につながる集液管が各デイス
   クの上端に形成されていることを特徴とする液
   体過用カートリツジフイルター。 ２ 前記集液管は透過液出口側が上になるように
   傾斜させて取付けた実用新案登録請求の範囲第
   １項に記載の液体過用カートリツジフイルタ
   ー。