JPH0238443Y2 - - Google Patents
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- JPH0238443Y2 JPH0238443Y2 JP2877885U JP2877885U JPH0238443Y2 JP H0238443 Y2 JPH0238443 Y2 JP H0238443Y2 JP 2877885 U JP2877885 U JP 2877885U JP 2877885 U JP2877885 U JP 2877885U JP H0238443 Y2 JPH0238443 Y2 JP H0238443Y2
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- bonding
- wire
- wire bonding
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- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本考案は、ボンデイング能率を大幅に向上させ
たワイヤボンダに関する。[Detailed Description of the Invention] (Industrial Field of Application) The present invention relates to a wire bonder with significantly improved bonding efficiency.
(従来技術)
第2図に従来のワイヤボンダを示す。Aは供給
側、Bは受領側、Cはボンデイング部である。供
給側Aでは、半導体ペレツトのボンデイングを終
了したリードフレーム11を複数段収納したマガ
ジン21がエレベータ(図示せず)により間欠的
に矢印a方向に上昇し、その間欠動作ごとにプツ
シヤ3によつてボンデイング部Cへ給送される。
受領側Bでは、ワイヤボンデイングを終了したリ
ードフレーム12が1枚づつ送られて来て、空の
マガジン22内に収納される。この空のマガジン
22もエレベータにより矢印b方向に間欠的に上
昇し、その間欠動作ごとに、上記リードフレーム
12が次々と収納される。(Prior Art) FIG. 2 shows a conventional wire bonder. A is the supply side, B is the receiving side, and C is the bonding section. On the supply side A, a magazine 21 storing multiple stages of lead frames 11 that have been bonded with semiconductor pellets is intermittently raised in the direction of arrow a by an elevator (not shown), and is moved to the pusher 3 at each intermittent operation. It is then fed to the bonding section C.
At the receiving side B, the lead frames 1 2 that have undergone wire bonding are sent one by one and stored in an empty magazine 2 2 . This empty magazine 2 2 is also intermittently raised in the direction of arrow b by the elevator, and the lead frames 1 2 are stored one after another during each intermittent operation.
ボンデイング部Cにおいては、ヒータ4が設け
られ、そこにキヤリア5の爪5a(矢印cに示す
ように、1ピツチ分往復移動する。)によつて、
リードフレーム11が1ピツチづづ、ペレツト単
位で送られ、そこで位置決め及びクランプされて
から、XYテーブルに載つたボンデイングヘツド
6のパターン認識部によるペレツト位置やリード
位置の検出及びキヤピラリによるワイヤボンデイ
ングが行われる。そして、これが完了すると、1
ピツチ送られて、次の隣のペレツトについて同様
のワイヤボンデイングが行われる。 In the bonding section C, a heater 4 is provided, and a claw 5a of a carrier 5 (which moves back and forth by one pitch as shown by arrow c) is used to heat the heater 4.
The lead frame 11 is fed one pitch at a time in pellet units, where it is positioned and clamped, and then the pattern recognition section of the bonding head 6 placed on the XY table detects the pellet position and lead position, and wire bonding is performed using a capillary. be exposed. And when this is completed, 1
A similar wire bonding process is performed on the next adjacent pellet.
このように、この従来のワイヤボンダは、ペレ
ツト単位のワイヤボンデイングを基本としている
ために、そのリードフレームの送りもペレツト単
位となつて、1ピツチづつとなる。 As described above, since this conventional wire bonder is based on wire bonding in pellet units, the lead frame is also fed in pellet units, one pitch at a time.
しかし、この送り機構では、キヤリア4が時々
送りミスを発生させ、自動化レベルをある程度以
上とすることができない。また、その1ピツチの
送りには通常500msの時間が必要であるので、
LEDやホトトランジスタ等の光学素子のように
ボンデイングするワイヤの数が少ない品種を製造
する場合には、その製造に必要な時間の内に占め
る送りの時間が多くなるという問題がある。 However, with this feeding mechanism, the carrier 4 sometimes causes feeding errors, and the automation level cannot be increased beyond a certain level. Also, since it usually takes 500ms to feed one pitch,
When manufacturing products such as optical elements such as LEDs and phototransistors that require a small number of wires to be bonded, there is a problem in that the amount of time required for manufacturing increases the amount of time required for feeding.
(考案の目的)
本考案は斯かる点に鑑みて成されたもので、そ
の目的は、リードフレームの送りにミスが発生せ
ず、しかもその送りに要する時間を短縮化できる
ようにしたワイヤボンダを提供することである。(Purpose of the invention) The present invention was made in view of the above points, and its purpose is to create a wire bonder that does not cause mistakes in feeding the lead frame and can shorten the time required for feeding the lead frame. It is to provide.
(考案の構成)
このために本考案のワイヤボンダは、リードフ
レームを供給側のマガジンから受領側のマガジン
方向に移送させる連続移送機構と、上記リードフ
レームにほぼ対応する長さの距離を移動可能なボ
ンデイングヘツドとを具備し、該連続移送機構に
よりボンデイング位置に移送し位置決め及びクラ
ンプした上記リードフレームの全ペレツトについ
てワイヤボンデイングするように構成し、リード
フレーム単位でのボンデイングが行われるように
している。(Structure of the invention) For this purpose, the wire bonder of the invention has a continuous transfer mechanism that transfers the lead frame from the supply side magazine toward the receiving side magazine, and a wire bonder that can move the lead frame over a distance approximately corresponding to the length of the lead frame. The wire bonding head is provided with a bonding head, and wire bonding is performed on all the pellets of the lead frame that have been transferred, positioned and clamped to the bonding position by the continuous transfer mechanism, so that bonding is performed in lead frame units.
(実施例)
以下、本考案のワイヤボンダの実施例について
説明する。第1図はその一実施例を示すもので、
第2図におけるものと同一のものには同一の符号
を附した。本実施例では、ボンデイング部Cにお
けるリードフレームの送り機構を連続送り機構、
例えば複数組のローラ10で構成している。この
ローラ10はリードフレームの長さ以下のピツチ
で送り方向に沿つてその両側に配置され、リード
フレームの両側(従来爪5aを引つ掛けていた部
分)を挟持して搬送させるようにしている。(Example) Hereinafter, an example of the wire bonder of the present invention will be described. Figure 1 shows an example of this.
Components that are the same as those in FIG. 2 are given the same reference numerals. In this embodiment, the lead frame feeding mechanism in the bonding section C is a continuous feeding mechanism.
For example, it is composed of a plurality of sets of rollers 10. The rollers 10 are arranged on both sides of the lead frame along the feeding direction at a pitch equal to or less than the length of the lead frame, and are configured to grip both sides of the lead frame (the part where the claws 5a were conventionally hooked) and transport the lead frame. .
供給側Aのマガジン21から給送されたリード
フレーム11はヒータ4の上にその全てが載るま
で無停止で送られ、そこで停止し、位置決め機構
(図示せず)による位置決めの後に先端1aをク
ランプ機構(図示せず)によりクランプされた
後、そのリードフレーム11に接着されている全
ての半導体ペレツトについてワイヤボンデイング
が行われる。 The lead frame 1 1 fed from the magazine 2 1 on the supply side A is fed without stopping until it is entirely placed on the heater 4, and then stopped there. After being positioned by a positioning mechanism (not shown), the lead frame 1 1 is moved to the tip 1a. After being clamped by a clamping mechanism (not shown), wire bonding is performed on all semiconductor pellets bonded to the lead frame 11 .
このワイヤボンデイングは、リードフレーム1
1のクランプの後に、まずその先端1a側から供
給側Aに向けて、矢印d方向にボンデイングヘツ
ド6を移動させて、この移動途中において各ペレ
ツト位置やリード位置をパターン認識部により検
出し、その検出が完了すると、反対方向(矢印e
方向)に反転させて、その移動途中において各ペ
レツトについてワイヤボンデイングを行う。 This wire bonding is done on lead frame 1.
After the clamping in step 1 , the bonding head 6 is first moved in the direction of arrow d from its tip 1a side toward the supply side A, and during this movement, the pattern recognition section detects each pellet position and lead position, and When the detection is complete, move in the opposite direction (arrow e
direction), and wire bonding is performed on each pellet during its movement.
なお、このとき先端1aをクランプしたリード
フレーム11は、ヒータ4による熱で膨張するが、
ペレツト等の位置検出がその膨張方向にそつて順
次行われるので、熱膨張による誤差発生を起らな
い。 Note that at this time, the lead frame 11 with the tip 1a clamped expands due to the heat generated by the heater 4;
Since the position of pellets, etc. is detected sequentially along the direction of their expansion, errors due to thermal expansion do not occur.
また、リードフレームのヒータ4上での停止点
の位置決めは、ボンデイングヘツト6のパターン
認識部によつて行い、その際の位置ズレをローラ
10によつて修正することもできる。 Further, the positioning of the stopping point of the lead frame on the heater 4 can be performed by the pattern recognition section of the bonding head 6, and the positional deviation at that time can be corrected by the roller 10.
以上のようにしてワイヤボンデイングが終了し
たリードフレーム12は、そこにおけるクランプ
を解除した後に、ローラ10により、受領側Bの
マガジン22内に無停止で搬送され収納される。 The lead frame 1 2 that has undergone wire bonding as described above is unclamped thereon, and is then conveyed and stored in the magazine 2 2 on the receiving side B by the rollers 10 without stopping.
このように、この実施例ではリードフレームを
ピツチ送りではなく、ローラ10により連続搬送
させているので、その送りにミスが発生する恐れ
はなく、自動化レベルを向上させることができ
る。また、その送りに要する時間を短縮化するこ
とがてき、ワイヤ数の少ない素子の製造では、そ
のボンデイング能率を向上させることができる。
更に、フレームの温度がヒータ温度と平衡するま
での待ち時間を取る必要がないので、更にボンデ
イング能率を向上させることができる。 In this way, in this embodiment, the lead frame is not conveyed in pitches, but is conveyed continuously by the rollers 10, so there is no risk of mistakes occurring in the feed, and the level of automation can be improved. Furthermore, the time required for feeding can be shortened, and bonding efficiency can be improved in manufacturing devices with a small number of wires.
Furthermore, since there is no need to wait for the temperature of the frame to equilibrate with the temperature of the heater, bonding efficiency can be further improved.
(考案の効果)
以上のように本考案のワイヤボンダによれば、
連続移送機構を使用して、リードフレーム単位で
ワイヤボンデイングしているので、リードフレー
ムの送りにミスが発生せず、しかもその送りに要
する時間を短縮化できるようになるという特徴が
ある。(Effects of the invention) As described above, according to the wire bonder of the invention,
Since wire bonding is performed in lead frame units using a continuous transfer mechanism, there are no errors in feeding the lead frame, and the time required for the feeding can be shortened.
第1図は本考案の一実施例のワイヤボンダの構
成図、第2図は従来のワイヤボンダの構成図であ
る。
11……ワイヤボンデイング前のリードフレー
ム、12……ワイヤボンデイング後のリードフレ
ーム、21,22……マガジン、3……プツシヤ、
4……ヒータ、5……キヤリア、5a……爪、6
……ボンデイングヘツド。
FIG. 1 is a block diagram of a wire bonder according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a block diagram of a conventional wire bonder. 1 1 ... Lead frame before wire bonding, 1 2 ... Lead frame after wire bonding, 2 1 , 2 2 ... Magazine, 3 ... Pusher,
4...Heater, 5...Carrier, 5a...Claw, 6
...bonding head.
Claims (1)
供給側のマガジンからワイヤボンデイング位置に
移送させて各ペレツトについてワイヤボンデイン
グし、該ワイヤボンデイング終了後のリードフレ
ームを受領側のマガジンに収納させるようにした
ワイヤボンダにおいて、 上記リードフレームを上記供給側のマガジンか
ら上記受領側のマガジン方向に移送させる連続移
送機構と、上記リードフレームにほぼ対応する長
さの距離を移動可能なボンデイングヘツドとを具
備し、該連続移送機構によりボンデイング位置に
移送し位置決め及びクランプした上記リードフレ
ームの全ペレツトについてワイヤボンデイングす
るように構成したことを特徴とするワイヤボン
ダ。[Scope of Claim for Utility Model Registration] The lead frame with pellets bonded thereto is transferred from the supply side magazine to the wire bonding position, each pellet is wire bonded, and the lead frame after the wire bonding is stored in the receiving side magazine. The wire bonder includes a continuous transfer mechanism that transfers the lead frame from the supply side magazine toward the receiving side magazine, and a bonding head that is movable over a distance approximately corresponding to the length of the lead frame. A wire bonder characterized in that the wire bonder is configured to perform wire bonding on all pellets of the lead frame that have been transferred, positioned and clamped to a bonding position by the continuous transfer mechanism.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2877885U JPH0238443Y2 (en) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2877885U JPH0238443Y2 (en) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61144641U JPS61144641U (en) | 1986-09-06 |
JPH0238443Y2 true JPH0238443Y2 (en) | 1990-10-17 |
Family
ID=30526977
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2877885U Expired JPH0238443Y2 (en) | 1985-02-28 | 1985-02-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0238443Y2 (en) |
-
1985
- 1985-02-28 JP JP2877885U patent/JPH0238443Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61144641U (en) | 1986-09-06 |
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