JPH0238054A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
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- JPH0238054A JPH0238054A JP18802588A JP18802588A JPH0238054A JP H0238054 A JPH0238054 A JP H0238054A JP 18802588 A JP18802588 A JP 18802588A JP 18802588 A JP18802588 A JP 18802588A JP H0238054 A JPH0238054 A JP H0238054A
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野）
本発明は、インクジェット記録ヘット、即ち、インクジ
ェット記録方式に於いて用いられる記録用インクの小滴
を発生するための記録ヘッドの製造方法に関する。
ェット記録方式に於いて用いられる記録用インクの小滴
を発生するための記録ヘッドの製造方法に関する。
〔従来技術の説明］
一般にインクジェット記録ヘッドは、微細なインク吐出
口（オリフィス）、該吐出口に通ずるインク通路、及び
該インク通路の一部に設けられるインク吐出圧発生素子
を備えている。
口（オリフィス）、該吐出口に通ずるインク通路、及び
該インク通路の一部に設けられるインク吐出圧発生素子
を備えている。
従来、このようなインクジェット記録ヘッドは次のよう
にして作製する。即ち、 （１）？３！数の吐出圧発生素子が配置された基板上に
、感光性樹脂の硬化膜からなるインク通路壁を形成する
。
にして作製する。即ち、 （１）？３！数の吐出圧発生素子が配置された基板上に
、感光性樹脂の硬化膜からなるインク通路壁を形成する
。
（２）複数のインク供給穴が設けられたインク通路壁の
覆いのインク供給穴のそれぞれにフィルターを接着する
。
覆いのインク供給穴のそれぞれにフィルターを接着する
。
（３）（２）で得られたインク通路壁の覆いを、（１）
で形成された基板上に積層し、切断分割して個々のヘッ
ドとする。
で形成された基板上に積層し、切断分割して個々のヘッ
ドとする。
しかしながら、該方法の（２）の工程では、予めフィル
ターを型で所望の形状に打ち抜き、洗浄し、インク通路
壁の覆いのインク供給穴の１つ１つにそれぞれ該フィル
ターを接着するため、１つの基板から取るヘッドの個数
が増えると、それに伴って作業工程が著しく増加し、量
産性に欠けるうえ、製造コストも高くなるという問題が
ある。
ターを型で所望の形状に打ち抜き、洗浄し、インク通路
壁の覆いのインク供給穴の１つ１つにそれぞれ該フィル
ターを接着するため、１つの基板から取るヘッドの個数
が増えると、それに伴って作業工程が著しく増加し、量
産性に欠けるうえ、製造コストも高くなるという問題が
ある。
本発明の目的は、従来のインクジェット記録ヘッドの製
造方法における前述の問題を解決し、簡単な工程で、高
精度かつ高信頼性を有するインクジェット記録ヘッドを
安価に、かつ大量に製造しつる方法を提供することにあ
る。
造方法における前述の問題を解決し、簡単な工程で、高
精度かつ高信頼性を有するインクジェット記録ヘッドを
安価に、かつ大量に製造しつる方法を提供することにあ
る。
本発明者は、従来のインクジェット記録ヘッドの製造方
法における問題を解決して上記目的を達成すべく鋭意研
究を重ねたところ、複数のインク供給穴が形成されたイ
ンク通路壁の覆い上に、それぞれのインク供給穴に対応
した大板のフィルターシートを接着し、しかる後、該イ
ンク通路壁の覆いを、インク通路壁の形成された基板上
に積層し、切断分割して個々のヘッドとすることにより
、高精度かつ高信頼性を有するインク記録ヘッドを安価
に量産化しつるという知見を得た。
法における問題を解決して上記目的を達成すべく鋭意研
究を重ねたところ、複数のインク供給穴が形成されたイ
ンク通路壁の覆い上に、それぞれのインク供給穴に対応
した大板のフィルターシートを接着し、しかる後、該イ
ンク通路壁の覆いを、インク通路壁の形成された基板上
に積層し、切断分割して個々のヘッドとすることにより
、高精度かつ高信頼性を有するインク記録ヘッドを安価
に量産化しつるという知見を得た。
本発明は該知見に基づいて完成せしめたものであり、そ
の骨子とするところはインク吐出口、該吐出口に通ずる
インク通路及び該インク通路の一部に設けられるインク
吐出圧発生素子を備えた基板と、前記インク通路の覆い
として覆いの一部にインクを供給するための穴を有し詰
入の上部にフィルターを有する覆いを用いたインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法に於いて、前記基板上に配置
された多数個のヘッドと、該基板の覆いに各ヘッドごと
に配置されたインク供給穴に対応してフィルターシート
を接合し、しかる後、該フィルターごと切断分割するこ
とを特徴としたインクジェット記録ヘッドの製造方法に
ある。
の骨子とするところはインク吐出口、該吐出口に通ずる
インク通路及び該インク通路の一部に設けられるインク
吐出圧発生素子を備えた基板と、前記インク通路の覆い
として覆いの一部にインクを供給するための穴を有し詰
入の上部にフィルターを有する覆いを用いたインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法に於いて、前記基板上に配置
された多数個のヘッドと、該基板の覆いに各ヘッドごと
に配置されたインク供給穴に対応してフィルターシート
を接合し、しかる後、該フィルターごと切断分割するこ
とを特徴としたインクジェット記録ヘッドの製造方法に
ある。
以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
第１図〜第５図は本発明の工程を示す模式図では感光性
樹脂、４はフォトマスク、５はインク通路壁、６はイン
ク通路、７はインク室、８はインク通路壁の覆い、９は
インク供給穴、１０は接着剤、１１はフィルターシート
、１２は切断ブレードをそれぞれ示している。
樹脂、４はフォトマスク、５はインク通路壁、６はイン
ク通路、７はインク室、８はインク通路壁の覆い、９は
インク供給穴、１０は接着剤、１１はフィルターシート
、１２は切断ブレードをそれぞれ示している。
第１図は、吐出圧発生素子２が形成された基板１を示し
ている。該基板１としてはシリコン、アルミナ、ガラス
などのセラミック又は金属が例示される。該基板１の表
面には予め、例えば５ｔ（１，膜等の絶縁断熱層が付さ
れ（例えば厚さ２μｍ）、その上に発熱素子やピエゾ素
子等のインク吐出圧発生素子２が所望の個数配置され、
更に必要に応じて耐インク性、電気絶縁性を付与する目
的で、ＳｔＯ□、Ｔａ２０．％ガラス等の薄膜が被覆さ
れる。インク吐出圧発生素子には図示されていないが信
号人力用電極が接続しである。続く第２図の工程では第
１図の工程を経て得られた基板１の薄膜層の表面を清浄
化すると共に乾燥させた後薄膜層に重ねて８０℃〜１２
０℃に加温された感光性樹脂３（膜厚２０〜１００μｍ
）を０．５〜４ｍ／分の速度、０ 、 ５〜３ ｋ ｇ
／ ｃ ｍ ’の加圧条件下でラミネートする。この
とき感光性樹脂３は薄膜層に融着する。続いて第２図に
示すように基板上に設けた感光性樹脂３上に所定のパタ
ーンを有するフォトマスク４を重ね合わせた後、このフ
ォトマスク４の上部から露光を行°う。このときインク
吐出圧発生素子２の設置位置と上記パターンの位置合わ
せを周知の手法で行っておく必要がある。
ている。該基板１としてはシリコン、アルミナ、ガラス
などのセラミック又は金属が例示される。該基板１の表
面には予め、例えば５ｔ（１，膜等の絶縁断熱層が付さ
れ（例えば厚さ２μｍ）、その上に発熱素子やピエゾ素
子等のインク吐出圧発生素子２が所望の個数配置され、
更に必要に応じて耐インク性、電気絶縁性を付与する目
的で、ＳｔＯ□、Ｔａ２０．％ガラス等の薄膜が被覆さ
れる。インク吐出圧発生素子には図示されていないが信
号人力用電極が接続しである。続く第２図の工程では第
１図の工程を経て得られた基板１の薄膜層の表面を清浄
化すると共に乾燥させた後薄膜層に重ねて８０℃〜１２
０℃に加温された感光性樹脂３（膜厚２０〜１００μｍ
）を０．５〜４ｍ／分の速度、０ 、 ５〜３ ｋ ｇ
／ ｃ ｍ ’の加圧条件下でラミネートする。この
とき感光性樹脂３は薄膜層に融着する。続いて第２図に
示すように基板上に設けた感光性樹脂３上に所定のパタ
ーンを有するフォトマスク４を重ね合わせた後、このフ
ォトマスク４の上部から露光を行°う。このときインク
吐出圧発生素子２の設置位置と上記パターンの位置合わ
せを周知の手法で行っておく必要がある。
第３図は上記露光済みの感光性樹脂３の未露光部分をト
リクロルエヌン等の所定の有機溶剤から成る現像液にて
溶解除去した工程を示す説明図である。次に基板１上に
残された感光性樹脂の露光された部分５の耐インク性向
上のため紫外線照射（例えば５０〜２００ ｍｗ／ ｃ
ｍ２又はそれ以上の紫外線強度で）又は熱硬化処理（
例えば１００℃〜２００℃、３０分〜６時間）を行い充
分に重合硬化反応を進める。この場合、上記紫外線硬化
と熱硬化による硬化の両方を兼用するのも効果的である
。
リクロルエヌン等の所定の有機溶剤から成る現像液にて
溶解除去した工程を示す説明図である。次に基板１上に
残された感光性樹脂の露光された部分５の耐インク性向
上のため紫外線照射（例えば５０〜２００ ｍｗ／ ｃ
ｍ２又はそれ以上の紫外線強度で）又は熱硬化処理（
例えば１００℃〜２００℃、３０分〜６時間）を行い充
分に重合硬化反応を進める。この場合、上記紫外線硬化
と熱硬化による硬化の両方を兼用するのも効果的である
。
第４図はメツキもしくはエツチングなどで作製したシー
ト状の薄い（２０〜５０μｍ）フィルター１１を接着剤
１０などでインク通路の覆い８と接合する工程を示す説
明図である。接着剤１０は例えばスクリーン印刷法を用
いてインク通路覆い８上面の必要な部分のみに薄く（２
〜１０μｍ）塗布する。このための接着剤１０としては
低粘度（１００〜５００ ｃｐ）の紫外線硬化型（例え
ばサンノブコ（株）製ノブコキュアＣＰＡ−４）が好ま
しい。前記覆い８とシート状フィルター１１を位置合わ
せ接合したものを反対側の面より紫外線照射（５０〜２
００ｍｗ／ｃｍ’又はそれ以上の紫外線強度で）を行い
、更に加熱処理（１００℃〜２００℃、３０分〜６時間
）を行い、充分に重合硬化反応を進める。このため、覆
い８の材買として紫外線を透過するガラスなどを用いる
ことが望ましい。
ト状の薄い（２０〜５０μｍ）フィルター１１を接着剤
１０などでインク通路の覆い８と接合する工程を示す説
明図である。接着剤１０は例えばスクリーン印刷法を用
いてインク通路覆い８上面の必要な部分のみに薄く（２
〜１０μｍ）塗布する。このための接着剤１０としては
低粘度（１００〜５００ ｃｐ）の紫外線硬化型（例え
ばサンノブコ（株）製ノブコキュアＣＰＡ−４）が好ま
しい。前記覆い８とシート状フィルター１１を位置合わ
せ接合したものを反対側の面より紫外線照射（５０〜２
００ｍｗ／ｃｍ’又はそれ以上の紫外線強度で）を行い
、更に加熱処理（１００℃〜２００℃、３０分〜６時間
）を行い、充分に重合硬化反応を進める。このため、覆
い８の材買として紫外線を透過するガラスなどを用いる
ことが望ましい。
第５図は、第３図の工程を経て、感光性樹脂３によりイ
ンク通路となる溝６が形成された基板１上に、前記イン
ク通路６の覆いとして第４図の工程で作製した覆い８と
フィルターシート１１との接合物を加圧接合する工程を
示す説明図である。
ンク通路となる溝６が形成された基板１上に、前記イン
ク通路６の覆いとして第４図の工程で作製した覆い８と
フィルターシート１１との接合物を加圧接合する工程を
示す説明図である。
ここで接合に際し、覆い８とフィルターシート１１との
接合物の基板１との接合面に、フィルターシート１１の
接合で用いた接着剤１０と同じ紫外線硬化型接着剤をロ
ールコータ−を用いて薄く均一に塗布（２〜１０μｍ）
しておく。次に接合を充分に行うために覆い８の上面よ
り紫外線照射（５０〜２００ｍｗ／ｃｍ’又はそれ以上
の紫外線強度で）を行い更に加熱処理（１００℃〜２０
０℃、３０分〜６時間）を行う。
接合物の基板１との接合面に、フィルターシート１１の
接合で用いた接着剤１０と同じ紫外線硬化型接着剤をロ
ールコータ−を用いて薄く均一に塗布（２〜１０μｍ）
しておく。次に接合を充分に行うために覆い８の上面よ
り紫外線照射（５０〜２００ｍｗ／ｃｍ’又はそれ以上
の紫外線強度で）を行い更に加熱処理（１００℃〜２０
０℃、３０分〜６時間）を行う。
以上のようにしてインク通路６を形成した基板１とイン
ク通路６の覆い８との接合が完了した後、第５図に示す
ごと＜ｘ−ｘ’線、ｙ−ｙ’線に沿って切断分割する。
ク通路６の覆い８との接合が完了した後、第５図に示す
ごと＜ｘ−ｘ’線、ｙ−ｙ’線に沿って切断分割する。
これは、ヘッドを一基板から多数個とることと、インク
通路６に於いてインク吐出圧発生素子２とインク吐出口
１３との間隔を最適化するために行うものである。この
切断分割に際しては、半導体工業で通常採用されている
ダイシング法を用いるが、切断ブレード１２としては異
種材料の積層物の切断に適したレジボンド又はメタルボ
ンドの極薄切断ブレード（０，２〜０．５ｍｍ厚）を使
用することが好ましい。
通路６に於いてインク吐出圧発生素子２とインク吐出口
１３との間隔を最適化するために行うものである。この
切断分割に際しては、半導体工業で通常採用されている
ダイシング法を用いるが、切断ブレード１２としては異
種材料の積層物の切断に適したレジボンド又はメタルボ
ンドの極薄切断ブレード（０，２〜０．５ｍｍ厚）を使
用することが好ましい。
第６図は以上の工程を経て得られたインクジェット記録
ヘッドの斜視図である。
ヘッドの斜視図である。
図中、２は吐出圧発生素子、１１はフィルターシート、
１３はインク吐出口をそれぞれ示している。
１３はインク吐出口をそれぞれ示している。
（発明の効果）
以上詳しく説明したごとく、本発明の方法においては、
基板上に配置された多数個のヘッドに対応して同時に一
括してフィルターを接合するため、工程数が著しく減少
し、製造コストの低減が大幅に計れるものである。
基板上に配置された多数個のヘッドに対応して同時に一
括してフィルターを接合するため、工程数が著しく減少
し、製造コストの低減が大幅に計れるものである。
第１図〜第５図は本発明における実施例のインクジェッ
ト記録ヘッドの工程を示す模式図。 第６図は本発明における実施例によって完成したインク
ジェット記録ヘッドの斜視図。 図において、１・・・基板、２・・・吐出圧発生素子、
３・・・感光性樹脂、４・・・フォトマスク、５・・・
インク通路壁、６・・・インク通路、７・・・インク室
、８・・・インク通路覆い、９・・・インク供給穴、１
０・・・接着剤、１１・・・フィルターシート、１２・
・・切断ブレード、１３・・・インク吐出口である。 特許出願人 キャノン株式会社 第 図 第 図 売 第 図 第 図 第 図
ト記録ヘッドの工程を示す模式図。 第６図は本発明における実施例によって完成したインク
ジェット記録ヘッドの斜視図。 図において、１・・・基板、２・・・吐出圧発生素子、
３・・・感光性樹脂、４・・・フォトマスク、５・・・
インク通路壁、６・・・インク通路、７・・・インク室
、８・・・インク通路覆い、９・・・インク供給穴、１
０・・・接着剤、１１・・・フィルターシート、１２・
・・切断ブレード、１３・・・インク吐出口である。 特許出願人 キャノン株式会社 第 図 第 図 売 第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- インク吐出口、該吐出口に通ずるインク通路及び該イン
ク通路の一部に設けられるインク吐出圧発生素子を備え
た基板と、前記インク通路の覆いとして覆いの一部にイ
ンクを供給するための穴を有し、該穴の上部にフィルタ
ーを有する覆いを用いたインクジェット記録ヘッドの製
造方法に於いて、前記基板上に配置された多数個のヘッ
ドと、該基板の覆いに各ヘッドごとに配置されたインク
供給穴に対応してフィルターシートを接合し、しかる後
該フィルターごと切断分割することを特徴としたインク
ジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18802588A JPH0238054A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18802588A JPH0238054A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0238054A true JPH0238054A (ja) | 1990-02-07 |
Family
ID=16216345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18802588A Pending JPH0238054A (ja) | 1988-07-29 | 1988-07-29 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0238054A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02164549A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-06-25 | Xerox Corp | フィルター付き流体処理装置およびその製造方法 |
| JP2005324557A (ja) * | 2005-06-27 | 2005-11-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
| US7044591B2 (en) | 2002-09-25 | 2006-05-16 | Brother Kogya Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, filter assembly used for manufacturing the ink-jet head, and method for manufacturing the ink-jet head using the filter assembly |
-
1988
- 1988-07-29 JP JP18802588A patent/JPH0238054A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02164549A (ja) * | 1988-09-22 | 1990-06-25 | Xerox Corp | フィルター付き流体処理装置およびその製造方法 |
| US7044591B2 (en) | 2002-09-25 | 2006-05-16 | Brother Kogya Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, filter assembly used for manufacturing the ink-jet head, and method for manufacturing the ink-jet head using the filter assembly |
| US7753513B2 (en) | 2002-09-25 | 2010-07-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, filter assembly used for manufacturing the ink-jet head, and method for manufacturing the ink-jet head using the filter assembly |
| JP2005324557A (ja) * | 2005-06-27 | 2005-11-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 |
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