JPH023557U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH023557U JPH023557U JP8037588U JP8037588U JPH023557U JP H023557 U JPH023557 U JP H023557U JP 8037588 U JP8037588 U JP 8037588U JP 8037588 U JP8037588 U JP 8037588U JP H023557 U JPH023557 U JP H023557U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- rotary table
- resist
- cylindrical body
- exhaust pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
第１図及び第２図は、本考案のレジスト塗布装
置の一実施例を示す縦断面図である。第３図は従
来のレジスト塗布装置を示す縦断面図である。 １０……レジスト塗布装置、１１……真空チヤ
ツク（回転台）、１２……キヤツプ（筒状体）、
１３……排気筒、１３ｂ……排気筒の側壁。
置の一実施例を示す縦断面図である。第３図は従
来のレジスト塗布装置を示す縦断面図である。 １０……レジスト塗布装置、１１……真空チヤ
ツク（回転台）、１２……キヤツプ（筒状体）、
１３……排気筒、１３ｂ……排気筒の側壁。
Claims (1)
- レジストを塗布する基板を載置する回転台と、
前記回転台に前記基板を載置した後、レジストを
前記基板表面上に滴下し、少なくとも前記回転台
と共に前記基板を回転してレジストを塗布すると
き、前記回転台を包囲する筒状体と、前記筒状体
の底部に付設した、前記筒状体内の気体を排出す
るための排気筒とを具備し、かつ前記排気筒の側
壁が実質的に曲折していない直状体であることを
特徴とするレジスト塗布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8037588U JPH023557U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8037588U JPH023557U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH023557U true JPH023557U (ja) | 1990-01-10 |
Family
ID=31305204
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8037588U Pending JPH023557U (ja) | 1988-06-17 | 1988-06-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH023557U (ja) |
-
1988
- 1988-06-17 JP JP8037588U patent/JPH023557U/ja active Pending