JPH0235346A - 熱定数測定装置の薄膜ストリップへの電気接続方法および電気接続端子 - Google Patents
熱定数測定装置の薄膜ストリップへの電気接続方法および電気接続端子Info
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- JPH0235346A JPH0235346A JP18456588A JP18456588A JPH0235346A JP H0235346 A JPH0235346 A JP H0235346A JP 18456588 A JP18456588 A JP 18456588A JP 18456588 A JP18456588 A JP 18456588A JP H0235346 A JPH0235346 A JP H0235346A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、試料の熱定数を測定する装置に８３いて、
試料表面に配置されて熱源およびゼンリ−として機能す
る薄膜ストリップに電流を供給するための電気接続方法
おにびその電気接続端子に関づる。
試料表面に配置されて熱源およびゼンリ−として機能す
る薄膜ストリップに電流を供給するための電気接続方法
おにびその電気接続端子に関づる。
［従来の技術］
試料の熱伝導率と熱拡散率と比熱とを測定するための熱
定数測定装置には、種々のものが知られている。その中
に、パルス・１〜ランジエン１〜・ホット・ストリップ
法がある（Ｊ、 Ａｐｐｌ、 Ｐｈｙｓ、。
定数測定装置には、種々のものが知られている。その中
に、パルス・１〜ランジエン１〜・ホット・ストリップ
法がある（Ｊ、 Ａｐｐｌ、 Ｐｈｙｓ、。
５５［９］（１９８４−５−１） （米国） ｐ、
３３４８−３３５３）。この方法の概略は次の通りであ
る。試料として固体絶縁材料を使い、この試料の表面に
金属薄膜ストリップを形成する。この薄膜ストリップに
、所定のデ゛コ−−ディザイクルでパルス電流を流し、
薄１模ストリップの電気抵抗の変化を測定する。この測
定結果を所定の数式に代入することにより、試料の熱伝
導率と熱拡散率とを求めることができる。試料の比熱は
、熱伝導率と熱拡散率から簡単な計算で求めることかで
きる。
３３４８−３３５３）。この方法の概略は次の通りであ
る。試料として固体絶縁材料を使い、この試料の表面に
金属薄膜ストリップを形成する。この薄膜ストリップに
、所定のデ゛コ−−ディザイクルでパルス電流を流し、
薄１模ストリップの電気抵抗の変化を測定する。この測
定結果を所定の数式に代入することにより、試料の熱伝
導率と熱拡散率とを求めることができる。試料の比熱は
、熱伝導率と熱拡散率から簡単な計算で求めることかで
きる。
［発明が解決しようとする課題］
このパルス・トランジェント・ホラ１〜・ストリップ法
では、薄膜ストリップと一体に形成された薄膜端子と、
パルス発生器および電圧計とを、電気的に接続する必要
がある。薄膜端子に接続端子を単に接触させるたりでは
、接触部の電気抵抗が大きくなる恐れかあるし、その抵
抗値も不安定になる。また、薄膜端子の厚さは０．１μ
ｍ程度なので、はんだ付けを利用することもてきない。
では、薄膜ストリップと一体に形成された薄膜端子と、
パルス発生器および電圧計とを、電気的に接続する必要
がある。薄膜端子に接続端子を単に接触させるたりでは
、接触部の電気抵抗が大きくなる恐れかあるし、その抵
抗値も不安定になる。また、薄膜端子の厚さは０．１μ
ｍ程度なので、はんだ付けを利用することもてきない。
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであ
り、その目的は、上記薄膜端子に対する電気的接続を確
実にすることかてぎる電気接続方法および電気接続端子
を提供づ−ることである。
り、その目的は、上記薄膜端子に対する電気的接続を確
実にすることかてぎる電気接続方法および電気接続端子
を提供づ−ることである。
［課題を解決するための手段］
−１−記１」的をｊ死成りるため、この発明に係る電気
接続方法は、薄膜ス１へリップと一体に形成した）速成
端子に、電気接続端子の突起を接触させ、この突起の中
央に形成した貫通孔の内部に導電性ペイントを流し込み
、この導電性ペイントの溶媒を蒸発させることによって
前記薄膜端子と電気接続端子との導通を確実にしている
。
接続方法は、薄膜ス１へリップと一体に形成した）速成
端子に、電気接続端子の突起を接触させ、この突起の中
央に形成した貫通孔の内部に導電性ペイントを流し込み
、この導電性ペイントの溶媒を蒸発させることによって
前記薄膜端子と電気接続端子との導通を確実にしている
。
ここで、導電性ペイントとは、金属などの導電性微小粉
末を溶媒の中に混入して流動化させたものである。
末を溶媒の中に混入して流動化させたものである。
さらに、この発明に係る電気接続端子は、薄膜ストリッ
プと一体に形成された薄膜端子に接触リ−るための突起
と、この突起の中央に形成された貫通孔とを有している
。
プと一体に形成された薄膜端子に接触リ−るための突起
と、この突起の中央に形成された貫通孔とを有している
。
［実施例］
次に、図面を参照してこの発明の詳細な説明する。
第１図はこの発明の電気接続方法の一実施例を示す斜視
図である。熱定数を測定するための試料１０の表面には
、蒸着あるいはスパッタリングなどによって、厚さ０．
１μｍの金製の金属薄膜２０か形成されている。この金
属薄膜２０は、正方形の二つの薄膜端子２１．２２と、
その間の薄膜ストリップ２３とからなる。試料１０は、
銅製の試料台３０の上に配置される。
図である。熱定数を測定するための試料１０の表面には
、蒸着あるいはスパッタリングなどによって、厚さ０．
１μｍの金製の金属薄膜２０か形成されている。この金
属薄膜２０は、正方形の二つの薄膜端子２１．２２と、
その間の薄膜ストリップ２３とからなる。試料１０は、
銅製の試料台３０の上に配置される。
銅製の電気接続端子４０は、薄膜端子２１と導線５４．
５５との電気的接続を図るものである。
５５との電気的接続を図るものである。
この図では、一つの電気接続端子４０だＧノを示しであ
るか、実際には、もう一方の薄膜端子２２の方にも電気
接続端子を接触させる。したがって、一対の電気接続端
子を利用することになる。
るか、実際には、もう一方の薄膜端子２２の方にも電気
接続端子を接触させる。したがって、一対の電気接続端
子を利用することになる。
電気接続端子４０の一端には、下側に突き出した突起４
１（第２図参照）か形成されていて、この突起４１の中
央には貫通孔４２が開けられている。電気接続端子４０
の中央部分には湾曲部４３かあり、弾性か付与されてい
る。電気接続端子４０の他端には、ねじ５３を通ずため
の孔４４が開けられている。導線５４．５５は、はんだ
５６によって電気接続端子４０に固定される。なお、導
線を２本接続しであるのは、測定回路の構成上の便宜の
ためであり、接続を１木だ（月こりることもできる。
１（第２図参照）か形成されていて、この突起４１の中
央には貫通孔４２が開けられている。電気接続端子４０
の中央部分には湾曲部４３かあり、弾性か付与されてい
る。電気接続端子４０の他端には、ねじ５３を通ずため
の孔４４が開けられている。導線５４．５５は、はんだ
５６によって電気接続端子４０に固定される。なお、導
線を２本接続しであるのは、測定回路の構成上の便宜の
ためであり、接続を１木だ（月こりることもできる。
この電気接続端子４０は、ねじ５３によって、試料台３
０に固定することができる。ずなわら、接続端子４０を
、シリコーンゴム製の二つの絶縁ワッシャ５１と５２で
挟み、ねじ５３を、三つの孔５１ａと４４と５２８に通
して、試料台３０のねじ孔３１にねじ込めばよい。なお
、下側の絶縁ワッシャ５２の孔５２ａの周囲には、環状
突起５２ｂが形成されていて、これが電気接続端子４０
の孔４４に嵌まるようになっている。したかつて、ねり
５３が電気接続端子４０に触れることはない。
０に固定することができる。ずなわら、接続端子４０を
、シリコーンゴム製の二つの絶縁ワッシャ５１と５２で
挟み、ねじ５３を、三つの孔５１ａと４４と５２８に通
して、試料台３０のねじ孔３１にねじ込めばよい。なお
、下側の絶縁ワッシャ５２の孔５２ａの周囲には、環状
突起５２ｂが形成されていて、これが電気接続端子４０
の孔４４に嵌まるようになっている。したかつて、ねり
５３が電気接続端子４０に触れることはない。
次に、この電気接続端子４０の使用方法を説明する。薄
膜２０を形成した試料１０を、試料台３０の上に置き、
電気接続端子４０をねじ５３により試料台３０に固定す
る。このとぎ、突起４１は薄膜端子２１に押し付けられ
る。この状態で、第２図に示すように、シルバーペイン
ト７０を、突起４１の貫通孔４２の中に流し込む。ここ
で、シルバーペイン１へとは、銀の微小粉末を溶媒の中
に混入して流動化させたものである。この実施例で使用
したものは、溶媒として、酢酸ブチルが使われている。
膜２０を形成した試料１０を、試料台３０の上に置き、
電気接続端子４０をねじ５３により試料台３０に固定す
る。このとぎ、突起４１は薄膜端子２１に押し付けられ
る。この状態で、第２図に示すように、シルバーペイン
ト７０を、突起４１の貫通孔４２の中に流し込む。ここ
で、シルバーペイン１へとは、銀の微小粉末を溶媒の中
に混入して流動化させたものである。この実施例で使用
したものは、溶媒として、酢酸ブチルが使われている。
溶媒が蒸発すると、銀粉末により薄膜端子２０と突起２
１との導通が確実になる。
１との導通が確実になる。
同様にして、もう一方の電気接続端子を、試料台３０の
別のねし孔３２に固定し、この電気接続端子と、もう一
方の薄膜端子２２とを接続する。
別のねし孔３２に固定し、この電気接続端子と、もう一
方の薄膜端子２２とを接続する。
以上のようにして試料のセラ１〜か完了したら、一対の
電気接続端子を介して薄膜ストリップ２３に所定のパル
ス電流を流し、このときの薄膜端子２１．２２間の電圧
変化を測定する。この測定電圧を所定の数式に代入すれ
ば、試料１０の熱定数が求まる。
電気接続端子を介して薄膜ストリップ２３に所定のパル
ス電流を流し、このときの薄膜端子２１．２２間の電圧
変化を測定する。この測定電圧を所定の数式に代入すれ
ば、試料１０の熱定数が求まる。
次に、金属薄膜２０について詳しく説明する。
この金属薄膜２０は、第３図に示すように、マスク６０
を試料１０に被せて、蒸着あるいはスパッタリングなど
の薄膜堆積方法を利用して、形成する。金属薄膜２０の
材質としては、上述の金のほかに、銀、白金、ニッケル
、ステンレス鋼、アルミニウム、タンタルなどが使用で
きる。
を試料１０に被せて、蒸着あるいはスパッタリングなど
の薄膜堆積方法を利用して、形成する。金属薄膜２０の
材質としては、上述の金のほかに、銀、白金、ニッケル
、ステンレス鋼、アルミニウム、タンタルなどが使用で
きる。
マスク６０には、金属薄膜の形状に対応した空間が形成
されている。すなわち、薄膜端子形成孔６１．６２と、
ＷＪＰＩＡストリップ形成溝６３とか形成されている。
されている。すなわち、薄膜端子形成孔６１．６２と、
ＷＪＰＩＡストリップ形成溝６３とか形成されている。
薄膜端子形成孔６１．６２は、辺の長さＡか５ｍｍの正
方形であり、両者の間隔りはＱ、５ｍｍである。このＬ
が薄膜ストリップの長さに相当する。溝６３の幅Ｗは２
５μｍである。したかって、第１図の薄膜ストリップ２
３の１法は、長さがＱ、５ｍｍ、幅が２５μｍ、厚さか
０．１μｍとなる。
方形であり、両者の間隔りはＱ、５ｍｍである。このＬ
が薄膜ストリップの長さに相当する。溝６３の幅Ｗは２
５μｍである。したかって、第１図の薄膜ストリップ２
３の１法は、長さがＱ、５ｍｍ、幅が２５μｍ、厚さか
０．１μｍとなる。
第４図はマスクの別の例を示す。このマスク１６０は、
四つの薄膜端子形成孔１６１．１６２．１６３．１６４
と、三つの薄膜ストリップ形成溝１６５．１６６．１６
７とが形成されている。三つの溝の幅Ｗはそれぞれ異な
り、第１のｆ＋１６５の幅か１５μｍ、第２の溝１６６
か２５μｍ、第３の溝１６７が５０μｍである。寸法Ａ
と１は、第３図のものと同じである。このマスクを利用
すると、３種類の幅の薄膜ストリップを同時に試料表面
に形成できる。試料の熱定数測定を行う場合は、とれか
一つの肋膜スｌ〜リップを使うことになり、その両側の
薄膜端子に電気接続端子を接続することになる。３種類
の薄膜ストリップのそれぞれを利用して試料の熱定数を
測定すれば、薄膜ストリップの幅の影響を考察すること
かできる。
四つの薄膜端子形成孔１６１．１６２．１６３．１６４
と、三つの薄膜ストリップ形成溝１６５．１６６．１６
７とが形成されている。三つの溝の幅Ｗはそれぞれ異な
り、第１のｆ＋１６５の幅か１５μｍ、第２の溝１６６
か２５μｍ、第３の溝１６７が５０μｍである。寸法Ａ
と１は、第３図のものと同じである。このマスクを利用
すると、３種類の幅の薄膜ストリップを同時に試料表面
に形成できる。試料の熱定数測定を行う場合は、とれか
一つの肋膜スｌ〜リップを使うことになり、その両側の
薄膜端子に電気接続端子を接続することになる。３種類
の薄膜ストリップのそれぞれを利用して試料の熱定数を
測定すれば、薄膜ストリップの幅の影響を考察すること
かできる。
なお、第４図において、溝の幅を５μｍ、１０μｍ１１
５μｍとしたものについても、実際にマスクを製作し、
これを用いて金属薄膜を形成した。
５μｍとしたものについても、実際にマスクを製作し、
これを用いて金属薄膜を形成した。
［発明の効果］
以上説明したように本発明は、薄膜端子に突起を接触さ
せ、この突起の中央に形成した貫通孔の内部に導電性ペ
イントを流し込んでいるので、非常に薄い薄膜端子と電
気接続端子との電気接続を確実にすることかできる。
せ、この突起の中央に形成した貫通孔の内部に導電性ペ
イントを流し込んでいるので、非常に薄い薄膜端子と電
気接続端子との電気接続を確実にすることかできる。
第１図は本発明の方法の一実施例を示す斜視図、第２図
は電気接続端子の断面図、 第３図は薄膜形成マスクの斜視図、 第４図は薄膜形成マスクの別の例を示す平面図である。 １０・・・試料 ２０・・・金属薄膜 ２１．２２・・・薄膜端子 ２３・・・薄膜ストリップ ４０・・・電気接続端子 ４１・・・突起 ４２・・・貫通孔 ７０・・・シルバーペイン１へ
は電気接続端子の断面図、 第３図は薄膜形成マスクの斜視図、 第４図は薄膜形成マスクの別の例を示す平面図である。 １０・・・試料 ２０・・・金属薄膜 ２１．２２・・・薄膜端子 ２３・・・薄膜ストリップ ４０・・・電気接続端子 ４１・・・突起 ４２・・・貫通孔 ７０・・・シルバーペイン１へ
Claims (2)
- （１）試料表面に配置した薄膜ストリップに所定の電流
を流し、この薄膜ストリップの電気抵抗の変化を測定す
ることによって試料の熱定数を測定する方法において、 前記薄膜ストリップと一体に形成した薄膜端子に、電気
接続端子の突起を接触させ、この突起の中央に形成した
貫通孔の内部に導電性ペイントを流し込み、この導電性
ペイントの溶媒を蒸発させることによつて前記薄膜端子
と電気接続端子との導通を確実にする電気接続方法。 - （２）試料表面に配置した薄膜ストリップに所定の電流
を流し、この薄膜ストリップの電気抵抗の変化を測定す
ることによって試料の熱定数を測定する装置において、 前記薄膜ストリップと一体に形成された薄膜端子に接触
するための突起と、この突起の中央に形成された貫通孔
とを有することを特徴とする電気接続端子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18456588A JP2673549B2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | 熱定数測定装置の薄膜ストリップへの電気接続方法および電気接続端子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18456588A JP2673549B2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | 熱定数測定装置の薄膜ストリップへの電気接続方法および電気接続端子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0235346A true JPH0235346A (ja) | 1990-02-05 |
| JP2673549B2 JP2673549B2 (ja) | 1997-11-05 |
Family
ID=16155432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18456588A Expired - Fee Related JP2673549B2 (ja) | 1988-07-26 | 1988-07-26 | 熱定数測定装置の薄膜ストリップへの電気接続方法および電気接続端子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2673549B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018054507A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 株式会社カネカ | 熱伝導材料の熱輸送能力または熱伝導率の測定方法、及び測定装置 |
-
1988
- 1988-07-26 JP JP18456588A patent/JP2673549B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018054507A (ja) * | 2016-09-29 | 2018-04-05 | 株式会社カネカ | 熱伝導材料の熱輸送能力または熱伝導率の測定方法、及び測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2673549B2 (ja) | 1997-11-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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