JPH0230748Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、例えば、ウエハの化学処理等に使用
される液処理槽の液漏れを検出するための装置に
関するものである。

（従来の技術） 周知のように、ウエハの化学処理や機械部品の
脱脂洗浄は、液処理槽内の処理液、例えば、有機
溶剤中に前記ウエハや機械部品等を侵すことによ
り行われている。

ところが、液処理槽の腐食や接合不良等に起因
して有機溶剤が液処理槽から漏れる場合があり、
特に、ウエハ等に自動液処理を行つている場合に
は、その漏れに気づくのが遅れ、周辺の部材等に
悪影響をおよぼすという不都合がある。

そこで、このような液漏れを自動的に早期検出
する手段の提供が望まれていた。

しかしながら、このような液漏れ専用の装置は
未だに提供されておらず、そのため、従来におい
ては、エアーセンサー方式の液面レベル判別装置
を液漏れ検出用の装置として代用しているのが一
般的であつた。

第４図にはこの種の液面レベル判別装置を使用
した液漏れ検出例が示されている。図において、
エアーセンサ１には図示されていないエアー供給
源から検出気体としての空気が供給されており、
この空気の一部はエアチユーブ２を通して液体の
漏れ受け皿３内へ送給されている。この漏れ受け
皿３は液処理槽１４の底部に連接され、該処理槽
１４から漏れた液を溜めるようになつている。

エアーセンサ１内には前記空気の送給圧力に対
応して伸縮するダイヤフラムと、空気の送給圧力
が設定値を越えたとき、すなわち、ダイヤフラム
が例えば所定量縮んだときにスイツチ動作をして
液面レベル判別信号を出力するマイクロスイツチ
とが設けられている。ところで、有機溶剤の液処
理槽１４から有機溶剤が漏れると、その有機溶剤
が漏れ受け皿３に滞まり、その液面が上昇して行
く。この液面の上昇に伴つてエアチユーブ２の空
気排出口に加わる液圧が上昇し、空気の送給負荷
圧力が上昇する。そして、この送給負荷圧力が設
定圧力を越えたとき、つまり、漏れ受け皿３内の
漏れ液面が設定レベルを越えたときにマイクロス
イツチが動作し、エアーセンサ１から液面レベル
判別信号が出力されるのである。従来例において
は、この液面レベル判別信号を漏れ検出信号とし
て利用し、この漏れ検出信号によつて警報等を行
い、遠隔管理室等へ液漏れ異常を知らせるもので
あつた。

（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、従来のこの種の液面レベル判別
装置においては、エアチユーブ２から漏れ液中に
直接空気を吹き出す方式であるため、漏れ液面が
浅い場合には空気の送給負荷圧力が小さすぎてダ
イヤフラムがほとんど縮まず、マイクロスイツチ
が動作できないという不都合がある。一般に、こ
の種の液面レベル判別装置において、マイクロス
イツチが動作するのに要する送給負荷圧力を得る
ためには、漏れ液のレベル（液深）が10〜15mm以
上になることが必要であつた。

つまり、この種の液面レベル判別装置はもとも
と被測定液面が10〜15mmであるかそれ以上である
かを判別するためのものなのである。

したがつて、従来装置においては、液が漏れて
からそれを検出するまで長い時間がかかり、適切
な措置をとることができないという問題があつ
た。

本考案は上記従来の問題点を解決するためにな
されたものであり、その目的は、有機溶剤等の液
処理槽の液漏れを早期に自動検出することができ
る液体の漏れ検出器を提供することにある。

（問題点を解決するための手段） 本考案は上記目的を達成するために次のように
構成されている。すなわち、本考案は、液処理槽
の漏れ受け皿に載置される検出ユニツトと；検出
ユニツトへ検出気体を送給し、その検出気体の送
給負荷圧力が設定圧力以上になつたときに漏れ検
出信号を出力する検出センサと；この漏れ検出信
号によつて液体漏れを表示する表示器と；を含
み、前記検出ユニツトは、前記漏れ受け皿の載置
面に当接する検出面と；この検出面に刻設された
検出溝と；前記検出センサから送給された検出気
体を前記検出溝へ導く通気孔と；を有する液体の
漏れ検出器である。

（作用） 上記構成からなる本考案において、液処理槽の
液漏れは次のようにして検出される。すなわち、
液処理槽から漏れた液体は漏れ受け皿に溜まる
が、その際、漏れ受け皿にわずかの漏れ液体が溜
まることによつて、検出ユニツトの検出溝へ該漏
れ液体が侵入する。一方、検出ユニツトへ送給さ
れた検出気体は通気孔から検出溝を通つて漏れ受
け皿内へ噴出するが、検出気体が検出溝を通過す
るときには検出溝壁と漏れ液体との表面張力によ
る結合力に打ち勝つて進出しなければならず、検
出気体は強い負荷抵抗を受ける。この結果、検出
センサによる検出気体の送給負荷圧力は液漏れ後
直ちに設定圧力を越えることとなり、検出センサ
から早期に漏れ検出信号が出力され、管理室等の
表示器に液漏れの異常事態が表示される。したが
つて、この液漏れ表示によりその適切な対応措置
を迅速にとることが可能となるものである。

（実施例） 以下、本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。なお、本実施例の説明において、従来例の
構成部分と同一の構成部分には同一符号を付して
その説明を省略する。

第１図には本考案の一実施例のブロツク構成が
示されており、また第２図にはその機械的構成が
示されている。図において、エアー供給源４から
約0.3Kg／cm²の圧力を有する空気（検出気体）が
エアーセンサ１へ供給されている。そして、さら
に、該エアーセンサ１から0.3Kg／cm²以下の圧力
を有する空気が130c.c.／minの割合でエアチユー
ブ２を介して検出ユニツト５へ供給されている。
この検出ユニツト５は第２図および第３図に示す
ように、ユニツト本体６とチユーブ接続金具７と
からなる。ユニツト本体６は円柱状の中実体から
なり、この中実体は漏れ受け皿３の載置面１２に
載置されており、この漏れ受け皿３の載置面１２
と当接する検出面８にはその直径位置に溝深さが
ほぼ1.3mmのＵ字溝、Ｖ字溝、丸溝および角溝等
所望形状の検出溝９（図ではＶ字溝）が刻設され
ている。そして、ユニツト本体６の側面から中心
部にかけて水平の横孔１０ａが穿孔されており、
さらに、その横孔１０ａの先端部から中心軸に沿
つて前記検出溝９へ通じる縦孔１０ｂが穿孔され
ており、前記横孔１０ａと縦孔１０ｂとは通気孔
１０を構成している。この通気孔１０の入口端部
には座ぐり加工が施されており。さらに、この座
ぐり部から通気孔１０の所定の深さにかけてねじ
溝１３が形成されている。

そして、このねじ溝１３にチユーブ接続金具７
が気密に螺合され、そのチユーブ接続金具７の嵌
合部にはエアチユーブ２が気密に嵌め込まれてい
る。したがつて、エアーセンサ１からエアチユー
ブ２を介して送給された空気（検出気体）は通気
孔１０および検出溝９を通つて漏れ受け皿３内に
噴出する。このとき、有機溶剤の液処理槽１４の
液漏れがない場合、検出気体の空気は空中に噴出
するので、エアーセンサ１の空気送給負荷圧力は
十分小さく、マイクロスイツチのスイツチ動作は
行われない。一方、有機溶剤の液処理槽１４から
液漏れが生じるとその漏れた有機溶剤は漏れ受け
皿３に溜るとともに検出溝９内へ入り込む。一
方、この状態で、エアーセンサ１から送給されて
いる空気は検出溝９内の有機溶剤を横切りながら
進出して漏れ受け皿３の有機溶剤液中へ噴出す
る。

このとき、エアーセンサ１から送給された空気
（検出気体）は有機溶剤と検出溝９の溝壁との結
合力、すなわち、表面張力に打ち勝つて進出する
ため、エアーセンサ１の空気送給負荷圧力が増大
し、エアーセンサ１内のダイヤフラムが大きく縮
む。このダイヤフラムの縮みによつてマイクロス
イツチが動作し、該マイクロスイツチから表示器
１１へ漏れ検出信号が加えられるのである。

この表示器１１は例えば管理室等に設置される
表示灯や警報器（本実施例では警報器）によつて
構成され、前記漏れ検出信号を受けて警音表示を
行う。したがつて、作業者はこの警音により液漏
れの異常事態を知り、適切な対応措置をとり得る
のである。このように本実施例では、検出溝９の
溝壁と有機溶剤との表面張力を利用してエアーセ
ンサ１の送給負荷圧力を増大させているので、液
漏れ量が少なくてもその液漏れ状態に検出でき、
本実施例においては、漏れ受け皿３に溜る漏れ液
（有機溶剤）の深さが約２〜３mm以上となつたと
きに正確な液漏れ検出を行えることが確認でき
た。従来例においては10〜15mm以上の液深となら
なければ液漏れを検出できなかつたのに比べ、液
漏れ検出能力が大幅に改善されたことが理解でき
る。したがつて、本実施例によれば、液漏れ後、
早期にその液漏れの発生を検出でき、迅速かつ適
切な措置を講じることができるという利益が得ら
れる。

（考案の効果） 本考案は以上説明したような構成と作用とを有
しているので、液処理槽から処理液が漏れたとき
には早期にその液漏れを検出でき、これにより迅
速かつ適切な対応措置をとることが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る一実施例の構成を示すブ
ロツク図、第２図は本実施例の機械的構成図、第
３図ａおよび同図ｂは第２図の検出ユニツト本体
の構成を示し、そのうち第３図ａは正面図、同図
ｂは同図ａのＡ−Ａの要部断面図、第４図は従来
例の構成図である。 １……エアーセンサ、２……エアチユーブ、３
……漏れ受け皿、４……エアー供給源、５……検
出ユニツト、６……ユニツト本体、７……チユー
ブ接続金具、８……検出面、９……検出溝、１０
……通気孔、１０ａ……横孔、１０ｂ……縦孔、
１１……表示器、１２……載置面、１３……ねじ
溝、１４……液処理槽。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 液処理槽の漏れ受け皿に載置される検出ユニツ
   トと；検出ユニツトへ検出気体を送給し、その検
   出気体の送給負荷圧力が設定圧力以上になつたと
   きに漏れ検出信号を出力する検出センサと；この
   漏れ検出信号によつて液体漏れを表示する表示器
   と；を含み、前記検出ユニツトは、前記漏れ受け
   皿の載置面に当接する検出面と；この検出面に刻
   設された検出溝と；前記検出センサから送給され
   た検出気体を前記検出溝へ導く通気孔と；を有す
   ることを特徴とする液体の漏れ検出器。