JPH02300630A - 光学式変位計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は基準となる物体と検出対象物との間の距離の
変化を計測する光学式変位計に関するものである。

［従来の技術］ 従来、この種の光学式変位計として、対向配置された２
枚の回折格子を備え、それら２枚の回折格子を通過させ
て合成干渉させた回折光（干渉縞）の変化を検出するこ
とにより、２枚の回折格子の平行方向への相対的な変位
を言４測するようにし７たものが知られている。このよ
うな干渉光の変化を利用した変位計は、原理的＆、、”
高分解能を実現できるため、光学式リニアＸＩニンニｌ
−夕として半３．１１体製造分野等で既に実用化されて
いる。例スば、１′Ｉ開昭５９−１３２３１１−号公幸
ドでは、光学式りＪ、アニン」−ダの−・例が開ボされ
ている。

又、同様の原理を用いた光学式変位計として、第３図に
示すように反射光を合成−「渉さ−ｌる変位計も考えら
れている。即ら、この変位計゛Ｃは、光源２１から発射
されたレーザ光をその進行方向Ｆ・＼向かっζ゛」３透
明鏡２２を透過さ−せた後、２枚の回折格子２３．２４
に入ル１さ」するようになっている。２枚の回折格７！
−２３，２４のう（し半透明鏡２２に近い方の回折格子
２３Ｌよ定イ；１１在１ニーて固定され、他方の凹扛１
格子２４は１ｊ１１記−・方の回１ｊｉ格ｒ２３に沿っ
た方向（平行方向）Ｘへ移動可能に設けられている。こ
の回折格子２４ば図示し７ない所定の液加−丁ワークを
支持するためのフレーＪ、２５に固着され、そのフレー
ム２５の移動度（）旨こ追従して！■７−行［ｈ向）ζ
・・、往復動可能４．Ｚな、っている。

そして、半透明鏡２２及び回折格子２３を通過し７て回
折格子２４にて反射された反射回折光は、回折格子２３
を再び通過する間に合成干渉され、半透明鏡２２によっ
て反射され、観測点Ｑ、−位置するフＡｌ・デテクタ２
６に入射して電気信号に変換される。このとき、固定側
の回折格子２３に対して可動側の回折格子２４が平行方
向Ｘへ移動度（☆すると、その移動変位に追従してフメ
トデラークタ２６　Ｌ：”入射する回折光が変化する。

従って、その回折光の変化量を検知ずろことにより、ワ
ークの変位知Ｇコ和当する可動側の回折格子２４の変位
量が計測される。

１発明が解決し２ようとする課題１ ところが、前記従来の光学式変位計では、フレーＪ、２
５に固定された回折格子２４が平行方向Ｘに交差する方
向（対向方向’）Ｚ−・変位すると、回折格子２３．２
４が平行に設置されていることに起因する１−渉光の影
響により、平行方向Ｘへの移動変位とは無関係にフメト
デテクタ２６に入射する干渉光が変化してしま・うこと
Ｇこなる。ぞの結果、正規の回折光に誤差か生じて計測
誤差が発生ずる。

そこで、ト、記のような正規の回折光に生し７る。ｉ１
！Ｎ差を排除するために、その回折光と同時に誤差↑Ｊ
１除のための信号検出を行うことが可能な変位８（が要
望されている。

この発明は前述した事情に鑑み−でなされたものであっ
て１、そのＩ」的は１．互いに対向配置された２枚の回
折格子の対向方向への相対変位に起因する正規の回折光
の誤差要因検出を同時に行・）ことか可能で、その誤差
要因検出によって２枚の回折格子による正規の回折光の
検出精度同士を実現し得る光学式変位計を提供すること
にある。

［課題を解決するだめのＴ段］ に記の目的を達成するためにこの発明においては、光源
から発射された光を通過さ・（まるためにＨいに対向配
置された−・対をなす固定回折格子及び可動回折格子と
、固定回折格子とｉｉＪ動凹↑ｊ１格−ｒとの平行方向
への相対変位を検出するために、両回折格子を通過１．
て合成１−渉された１！１０月光を入射し−ｒ電気信号
に変換する光電変換手段とからなる光学式変位ａ１にお
いて、光源から発射された光を入射して、その入射光を
目先の進行方向とは異なるツノ向へ向か−って反射する
反射光と進行方向へ向かって透過する透過光とに分離さ
せる光学系手段と、その光学系手段の一側面側に設けら
れ、反射光及び透過光の・）もの−・方を反射するため
の基準面を有する固定鏡と、光学系手段から離れた位置
１＝配）ηされた可動回折格子と一体移動可能に設けら
れ、反射光及び透過光のうちの他方を反射するだめの参
照面を有する可動鏡と、固定回折格子と可動回折格子と
の対向方向・＼の相対変位を検出するためるこ、可動鏡
の参照面にて反射された反射光と固定鏡の基準面にて反
射された反射光との２光束が光学系手段にて合成干渉さ
れた後、その干渉光を入１・１シて電気他月に変換する
別の光電変換手段とを備えている。

［作用１ 従って、互いに対向配置された固定回折格子と可動回折
格子との平行方向への相対変位を検出するために、光源
から発射された光はそれら両回折格子を通過して合成干
渉され、その回折光ば光電変換手段に入射されて電気信
号に変換される。

これと同時に、光源から発射された光は光学系手段に入
射され、同光の進行方向とは異なる方向へ向かって反射
する反射光と進行方向へ向かって透過する透過光とに分
離される。反射光及び透過光のうちの一方は、光学系手
段の一側面側の固定鏡にて反射される。又、反射光及び
透過光のうちの他方は、光学系手段を通過して可動鏡の
参照面（回折格子の場合も含む）にて反射される。

そして、可動鏡の参照面にて反則された反射光と固定鏡
の基準面にて反射された反射光との２光束は光学系手段
にて合成干渉された後、別の光電変換手段に入射されて
電気信号に変換される。

従って、別の光電変換手段にて変換された電気信号を利
用して、その電気信号が一定の値で変動しないように可
動回折格子の移動変位を補正したり、その電気信号に基
き、両回折格子の平行方向への相対変位に相当する電気
信号を補正したりすることにより、可動回折格子と固定
回折格子との間で生じる回折光の検出をより正確なもの
にすることが可能となる（回折光の誤差要因を除去する
ことが可能となる）。

［実施例］ 以下、この発明を具体化した一実施例を図面に基いて詳
細に説明する。

第１図は光学式変位計の概略構成を示している。

この実施例の光学式変位計は光源としての半導体レーザ
１を備え、その半導体レーザ１から発射された光は半導
体レーザ１から微小距離だけ離れて固定された光学系手
段としてのビームスプリッタ２に入射される。ビームス
プリッタ２は半導体レーザ１からの入射光Ｌ　Ｏをその
進行方向Ｆとは異なる方向、即ち進行方向Ｆに対して９
０°変位する上方へ向かって反射する反射光Ｌ１と、進
行方向Ｆへ向かって透過する透過光Ｌ２．Ｌ３とに分離
させる反射面２ａを有している。

又、この実施例において、ビームスプリッタ２の一側面
側、即ち上側面２ｂ上の一部分には、前記反射光Ｌ　１
の一部分を反射するだめの基準面３ａを有する固定鏡３
が固着されている。この固定鏡３はビームスプリッタ２
の上側面２ｂ上にてスパッタリングによって形成された
ものである。

そして、このように固定鏡３をビームスプリッタ２の上
側面２ｂ上に固着することによって、ビームスプリッタ
２内にて反射される前記反射光Ｌ　１が空気に曝される
ことなく固定鏡３にて反射されるようになっている。

更に、この実施例において、ビームスプリ、り２の他側
面側、即ち右側面２Ｃ上の一部分には、前記透過光Ｌ３
を通過させる固定回折格子４が固着されている。この固
定回折格子４は、ビームスプリッタ２の右側面２Ｃに沿
って一定のピッチで並列する多数のスリットを有したも
のである。

一方、固定回折格子４から微小距離だけ離れた位置には
、同固定回折格子４に対して平行移動可能かつ対向移動
可能な可動鏡５が配設されている。

即ち、この可動鏡５は図示しない所定の被加工ワークを
支持するためのフレーム６に固着されたちのであり、そ
のフレーム６の移動変位に追従して、固定回折格子４と
平行な方向く平行方向）Ｘへ、かつ固定回折格子４に対
向する方向（対向方向）Ｚへそれぞれ往復動可能になっ
ている。

又、可動鏡５の表面、即ち固定回折格子４との対向面が
参照面Ｓとなっており、その参照面Ｓにてビームスプリ
ンタ２を透過した透過光Ｌ２．Ｌ３等が反射される。つ
まり、可動鏡５の参照面Ｓは、前記固定回折格子４を通
過する格子通過光である透過光Ｌ３と、その透過光Ｉ、
３と平行で固定回折格子４を通過しない非格子通過光で
ある透過光Ｌ２とが共に反射される。

更に、可動鏡５の参照面Ｓ上にて、固定回折格子４を通
過した透過光Ｌ３を反射し得る位置には、可動回折格子
７が固着されている。この可動回折格子７は、可動鏡５
の参照面Ｓに沿って一定のピンチで並列する多数のスリ
ットを有したものである。そして、この実施例の光学式
変位計では、可動鏡５と一体的に移動する可動回折格子
７の平行方向Ｘへの移動変位を計測することによって、
前記リークの移動度イ）５　（イ装置スレ）り１ｉ−１
測−Ｊ゛、ｉ：、９［、］Ｃ１ｒな−っでいる。

前記人種光Ｉ、０の進行ノＪｌｉ＋Ｉ　ｌ・？こえｌ　
Ｌ（９０’　；、′イ☆する下方位置（、；７１．Ｊ、
ヒ　〕、スズブ７・夕２がら所定の微小距離だけ離れて
光′１（−４変挨叫ｌ′だ“及び別の光電変換１段とＵ
２てのマイ１ダイ」−１−及びソメト１ランシスタ等４
也む光導電・ｊ！ルよりなる一個の）第１−デテクタ８
．９が固定さ）ｌ”１．、、−（いる。

一方のソ号Ｉ・デテクタ８ば、ｉｉＪ動鏡５の参ｔｌ＜
（１ｌｉｉＳ（この場合、可動回折格子′ｌ）（、て反
射回折３＼れた透過光１．３が固定回１１［格子４を再
ひ通過ｊ７−（合成干渉された後、ぞの凹Ｉ〕を光■−
２４を入射１−．．　’−ｉ’−電気信号（，５′変換
するためのもの一ζ；Ｆ）す、−１中仙回折格イアの平
行方向Ｘ・・・の位置ズＬ−’、Ｈ検出する人二めのも
のである。

イ（−２て１、τのフィトう一゛−ｊ・タタＥ（乙こ−
ｃ二珍・換さ（′１人・電気伯冒は、可ａ１回折格了７
の位１５′”々し、苓−検出−づ−る］、二めのイ計号
処理回路１　（ｊ　ｌｌ、人ツノさ＋１、イｊｊ、−’
Ｊ処理回路１０ではｌ’ｌＪ動凹１ＪＩ格１′７の（〜
”４：　＋５　′７．’　ｌ眉、、二（［Ｆ’−１・ｉ
−る回折光Ｉ−４のイ＼）相スｊ／を信冒列理にょ＋　
−（Ｔ　：’ｆ’ド０出１−　Ｊ、？１にな−、ている
。

又、（ｔｌｉ　、Ｊｊ　〕７　Ａ−１−）−１り９９　
Ｌｉ、可ｉＪ＋　Ｎｌ　５　ノ参照１ｆｏｓ（（の場合
、ｉ１■重回折格了７　）　ｒｒ＝、　ｃ反射された透
過光ｌ−１２と、固定鏡３の基＋９曲３ａ（２こて反則
された反射光Ｉ、１の−・部分との２光束かヒーノ、ズ
ブリッタ２Ｇ５′で自戒干渉された後、その二「渉光ｌ
、５を入射（−７で電気信号乙こ変換するためのもので
あり、可ＩＪｒ回＋Ｊｒ格Ｙ−７の固定回折格子４に対
する対向方向Ｚへの変（９（ギヤノブ変位）を検出する
人二めのものてル）る。

イーして１、二のフィートデう−クラ０に電′変換され
た電気イご一シ）は、１−１１動回折梠イア、用古１定
凹（ハＪＢ−”ｌ′４とのギヤ・ツブ変（Δ７を検出す
るだめの信号処理回（？；）１１　ｉ、、′入力され、
他−号処、理回路１１では可動回ｔＪｉ格了′７のギヤ
、・ブ変イ☆に相当する干浚、光１．Ｅｉのイ☆相ズレ
を１菖シシ−処理乙、篤１ミ、−１てＪｌりり出すよ・
）（５、′な−１−ｃ−い　イ、。

Ｙ、）Ｌ・−７１〔）乙こは、同フ［・−７、に夕・対
向）Ｉ’　ｆｉ＋１２・、移動、＼−１１て位置調節′
・１”るための複数（、二の場合１１個）のｊ′ツク−
−１，：ｌ−夕１２．１３が設ニレ−）才１ている。そ
して、ｉｉｉ＋　ｉｉ己ギヤ２．・ブ囁Ｊ’２が・１［
（、・人ｉ’ｊ、′＋　、５１＝ｈよ、〈の変荀苓補１
Ｆ１トる人ｒめ（，１丁、ＩＩＩ　ｌ）前ｆｉ１．”ｉ
、ｒ、・ゾ変位を予め定めＣ二）４′已一間隔に保↑、
ｌ、　、、ｌイ：＋　／：蔓：＋（、、−１（Ｍ月処理
回路１１が名−しクラ・レーア　１２　、　．１　：ｉ
に駆４す］（３閃を出力１．−（−：）　Ｌ　　人（（
でλ−に、Ｉ向〕ｉ’　ｌｕ、ｌ　Ｚ、、微り１さ−ｂ
ｌ、可動回ｌＪｒ　’ｔＢ　１’　７　ａ）′１１向ｊ
）’　ｊｉｌ　Ｚ　□□□＝、ノ（ｉ’、ｒ　’（Ｍｉ
ｉｌＷＩ　ｆ！ｆｆを＃−■”）よう（、：１７．、Ｌ
　−＋　−（イ２１、、−、、）　Ｊ：　Ｉ’ｌ、Ｉ菖
’＋ｌｉ々ｎ、　１ｇ＋回路ｌ　１は一ノイ　ｌ−）−
）−′ノ：ｙ　ｇ　（乙−（′（☆（Ｉ旨＼（已：　＝
Ｖ　−ｔノブ変位の１言υり８、・５のギヤ・ブ′λ・
（〜′１：　ｋ　１ｉｔｉ−ｔ［・＋・、：。

人二　め　の　−）　４　−−−　　）　　　・＼　２
　　勺　イトｊ、　　＋ａ、　　、、（−（−（、、：
＋＼　、リ　（−、、，１２I、す！　ｌ甲　−・； る、−１ン）（、′な一５＼・−い１．：１４、次乙５
′、　１ｉ己の、ｔ：　’ｌ　（、、”構ハｙ　ｒ−、
人、　−）ｌ’、　ｉ’ｉ工八４へゴ＼”７．１’（１
（〕）１′ｌ川（５１、゛ついで説［ｊＪし１ろ、、今
、；ｉ４．　、％１１ｉ己−リ゛ｌか（：、、＋　ｌ　
　−り光か’＋’Ｌ　Ｕｌ、ｔさ）１イ）、＋、、、ｐ
の１．−リ゛光はｌ−、ｌ、−＜　−ｔ’　ｌ　、ｒ−
ノ／　２４ｍ　匁！４１１−□する。ヒー、ムスブリ　
−）　＋１　＋：人１１・１（−５八入、１′１・Ｄ〜
′、１．０１八一部分は、ハノ９・ｌ１ｌＴＩＹ″、＋
（口てＪｌ　Ｆ、　”　１．、〕ＪｌづＱヲトド＜（内
１＼れるＪ’Ｍ　＝Ｑ’１）ＹＬ、　Ｉ　＜ｌ−７，；
　ｌｊ）、Ｉｉ：ｉ　Ｉ＞ｒｌ　！ｌ−１）Ｙ、　＋−
，ｌ　６１）　　−（’ＪＩ@、、：、＞ は固定ｉＱ　３のりｉｔ’　＋ｆｉｉ　：＋　）１　ｒ
、：、−１−八、百１・１さ（１く・反１（・１）旨）
、し−ｊ、スブリ　・４１　ｆ）を１−／Ｉぺ’）、’
Ａ　、ｉ７．’、し、（−廿］、）’ｔ’、　、！仁な
る。

■２、入射）１□’、　Ｌ　Ｏの他の−じｊＢ　４′ｆ
は、ヒームスブリタ１２イＩ戸）１彦ＩＡる鵡ｊβ）光
１−．２　、　　Ｌ、　３となく１、・θ１−−に、「
１．人ブリ、ノ・！１７″Ｉ）茫ス、ち過−づ−、る透
過光［シ）。

「、３のパ）も）、固定回ＪＪｉ格子４を通１６Ｘ１す
る（（１イ沃過光；　−０％−４冒チ５過光■３は可動
鏡５の参照面Ｓ（、”−の１易Ｗ’ｒ　＋　−１’１目
すｊ回↑ｙ１梠了’Ｊ　）に−Ｃル、対間）！１．＼オ
１、固定量＋Ｒ惰イ４３−再び通過（−ど−合成−目！
ｌ１、ト（１人：１多・、そ（ｉ）回（、ｊ）’ｔ、　
Ｌ、　　４　　カ＜　−、）　　：、ｌ’　　ｌ　　ツ
ー　−）　り　′ノ　εＩ　６５−　＼’Ｆｔ　−４ろ
。

@督 −２（′、リオ　１うテ・′ゲタ８乙、二、ｌ＜芽しｉ
−、に、　ｌ用１片光、１、・１をｉ’ｔｉ：＼（ニー
ｉ　−；−、、、、ｉα（免（−８他−５；処哩回路１
０　ｃニー、、−（’所定ｒノ）処理をｊド〕、号、Ｌ
・■Φ）（回１ｆ’Ｊ　Ｊ：’Ｉ−，１”ｉの信置ス［
５＜割り出され、籠）。゛）、１万の、２枚の凹＋Ｊｒ
梠〒４．゛ｚを１口１過１、（二ご、＼べ・１思の回折
光１４　ｉ、”枯い（−、シ）桟の凹１ｉ惰１’４．７
のき口ｉ’　ｌｌｊ向Ｘ・の相に＼１的Ｚｔ’＋　ｊＡ
　（＼）７かり１１′Ａｔ１ｌ　　さ　、（１べ）。

−、−−Ｊｒ、Ｌニー、　、／−１−人ブリ　・４゛１
！ぺ−ｉ％　ｉ１シロ　（−、−ｃ固′Ｉ１１回［１１
梠了！１の無い部′ｒ＞　’＃　ｉｌ　、’＋Ｉｊ・Ｓ
　’１４モ１目：ｊ　ｊ’　１ｔ−ｎ面光、ｉｌｌ　−
１−。

ｊメ’：　、ｉ：　　）ｙ　Ｌ　　２　　は石１・（ハ
定Ｃ麗）　しｈ　ノ゛　照Ｉハ１５ζ　　（、’−ｒハ
リノｉ　ｒ’ｉ【−１ｆφｊ１回ＪＪ？惰−ｔ”ｒ　）
にてルＸ１・し゛くれる１９羽）〜：；　、Ｌ　ｊ、（
−、’も。そｊ−（−１φの！ｉ・ｌ光と固【Ｌ′鏡（
（の入（イψ１ｆｉｉ　３　ａ　ｆ、こ−（−ルーη・
１された反射光とがヒームスプリノタ２にて合成干渉さ
れた後、その干渉光ｌ−１５がフ第１・デテクタ９に入
射する。従って、フォトデテクタ９に入射する干渉光Ｌ
５を電気信号に変換して、信号処理回路１１にて所定の
処理を行うと、可動回折格子７と固定回折格子４とのギ
ャップ変位を割り出すことができる。

又、そのギャップ変位に応じた信号に基いて信号処理回
路１１が各アクチュエータ１２．１３を駆動させてフレ
ー１１６を対向方向Ｚへ移動させることにより、ギヤツ
ブ変位が予め定められた間隔に補正される。

即ち、この実施例の光学式変位計では、２枚の回折格子
４，７の対向方向Ｚへの相対変位に起因して生しる回折
光Ｌ　４の誤差検出を、同回折光Ｌ４の計測と同時に行
うことができる。又、その誤差検出によって２枚の回折
格子４，７の間のギャップ変位を適正に調整することが
でき、正規の回折光Ｌ　４の検出精度を向」ニさせるこ
とができる。

又、この実施例の光学式変位計では、前記ギヤノブ変位
の検出を行うための基準光となる固定鏡３での反射光及
びその元となる反射光Ｔ、、１が、ヒームスプリソタ２
の内部を通過して空気中に曝されることがない。このた
め、反射光Ｌ１及びその反射光が空間的な影響、即ち空
気の揺らぎや気温の影響を受げることを防止することが
でき、基準光となる固定鏡３からの反射光と他の反射光
との干渉光Ｌ５が受ける空間的な影響を極力低減するこ
とができ、計測誤差の発生を非常に少ないものにするこ
とができる。よって、ギャップ変位の補正をより安定し
て高精度に行うことができる。

更に、この実施例の光学式変位計では、固定鏡３がビー
ムスプリンタ２と一体化しているので、振動の影響を少
なくすることができ、その固定鏡３における反射光を安
定したものにすることができる。更に、固定鏡３を独立
的に固定調整する必要がなく、組み立てを容易なものに
することができる。

尚、この発明は前記実施例に限定されるものではなく、
発明の趣旨を逸脱しない範囲において構成の一部を適宜
に変更して次のように実施することもできる。

（１）前記実施例では、固定回折格子４及び可動回折格
子７の平行方向Ｘへの位置ズレを検出するための回折光
Ｌ　４と、固定回折格子４及び可り３回折格子７の対向
方向Ｚへのギャップ変位を検出するだめの干渉光Ｌ　５
とを共通のビームスブリック２を介して各フォトデテク
タ８．９へ入射させるように構成したが、第２図に示す
ように、別々の半導体レーザ１６．１７から発射される
光を入射する別々のビームスプリッタ１８．１９を設け
、各ビームスプリッタ１８．１９から導出される干渉光
Ｌ５及び回折光り、　４を各フ第１・デテクタ８゜９へ
入射させるように構成してもよい。

尚、第２図において一方のビームスプリッタ１８の一側
面上には、前記実施例と同様に基準面３ａを有する固定
鏡３が固着され、他方のビームスプリッタ１９の一側面
上には、前記実施例と同様に固定回折格子４が固着され
ている。又、可？）Ｊ鏡５ば両ビームスプリッタ１８．
１９に対向するように拡大して設けられている。更に、
各フォトデテクタ８．９からの電気信号はそれぞれ信号
処理回路ｔｏ、１１に入力され、一方の信号処理回路１
１には可動回折格子７の対向方向Ｚへのギャップ変位を
補正するためのアクチュエータ１２゜１３が接続されて
いる。

（２）前記実施例では、ビームスブリ・ツタ２に入射し
て反射する反射光Ｌ１の一部分をビームスプリッタ２の
上側面２ｂ上に設けた固定鏡３にて反射させ、ビームス
プリッタ２に入射して透過する透過光Ｌ２．Ｌ３をビー
ムスブリ・ツタ２の右側面２Ｃ上に設けた固定回折格子
４を通過させるように構成したが、ビームスプリッタの
上側面側に固定回折格子を設け、右側面側に固定鏡を設
けて反射光の一部分が固定回折格子４を通過し、透過光
の一部分が固定鏡にて反射されるように構成してもよい
。

（３）前記実施例では、固定鏡３をビームスブリ７タ２
の上側面２ｂ上にスパッタリングにより形成したが、蒸
着により形成してもよい。又、固定鏡をビームスシリツ
タから微小距離だシ」離し７て固定してもよい。

（４）前記実施例では、固定回（１１格イ４をヒ−１、
スプリッタ２の右側面２（２Ｆ−に固７ｉシ、て設けた
か、ビームスシリツタから１；！に小距離だｉｔ　Ｋ１
［して設し）てもよい。

（５）前記実施例では、光学系１１段と（〜て＋−−一
−Ｊ・スプリッタ２を設けたが、その代わりに゛１′づ
Ｌ明鏡を設けてもよい。

（〔ｊ）前記実施例では、ｉ＋Ｊ動凹ｔＪｉ格了７と固
定回折格子４とのギヤツブ変位４補正するためＧこ２個
のアクチュエータ１２．１３をフレーｌ、〔；るこ設Ｇ
またが、２個に限らず１個や３個以−Ｌの数のアク千ゴ
、エータを設（Ｊてもよい。

（７）前記実施例で（、ｌ、ｉｌ勅回折格ｒ７と固定回
折（菌子−４とのギヤノブ変（）〉庖補止するためζこ
２イ固のアクチュエータ１２．１３をフし・−Ｊ、６に
設置Ｊて可動回折格子７を移りＪさゼるよα）にし７た
が、４ヤ、プ変位の検出値攻利用して、可動量ＩＪ−ｉ
梠Ｊ’　７の位置スレの検出値を補止するように構成し
て４）よい。

［発明の効果］ 以−１−詳述したようにごの発明によれば、互いに対向
配置された２枚の回折格子の対向方向への相対変位に起
因する正規の回折光の誤差検出を同時に行゛うことがで
き、その誤差検出によって２枚の回折格子による正規の
回折光の検出精度向−１−を実現することができるとい
う優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明を具体化した−・実施例を示す光学式
変位計の概略構成図、第２図４４．　Ｃの発明を具体化
した別の実施例を示す光学式変位計の概略構成図２、第
３し１は従来例の光学式変位計を説明する図である。 図中、１．１．６．１．７は光源とし７ての半導体レー
ザ、２．１８．１９は光学系手段としてのビームスブリ
、夕、３は固定鏡、３，１は基〈セ血、４は固定回折格
子、５は可動鏡、７は可動回折格子、８は光電変換１段
としてのフォトデデクタ、９は別の光電変換手段として
のフｔ　ｌ−デテクタ、ｌｒは進行方向、Ｌ、■は反射
光、ｌ−，２，Ｌ３は透過光、Ｓは参照面である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　光源から発射された光を通過させるために互いに対
   向配置された一対をなす固定回折格子及び可動回折格子
   と、 前記固定回折格子と前記可動回折格子との平行方向への
   相対変位を検出するために、前記両回折格子を通過して
   合成干渉された回折光を入射して電気信号に変換する光
   電変換手段と からなる光学式変位計において、 光源から発射された光を入射して、その入射光を同光の
   進行方向とは異なる方向へ向かって反射する反射光と前
   記進行方向へ向かって透過する透過光とに分離させる光
   学系手段と、 前記光学系手段の一側面側に設けられ、前記反射光及び
   前記透過光のうちの一方を反射するための基準面を有す
   る固定鏡と、 前記光学系手段から離れた位置に配置された前記可動回
   折格子と一体移動可能に設けられ、前記反射光及び前記
   透過光のうちの他方を反射するための参照面を有する可
   動鏡と、 前記固定回折格子と前記可動回折格子との対向方向への
   相対変位を検出するために、前記可動鏡の参照面にて反
   射された反射光と前記固定鏡の基準面にて反射された反
   射光との２光束が前記光学系手段にて合成干渉された後
   、その干渉光を入射して電気信号に変換する別の光電変
   換手段とを備えた光学式変位計。