JPH02295028A - 真空容器の排気管とその封止装置及び封止方法 - Google Patents
真空容器の排気管とその封止装置及び封止方法Info
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- JPH02295028A JPH02295028A JP11473189A JP11473189A JPH02295028A JP H02295028 A JPH02295028 A JP H02295028A JP 11473189 A JP11473189 A JP 11473189A JP 11473189 A JP11473189 A JP 11473189A JP H02295028 A JPH02295028 A JP H02295028A
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Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は真空容器の排気管とその封止装置及び封止方法
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術
従来、真空容器の排気管にはガラス材料のものが用いら
れていた。そして真空容器製造工程の最終段階に於いて
ガラス製排気管を例えばガスパナーで加熱軟化させて封
着していた。しかしながらガラス製排気管は脆弱な性質
のため、取扱上の不注意などで「折れ」などの危険性が
高かった。
れていた。そして真空容器製造工程の最終段階に於いて
ガラス製排気管を例えばガスパナーで加熱軟化させて封
着していた。しかしながらガラス製排気管は脆弱な性質
のため、取扱上の不注意などで「折れ」などの危険性が
高かった。
またガラス製の排気管の取り付けには一般に真空容器の
ガラス部に穴加工等を行なっていたが、この工程がコス
トアップ、割れの原因となる真空容器の傷Φチッピング
発生の要因の一つとなっていた。そこでガラス製排気管
に代わって、金属製の排気管が提案された。
ガラス部に穴加工等を行なっていたが、この工程がコス
トアップ、割れの原因となる真空容器の傷Φチッピング
発生の要因の一つとなっていた。そこでガラス製排気管
に代わって、金属製の排気管が提案された。
第１０図、第１１図に従来の金属製排気管の１例を、ま
た第１２図にはその封止方法の一例を示す。第１０図は
外囲器１２が金属の場合で例えばレーザー溶接により排
気管１４が取り付けられている。また第１１図は外囲器
１２がガラス板の場合で例えばフリッｌ・ガラス等で排
気管１４が取り付けられている。
た第１２図にはその封止方法の一例を示す。第１０図は
外囲器１２が金属の場合で例えばレーザー溶接により排
気管１４が取り付けられている。また第１１図は外囲器
１２がガラス板の場合で例えばフリッｌ・ガラス等で排
気管１４が取り付けられている。
この構成において封着を行なうには、たとえば第１２図
に示すように所定の真空度にまで真空排気した後、溶接
棒を兼ねた圧着棒１３により排気管１４を圧着し、その
状態で溶接●融着させるという工程が必要である。
に示すように所定の真空度にまで真空排気した後、溶接
棒を兼ねた圧着棒１３により排気管１４を圧着し、その
状態で溶接●融着させるという工程が必要である。
発明が解決しようとする課題
以上述べた様な従来構成では、封止の際には前記排気管
を圧着させる工程とその部分を溶接Φ融着する工程とが
必要となっていた。
を圧着させる工程とその部分を溶接Φ融着する工程とが
必要となっていた。
また圧着にはある程度の精度が要求されるが、金属管に
対して圧着を確実に行なうことは厄介であった。
対して圧着を確実に行なうことは厄介であった。
さらに溶接時には局部的ではあるが高温となり、熱によ
るガラス部の割れ●ガス発生による真空容器内部の真空
度低下等の問題が生じることもあった。
るガラス部の割れ●ガス発生による真空容器内部の真空
度低下等の問題が生じることもあった。
本発明は上記問題点を解消するためになされたものであ
り、簡易な構成及び工程で真空容器の封止を確実に行な
おうとするものである。
り、簡易な構成及び工程で真空容器の封止を確実に行な
おうとするものである。
課題を解決するための手段
上記問題点を解消するための本発明の真空容器の排気管
とその封止装置及び封止方法は次の４点である。
とその封止装置及び封止方法は次の４点である。
（１）金属管内の一部に高展延●高圧着性金属材料を充
填かつ固定した構成の真空容器の排気管。
填かつ固定した構成の真空容器の排気管。
（２）真空容器に設置した金属製排気管内の一部に高展
延●高圧着性金属材料を充填かつ固定する工程と、前記
排気管から前記真空容器内を排気し所定の真空度に保持
する工程と、前記排気管の前記高展延●高圧着性金属材
料充填箇所を塑性変形させると同時に前記排気管内部を
前記高展延●高圧着性金属材料で圧着●密封させる工程
とを備えた排気管の封止方法。
延●高圧着性金属材料を充填かつ固定する工程と、前記
排気管から前記真空容器内を排気し所定の真空度に保持
する工程と、前記排気管の前記高展延●高圧着性金属材
料充填箇所を塑性変形させると同時に前記排気管内部を
前記高展延●高圧着性金属材料で圧着●密封させる工程
とを備えた排気管の封止方法。
（３）真空容器に設置された排気管に刻しこの排気管開
口を塞ぐに十分量の高展延●高圧着性金属材料と、前記
排気管の少なくとも先端部と前記高展延●高圧着性金属
材料とを内部に囲みかつ内部を真空排気できる外囲器と
、前記高展延●高圧着性金属材料を前記外囲器外部から
移動せしめる移動部材とを備えた排気管の封止装置。
口を塞ぐに十分量の高展延●高圧着性金属材料と、前記
排気管の少なくとも先端部と前記高展延●高圧着性金属
材料とを内部に囲みかつ内部を真空排気できる外囲器と
、前記高展延●高圧着性金属材料を前記外囲器外部から
移動せしめる移動部材とを備えた排気管の封止装置。
（４）真空容器に設置された排気管に対しこの排気管開
口を塞ぐに十分量の高展延●高圧着性金属材料と、前記
排気管の少なくとも先端部と前記高展延番高圧着性金属
材料とを内部に囲みかつ内部を真空排気できる外囲器と
、前記高展延●高圧着性金属材料を前記外囲器外部から
移動せしめる移動部材とからなる排気管の封止装置を用
いて前記排気管を封止する際、前記外囲器内を真空排気
する工程と、所定の真空度に到達の後前記移動部材を用
いて前記高展延●高圧着性金属材料を前記排気管先端開
口に押し当てて塞ぐ工程と、その後外囲器内部を大気圧
に解放する工程とを備えた排気管の封止方法。
口を塞ぐに十分量の高展延●高圧着性金属材料と、前記
排気管の少なくとも先端部と前記高展延番高圧着性金属
材料とを内部に囲みかつ内部を真空排気できる外囲器と
、前記高展延●高圧着性金属材料を前記外囲器外部から
移動せしめる移動部材とからなる排気管の封止装置を用
いて前記排気管を封止する際、前記外囲器内を真空排気
する工程と、所定の真空度に到達の後前記移動部材を用
いて前記高展延●高圧着性金属材料を前記排気管先端開
口に押し当てて塞ぐ工程と、その後外囲器内部を大気圧
に解放する工程とを備えた排気管の封止方法。
作 用
請求項１、２の発明は、金属排気管の圧着に際しては金
属排気管内部に介在しているインジウム等の高展延●高
圧着性金属制料に圧力が作用する程度に塑性変形させる
だけで高展延●亮圧着性金属材料と金属排気管との密着
性は高まり封止後の気密性は十分得られる。
属排気管内部に介在しているインジウム等の高展延●高
圧着性金属制料に圧力が作用する程度に塑性変形させる
だけで高展延●亮圧着性金属材料と金属排気管との密着
性は高まり封止後の気密性は十分得られる。
また請求項３、５の発明は、排気管と高展延●高圧着性
金属材刺の圧着に真空容器内外の気圧差を利用し、高展
延の高圧着性金属材料と排気管との高密着性を実現する
ことができる。
金属材刺の圧着に真空容器内外の気圧差を利用し、高展
延の高圧着性金属材料と排気管との高密着性を実現する
ことができる。
実施例
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。
第１図は本発明の排気管の一実施例の概略図である。金
属管１は真空容器２に何らかの方法で気密に取り付けら
れている。前記金属管１の内部にはインジウム、鉛、銅
等の高展延●高圧着性金属材料３が配設−固定されてい
る。
属管１は真空容器２に何らかの方法で気密に取り付けら
れている。前記金属管１の内部にはインジウム、鉛、銅
等の高展延●高圧着性金属材料３が配設−固定されてい
る。
ここで上記排気管での封止方法について説明する。ます
前記排気管１を通じて所定の真空度にまで真空容器２内
を排気してやる。その後、第２図に示すように金属管１
に対し内部に介在している高展延●高圧着性金属祠料３
に圧力が作用する程度に塑性変形させるのである。ここ
で高展延●高圧着性金属材料３は室温でも良好な圧着性
を持っているのでこの工程により気密性は十分得られる
。
前記排気管１を通じて所定の真空度にまで真空容器２内
を排気してやる。その後、第２図に示すように金属管１
に対し内部に介在している高展延●高圧着性金属祠料３
に圧力が作用する程度に塑性変形させるのである。ここ
で高展延●高圧着性金属材料３は室温でも良好な圧着性
を持っているのでこの工程により気密性は十分得られる
。
ここで前記高展延舎高圧着性金属材料３には真空容器を
排気するために空孔が必要であるが、形状には特に制限
はなく第１図に示した以外にも例えば第３図に示した形
状のものも考えられる。ただしできるだけ排気抵抗の小
さい形状にする方が望ましい。
排気するために空孔が必要であるが、形状には特に制限
はなく第１図に示した以外にも例えば第３図に示した形
状のものも考えられる。ただしできるだけ排気抵抗の小
さい形状にする方が望ましい。
第４図と第５図は高展延●高圧着性金属材料を用いた封
止装置およびその封止装置を用いた封止方法の他の実施
例を示すものである。排気管１ａと、前記排気管１ａの
開口を塞ぐに十分量の高展延会高圧着性金属祠料３ａと
、前記排気管１ａの先端部と前記高展延●高圧着性金属
材料３ａを内部に囲み、かつ前記排気管１ａとの接合部
には例えばＯリング４を用いることにより、内部を真空
排気できる外囲器５があり前記高展延●高圧着性金属祠
料３ａは前記外囲器５外部から移動部材６によって移動
させることができる。
止装置およびその封止装置を用いた封止方法の他の実施
例を示すものである。排気管１ａと、前記排気管１ａの
開口を塞ぐに十分量の高展延会高圧着性金属祠料３ａと
、前記排気管１ａの先端部と前記高展延●高圧着性金属
材料３ａを内部に囲み、かつ前記排気管１ａとの接合部
には例えばＯリング４を用いることにより、内部を真空
排気できる外囲器５があり前記高展延●高圧着性金属祠
料３ａは前記外囲器５外部から移動部材６によって移動
させることができる。
この構成に於いて前記外囲器５内部を真空排気し所定の
真空度に到達の後、前記移動部祠６を用いて前記高展延
●高圧着金属祠料３ａを前記排気管１ａの先端開口に押
し当てて塞ぐ。その後外囲器５内部を大気圧に解放して
やると、前記排気管１ａと前記高展延●高圧着性金属材
料３ａとの圧着には真空容器内外の気圧差を利用でき、
高展延●高圧着性金属材料３ａと排気管１ａとの密着は
非常に良くなる。この構成に於いては、前記高展延●高
圧着性金属材料３ａと前記排気管１ａの先端開口部での
圧着性をさらによくするために第６図、第７図に示すよ
うな前記排気管１ａの開口が先端部で拡がった形状のも
のやテーパー状のものなどを用いることも考えられる。
真空度に到達の後、前記移動部祠６を用いて前記高展延
●高圧着金属祠料３ａを前記排気管１ａの先端開口に押
し当てて塞ぐ。その後外囲器５内部を大気圧に解放して
やると、前記排気管１ａと前記高展延●高圧着性金属材
料３ａとの圧着には真空容器内外の気圧差を利用でき、
高展延●高圧着性金属材料３ａと排気管１ａとの密着は
非常に良くなる。この構成に於いては、前記高展延●高
圧着性金属材料３ａと前記排気管１ａの先端開口部での
圧着性をさらによくするために第６図、第７図に示すよ
うな前記排気管１ａの開口が先端部で拡がった形状のも
のやテーパー状のものなどを用いることも考えられる。
上記の構成は、排気管１ａの先端部のみを真空雰囲気に
する例であったが、第８図に示すように真空容器７全体
を囲むような真空外囲器５ても当然、同様な工程が実現
できる。
する例であったが、第８図に示すように真空容器７全体
を囲むような真空外囲器５ても当然、同様な工程が実現
できる。
また、第１図〜第８図まで用いて説明した本発明におい
て封止部の信頼性をさらに確実にするために、第９図に
示すように封止後に封止部を気密性材料８により覆って
もよい。
て封止部の信頼性をさらに確実にするために、第９図に
示すように封止後に封止部を気密性材料８により覆って
もよい。
なお以上の説明においては、同一の機能を持つものには
同一の番号を付して、その説明を省略した。
同一の番号を付して、その説明を省略した。
発明の効果
本発明は、排気管の封止材料として高展延●高圧着性金
属材料を用いた構成であり、封止に際しては高温に加熱
する必要もなくまた排気管として金属材料の使用も可能
としたものである。この結果、従来のガラス製排気管や
ガスバーナーを用いた封止方法に比べ、封止部および封
止工程などに対しての生産性●信頼性が著しく向」ニし
た。
属材料を用いた構成であり、封止に際しては高温に加熱
する必要もなくまた排気管として金属材料の使用も可能
としたものである。この結果、従来のガラス製排気管や
ガスバーナーを用いた封止方法に比べ、封止部および封
止工程などに対しての生産性●信頼性が著しく向」ニし
た。
その結果、信頼性の高い真空容器の製造を可能とした。
第１図は本発明の排気管の一実施例の断面概略図、第２
図はその封止工程の概略図、第３図は本発明の排気管の
他の実施例の断面概略図、第４図は本発明の封止装置の
一実施例の断面図、第５図はその封止工程を説明する断
面図、第６図及び第７図は本発明の封止方法の他の実施
例の断面図、第８図及び第９図は本発明の封止方法の更
に別の実施例の断面図、第１０図、第１１図は従来の排
気管の一例の概略断面図、第１２図はその封止工程を説
明する断面図である。 １、１ ａ ．．．排気管、３、３ａ．．．高展延●高
圧着性金属拐料、５．．．外囲器、ｅ．．．移動部材。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名ｌ 」 ＼０ 凶 派 ｑ５ 憾
図はその封止工程の概略図、第３図は本発明の排気管の
他の実施例の断面概略図、第４図は本発明の封止装置の
一実施例の断面図、第５図はその封止工程を説明する断
面図、第６図及び第７図は本発明の封止方法の他の実施
例の断面図、第８図及び第９図は本発明の封止方法の更
に別の実施例の断面図、第１０図、第１１図は従来の排
気管の一例の概略断面図、第１２図はその封止工程を説
明する断面図である。 １、１ ａ ．．．排気管、３、３ａ．．．高展延●高
圧着性金属拐料、５．．．外囲器、ｅ．．．移動部材。 代理人の氏名 弁理士 粟野重孝 はか１名ｌ 」 ＼０ 凶 派 ｑ５ 憾
Claims (5)
- （１）金属管内の一部に高展延・高圧着性金属材料を充
填かつ固定したことを特徴とする真空容器の排気管。 - （２）真空容器に設置した金属製排気管内の一部に高展
延・高圧着性金属材料を充填かつ固定する工程と、前記
排気管から前記真空容器内を排気し所定の真空度に保持
する工程と、前記排気管の前記高展延・高圧着性金属材
料充填箇所を塑性変形させると同時に前記排気管内部を
前記高展延・高圧着性金属材料で圧着・密封させる工程
とを備えたことを特徴とする排気管の封止方法。 - （３）真空容器に設置された排気管に対しこの排気管開
口を塞ぐに十分量の高展延・高圧着性金属材料と、前記
排気管の少なくとも先端部と前記高展延・高圧着性金属
材料とを内部に囲みかつ内部を真空排気できる外囲器と
、前記高展延・高圧着性金属材料を前記外囲器外部から
移動せしめる移動部材とを備えたことを特徴とする排気
管の封止装置。 - （４）排気管は、その開口が先端部で拡がった形状の排
気管であることを特徴とする請求項３記載の排気管の封
止装置。 - （５）真空容器に設置された排気管に対しこの排気管開
口を塞ぐに十分量の高展延・高圧着性金属材料と、前記
排気管の少なくとも先端部と前記高展延・高圧着性金属
材料とを内部に囲みかつ内部を真空排気できる外囲器と
、前記高展延・高圧着性金属材料を前記外囲器外部から
移動せしめる移動部材とからなる排気管の封止装置を用
いて前記排気管を封止する際、前記外囲器内を真空排気
する工程と、所定の真空度に到達の後前記移動部材を用
いて前記高展延・高圧着性金属材料を前記排気管先端開
口に押し当てて塞ぐ工程と、その後外囲器内部を大気圧
に解放する工程とを備えたことを特徴とする排気管の封
止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11473189A JPH02295028A (ja) | 1989-05-08 | 1989-05-08 | 真空容器の排気管とその封止装置及び封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11473189A JPH02295028A (ja) | 1989-05-08 | 1989-05-08 | 真空容器の排気管とその封止装置及び封止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02295028A true JPH02295028A (ja) | 1990-12-05 |
Family
ID=14645217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11473189A Pending JPH02295028A (ja) | 1989-05-08 | 1989-05-08 | 真空容器の排気管とその封止装置及び封止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02295028A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6623593B2 (en) | 1997-12-10 | 2003-09-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of forming an outlet structure of sealed container having a hollow member with a flare-shaped opening portion |
| JP2007187654A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-07-26 | Yamari Sangyo Kk | シース熱電対およびその製造方法 |
-
1989
- 1989-05-08 JP JP11473189A patent/JPH02295028A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6623593B2 (en) | 1997-12-10 | 2003-09-23 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of forming an outlet structure of sealed container having a hollow member with a flare-shaped opening portion |
| JP2007187654A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-07-26 | Yamari Sangyo Kk | シース熱電対およびその製造方法 |
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