JP2002141579A - ピエゾポジショナー及びその封止方法 - Google Patents
ピエゾポジショナー及びその封止方法Info
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 加圧環境下で用いても変位量を正確に検出で
きるピエゾポジショナーを提供すること。 【解決手段】 外囲器に封入されているピエゾポジショ
ナーであって、そのピエゾポジショナーが、３×１０5
Ｐａ以上に加圧された６フッ化イオウガス中に封入され
ていることとしたピエゾポジショナー。
きるピエゾポジショナーを提供すること。 【解決手段】 外囲器に封入されているピエゾポジショ
ナーであって、そのピエゾポジショナーが、３×１０5
Ｐａ以上に加圧された６フッ化イオウガス中に封入され
ていることとしたピエゾポジショナー。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ピエゾポジショナ
ー関し、特に外囲器に封入されているピエゾポジショナ
ーに関する。
ー関し、特に外囲器に封入されているピエゾポジショナ
ーに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電セラミックス製ピエゾ素子を用いた
ピエゾポジショナーは、通常、外部と隔絶する外囲器に
封入されて用いられている。その外囲器の内部には、湿
気が侵入するとピエゾ素子の電極間にマイグレーション
が発生するので、それを防ぐため、通常、常圧の乾燥窒
素が封入されている。このピエゾポジショナーは、最近
では、半導体の製造等に使われている加圧機器などに用
いられるケースが出ている。
ピエゾポジショナーは、通常、外部と隔絶する外囲器に
封入されて用いられている。その外囲器の内部には、湿
気が侵入するとピエゾ素子の電極間にマイグレーション
が発生するので、それを防ぐため、通常、常圧の乾燥窒
素が封入されている。このピエゾポジショナーは、最近
では、半導体の製造等に使われている加圧機器などに用
いられるケースが出ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このピ
エゾポジショナーは、加圧環境下で用いると、外囲器内
部の圧力が１気圧であるため、外囲器の内部と外部との
圧力差によりピエゾポジショナーの動きが抑え込まれ、
ピエゾポジショナーの変位量を正確に検出できないとい
う問題があった。
エゾポジショナーは、加圧環境下で用いると、外囲器内
部の圧力が１気圧であるため、外囲器の内部と外部との
圧力差によりピエゾポジショナーの動きが抑え込まれ、
ピエゾポジショナーの変位量を正確に検出できないとい
う問題があった。
【０００４】本発明は、上述した外囲器に封入されてい
るピエゾポジショナーが有する課題に鑑みなされたもの
であって、その目的は、加圧環境下で用いても変位量を
正確に検出できるピエゾポジショナーを提供することに
ある。
るピエゾポジショナーが有する課題に鑑みなされたもの
であって、その目的は、加圧環境下で用いても変位量を
正確に検出できるピエゾポジショナーを提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上記目的
を達成するため鋭意研究した結果、外囲器の内部を加圧
雰囲気にすれば、加圧環境下で用いても変位量を正確に
検出できるピエゾポジショナーが得られるとの知見を得
て本発明を完成するに至った。
を達成するため鋭意研究した結果、外囲器の内部を加圧
雰囲気にすれば、加圧環境下で用いても変位量を正確に
検出できるピエゾポジショナーが得られるとの知見を得
て本発明を完成するに至った。
【０００６】即ち本発明は、（１）外囲器に封入されて
いるピエゾポジショナーであって、そのピエゾポジショ
ナーが、３×１０5Ｐａ以上に加圧された６フッ化イオ
ウガス中に封入されていることを特徴とするピエゾポジ
ショナー（請求項１）とし、（２）外囲器にピエゾポジ
ショナーを挿入し、その外囲器を３×１０5Ｐａ以上に
加圧された６フッ化イオウガス中でレーザ溶接、電子ビ
ーム溶接、抵抗溶接することにより封止することを特徴
とするピエゾポジショナーの封止方法（請求項２）と
し、（３）外囲器にピエゾポジショナーを挿入し、その
外囲器を大気中でレーザ溶接、電子ビーム溶接、抵抗溶
接し、その溶接部分に排気用パイプを設け、そのパイプ
を通して外囲器内部に３×１０5Ｐａ以上に加圧された
６フッ化イオウガスを封入した後、そのパイプを加締め
ることにより封止することを特徴とするピエゾポジショ
ナーの封止方法（請求項３）とすることを要旨とする。
以下さらに詳細に説明する。
いるピエゾポジショナーであって、そのピエゾポジショ
ナーが、３×１０5Ｐａ以上に加圧された６フッ化イオ
ウガス中に封入されていることを特徴とするピエゾポジ
ショナー（請求項１）とし、（２）外囲器にピエゾポジ
ショナーを挿入し、その外囲器を３×１０5Ｐａ以上に
加圧された６フッ化イオウガス中でレーザ溶接、電子ビ
ーム溶接、抵抗溶接することにより封止することを特徴
とするピエゾポジショナーの封止方法（請求項２）と
し、（３）外囲器にピエゾポジショナーを挿入し、その
外囲器を大気中でレーザ溶接、電子ビーム溶接、抵抗溶
接し、その溶接部分に排気用パイプを設け、そのパイプ
を通して外囲器内部に３×１０5Ｐａ以上に加圧された
６フッ化イオウガスを封入した後、そのパイプを加締め
ることにより封止することを特徴とするピエゾポジショ
ナーの封止方法（請求項３）とすることを要旨とする。
以下さらに詳細に説明する。
【０００７】上記で述べたように、本発明のピエゾポジ
ショナーとしては、そのピエゾポジショナーが、３×１
０5Ｐａ以上に加圧された６フッ化イオウガス中に封入
されていることとするピエゾポジショナーとした（請求
項１）。
ショナーとしては、そのピエゾポジショナーが、３×１
０5Ｐａ以上に加圧された６フッ化イオウガス中に封入
されていることとするピエゾポジショナーとした（請求
項１）。
【０００８】外囲器内部を加圧雰囲気としたのは、外囲
器内部と外部の圧力が平衡にないとピエゾポジショナー
の変位量が正確に検出できないため、外囲器外部の加圧
雰囲気に合わせたものである。このように、外囲器内部
と外部の圧力が平衡になれば、加圧環境下でも変位量を
正確に検出できるようになる。
器内部と外部の圧力が平衡にないとピエゾポジショナー
の変位量が正確に検出できないため、外囲器外部の加圧
雰囲気に合わせたものである。このように、外囲器内部
と外部の圧力が平衡になれば、加圧環境下でも変位量を
正確に検出できるようになる。
【０００９】その加圧の度合いとしては、３×１０5Ｐ
ａ以上とした。圧力が３×１０5Ｐａ以上あれば、使用
される加圧環境下に平衡させることができる。また、そ
の加圧される雰囲気ガスとしては、６フッ化イオウガス
した。この６フッ化イオウガスは、耐熱性に優れ、無毒
で、３×１０5Ｐａ以上の雰囲気下では絶縁油に匹敵す
る絶縁性を示す特徴を有するので、望ましい雰囲気ガス
となる。これにより、ピエゾポジショナーの変位量が正
確に検出できる。
ａ以上とした。圧力が３×１０5Ｐａ以上あれば、使用
される加圧環境下に平衡させることができる。また、そ
の加圧される雰囲気ガスとしては、６フッ化イオウガス
した。この６フッ化イオウガスは、耐熱性に優れ、無毒
で、３×１０5Ｐａ以上の雰囲気下では絶縁油に匹敵す
る絶縁性を示す特徴を有するので、望ましい雰囲気ガス
となる。これにより、ピエゾポジショナーの変位量が正
確に検出できる。
【００１０】そのピエゾポジショナーの封止方法として
は、先ず外囲器にピエゾポジショナーを挿入し、その外
囲器を３×１０5Ｐａ以上に加圧された６フッ化イオウ
ガス中でレーザ溶接、電子ビーム溶接、抵抗溶接するこ
とにより封止することとする封止方法とした（請求項
２）。
は、先ず外囲器にピエゾポジショナーを挿入し、その外
囲器を３×１０5Ｐａ以上に加圧された６フッ化イオウ
ガス中でレーザ溶接、電子ビーム溶接、抵抗溶接するこ
とにより封止することとする封止方法とした（請求項
２）。
【００１１】作業空間を加圧雰囲気にするのは、一旦、
ロータリーポンプやターボ分子ポンプ等でその作業空間
を真空状態にした後、その作業空間に加圧された６フッ
化イオウガスを充填すればよく、その作業空間で外囲器
のピエゾポジショナーを挿入する部分（外囲器のキャッ
プ部分）とピエゾ素子を支持しているステム部分とを溶
接すれば、外囲器内部を加圧雰囲気にすることができ
る。
ロータリーポンプやターボ分子ポンプ等でその作業空間
を真空状態にした後、その作業空間に加圧された６フッ
化イオウガスを充填すればよく、その作業空間で外囲器
のピエゾポジショナーを挿入する部分（外囲器のキャッ
プ部分）とピエゾ素子を支持しているステム部分とを溶
接すれば、外囲器内部を加圧雰囲気にすることができ
る。
【００１２】他の封止方法としては、外囲器にピエゾポ
ジショナーを挿入し、その外囲器を大気中でレーザ溶
接、電子ビーム溶接、抵抗溶接し、その溶接部分に排気
用パイプを設け、そのパイプを通して外囲器内部に３×
１０5Ｐａ以上に加圧された６フッ化イオウガスを封入
した後、そのパイプを加締めることにより封止すること
とする封止方法とした（請求項３）。
ジショナーを挿入し、その外囲器を大気中でレーザ溶
接、電子ビーム溶接、抵抗溶接し、その溶接部分に排気
用パイプを設け、そのパイプを通して外囲器内部に３×
１０5Ｐａ以上に加圧された６フッ化イオウガスを封入
した後、そのパイプを加締めることにより封止すること
とする封止方法とした（請求項３）。
【００１３】外囲器内部を加圧雰囲気にするのは、先ず
パイプを通してロータリーポンプなどで外囲器内部を吸
引して排気し、そのパイプを通して加圧された６フッ化
イオウガスを充填した後、そのパイプの途中を加締めれ
ばよい。この方法は、加圧雰囲気にする作業空間が必要
ないので、より簡単な方法となる。
パイプを通してロータリーポンプなどで外囲器内部を吸
引して排気し、そのパイプを通して加圧された６フッ化
イオウガスを充填した後、そのパイプの途中を加締めれ
ばよい。この方法は、加圧雰囲気にする作業空間が必要
ないので、より簡単な方法となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明を具体的な実施例を挙げて
説明する。先ずピエゾポジショナー（太平洋セメント社
製）を用意する。
説明する。先ずピエゾポジショナー（太平洋セメント社
製）を用意する。
【００１５】そのピエゾポジショナーを外囲器に挿入
し、その外囲器に表１に示す圧力に加圧された６フッ化
イオウガスを表１に示す封止方法で封入する。それを用
いて表１に示す加圧環境下で１５０Ｖの電圧を印加して
変位量を調べた。その結果を表１に示す。なお、比較の
ために、従来の外囲器内部に１気圧の乾燥窒素を封入し
たピエゾポジショナーを用いて大気中で変位量を調べ
た。その結果も表１に示す。
し、その外囲器に表１に示す圧力に加圧された６フッ化
イオウガスを表１に示す封止方法で封入する。それを用
いて表１に示す加圧環境下で１５０Ｖの電圧を印加して
変位量を調べた。その結果を表１に示す。なお、比較の
ために、従来の外囲器内部に１気圧の乾燥窒素を封入し
たピエゾポジショナーを用いて大気中で変位量を調べ
た。その結果も表１に示す。
【００１６】
【表１】
【００１７】表１から明らかなように、実施例では外囲
器内部の加圧雰囲気が全て本発明の範囲内にあるので、
変位量は封止方法に関わらず従来の比較例１とほぼ変わ
らず、正確に検出できた。このことは、外囲器内部を加
圧雰囲気にし、しかも本発明の範囲の加圧雰囲気にすれ
ば、加圧環境下でも変位量を正確に検出できることを示
している。
器内部の加圧雰囲気が全て本発明の範囲内にあるので、
変位量は封止方法に関わらず従来の比較例１とほぼ変わ
らず、正確に検出できた。このことは、外囲器内部を加
圧雰囲気にし、しかも本発明の範囲の加圧雰囲気にすれ
ば、加圧環境下でも変位量を正確に検出できることを示
している。
【００１８】
【発明の効果】以上の通り、本発明のピエゾポジショナ
ーであれば、加圧環境下で使われても正確な変位量を検
出することのできるピエゾポジショナーとすることがで
きるようになった。このことにより、ピエゾポジショナ
ーの電子部品への展開が大きく広がった。
ーであれば、加圧環境下で使われても正確な変位量を検
出することのできるピエゾポジショナーとすることがで
きるようになった。このことにより、ピエゾポジショナ
ーの電子部品への展開が大きく広がった。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 熊本 憲二 千葉県東金市子沼田1568−４ 太平洋セメ ント株 式会社 中央研究所 第２研究部 電子技術センター (72)発明者 江崎 徹 千葉県東金市子沼田1568−４ 太平洋セメ ント株 式会社 中央研究所 第２研究部 電子技術センター
Claims (3)
- 【請求項１】 外囲器に封入されているピエゾポジショ
ナーであって、そのピエゾポジショナーが、３×１０5
Ｐａ以上に加圧された６フッ化イオウガス中に封入され
ていることを特徴とするピエゾポジショナー。 - 【請求項２】 外囲器にピエゾポジショナーを挿入し、
その外囲器を３×１０5Ｐａ以上に加圧された６フッ化
イオウガス中でレーザ溶接、電子ビーム溶接、抵抗溶接
することにより封止することを特徴とするピエゾポジシ
ョナーの封止方法。 - 【請求項３】 外囲器にピエゾポジショナーを挿入し、
その外囲器を大気中でレーザ溶接、電子ビーム溶接、抵
抗溶接し、その溶接部分に排気用パイプを設け、そのパ
イプを通して外囲器内部に３×１０5Ｐａ以上に加圧さ
れた６フッ化イオウガスを封入した後、そのパイプを加
締めることにより封止することを特徴とするピエゾポジ
ショナーの封止方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000338537A JP2002141579A (ja) | 2000-11-07 | 2000-11-07 | ピエゾポジショナー及びその封止方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000338537A JP2002141579A (ja) | 2000-11-07 | 2000-11-07 | ピエゾポジショナー及びその封止方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002141579A true JP2002141579A (ja) | 2002-05-17 |
Family
ID=18813737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000338537A Pending JP2002141579A (ja) | 2000-11-07 | 2000-11-07 | ピエゾポジショナー及びその封止方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002141579A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015047808A (ja) * | 2013-09-03 | 2015-03-16 | 株式会社トッパン・コスモ | 発泡積層シートの製造方法 |
-
2000
- 2000-11-07 JP JP2000338537A patent/JP2002141579A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015047808A (ja) * | 2013-09-03 | 2015-03-16 | 株式会社トッパン・コスモ | 発泡積層シートの製造方法 |
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