JPH02286910A - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
- Publication number
- JPH02286910A JPH02286910A JP10590789A JP10590789A JPH02286910A JP H02286910 A JPH02286910 A JP H02286910A JP 10590789 A JP10590789 A JP 10590789A JP 10590789 A JP10590789 A JP 10590789A JP H02286910 A JPH02286910 A JP H02286910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- rotating shaft
- time
- rotary shaft
- electromagnets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 4
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 abstract 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 abstract 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 101100381481 Caenorhabditis elegans baz-2 gene Proteins 0.000 description 1
- 101100372762 Rattus norvegicus Flt1 gene Proteins 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical group [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0442—Active magnetic bearings with devices affected by abnormal, undesired or non-standard conditions such as shock-load, power outage, start-up or touchdown
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
- F16C32/0444—Details of devices to control the actuation of the electromagnets
- F16C32/0451—Details of controllers, i.e. the units determining the power to be supplied, e.g. comparing elements, feedback arrangements with P.I.D. control
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的コ
(産業上の利用分!11f)
本発明は、回転軸の位置を検出2:;により険出し、そ
の検出出力に基いて電磁石に制御信号をljえることに
より、回転軸を基準位置に非接触状態で保持するように
した磁気軸受装置に関する。
の検出出力に基いて電磁石に制御信号をljえることに
より、回転軸を基準位置に非接触状態で保持するように
した磁気軸受装置に関する。
(従来の技術)
従来、この種の磁気軸受装置としては、例えば第3図に
示すようなものがある。
示すようなものがある。
即ち、1はモータ等の回転軸であり、2a、3a、2b
、3bはこの回転軸1を図示の基準位置に非接触状態で
保持するためのiIi 1ift石である。この場合、
回転軸1の回転中心Oで直交するX輔及びY軸を想定し
たとき、電磁石2a、 3aはX軸上で回転軸1を挾
んで対向するように配置され、電磁石2b、’lbはY
軸上で回転軸1を挾んで対向するように配置されている
。4a、4bは検出器であり、これらは夫々X軸、Y軸
上に配置され、電磁石2a、2bから夫々の軸方向に沿
った回転軸1までの距離を検出するものである。5aは
X軸方向の制御を行なう制御回路であり、これは次のよ
うに構成されている。即ち、6aは回転軸1の基準位置
に対応する信号を出力する位置設定器であり、7aはこ
の位置設定器6a及び検出器4aから信号が与えられる
位置1−差発生器であり、これらの信号に基いて回転軸
1の基■位置からの偏、差に相当する偏差信号を出力す
るもの”である。
、3bはこの回転軸1を図示の基準位置に非接触状態で
保持するためのiIi 1ift石である。この場合、
回転軸1の回転中心Oで直交するX輔及びY軸を想定し
たとき、電磁石2a、 3aはX軸上で回転軸1を挾
んで対向するように配置され、電磁石2b、’lbはY
軸上で回転軸1を挾んで対向するように配置されている
。4a、4bは検出器であり、これらは夫々X軸、Y軸
上に配置され、電磁石2a、2bから夫々の軸方向に沿
った回転軸1までの距離を検出するものである。5aは
X軸方向の制御を行なう制御回路であり、これは次のよ
うに構成されている。即ち、6aは回転軸1の基準位置
に対応する信号を出力する位置設定器であり、7aはこ
の位置設定器6a及び検出器4aから信号が与えられる
位置1−差発生器であり、これらの信号に基いて回転軸
1の基■位置からの偏、差に相当する偏差信号を出力す
るもの”である。
8aは位相補償回路であり、これは、位置偏差発生器7
aからの偏差信号に基いてP、1.D(比例積分微分)
等の処理により位相補償を行ない、これを制@J錫号と
して電力増幅器9a、10aを夫々介して電磁石2a、
3aの励磁コイル11a。
aからの偏差信号に基いてP、1.D(比例積分微分)
等の処理により位相補償を行ない、これを制@J錫号と
して電力増幅器9a、10aを夫々介して電磁石2a、
3aの励磁コイル11a。
12aに与えるようになっている。尚、5bはY軸方向
の制御を行なう制御回路であり、制御回路5aと全く同
様の構成となっており、検出器4bから与えられる信号
に基いて制御信号を出力し電磁石2b、3bの励磁コイ
ル11b、12bに与えるようになっている。
の制御を行なう制御回路であり、制御回路5aと全く同
様の構成となっており、検出器4bから与えられる信号
に基いて制御信号を出力し電磁石2b、3bの励磁コイ
ル11b、12bに与えるようになっている。
このような構成により、回転軸1のX方向、Y方向の変
位に対して、制御回路5a、5bは検出器4a、4bの
検出出力に基づいて回転fill 1を基準位置に修1
Eすべく制御信号を電磁石2a、3a。
位に対して、制御回路5a、5bは検出器4a、4bの
検出出力に基づいて回転fill 1を基準位置に修1
Eすべく制御信号を電磁石2a、3a。
2b、3bの励磁コイルIla、12a、11.b。
12bに与えるようになる。この結果、回転軸]は非接
触状態で基準位置に保持されるものである。
触状態で基準位置に保持されるものである。
(発明が解決しようとする課題)
ところで、このような制御回路5a、5bにおいては、
その構成を簡単にするため、7は磁石2a、3a、
2b、3bの非線形要素を線形化して取扱い、P、I、
D処理の定数を決めて制御を行なうことが一般的となっ
ている。即ち、例えば電磁石の励磁7に流に対する電磁
力、磁速密度に対する透磁率の変化等の非線形要素は、
運転中の回転軸1の変位が小さいことから、線形化して
取扱っても回転軸1の安定した制御に支障をきたすこと
がないからである。
その構成を簡単にするため、7は磁石2a、3a、
2b、3bの非線形要素を線形化して取扱い、P、I、
D処理の定数を決めて制御を行なうことが一般的となっ
ている。即ち、例えば電磁石の励磁7に流に対する電磁
力、磁速密度に対する透磁率の変化等の非線形要素は、
運転中の回転軸1の変位が小さいことから、線形化して
取扱っても回転軸1の安定した制御に支障をきたすこと
がないからである。
しかしながら、このような従来構成のものでは7上述の
ように運転中の場合には支障なく制御が行なわれるが、
磁気軸受装置の起動時或は停止1°時においても同様の
処理によって制御されることにI↓す、停止し一位置で
ある図示しないタッチダウンベアリングに支持された位
置と基準位置との間での大きな変位にχ・1して、回転
軸1は急激に移動すべく制御される。これにより、起動
時には、11位置近傍での回転軸1の振動が長く続いて
安定な状態になるまでに時間がかかってしまい、また停
止時には回転軸1がタッチダウンベアリングに落下する
ためその衝撃で損傷する虞があるという問題があった。
ように運転中の場合には支障なく制御が行なわれるが、
磁気軸受装置の起動時或は停止1°時においても同様の
処理によって制御されることにI↓す、停止し一位置で
ある図示しないタッチダウンベアリングに支持された位
置と基準位置との間での大きな変位にχ・1して、回転
軸1は急激に移動すべく制御される。これにより、起動
時には、11位置近傍での回転軸1の振動が長く続いて
安定な状態になるまでに時間がかかってしまい、また停
止時には回転軸1がタッチダウンベアリングに落下する
ためその衝撃で損傷する虞があるという問題があった。
このような問題を解決するために、起動時及び停止時
にはその設定を急激に行わず徐々に変化させるように設
定することが考えられる。しかし、回転軸1が縦軸配置
となるような形態で使用される場合には、起動時に回転
軸が検出器側に停止していないことがあり、このときに
は上記のような設定がかえって逆効果となり、激しい偏
差が生じるため振動を起こしてしまう。従って、回転軸
の停止位置に条件がつくことになってしまうという問題
があった。
にはその設定を急激に行わず徐々に変化させるように設
定することが考えられる。しかし、回転軸1が縦軸配置
となるような形態で使用される場合には、起動時に回転
軸が検出器側に停止していないことがあり、このときに
は上記のような設定がかえって逆効果となり、激しい偏
差が生じるため振動を起こしてしまう。従って、回転軸
の停止位置に条件がつくことになってしまうという問題
があった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、その
目的は、回転軸の停止位置に拘らず回転軸の起動時にお
ける振動を防止すると共に停止時における回転軸支持部
祠への衝撃を極力低ドし得る磁気軸受装置を提1」(す
るにある。
目的は、回転軸の停止位置に拘らず回転軸の起動時にお
ける振動を防止すると共に停止時における回転軸支持部
祠への衝撃を極力低ドし得る磁気軸受装置を提1」(す
るにある。
[発明の(1−1成]
(課題を解決するための手段)
本発明は、回転軸を自身と所定の基苧距離を存した基準
位置に非接触状態で保持するだめの電磁石を備え、この
電磁石の電磁力を制御(6号のレベルにより制御するよ
うにした磁気軸受装置をχ・l象とし、前記回転軸及び
電磁石間の距離を検出する検出器、及びこの検出器の検
出出力に基づいて決定した制御信号を前記電磁石に与え
ることにより前記回転軸を前記基準位置に保持する位置
制御flt1手段、並びに前記検出器による検出距離が
前記基■距離より大きいときに検知信号を発生する比較
回路を設けた上で、前記位置制御手段を、前記電磁石の
起動時及び停止時における前記回転軸のF多動に際して
前記制御信号のレベルを所定時間を以て徐々に変化させ
ると共に、その変化方向を前記検知信号の有無に応じて
反転させるように(1′4成したところに特徴を有する
。
位置に非接触状態で保持するだめの電磁石を備え、この
電磁石の電磁力を制御(6号のレベルにより制御するよ
うにした磁気軸受装置をχ・l象とし、前記回転軸及び
電磁石間の距離を検出する検出器、及びこの検出器の検
出出力に基づいて決定した制御信号を前記電磁石に与え
ることにより前記回転軸を前記基準位置に保持する位置
制御flt1手段、並びに前記検出器による検出距離が
前記基■距離より大きいときに検知信号を発生する比較
回路を設けた上で、前記位置制御手段を、前記電磁石の
起動時及び停止時における前記回転軸のF多動に際して
前記制御信号のレベルを所定時間を以て徐々に変化させ
ると共に、その変化方向を前記検知信号の有無に応じて
反転させるように(1′4成したところに特徴を有する
。
(作用)
本発明の磁気軸受装置によれば、電磁石の起動時におい
て、回転軸の検出距離が基準距離以下の場合には比較回
路から検知信号は出力されず、位置制御手段は回転軸を
基準位置へ移動させるための制御信号のレベルを所定時
間を以て徐々に変化させながら電磁石に与える。これに
より回転軸は基準位置に徐々に移動して非接触状態で保
持されるようになり、従って、振動を起こすことなく速
やかに安定する。また、回転軸の検出距離が基準距離よ
りも大きい場合には比較回路から検知信号が出力され、
位置制御手段は回転軸をgt%位置へ移動させるための
制御信号のレベルを反転させて大きいほうから徐々に変
化させながら電磁石にり、える。これにより、回転軸が
検出器から遠い位置に停止しているときでも徐々に基f
(sh置に移動され、従って、振動を起こすことなく
速やかに安定する。この後、回転軸の保持動作中におい
ては、位置制御手段による電磁石の吸引力制御により回
転軸が非接触状態で基〆’1” IM置に保持される。
て、回転軸の検出距離が基準距離以下の場合には比較回
路から検知信号は出力されず、位置制御手段は回転軸を
基準位置へ移動させるための制御信号のレベルを所定時
間を以て徐々に変化させながら電磁石に与える。これに
より回転軸は基準位置に徐々に移動して非接触状態で保
持されるようになり、従って、振動を起こすことなく速
やかに安定する。また、回転軸の検出距離が基準距離よ
りも大きい場合には比較回路から検知信号が出力され、
位置制御手段は回転軸をgt%位置へ移動させるための
制御信号のレベルを反転させて大きいほうから徐々に変
化させながら電磁石にり、える。これにより、回転軸が
検出器から遠い位置に停止しているときでも徐々に基f
(sh置に移動され、従って、振動を起こすことなく
速やかに安定する。この後、回転軸の保持動作中におい
ては、位置制御手段による電磁石の吸引力制御により回
転軸が非接触状態で基〆’1” IM置に保持される。
一方、電磁石の通電停止1−時においては、位置制御手
段は電磁石に与える制御信号のレベルを所定時間を以て
徐々に低下させていく。これにより、回転軸は急激に落
下することなく例えばタッチダウンベアリングのような
回転軸支持部祠に静かに接触するようになり、従って、
接触時の衝撃がなく回転軸等が損傷することがない。
段は電磁石に与える制御信号のレベルを所定時間を以て
徐々に低下させていく。これにより、回転軸は急激に落
下することなく例えばタッチダウンベアリングのような
回転軸支持部祠に静かに接触するようになり、従って、
接触時の衝撃がなく回転軸等が損傷することがない。
(実施例)
以下、本発明をラジアル形の磁気軸受装置に適用した一
実施例について第1図及び第2図を参照しながら説明す
る。
実施例について第1図及び第2図を参照しながら説明す
る。
全体構成を示す第1図において、21はモータ等の回転
軸であり、これは停止中には図示しないタッチダウンベ
アリングに接触状態で保持されるようになっている。2
2a、23a、 22b、23bはこの回転軸21を
図示の基■位置に非接触状態で保持するための電磁石で
ある。この場合、回転軸2]の回転中心Oで直交するX
輔及びY軸を想定したとき、電磁石22a、23aはX
軸上で回転軸21を挾んで対向するように配置され、電
磁石22b、23bはY軸」−で回転軸21を挾んで対
向するように配置されている。24a、24bは検出器
であり、これらは夫々X軸、Y軸上に配置され、電磁石
22a、22bから夫々の軸方向に沿った回転軸21ま
での距離を検出して検出1立置信号Sla、Slbを出
力するものである。
軸であり、これは停止中には図示しないタッチダウンベ
アリングに接触状態で保持されるようになっている。2
2a、23a、 22b、23bはこの回転軸21を
図示の基■位置に非接触状態で保持するための電磁石で
ある。この場合、回転軸2]の回転中心Oで直交するX
輔及びY軸を想定したとき、電磁石22a、23aはX
軸上で回転軸21を挾んで対向するように配置され、電
磁石22b、23bはY軸」−で回転軸21を挾んで対
向するように配置されている。24a、24bは検出器
であり、これらは夫々X軸、Y軸上に配置され、電磁石
22a、22bから夫々の軸方向に沿った回転軸21ま
での距離を検出して検出1立置信号Sla、Slbを出
力するものである。
さて、25a、25bは軸受制御部で、これらは同様の
構成となっており夫々位置制御手段たる位置制御回路2
6a、26b及び比較回路27a。
構成となっており夫々位置制御手段たる位置制御回路2
6a、26b及び比較回路27a。
27bから構成されている。以ド、その6部の構成を、
X軸方向の制御系統には添字aを付し、Y軸方向の制御
系統には添字すを付して示すものとし、その詳細をX軸
方向の制御系統即ち軸受制御部25 aの$14成につ
いてのみ述べる。
X軸方向の制御系統には添字aを付し、Y軸方向の制御
系統には添字すを付して示すものとし、その詳細をX軸
方向の制御系統即ち軸受制御部25 aの$14成につ
いてのみ述べる。
まず、位置制御回路26aにおいて、28aは図示しな
い直流電源に接続された起動スイッチで、電源の投入に
応じてオンされるようになっている。
い直流電源に接続された起動スイッチで、電源の投入に
応じてオンされるようになっている。
29aはこの起動スイッチ28aを介して電源が与えら
れる比較信号発生回路で、通電に応じて基僧位置までの
距#E(基準距離)に相当するステップ状の比較信号S
2aを出力する。比較回路27aは、検出器24a及び
比較1i号発生回路29 Bから信号が与えられるもの
で、検出位置信号Slaと比較信号S2aとを比較する
。そして検出位置信号S2+tが大きい時、つまり検出
器24Hによる検出距離が2!■距離よりも大きいとき
には検知信号S4aを出力し、そうでないときにはゼロ
レベルの信号を出力するものである。30aは設定回路
で、これは例えば−次遅れ要素により所定時間Tか経過
する間に)に 阜距離に相当するレベルに達する設定信
号S4aを出力するものである。31aは加算器で、こ
れは比較回路27a、設定回路30aからの信号S3a
、S4aを加算して合成1g号S5aとして出力するも
のである。32aは変換器で、加算器31 aから与え
られる合成信号S5aの極性が正符号のときにはそのま
ま出力し、負符号のときには反転して変換信号Seaと
して出力するものである。3’3aは制限回路で、変換
器32 aから与えられる信号SGaにχ・1して所定
の上限値、下限値を超える部分をカッ!・して減算器゛
34aにl−jえるものである。この場合、制限回路3
3aは、回転軸21を過剰に大きく制御してタッチダウ
ンベアリングに接触してしまうことを防市するために設
けられているものである。減算器34aは、制限回路3
3aを介して変換回路32Bから与えられる設定位置信
号5f3aから前記検出器24aの検出位置信号Sit
を減算して偏差信号S7aを出力する。
れる比較信号発生回路で、通電に応じて基僧位置までの
距#E(基準距離)に相当するステップ状の比較信号S
2aを出力する。比較回路27aは、検出器24a及び
比較1i号発生回路29 Bから信号が与えられるもの
で、検出位置信号Slaと比較信号S2aとを比較する
。そして検出位置信号S2+tが大きい時、つまり検出
器24Hによる検出距離が2!■距離よりも大きいとき
には検知信号S4aを出力し、そうでないときにはゼロ
レベルの信号を出力するものである。30aは設定回路
で、これは例えば−次遅れ要素により所定時間Tか経過
する間に)に 阜距離に相当するレベルに達する設定信
号S4aを出力するものである。31aは加算器で、こ
れは比較回路27a、設定回路30aからの信号S3a
、S4aを加算して合成1g号S5aとして出力するも
のである。32aは変換器で、加算器31 aから与え
られる合成信号S5aの極性が正符号のときにはそのま
ま出力し、負符号のときには反転して変換信号Seaと
して出力するものである。3’3aは制限回路で、変換
器32 aから与えられる信号SGaにχ・1して所定
の上限値、下限値を超える部分をカッ!・して減算器゛
34aにl−jえるものである。この場合、制限回路3
3aは、回転軸21を過剰に大きく制御してタッチダウ
ンベアリングに接触してしまうことを防市するために設
けられているものである。減算器34aは、制限回路3
3aを介して変換回路32Bから与えられる設定位置信
号5f3aから前記検出器24aの検出位置信号Sit
を減算して偏差信号S7aを出力する。
35aは位)II補償回路で、これは減算器34aから
与えられる(−差信号S7+1に基づいて位相補償を行
なって制御信号S 8a、 S 9aとして出力する
もので、これらの制御信号Sea、S9aは夫々電力増
幅器−46a、37aを介して電磁石22a、23aの
励磁コイル38a、3Qaに与えられる。この場合、位
相補償回路゛32aはP、1.D方式等で信号変換処理
を行なうもので、電磁石22a、23aにχ・すする非
線形要素を近似的に線形要素とみなしてその定数が設定
されている。
与えられる(−差信号S7+1に基づいて位相補償を行
なって制御信号S 8a、 S 9aとして出力する
もので、これらの制御信号Sea、S9aは夫々電力増
幅器−46a、37aを介して電磁石22a、23aの
励磁コイル38a、3Qaに与えられる。この場合、位
相補償回路゛32aはP、1.D方式等で信号変換処理
を行なうもので、電磁石22a、23aにχ・すする非
線形要素を近似的に線形要素とみなしてその定数が設定
されている。
次に、上記構成の作用について第2図をも参照しながら
説明する。尚、作用についてもX軸方向及びY軸方向の
制御系統は全く同様に機能するので、以下X軸方向の制
御系統のみについて述べる。
説明する。尚、作用についてもX軸方向及びY軸方向の
制御系統は全く同様に機能するので、以下X軸方向の制
御系統のみについて述べる。
まず、電源投入前の状態において、回転軸21のそのと
きの停止位置が検出器24Bに対して基僧距離よりも離
れている場合、つまり検出器24aの検出位置16号S
lHの値が基亭距離レベルの信号よりも大きい場合につ
いて述べる。
きの停止位置が検出器24Bに対して基僧距離よりも離
れている場合、つまり検出器24aの検出位置16号S
lHの値が基亭距離レベルの信号よりも大きい場合につ
いて述べる。
即ち、電源が役人され、これに応じて起動スイッチ28
aがオンすると、比較信号発生回路20aはバク距離に
相当するステップ状の比較信号5211を比較回路27
aに与える(第2図(a)参照)また、検出器24aは
回転軸21に対する検出位置信号81+1を比較回路2
7aに与える。比較回路27aは、検出位置信号Sla
の値が比較信号S21亀の値よりも大きいことに基づい
て、検知信号S3aを出力する(第2図(b)参照)。
aがオンすると、比較信号発生回路20aはバク距離に
相当するステップ状の比較信号5211を比較回路27
aに与える(第2図(a)参照)また、検出器24aは
回転軸21に対する検出位置信号81+1を比較回路2
7aに与える。比較回路27aは、検出位置信号Sla
の値が比較信号S21亀の値よりも大きいことに基づい
て、検知信号S3aを出力する(第2図(b)参照)。
この検知信号S3aは、比較信号S2aの振幅1直eに
対して2 (Qの振幅値2eで極性が負の値となってい
る。一方、設定回路30aは起動スイッチ28aのオン
に基づいて設定信号S4aを出力する(第2図(a)参
照)。この設定信号S4aは、所定時間Tが経過する間
に徐々に変化してバク距離に相当するレベルに達するも
ので、加’rl 器31 aにおいて上述の検知信号S
3aと合成される。これにより、変換器′32aは、第
2図(c)に示すような負極性の合成信号S5aが与え
られるので、これを反転させて設定位置信号SGaを出
力する(第2図(d)参照)。
対して2 (Qの振幅値2eで極性が負の値となってい
る。一方、設定回路30aは起動スイッチ28aのオン
に基づいて設定信号S4aを出力する(第2図(a)参
照)。この設定信号S4aは、所定時間Tが経過する間
に徐々に変化してバク距離に相当するレベルに達するも
ので、加’rl 器31 aにおいて上述の検知信号S
3aと合成される。これにより、変換器′32aは、第
2図(c)に示すような負極性の合成信号S5aが与え
られるので、これを反転させて設定位置信号SGaを出
力する(第2図(d)参照)。
この結果、設定位置(、−号SGaは、検知信号S3a
が出力されたときにはその値が2eから徐々に減少して
所定時間T経過の間に基ベヘ位置に相当するレベルの値
eに達するようになる。この後、設定位置信号S6aは
、制限回路33aを介して減算器34aにtj、えられ
る。減算器34aにおいては、設定位置信号S(+H+
の値から検出器24aからljえられた検出位置信号S
I’+tの値を減算し、回転軸21の基準位置からの偏
差に相当する偏差信号S7aとして出力する。この偏差
信号57itは位相補償回路35aにおいて位相補償さ
れた後制御信号58aS9aとして出力され、夫々電力
増幅器′36a、36bを介して電磁石22a、23a
の励磁コ・rル38a、38bに与えられる。従って、
位置制御回路26aにより、回転軸21が検出器24a
に対して基準位置よりも離れている場合には、これに応
じて大きい値から基準位置レベルに向かって徐々に変化
する(−差信号5721が出力され、回転軸21は電磁
石22a、23aの吸引力によりilJ i’l’i位
置に非接触状態で保持されるようになって、振動するこ
となく速やかに安定状態となる。この後、回転軸21は
、71i &I!7.石22a、23aの通電状態にお
いては、その吸引力を検出T624 aの検出(立置信
号に基づいて位置制御回路26aにより制御されて基ヤ
位置に保持される。
が出力されたときにはその値が2eから徐々に減少して
所定時間T経過の間に基ベヘ位置に相当するレベルの値
eに達するようになる。この後、設定位置信号S6aは
、制限回路33aを介して減算器34aにtj、えられ
る。減算器34aにおいては、設定位置信号S(+H+
の値から検出器24aからljえられた検出位置信号S
I’+tの値を減算し、回転軸21の基準位置からの偏
差に相当する偏差信号S7aとして出力する。この偏差
信号57itは位相補償回路35aにおいて位相補償さ
れた後制御信号58aS9aとして出力され、夫々電力
増幅器′36a、36bを介して電磁石22a、23a
の励磁コ・rル38a、38bに与えられる。従って、
位置制御回路26aにより、回転軸21が検出器24a
に対して基準位置よりも離れている場合には、これに応
じて大きい値から基準位置レベルに向かって徐々に変化
する(−差信号5721が出力され、回転軸21は電磁
石22a、23aの吸引力によりilJ i’l’i位
置に非接触状態で保持されるようになって、振動するこ
となく速やかに安定状態となる。この後、回転軸21は
、71i &I!7.石22a、23aの通電状態にお
いては、その吸引力を検出T624 aの検出(立置信
号に基づいて位置制御回路26aにより制御されて基ヤ
位置に保持される。
また、回転軸21が検出器24に対して基準距離よりも
近い位置にある場合には、上述と異なり検出位置信号5
litはゼロに近い値となり、これにより比較回路27
aから検知信号S3aは出力されずゼロレベルの信号5
3a−が出力される(第2図(b)参照)。そして、設
定信号S4aは加算器31a、変換器32aを介して、
そのまま合成信号S5+t−から位置設定信号5fia
に変換されて出力される(第2図(c)、(d)参
照)。つまり、位置設定(a +lUS [fn−はそ
の値がゼロから基■レベルに向かって所定時間Tの間に
徐々に変化するようになる。この結果、回転軸21は、
上述と同様にして電磁石22a、2′うaからの吸引力
により徐々に移動され、振動することなく速やかにW準
位置に非接触状態で保持されるようになる。
近い位置にある場合には、上述と異なり検出位置信号5
litはゼロに近い値となり、これにより比較回路27
aから検知信号S3aは出力されずゼロレベルの信号5
3a−が出力される(第2図(b)参照)。そして、設
定信号S4aは加算器31a、変換器32aを介して、
そのまま合成信号S5+t−から位置設定信号5fia
に変換されて出力される(第2図(c)、(d)参
照)。つまり、位置設定(a +lUS [fn−はそ
の値がゼロから基■レベルに向かって所定時間Tの間に
徐々に変化するようになる。この結果、回転軸21は、
上述と同様にして電磁石22a、2′うaからの吸引力
により徐々に移動され、振動することなく速やかにW準
位置に非接触状態で保持されるようになる。
次に、図示しない電源がオフされたときには、起動スイ
ッチ28aもオフとなり、これに基づいて、設定回路3
0aから出力される設定信号S4aは、第2図(e)に
示すように所定時間Tが経過する間に徐々に変化しなが
らゼロレベルに達するようになる。これにより、位置制
御回路26aは、前述と同様の信号処理を経て、電磁石
22a、23aの吸引力を徐々に減少させるように制御
する。
ッチ28aもオフとなり、これに基づいて、設定回路3
0aから出力される設定信号S4aは、第2図(e)に
示すように所定時間Tが経過する間に徐々に変化しなが
らゼロレベルに達するようになる。これにより、位置制
御回路26aは、前述と同様の信号処理を経て、電磁石
22a、23aの吸引力を徐々に減少させるように制御
する。
この結果、回転軸21は徐々に移動されて静かにタッチ
ダウンベアリングに接触するようになる。
ダウンベアリングに接触するようになる。
従って、回転軸21及びタッチダウンベアリングはその
接触時の衝撃がなくなり損傷することがなくなる。
接触時の衝撃がなくなり損傷することがなくなる。
このような本実施例によれば、回転軸21が縦軸配置形
態で使用される場合に、その回転軸21がどの位置に停
止していたとしても、比較回路27a (27b)によ
り検出器24 a (24b)の検出位置信号S la
(S lb)が基僧距離レベルよりも大きいときには
検知信号53a(S3b)を出力し、位置制御回路26
a (26b)により、所定時間Tの間に徐々に変化す
る位置設定信号S Ga (S Ob)を出力して電磁
石22 a 、 23a (22b 、 23b)
を制御するようにしたので、回転軸21が急激に基準位
置に移動される従来と異なり、回転軸21を振動させる
ことなく速やかに基準位置で安定させることができる。
態で使用される場合に、その回転軸21がどの位置に停
止していたとしても、比較回路27a (27b)によ
り検出器24 a (24b)の検出位置信号S la
(S lb)が基僧距離レベルよりも大きいときには
検知信号53a(S3b)を出力し、位置制御回路26
a (26b)により、所定時間Tの間に徐々に変化す
る位置設定信号S Ga (S Ob)を出力して電磁
石22 a 、 23a (22b 、 23b)
を制御するようにしたので、回転軸21が急激に基準位
置に移動される従来と異なり、回転軸21を振動させる
ことなく速やかに基準位置で安定させることができる。
また、停止時においても、位置設定信号を所定時間Tの
間に徐々に変化させて停止1−位置に相当するゼロレベ
ルに達するようにしたので、回転軸21を電磁石22a
、23a(22b、23b)により、徐々に停止位置に
移動させることができ、急激に吸引力が断たれる従来と
異なり、タッチダウンベアリングに静かに接触させるこ
とができ、従って、回転軸21及びタッチダウンベアリ
ングを損傷させることがなくなる。
間に徐々に変化させて停止1−位置に相当するゼロレベ
ルに達するようにしたので、回転軸21を電磁石22a
、23a(22b、23b)により、徐々に停止位置に
移動させることができ、急激に吸引力が断たれる従来と
異なり、タッチダウンベアリングに静かに接触させるこ
とができ、従って、回転軸21及びタッチダウンベアリ
ングを損傷させることがなくなる。
尚、上記実施例は本発明をラジアル磁気軸受に適用した
場合について述べたが、これに限らず、例えばスラスト
磁気軸受等の磁気軸受全般に適用できる等、要旨を逸脱
しない範囲内で種々の変形が可能である。
場合について述べたが、これに限らず、例えばスラスト
磁気軸受等の磁気軸受全般に適用できる等、要旨を逸脱
しない範囲内で種々の変形が可能である。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明の磁気軸受装置によれば、
起動時に検出器による検出距離が基り距離より大きいと
きには、比較回路により検知信号を発生させ、この検知
信号に応じて位置制御手段により電磁石の吸引力を徐々
に変化させて回転軸をそのときの停!L位置から基■位
置に移動させるようにし、また、停止14時においても
電磁石の吸引力を徐々に変化させなから停止位置に移動
させるようにした。これにより、回転軸は、起動時にお
いてどの位置にあっても徐々に基阜位置に移動されて振
動を起こすことなく速やかに安定し、また、停止時にお
いても徐々に停止位置に移動されて回転軸支持部材に静
かに接触し、回転軸及びその回転軸支持部材に接触時の
衝撃による損傷を与えることがなくなるという優れた効
果を奏するものである。
起動時に検出器による検出距離が基り距離より大きいと
きには、比較回路により検知信号を発生させ、この検知
信号に応じて位置制御手段により電磁石の吸引力を徐々
に変化させて回転軸をそのときの停!L位置から基■位
置に移動させるようにし、また、停止14時においても
電磁石の吸引力を徐々に変化させなから停止位置に移動
させるようにした。これにより、回転軸は、起動時にお
いてどの位置にあっても徐々に基阜位置に移動されて振
動を起こすことなく速やかに安定し、また、停止時にお
いても徐々に停止位置に移動されて回転軸支持部材に静
かに接触し、回転軸及びその回転軸支持部材に接触時の
衝撃による損傷を与えることがなくなるという優れた効
果を奏するものである。
第1図及び第2図は本発明の一実施例を示すもので、第
1図は全体構成図、第2図は位置制御回路内の各部にお
ける信号を示す作用説明図であり、第3図は従来例を示
す第1図相当図である。 図面中、21は回転軸、22a、23a、22b 2
3bは電磁石、24a、24bは検出器、25a、25
bは軸受制御部、26a、26bは位置制御回路(位置
制御手段) 、27a、27bは比較回路である。 代理人 弁理士 則 近 憲 1G同 第 子 丸 健
1図は全体構成図、第2図は位置制御回路内の各部にお
ける信号を示す作用説明図であり、第3図は従来例を示
す第1図相当図である。 図面中、21は回転軸、22a、23a、22b 2
3bは電磁石、24a、24bは検出器、25a、25
bは軸受制御部、26a、26bは位置制御回路(位置
制御手段) 、27a、27bは比較回路である。 代理人 弁理士 則 近 憲 1G同 第 子 丸 健
Claims (1)
- 1、回転軸を自身と所定の基準距離を存した基準位置に
非接触状態で保持するための電磁石を備え、この電磁石
の電磁力を制御信号のレベルにより制御するようにした
磁気軸受装置において、前記回転軸及び電磁石間の距離
を検出する検出器と、この検出器の検出出力に基づいて
決定した制御信号を前記電磁石に与えることにより前記
回転軸を前記基準位置に保持する位置制御手段と、前記
検出器による検出距離が前記基準距離より大きいときに
検知信号を発生する比較回路とを具備してなり、前記位
置制御手段は、前記電磁石の起動時及び停止時における
前記回転軸の移動に際して前記制御信号のレベルを所定
時間を以て徐々に変化させると共に、その変化方向を前
記検知信号の有無に応じて反転させるように構成されて
いることを特徴とする磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10590789A JPH02286910A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10590789A JPH02286910A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 磁気軸受装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02286910A true JPH02286910A (ja) | 1990-11-27 |
Family
ID=14419943
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10590789A Pending JPH02286910A (ja) | 1989-04-27 | 1989-04-27 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02286910A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1992019877A1 (de) * | 1991-05-04 | 1992-11-12 | Leybold Aktiengesellschaft | Verfahren zur inbetriebnahme einer mit einem magnetgelagerten rotor ausgerüsteten maschine sowie schaltung zur durchführung dieses verfahrens |
JP2002005077A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Ntn Corp | 磁気浮上型ポンプ装置 |
JP2002349565A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-04 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置における回転体の目標浮上位置設定方法 |
JP2017172770A (ja) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | 三菱重工業株式会社 | 回転機械の停止方法及び回転機械の制御装置 |
CN114593151A (zh) * | 2022-04-20 | 2022-06-07 | 南京磁之汇电机有限公司 | 磁悬浮轴承停机方法、装置、电子设备及存储介质 |
-
1989
- 1989-04-27 JP JP10590789A patent/JPH02286910A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1992019877A1 (de) * | 1991-05-04 | 1992-11-12 | Leybold Aktiengesellschaft | Verfahren zur inbetriebnahme einer mit einem magnetgelagerten rotor ausgerüsteten maschine sowie schaltung zur durchführung dieses verfahrens |
JP2002005077A (ja) * | 2000-06-20 | 2002-01-09 | Ntn Corp | 磁気浮上型ポンプ装置 |
JP2002349565A (ja) * | 2001-05-28 | 2002-12-04 | Koyo Seiko Co Ltd | 磁気軸受装置における回転体の目標浮上位置設定方法 |
JP2017172770A (ja) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | 三菱重工業株式会社 | 回転機械の停止方法及び回転機械の制御装置 |
CN114593151A (zh) * | 2022-04-20 | 2022-06-07 | 南京磁之汇电机有限公司 | 磁悬浮轴承停机方法、装置、电子设备及存储介质 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW476679B (en) | Device for suppressing the vibration of a steel plate | |
US11323008B2 (en) | Magnetic bearing controller and magnetic bearing control method | |
US20080116828A1 (en) | Motor driving apparatus for driving and braking brake-equipped motor | |
JPH02286910A (ja) | 磁気軸受装置 | |
EP1498625A2 (en) | Magnetic bearing apparatus | |
US11015609B2 (en) | Magnetic levitation control device and vacuum pump | |
TW451037B (en) | Magnetic bearing device integral with an electric motor | |
JP2010029008A (ja) | 磁気浮上システム | |
US4920290A (en) | Active magnetic bearing apparatus | |
JPH048911A (ja) | 磁気軸受装置 | |
JP3306893B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
US20070080594A1 (en) | Power amplification device and magnetic bearing | |
JP2964145B2 (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
JP2010045912A (ja) | モータ制御装置 | |
Kruger et al. | Control of magnetically suspended rotor combined with motor drive system | |
JP3347782B2 (ja) | 非接触昇降装置 | |
JPH01274991A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
JP2951488B2 (ja) | 除振装置 | |
JP2546625Y2 (ja) | 磁気軸受の制御装置 | |
JPH076541B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JPH02134410A (ja) | 磁気軸受の制御装置 | |
JPH0652086B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
JPH07127594A (ja) | 磁気軸受ターボ分子ポンプ | |
JPS63138410A (ja) | 非接触支持方法 | |
JPH07123779A (ja) | 停止保持装置 |