JPH02285243A

JPH02285243A - 漏水検知装置

Info

Publication number: JPH02285243A
Application number: JP10837489A
Authority: JP
Inventors: Tadashi Kai; 甲斐　忠志; Masahiko Yajima; 矢島　雅彦
Original assignee: Fujitsu VLSI Ltd; Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu VLSI Ltd; Fujitsu Ltd
Priority date: 1989-04-26
Filing date: 1989-04-26
Publication date: 1990-11-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔概要〕漏水検知装置に関し、純水など高抵抗の水の漏水事故においても、確実で、し
かも、誤報なく漏水を検知し、かつ、中央制御監視室に
おいて漏水現場を早期に識別・特定することを目的とし
、引張り状態で架設された水溶性フィルムを検知素子とし
、前記水溶性フィルムが水に漬かって溶断するとスイッ
チ素子が作動して、警報信号を発・するように漏水検知
器を構成し、さらに、複数箇所に配設された前記漏水検
知器の出力端のそれぞれに多極リレーを接続し、前記漏
水検知器が作動して発した電気信号を、多ピント電気信
号に変換して中央制御監視盤に送り、漏水現場における
警報器の発報と同時に、中央制御監視盤において警報信
号の発報および漏水場所の識別・特定を行なうように漏
水検知装置を構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は漏水検知装置の改良に関する。

近年、電子あるいは精密機械工業を始めとする各種部品
、デバイスの製造に当たっては、各種洗浄液による洗浄
が頻繁に行なわれている。また、それとともに、作業空
間の清浄化が強く求められるようになってきており、し
たがって、クリーンルームを始めとして工場の無人化が
進んできている。

こうした状況から、洗浄現場は勿論のこと、洗浄液の配
管系からの漏水、漏液事故による各種災害およびそれか
ら引き起こされる二次災害は深刻な問題となっており、
漏水事故の確実な早期発見と安全対策が強く求められて
いる。

〔従来の技術〕

第４図は従来の漏水検知器の例を示す図で、５１および
５２は所要の間隔を離して配置したステンレススチール
などの不食性の金属からなる電極であり、５３．５４は
そのリードである。５５は前記電極５１および５２を支
持するとともに、それらを保護する電極容器で、塩化ビ
ニール樹脂などのプラスチックや不食性の金属を使用し
ている。大きさは設置する場所に応じて適宜のサイズの
ものを選べばよい。

通常、漏水検知器は床面などに設置され、電極容器５５
の底面には孔が開いているので、漏水事故があるとその
孔から水が侵入して、電極５１と５２の間を満たすと、
その間の抵抗値が下がるので漏水事故が検知されるよう
になっている。

第５図は従来の漏水警報装置例のブロック図である。図
中、２００は上述の漏水検知器で複数の検知器が並列に
接続され、所要の場所に配設されている。２５はリレー
、３０は増幅回路、６゛は警報表示部でＬＥＤなどのラ
ンプ表示とともにブザーによる発報が行なわれるように
なっている。

通常の状態においては、漏水検知器２００は絶縁状態に
あるのでリレー２５は作動せず警報表示部６゛は何らの
信号表示も行なわない。

一方、漏水検知器２００が設置されている何れかの場所
で漏水事故が発生し、当該検知器の抵抗値が低下すると
、ＤＣｌｊｉ［と増幅回路３０により、リレー２５のコ
イルに所要の動作電流が流れるので、リレーが作動し警
報表示部６”の回路を閉じてＬＥＤやブザーなどによる
警報を発報して漏水事故を知らせるようにしている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、以上述べた従来の漏水検知器２００では、２つ
の電ｉ５１，５２の間隙に漏水が満ちて、抵抗値が変化
するのを検知する方式であるので、最近の製造プロセス
で多（使用されるようになっている高純度の水が漏水し
たような場合には、この高純度の水は電導度が非常に低
いため抵抗値の変化は穫めて小さく、漏水事故を感度よ
（正確に検知することができない。また、第５図に示し
た漏水警報装置においては、構成は極めて簡単ではある
が、通常、中央の管理室に備えらでいる警報表示部６゛
で警報信号が発報しても、どの漏水検知器が設置されて
いる場所で漏水があったかを即時に知ることはできず、
最近の無人化が進んでいる工場では対策遅延によって大
きな災害を引き起こす恐れがあるという問題があり、そ
の解決が必要であった。

〔課題を解決するための手段〕

上記の課題は、引張り状態で架設された水溶性フィルム
ｌを検知素子とし、前記水溶性フィルム１が水に漬かっ
て溶断するとスイッチ素子２が作動して、警報信号を発
するように漏水検知器を構成し、さらに、複数箇所に配
設された前記漏水検。

知器１００の出力端のそれぞれに多極リレー１５を接続
し、前記漏水検知器１００が作動して発した電気信号を
、多ビット電気信号に変換して中央制御監視盤２０に送
り、漏水現場における警報器６の発報と同時に、中央制
御監視盤２０において警報信号の発報および漏水場所の
識別・特定を行なうように漏水検知装置を構成すること
によって解決することができる。

〔作用〕

本発明の漏水検知器は、検知素子として引張り状態で架
設された水溶性フィルム１を使用しているので、酸性あ
るいはアルカリ性の水溶液など電導度の高い漏水に漬か
った場合に溶断することは勿論のこと、電導度の極めて
低い純水であっても、漏水に漬かると溶断して全く同様
に動作し漏水を検知することができる。

また、各漏水検知器１００の出力を多極リレー１５に入
力させ、多ビット電気信号として、中央制御監視盤２０
に送るので、複数箇所に設置した漏水検知器１００の何
番目のものが漏水により溶断したのかを、漏水現場の警
報信号の発報と同時に、中央制御監視盤２０が置かれた
中央の管理室で警報信号を発報するとともに、漏水場所
の識別・特定を行なうことが可能となる。

〔実施例〕

第１図は本発明の漏水検知器を説明する図で、同図（イ
）は側面図、同図（ロ）は正面図である。

図中、ｌは水溶性フィルムで乾燥状態では一定の引張り
強度を持つが、水に漬かるとある時間内に溶けてしまう
、たとえば、オブラート状のものでもよいが、二＼では
市販の厚さ０．２　ｍ’ｍの水溶性の祇（たとえば、三
島製紙ｋｋ製製水水溶紙ディゾルボ゛°）を巾２０ｍｍ
、長さ２００ｍｍの大きさに切断して使用した。

４は固定ビンで前記水溶性フィルム１（水溶性紙）の一
端を筺体１１に固定するためのピンである。２はスイッ
チ素子で、たとえば、マイクロスイッチを使用する。３
は前記マイクロスイッチのレバー２′と前記水溶性紙の
他端とをつなぐ弾性体、たとえば、ゴム紐またはスプリ
ングであり、これによって、前記水溶性紙は筺体１１の
底面に沿って引張り状態で架設される。

５は電源および発報回路で、警報器６を作動するととも
に、多極リレーのコイル端子１０に警報信号を送るよう
になっている。警報器６は、たとえば、ＬＥＤからなる
表示ランプ６１および圧電ブザー６２から構成される。

以上の漏水検知器１００を、水処理装置などが設置され
ている場所の床面なと必要な箇所に配設する。なお、こ
の時前記水溶性紙は床面から所要の距離、たとえば、３
ｍｍ程度離して架設されるように、その高さを調節する
。

いま、この状態で漏水事故が発生し、床面に水が溜まり
始めて前記水溶性紙が水没すると、ある一定時間経過の
のち、水溶性紙は溶断し警報信号を発報する。

第２図は本発明の漏水検知器の作動特性例を示す図であ
る。水溶性フィルム１としては前記寸法の水溶性紙を使
用し、スプリング３の引張り力を１００ｇに設定した場
合である。

図の縦軸は水溶性紙の抗張力を、横軸は浸水時間である
。浸水後はＸ′３０秒間で抗張力がゼロ、すなわち、水
溶性紙が溶断したことを示している。

なお、斜線部は試験試料数２０個のバラツキを示したも
ので、２９〜３３秒の間に比較的精度よく収まっている
。

本実施例ではスプリング３の引張り力を１００ｇに設定
し・たが、これをもっと大きくして浸水後溶断時間を短
縮するように設定してもよいことは勿論である。

第３図は本発明の漏水検知装置の実施例を説明す゛る図
である。図中、１００は本発明の漏水検知器で、ｎ番目
の検知器の配線図を示した。なお、７はテストスイッチ
、８は解除表示ＬＥＤ、９は解除スイッチ、１“は水溶
性紙である。１５’　は６極リレーで、６ビットの信号
線に指定のビット配列になるように接続されている。２
０は中央制御監視盤で、この例では（１）〜（６）の６
本の信号線とグランド線Ｇが接続されており、こ＼には
記載してないが、送られてくる信号の処理回路、電源、
ブザーなどの警報器５発報した検知器を識別・特定する
判定・表示装置などを備えている。

いま、たとえば、ｎ番目の漏水検知器で漏水事故があり
水溶性紙１゛が溶断すると、マイクロスイッチ２が作動
してＬＥＤランプ６１が点灯し、ブザー６２が発報する
。同時に、６極リレー１５゛　のコイルに電流が流れて
接点■〜■が閉じる。しかし、接点は全て結線されてい
るのではなく、各漏水検知器に指定されたビット配列に
なる接点だけが結線されている。このｎ番目の検知器で
は■と■の接点だけが信号線（３）と（５）に接続され
ている。

したがって、６ビット信号は（００１０１０）となる。

同様にｎ＋１番目の検知器は■の接点だけが（２）の信
号線に接続されているので、６ビット信号は（０１００
００）となる。

すなわち、６極リレー１５゛を使用した本実施例の場合
、６接点とも接続されていないケースを除いて、Ｎ＝　
（２’−１）＝６３個の漏水検知器を本実施例装置に設
置でき、仮に同時に複数の検知器が発報したとしても、
中央制御監視盤２０でそれぞれの漏水箇所を識別・特定
することができる。

なお、テストスイッチ７は装置全体が正常に動作するか
どうかを試験するためのスイッチである。

また、解除スイッチ９は動作状態になった検知器を解除
するためのスイッチで、解除ボタンがＯＮのときは解除
表示ＬＥＤが点灯して、当該検知器が解除状態にあるこ
とを表示できるようになっている。

本実施例では、水溶性フィルム１として市販の水溶性紙
を使用したが、その地回様の作用をするフィルムを使用
できることは言うまでもない。

また、本実施例装置では、６ビット信号による処理の場
合を示したが、より多ビット化してさらに多数の漏水検
知器を接続できるようにしてもよい。多極リレーは機械
接点式のものでも、半導体素子を使用したソリッドステ
ートのものであってもよい。

漏水検知器自体および漏水検知装置の機能についても、
−本実施例は最も基本的なものだけを示したが、本発明
の趣旨に基づいて種々の変形が実現できることは勿論で
ある。

〔発明の効果〕

以上述べたように、本発明によれば、漏水検知素子とし
て水溶性フィルムを使用しているので、電導度の低い純
水が漏水した場合でも、確実に漏水事故を検知すること
ができ、かつ、多極リレーを用いて多ビット信号として
、中央制御監視盤に警報信号を送るので、隔離した複数
の場所に設置した多数の漏水検知器の警報器の発報を現
地だけでなく、中央制御監視盤においても同時に警報信
号を発するとともに、発報した当該漏水検知器の識別・
特定を即時行なうことが可能となる。したがって、半導
体ＩＣなど高精密デバイスプロセス工場などにおける漏
水事故の確実な早期発見と安全対策の向上に寄与すると
ころが極めて大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の漏水検知器を説明する図、第２図は本
発明の漏水検知器の作動特性例を示す図、第３図は本発明の漏水検知装置の実施例を説明する図、図において、 ■は水溶性フィルム、２はスイッチ素子、３はスプリング、４は固定ピン、５は電源・発報回路、６は警報器、７はテストスイッチ、８は解除表示ＬＥＤ。９は解除スイッチ、１０は多極リレ一端子、１５は多極リレー　１５１１は筐体、２０は中央制御監視盤、１００は漏水検知器である。は６極リレーある。杢免暢の薄水斥すｐ装置の亥施１り１１を説明する回第
　３　図扉劉仁（■）検従来の逼水檀知器のイテＩを示’Ｔｉ１ｌ第　４　図従来の濁水警報装置（りＡの７０ツク図第　５　図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）引張り状態で架設された水溶性フィルム（１）を
検知素子とし、前記水溶性フィルム（１）が水に漬かっ
て溶断するとスイッチ素子（２）が作動して、警報信号
を発するようにしたことを特徴とする漏水検知器。
（２）複数箇所に配設された前記漏水検知器（１００）
の出力端のそれぞれに多極リレー（１５）を接続し、前
記漏水検知器（１００）が作動して発した電気信号を、
多ビット電気信号に変換して中央制御監視盤（２０）に
送り、漏水現場における警報器（６）の発報と同時に、
中央制御監視盤（２０）において警報信号の発報および
漏水場所の識別・特定を行なうようにしたことを特徴と
する漏水検知装置。