JPH02283108A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子の製造方法Info
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- JPH02283108A JPH02283108A JP18223489A JP18223489A JPH02283108A JP H02283108 A JPH02283108 A JP H02283108A JP 18223489 A JP18223489 A JP 18223489A JP 18223489 A JP18223489 A JP 18223489A JP H02283108 A JPH02283108 A JP H02283108A
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、分極方向を明確にして組立作業を容易にする
圧電振動子の製造方法に関する。
圧電振動子の製造方法に関する。
ＰＺＴ （ジルコンチタン酸鉛）等の圧電磁器板は各種
の電子機器に実用化され、例えばインクジェットプリン
タにも用いられるようになっている。
の電子機器に実用化され、例えばインクジェットプリン
タにも用いられるようになっている。
第１図はインクジェットプリンタのノズル部を示す図で
ある。タンクに連結されたインク補給路１から押出され
てきたインクがオリフィス２に達し、一方、オリフィス
２の奥に同じインクで満たされたインク圧力室３内に設
けた圧電振動子４によって圧力波が伝えられ、オリフィ
ス２から所定のインク粒子が吐出されてプリントされる
構成が採用されている。
ある。タンクに連結されたインク補給路１から押出され
てきたインクがオリフィス２に達し、一方、オリフィス
２の奥に同じインクで満たされたインク圧力室３内に設
けた圧電振動子４によって圧力波が伝えられ、オリフィ
ス２から所定のインク粒子が吐出されてプリントされる
構成が採用されている。
ところで、この種のブレンタは印字ヘッドに用いられる
圧電振動子は、例えば直径３ ｍｍ厚さ０．２ｎ＋＋ｎ
と薄形小片の円形ユニモルフ振動子が用いられ、所定組
成の粉末を混合・ブレス成壓・焼結・研削加工の後、上
下面に電極を形成し、必要により外部リード線を設ける
製法が採用されるのが一般である。
圧電振動子は、例えば直径３ ｍｍ厚さ０．２ｎ＋＋ｎ
と薄形小片の円形ユニモルフ振動子が用いられ、所定組
成の粉末を混合・ブレス成壓・焼結・研削加工の後、上
下面に電極を形成し、必要により外部リード線を設ける
製法が採用されるのが一般である。
そしてこの電極形成は銀ペーストのスクリーン印刷また
はスパッタリング等により両面を同材質で形成される。
はスパッタリング等により両面を同材質で形成される。
このように形成された円形ユニモルフ振動子をインク圧
力室３に組込む場合は、分極方向を誤って組込んだとき
にインク粒子が吐出されず、圧力室３側が吸入側となっ
てしまう。
力室３に組込む場合は、分極方向を誤って組込んだとき
にインク粒子が吐出されず、圧力室３側が吸入側となっ
てしまう。
この原因は主として圧電振動子が特に面の方向性の指図
が明らかにされていないためである。従って、圧電振動
子を組込む作業は非能率的となる。
が明らかにされていないためである。従って、圧電振動
子を組込む作業は非能率的となる。
本発明はかかる点に鑑み、圧電振動子の上下面の色彩を
異なるようにして分極方向を明確にすることにより、上
記の欠点を解消することを主たる目的とする。
異なるようにして分極方向を明確にすることにより、上
記の欠点を解消することを主たる目的とする。
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
第２図は本発明により得られた電子振動子の一例を示す
図である。圧電セラミックス６の上面電極６ａに銀層が
、下面電極６ｂに金層が夫々が積層形式されたものであ
る。そして一方の電極例えば銀電極側を分極処理上の正
の極と定めておけば、以後の工程においては銀色に注目
して作業を進められることになる。
図である。圧電セラミックス６の上面電極６ａに銀層が
、下面電極６ｂに金層が夫々が積層形式されたものであ
る。そして一方の電極例えば銀電極側を分極処理上の正
の極と定めておけば、以後の工程においては銀色に注目
して作業を進められることになる。
第３図はこのような圧電振動子の製法手順を示す図であ
る。まず同図Ａに示す如く、直径Ｄ８ 長さｌの圧電磁
器円柱ブロック７の上下に銀ペーストを塗布して焼成す
ることにより電極を形成する。
る。まず同図Ａに示す如く、直径Ｄ８ 長さｌの圧電磁
器円柱ブロック７の上下に銀ペーストを塗布して焼成す
ることにより電極を形成する。
次に同図Ｂに示す如く、上下電極７ａ、７ｂを用いて分
極処理を施し、同図Ｃに示す如く、所定の厚さｔにスラ
イシングする。この場合、分極方向を確認しておくこと
が肝要である。
極処理を施し、同図Ｃに示す如く、所定の厚さｔにスラ
イシングする。この場合、分極方向を確認しておくこと
が肝要である。
そして同図りに示す如く、上面に銀による電極を形成し
た後、同図Ｅはに示す如く。下面に金による電極を形成
する。電極形成はスパッタリング法を用いることができ
る。更に各振動子ブロック７の側面に付着したスパッタ
膜をセンタレス研磨等の方法によって削除して仕上がり
寸法Ｄ２に仕上げる。
た後、同図Ｅはに示す如く。下面に金による電極を形成
する。電極形成はスパッタリング法を用いることができ
る。更に各振動子ブロック７の側面に付着したスパッタ
膜をセンタレス研磨等の方法によって削除して仕上がり
寸法Ｄ２に仕上げる。
尚、上下の電極にする材質は、金及び銀のみならず金及
びアルミニウム等を用いることができ、その他の材料も
採用し得る。また上記した色彩とは狭義の色彩の外、光
沢による区別及び−吉川極側に設けたケガキによる区別
を採用または併用することを含むものである。
びアルミニウム等を用いることができ、その他の材料も
採用し得る。また上記した色彩とは狭義の色彩の外、光
沢による区別及び−吉川極側に設けたケガキによる区別
を採用または併用することを含むものである。
第４図は本発明圧電振動子の他の製法を示す図である６
本例においては、まず同図Ａに示す如く、板状の圧電磁
器板８を用い２同図Ｂに示す如く、板８の上面に銀電極
８ａを、下面に金電極８ｂを全面に亘って付着形成し、
一時に分極処理を行なう、この場合、銀電極８ａ側を分
極正方向に、金電極８ｂ側を分極負方向に設定しておく
。
本例においては、まず同図Ａに示す如く、板状の圧電磁
器板８を用い２同図Ｂに示す如く、板８の上面に銀電極
８ａを、下面に金電極８ｂを全面に亘って付着形成し、
一時に分極処理を行なう、この場合、銀電極８ａ側を分
極正方向に、金電極８ｂ側を分極負方向に設定しておく
。
次に同図Ｃに示す如く、所定の直径に設定して超音波加
工機等により打ち抜くことにより、同図りに示す如き上
下面に色彩の異なる電極が形成された圧電振動子を得る
ことができる。
工機等により打ち抜くことにより、同図りに示す如き上
下面に色彩の異なる電極が形成された圧電振動子を得る
ことができる。
以上述べた如く本発明によれば、圧電磁器円柱ブロック
の上下に、導電金属のペーストを塗布して焼成又はスパ
ッタリングすることにより電極を形成し、次に上下電極
を用いて分極処理を施し、所定の厚さにスライシングし
、上面に１の有色金属による電極を形成した後、下面に
他の有色金属による電極を付着又はスパッタリングによ
り形成し、更に各振動子ブロックの側面に付着したスパ
ッタ膜を研磨によって削除して仕上がり寸法に仕上げた
ので、従来の例えば酸化鉄を添加したペーストを塗布し
たときに生ずる極性の判別が正確に行なわれにくいのに
対し本発明によれば１００％の確率で判別可能となる効
果を有する。またスパッタリングを採用することにより
、薄膜の形成が可能であるから、電極の電気抵抗を損な
うことがない。
の上下に、導電金属のペーストを塗布して焼成又はスパ
ッタリングすることにより電極を形成し、次に上下電極
を用いて分極処理を施し、所定の厚さにスライシングし
、上面に１の有色金属による電極を形成した後、下面に
他の有色金属による電極を付着又はスパッタリングによ
り形成し、更に各振動子ブロックの側面に付着したスパ
ッタ膜を研磨によって削除して仕上がり寸法に仕上げた
ので、従来の例えば酸化鉄を添加したペーストを塗布し
たときに生ずる極性の判別が正確に行なわれにくいのに
対し本発明によれば１００％の確率で判別可能となる効
果を有する。またスパッタリングを採用することにより
、薄膜の形成が可能であるから、電極の電気抵抗を損な
うことがない。
また本発明によれば、板状の圧電磁器板の上面に銀電極
を、下面に金電極を全面に亘って付着形成し、一時に分
極処理を行ない、所定の直径に設定して超音波により打
ち抜き上下面に色彩の異なる電極を形成したので、 上記効果の外、圧電振動子を種々の機器に組込む際方向
性が予め示されているため、分極方向を誤って組立てる
作業ミスを未然に防ぐことができる実用的効果を有する
。
を、下面に金電極を全面に亘って付着形成し、一時に分
極処理を行ない、所定の直径に設定して超音波により打
ち抜き上下面に色彩の異なる電極を形成したので、 上記効果の外、圧電振動子を種々の機器に組込む際方向
性が予め示されているため、分極方向を誤って組立てる
作業ミスを未然に防ぐことができる実用的効果を有する
。
第１図は圧電振動子の組込み状態の説明に供する断面図
、第２図は本発明により得られた圧電振動子の例を示す
正面図、第３図及び第４図は夫々本発可振動子の製造方
法の説明に供する図である。 ６・・・圧電セラ クス、 ａ・・・上面電極、 下面電極。 出願代理人
、第２図は本発明により得られた圧電振動子の例を示す
正面図、第３図及び第４図は夫々本発可振動子の製造方
法の説明に供する図である。 ６・・・圧電セラ クス、 ａ・・・上面電極、 下面電極。 出願代理人
Claims (2)
- １．圧電磁器円柱ブロックの上下に、導電金属のペース
トを塗布して焼成又はスパッタリングすることにより電
極を形成し、次に上下電極を用いて分極処理を施し、所
定の厚さにスライシングし、上面に１の有色金属による
電極を形成した後、下面に他の有色金属による電極を付
着又はスパッタリングにより形成し、更に各振動子ブロ
ックの側面に付着したスパッタ膜を研磨によって削除し
て仕上がり寸法に仕上げたことを特徴とする圧電振動子
の製造方法。 - ２．板状の圧電磁器板の上面に銀電極を、下面に金電極
を全面に亘って付着形成し、一時に分極処理を行ない、
所定の直径に設定して超音波により打ち抜き上下面に色
彩の異なる電極を形成したことを特徴とする圧電振動子
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18223489A JPH02283108A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18223489A JPH02283108A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02283108A true JPH02283108A (ja) | 1990-11-20 |
| JPH0416962B2 JPH0416962B2 (ja) | 1992-03-25 |
Family
ID=16114691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18223489A Granted JPH02283108A (ja) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02283108A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5048556U (ja) * | 1973-08-31 | 1975-05-13 | ||
| JPS55141811A (en) * | 1979-04-23 | 1980-11-06 | Nec Corp | Manufacture for piezoelectric porcelain disc oscillator |
| JPS5723287A (en) * | 1980-07-16 | 1982-02-06 | Tohoku Metal Ind Ltd | Manufacture of piezoelectric element |
-
1989
- 1989-07-14 JP JP18223489A patent/JPH02283108A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5048556U (ja) * | 1973-08-31 | 1975-05-13 | ||
| JPS55141811A (en) * | 1979-04-23 | 1980-11-06 | Nec Corp | Manufacture for piezoelectric porcelain disc oscillator |
| JPS5723287A (en) * | 1980-07-16 | 1982-02-06 | Tohoku Metal Ind Ltd | Manufacture of piezoelectric element |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0416962B2 (ja) | 1992-03-25 |
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