JPH02281259A - 入射角可変用露光装置 - Google Patents
入射角可変用露光装置Info
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- JPH02281259A JPH02281259A JP1102562A JP10256289A JPH02281259A JP H02281259 A JPH02281259 A JP H02281259A JP 1102562 A JP1102562 A JP 1102562A JP 10256289 A JP10256289 A JP 10256289A JP H02281259 A JPH02281259 A JP H02281259A
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
- G02B19/0033—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use
- G02B19/0095—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with ultraviolet radiation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B19/00—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics
- G02B19/0004—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed
- G02B19/0028—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the optical means employed refractive and reflective surfaces, e.g. non-imaging catadioptric systems
-
- G—PHYSICS
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- G02B19/0047—Condensers, e.g. light collectors or similar non-imaging optics characterised by the use for use with a light source
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、入射角可変用露光装置に係り、特に平行光線
の入射角を所望値に変えることができる露光装置に関す
る。
の入射角を所望値に変えることができる露光装置に関す
る。
〔従来の技術］
従来、この種の装置は存在しなかった。そのために、斜
傾型遮光スクリーンが製作できなかったので、斜傾型ス
クリーンの利用も勿論不能であった。
傾型遮光スクリーンが製作できなかったので、斜傾型ス
クリーンの利用も勿論不能であった。
なお、従来は、垂直型遮光スクリーンのみが溶解した樹
脂を圧着法や射出成型方法によって作成されていたもの
である。
脂を圧着法や射出成型方法によって作成されていたもの
である。
［発明が解決しようとする課題〕
従来はスクンパ圧着法、射出成形法によって垂直型遮光
スクリーンのみを製作していたため、遮光膜の傾きを任
意に設定し透過すべき入射光の角度を任意に設定するこ
とができなく、遮光膜の角度が任意の傾きをもったもの
から垂直のものまで各種のものを容易に得ることができ
ないという問題点があった。また、遮光膜の形状が縞状
、ハニカム格子等の各種形状の遮光スクリーンが必要と
されていたが従来のスタンパ法、引抜法ではこれを製作
することは不可能であった。このため、遮光膜としては
、各種表示板等の表面への活用など一般需要に限界があ
った。更に、このような従来方法では、例えば厚さが約
５００ｍμ、開ロ穴が３０ｍμ１面積が４００Ｘ６００
ｍｍのような薄く広面積の遮光スクリーンを得ることが
困難である等の問題点があった。
スクリーンのみを製作していたため、遮光膜の傾きを任
意に設定し透過すべき入射光の角度を任意に設定するこ
とができなく、遮光膜の角度が任意の傾きをもったもの
から垂直のものまで各種のものを容易に得ることができ
ないという問題点があった。また、遮光膜の形状が縞状
、ハニカム格子等の各種形状の遮光スクリーンが必要と
されていたが従来のスタンパ法、引抜法ではこれを製作
することは不可能であった。このため、遮光膜としては
、各種表示板等の表面への活用など一般需要に限界があ
った。更に、このような従来方法では、例えば厚さが約
５００ｍμ、開ロ穴が３０ｍμ１面積が４００Ｘ６００
ｍｍのような薄く広面積の遮光スクリーンを得ることが
困難である等の問題点があった。
本発明は上記問題点に鑑みなされたものであり、露光に
よって透過すべき入射光の角度を任意に設定できる入射
角可変用露光装置を提供することを目的とする。
よって透過すべき入射光の角度を任意に設定できる入射
角可変用露光装置を提供することを目的とする。
本発明における上記課題を達成させるための手段は、被
ワーク体を配置するための露光用窓を有する筐体内にコ
ールドタイプの楕円面反射鏡と、前記楕円面反射鏡の焦
点に設けた紫外線用点光源と、前記楕円面反射鏡から放
射される光を水平面に対して４５度の傾きをもって固定
されて反射するコールドタイプの第１の平面反射鏡と、
この第１の平面反射鏡からの反射光を受け水平面に対し
て４５度の傾きをもって固定される小型平面板からなる
コールドタイプの第２の平面反射鏡と、前記第２の平面
反射鏡から放射される光を色収差を補正するフライアイ
レンズを介して受光して平行光線として放射する斜傾を
なすコールドタイプの大球面反射鏡と、この大球面反射
鏡から得られた平行光線を前記露光用窓に所望の入射角
をもって放射させる傾きが可変設定可能に形成された可
動型反射鏡とを設け、この可動型反射鏡は上下方向に微
調整手段を介して移動体に連結され、この移動体はガイ
ド上を制御モータに制御されて移動可能に構成される外
に、前記露光用窓にはモータ駆動されて回転移動２位置
合わせ、および角度を変更させられると共に前記被ワー
ク体が装着される真空焼付手段が設けられて構成するこ
とを特徴とするものである。
ワーク体を配置するための露光用窓を有する筐体内にコ
ールドタイプの楕円面反射鏡と、前記楕円面反射鏡の焦
点に設けた紫外線用点光源と、前記楕円面反射鏡から放
射される光を水平面に対して４５度の傾きをもって固定
されて反射するコールドタイプの第１の平面反射鏡と、
この第１の平面反射鏡からの反射光を受け水平面に対し
て４５度の傾きをもって固定される小型平面板からなる
コールドタイプの第２の平面反射鏡と、前記第２の平面
反射鏡から放射される光を色収差を補正するフライアイ
レンズを介して受光して平行光線として放射する斜傾を
なすコールドタイプの大球面反射鏡と、この大球面反射
鏡から得られた平行光線を前記露光用窓に所望の入射角
をもって放射させる傾きが可変設定可能に形成された可
動型反射鏡とを設け、この可動型反射鏡は上下方向に微
調整手段を介して移動体に連結され、この移動体はガイ
ド上を制御モータに制御されて移動可能に構成される外
に、前記露光用窓にはモータ駆動されて回転移動２位置
合わせ、および角度を変更させられると共に前記被ワー
ク体が装着される真空焼付手段が設けられて構成するこ
とを特徴とするものである。
上記手段において、紫外線点光源からの光は球面反射鏡
によって平行光線となり、この平行光線は可動型反射鏡
によって所望の角度をもって露光用窓に入射され、この
露光用窓において所望の入射角をもった遮光スクリーン
が形成されることを図っている。
によって平行光線となり、この平行光線は可動型反射鏡
によって所望の角度をもって露光用窓に入射され、この
露光用窓において所望の入射角をもった遮光スクリーン
が形成されることを図っている。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本実施例の入射角可変用露光装置を示す斜視図
であり、第２図は本実施例の光学系の構成図である。同
図において、４は筐体、５は筺体４の上面に設けられた
露光用窓であって、この露光用窓には遮光スクリーンが
形成される被ワーク体が装着される真空焼付手段がモー
タ駆動されて回転移動９位置合わせの外に角度変更可能
に構成されている。筐体４内の後部には紫外線発生用点
光源６が設けられている。紫外線発生用点光源６はコー
ルドタイプの楕円面反射鏡７の焦点に配置され、光が上
方に向って放射されるようになっている。８は楕円面反
射鏡７の上方に配されたコールドミラーから成る第１の
平面反射鏡であり、筺体４の水平面に対して４５度の傾
きをもって固定され、楕円面反射鏡７から放射された光
を前面に放射させるようになっている。この前面に放射
された光を小型平面板で受けるコールドミラーから成る
第２の平面反射鏡９が筐体４の水平面に対して４５度の
傾きをもって固定され、光を下方に放射するようになっ
ている。この第２の平板面反射鏡９の反射光線をフライ
アイレンズ１０に通過させて光の色収差等を補正させ、
通過光線の延長線に斜傾をなす樹脂類やガラス成形品か
らなりコールドタイプの大球面形反射鏡１１が配置され
ており、この大球面状反射鏡１１はフライアイレンズ１
０からの光を拡大して平行光線として筐体１の前部、露
光用窓５の下方に放射するようになっている。露光用窓
５の下方には、筐体４の前後に移動できると共に傾きが
可変設定可能な可動型平面反射鏡１２が配置されている
。この可動型平面鏡１２は、露光用窓５の下方である位
置ａにあるときは、４５度に傾く。そして、平行光線が
露光用窓５に対して入射角０度で入射されるようになっ
ている。これに対し、可動型平面鏡１２は、前方に移動
して破線で示す位置すにあるときは、平行光線が露光用
窓５に対して入射角４５度で入射されるように大きく傾
くようになっている。このような移動は、可動型平面鏡
１２の下端に移動体１３が連結され、この移動体１３が
ガイド１４上を制御用モータ１５でもって移動されると
共に、傾きを可変させるような構成に基づいてなされて
いる。１６は筐体４の前面に設けられた装置の操作盤、
１７は同じく筺体４の前面に設けられた可動型平面鏡１
２の傾き角度を表示するための表示用目盛である。１８
は球面反射鏡１１の前方、上部に筺体１から垂下されて
設けられ、平行光線以外の不要光が露光用窓５の方向に
漏洩されることを防止するための懸垂板である。１９は
筐体４の上面に設けられた排気口または排出口であって
、紫外線発生用点光源６等から発生する熱を筐体４の外
部に放出するための−ものである。２０は露光用窓に設
けられた真空焼付手段を回転駆動するモータである。
であり、第２図は本実施例の光学系の構成図である。同
図において、４は筐体、５は筺体４の上面に設けられた
露光用窓であって、この露光用窓には遮光スクリーンが
形成される被ワーク体が装着される真空焼付手段がモー
タ駆動されて回転移動９位置合わせの外に角度変更可能
に構成されている。筐体４内の後部には紫外線発生用点
光源６が設けられている。紫外線発生用点光源６はコー
ルドタイプの楕円面反射鏡７の焦点に配置され、光が上
方に向って放射されるようになっている。８は楕円面反
射鏡７の上方に配されたコールドミラーから成る第１の
平面反射鏡であり、筺体４の水平面に対して４５度の傾
きをもって固定され、楕円面反射鏡７から放射された光
を前面に放射させるようになっている。この前面に放射
された光を小型平面板で受けるコールドミラーから成る
第２の平面反射鏡９が筐体４の水平面に対して４５度の
傾きをもって固定され、光を下方に放射するようになっ
ている。この第２の平板面反射鏡９の反射光線をフライ
アイレンズ１０に通過させて光の色収差等を補正させ、
通過光線の延長線に斜傾をなす樹脂類やガラス成形品か
らなりコールドタイプの大球面形反射鏡１１が配置され
ており、この大球面状反射鏡１１はフライアイレンズ１
０からの光を拡大して平行光線として筐体１の前部、露
光用窓５の下方に放射するようになっている。露光用窓
５の下方には、筐体４の前後に移動できると共に傾きが
可変設定可能な可動型平面反射鏡１２が配置されている
。この可動型平面鏡１２は、露光用窓５の下方である位
置ａにあるときは、４５度に傾く。そして、平行光線が
露光用窓５に対して入射角０度で入射されるようになっ
ている。これに対し、可動型平面鏡１２は、前方に移動
して破線で示す位置すにあるときは、平行光線が露光用
窓５に対して入射角４５度で入射されるように大きく傾
くようになっている。このような移動は、可動型平面鏡
１２の下端に移動体１３が連結され、この移動体１３が
ガイド１４上を制御用モータ１５でもって移動されると
共に、傾きを可変させるような構成に基づいてなされて
いる。１６は筐体４の前面に設けられた装置の操作盤、
１７は同じく筺体４の前面に設けられた可動型平面鏡１
２の傾き角度を表示するための表示用目盛である。１８
は球面反射鏡１１の前方、上部に筺体１から垂下されて
設けられ、平行光線以外の不要光が露光用窓５の方向に
漏洩されることを防止するための懸垂板である。１９は
筐体４の上面に設けられた排気口または排出口であって
、紫外線発生用点光源６等から発生する熱を筐体４の外
部に放出するための−ものである。２０は露光用窓に設
けられた真空焼付手段を回転駆動するモータである。
第３図は移動体１３に設けられ、可動型平面鏡１２の上
下位置を微調整するための昇降手段である。これは案内
１４に案内された移動体１３と可動型平面鏡１２の端と
の間にナツト２０が配され、ナツト２０を回動すること
によって移動体１３上の可動型平面鏡１２の高さが微調
整されるようになっている。この高さの微調整によって
露光用窓５に対する平行光線の位置が微調整されるよう
になっている。
下位置を微調整するための昇降手段である。これは案内
１４に案内された移動体１３と可動型平面鏡１２の端と
の間にナツト２０が配され、ナツト２０を回動すること
によって移動体１３上の可動型平面鏡１２の高さが微調
整されるようになっている。この高さの微調整によって
露光用窓５に対する平行光線の位置が微調整されるよう
になっている。
次に、以上の構成における実施例の動作について説明す
る。
る。
紫外線発光点光源６を発光させると、その光はコールド
タイプの楕円面反射鏡７で集光され、第１、第２の平面
反射鏡８，９を介してコールドタイプの大球面反射鏡１
１へと至ると共に、熱線成分がコールドミラーから成る
第１．第２の平面反射鏡８，９においても除去される。
タイプの楕円面反射鏡７で集光され、第１、第２の平面
反射鏡８，９を介してコールドタイプの大球面反射鏡１
１へと至ると共に、熱線成分がコールドミラーから成る
第１．第２の平面反射鏡８，９においても除去される。
球面反射鏡１１に至った光は、フライアイレンズ１０で
色収差が補正される。球面反射鏡１１からの反射光は平
行光線に変換され可動型反射鏡１２に至るが、不要光は
懸垂板１８で遮断される。可動型反射鏡１２は制御用モ
ータ１５によって傾き角度が任意に可変設定される。こ
の傾きの可変設定は、操作盤１６を操作して制御用モー
タ１５を作動させ、表示用目盛１７でもって傾き量を監
視して行なう。
色収差が補正される。球面反射鏡１１からの反射光は平
行光線に変換され可動型反射鏡１２に至るが、不要光は
懸垂板１８で遮断される。可動型反射鏡１２は制御用モ
ータ１５によって傾き角度が任意に可変設定される。こ
の傾きの可変設定は、操作盤１６を操作して制御用モー
タ１５を作動させ、表示用目盛１７でもって傾き量を監
視して行なう。
そのため、可動型反射鏡１２に至った平行光線は、露光
用窓５に任意の傾きをもった入射角をもって入射される
。そこで、露光用窓５に遮光スクリーン用被ワーク体を
配して露光させれば、任意の傾きをもった遮光膜１を有
する遮光スクリーン２が得られる。
用窓５に任意の傾きをもった入射角をもって入射される
。そこで、露光用窓５に遮光スクリーン用被ワーク体を
配して露光させれば、任意の傾きをもった遮光膜１を有
する遮光スクリーン２が得られる。
露光用窓５に至る光は、楕円面反射鏡７、第１゜第２の
平面反射鏡８．９および大球面反射鏡１１で熱線成分が
除去され、遮光板１８で不要光が遮光されるため、紫外
線からなる平行光線となる。
平面反射鏡８．９および大球面反射鏡１１で熱線成分が
除去され、遮光板１８で不要光が遮光されるため、紫外
線からなる平行光線となる。
従って、高品質の遮光膜１が生成される。また、紫外線
発生用点光源６の周辺では、温度が上昇するが、排気口
１９によって高温状態になることが防止される。
発生用点光源６の周辺では、温度が上昇するが、排気口
１９によって高温状態になることが防止される。
以上のように、本発明によれば紫外線点光源からの光が
球面反射鏡によって平行光線となり、この平行光線は可
動型反射鏡によって所望の角度をもって露光用窓に入射
されるため、ごの露光用窓において所望の入射角をもっ
た遮光スクリーンを形成することができる。そして、入
射角は可動型反射鏡の傾きを可変することにより任意に
可変設定できるため、各種の入射角をもった遮光スクリ
ーンを容易に得ることができる外に、露光用窓に設けら
れるとともに遮光スクリーンが形成される被ワーク体が
装着される真空焼付手段がモータによって回動される構
成としたので、上記モータを回転させることによって作
成する遮光スクリーンの斜傾方向を自由に選択できる効
果がある。
球面反射鏡によって平行光線となり、この平行光線は可
動型反射鏡によって所望の角度をもって露光用窓に入射
されるため、ごの露光用窓において所望の入射角をもっ
た遮光スクリーンを形成することができる。そして、入
射角は可動型反射鏡の傾きを可変することにより任意に
可変設定できるため、各種の入射角をもった遮光スクリ
ーンを容易に得ることができる外に、露光用窓に設けら
れるとともに遮光スクリーンが形成される被ワーク体が
装着される真空焼付手段がモータによって回動される構
成としたので、上記モータを回転させることによって作
成する遮光スクリーンの斜傾方向を自由に選択できる効
果がある。
また、平行光線は反射鏡によって広面積のものとするこ
とができるため、広い面積に亘って露光することにより
、広い面積の遮光スクリーンが容易に得られる効果があ
る。− 更に、紫外線点光源からの光はコールドミラーから成る
反射鏡で反射させることにより、熱線成分が除去され露
光用窓に紫外線のみが至り、高品質の露光がなされる効
果がある。
とができるため、広い面積に亘って露光することにより
、広い面積の遮光スクリーンが容易に得られる効果があ
る。− 更に、紫外線点光源からの光はコールドミラーから成る
反射鏡で反射させることにより、熱線成分が除去され露
光用窓に紫外線のみが至り、高品質の露光がなされる効
果がある。
更にまた、可動型反射鏡は制御用モータによって外部よ
り電気的に傾きを可変設定できるため、操作が容易で傾
きも正確になされる効果がある。
り電気的に傾きを可変設定できるため、操作が容易で傾
きも正確になされる効果がある。
第１図は本発明の一実施例における入射角可変用露光装
置の斜視図、第２図は本実施例の光学系の構成図、第３
図は第２図における移動体に設けた昇降手段を示す正面
図である。 １・・・遮光膜、 ２・・・遮光スクリーン
、４・・・筐体、 ５・・・露光用窓、６
・・・紫外線発光用点光源、 ７・・・楕円面反射鏡、 ８・・・第１の平面反射鏡
、９・・・第２の平面反射鏡、１１・・・球面反射鏡、
１２・・・可動型反射鏡、 １３・・・移動体、１４
・・・ガイド、 １５．２０・・・制御用モータ、
置の斜視図、第２図は本実施例の光学系の構成図、第３
図は第２図における移動体に設けた昇降手段を示す正面
図である。 １・・・遮光膜、 ２・・・遮光スクリーン
、４・・・筐体、 ５・・・露光用窓、６
・・・紫外線発光用点光源、 ７・・・楕円面反射鏡、 ８・・・第１の平面反射鏡
、９・・・第２の平面反射鏡、１１・・・球面反射鏡、
１２・・・可動型反射鏡、 １３・・・移動体、１４
・・・ガイド、 １５．２０・・・制御用モータ、
Claims (4)
- （１）被ワーク体を配置するための露光用窓を有する筐
体内に楕円面反射鏡と、前記楕円面反射鏡の焦点に設け
た紫外線用点光源と、前記楕円面反射鏡から放射される
光を水平面に対して４５度の傾きをもって固定されて反
射する第１の平面反射鏡と、この第１の平面反射鏡から
の反射光を受け水平面に対して４５度の傾きをもって固
定される小型平面板からなる第２の平面反射鏡と、前記
第２の平面反射鏡から放射される光を色収差を補正する
フライアイレンズを介して受光して平行光線として放射
する斜傾をなす大球面反射鏡と、この大球面反射鏡から
得られた平行光線を前記露光用窓に所望の入射角をもっ
て放射させる傾きが可変設定可能に形成された可動型反
射鏡とを設けて構成することを特徴とする入射角可変用
露光装置。 - （２）前記反射鏡はすべてコールドミラーから成ること
を特徴とする前記請求項（１）記載の入射角可変用露光
装置。 - （３）前記可動型反射鏡は下端に上下位置の微調整をす
る昇降手段を介して移動体に連結され、この移動体はガ
イド上を制御モータに制御されて移動可能に構成される
ことを特徴とする前記請求項（１）記載の入射角可変用
露光装置。 - （４）前記露光用窓には、モータ駆動されて回転移動、
位置合わせ、および角度を変更させられるとともに前記
被ワーク体が装着される真空焼付手段が設けられて構成
することを特徴とする前記請求項（１）記載の入射角可
変用露光装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1102562A JPH07111583B2 (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 入射角可変用露光装置 |
| US07/474,933 US4973850A (en) | 1989-04-21 | 1990-02-05 | Variable incident angle exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1102562A JPH07111583B2 (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 入射角可変用露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02281259A true JPH02281259A (ja) | 1990-11-16 |
| JPH07111583B2 JPH07111583B2 (ja) | 1995-11-29 |
Family
ID=14330671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1102562A Expired - Lifetime JPH07111583B2 (ja) | 1989-04-21 | 1989-04-21 | 入射角可変用露光装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4973850A (ja) |
| JP (1) | JPH07111583B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05265220A (ja) * | 1992-03-19 | 1993-10-15 | Orc Mfg Co Ltd | 基板傾斜式露光装置 |
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| JPH07111583B2 (ja) | 1995-11-29 |
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