JPH02278539A

JPH02278539A - 情報記録再生センサー及びこれを搭載した情報記録再生装置

Info

Publication number: JPH02278539A
Application number: JP9928489A
Authority: JP
Inventors: Takayuki Sugawara; 隆幸菅原
Original assignee: Victor Company of Japan Ltd
Current assignee: Victor Company of Japan Ltd
Priority date: 1989-04-19
Filing date: 1989-04-19
Publication date: 1990-11-14

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、１〜ラツキング用パターンが予め渦巻き状に
形成されているディスクを用いて、トラッキングサーボ
を行ないながら、情報信号の記録及ひ再生を行なう情報
記録再生装置に及びこれに使用される情報記録再生セン
サーに関する。

〔従来技術及び発明が解決しようとする課題〕記録再生
が何度でも可能な円盤状の情報記録媒体として、ＨＮＯ
３（Ｍｅｔａｌ　Ｎ１ｔｒｉｄｅ　０ｘｉｄｅ　５ｅＩ
ｎｉｃｏｎｄ−ｕｃｔｏｒ）ｉ造の半導体メモリ素子を
用いたディスクがある。これは静電荷によって情報信号
を記録し、その静電荷によって誘起された空乏層を静電
容量の変化として信号を読み出して再生する情報記録再
生方式が考えられている。このような情報記録再生方式
に使用される記録媒体（ディスク）の構造及び記録、再
生の原理について、第３図と共に説明する。図中、１は
シリコン単結晶からなる基板であり、この基板１上には
トンネル効果の可能な約２００程度の酸化シリコン膜２
か形成され、更にその上には窒化シリコンの絶縁膜３が
形成されている。また、基板１の裏面には、アース面と
してＡＡ（アルミニウム）膜４が蒸着により形成されて
おり、媒体５はこれら４層構造となっている。

そして、この媒体５への信号の記録（書込み）再生（読
出し）、消去を行なうには、金属の電極６が用意され、
この電＠６を媒体表面の絶縁膜３に摺接させ、媒体５上
を相対的に移動させることにより記録、再生、及び消去
が行なわれる。このように、移動する電極６を媒体５に
接触さぜなものは、実質的にいわゆるＨＮＯ３構造と同
じである。

周知の様に、ＨＮＯ３構造は、電極電圧を横軸に取り、
窒化膜内に蓄積される電荷密度を縦軸に取ると、電極電
圧と電荷密度とが第４図に示すようにしステリシス特性
を示し、これによりメモリ機能を生じる。

次に、媒体５への記録について説明する。但し、シリコ
ン基板１は孔型単結晶とする。記録時には、相対的に高
速移動する電！６を介して、信号（ディジタル信号のコ
ード）に応じた一３０Ｖ程度のパルス電圧を媒体表面に
印加する。すると、基板１内の電子（図示せず）はトン
ネル効果により酸化シリコン膜２を通過して窒化シリコ
ン絶縁膜３中に注入蓄積される。電子が蓄積された個所
では空乏層（図示せず）が広がり、電極６とアース８間
の静電容量は、パルス電圧が印加されていない位置の静
電容量と比較して小さくなる。電子が蓄積された個所で
の静電容量と印加電圧との曲線（Ｃ−Ｖ曲線）は、初期
状態のＣ−Ｖ曲線（第４図中破線で示す）の右側に移動
し、同図に示すようなヒステリシス特性となってメモリ
機能を生じるわけである。

なお、シリコン基板１がｐ型車結晶の場合には＋３０Ｖ
程度のパルス電圧を媒体表面に印加することによりＣ−
７曲線は右側に移動したヒステリシス特性となって、や
はりメモリ機能を生じる。

従って、電極６にて、信号に対応したパルス電圧を媒体
表面に印加すれば、空乏層（静電容量）を信号単体とす
る情報の記録が行なえるわけである。

次に、媒体５からの信号の再生について、第５図の等価
回路を併せ参照し乍ら説明する。再生に当っては静電容
量値の変化を検出する方法（原理）を用いる。例えば、
第５図に等価回路で示すように、Ｕ　ＨＦ帯発振器７の
発振周波数ｆｏを一定にしておいて、その周波数ｆｏと
近接した周波数で共振するように、電極６に接する絶縁
膜３の容量Ｏｎと空乏層の容量Ｃｄとを含む共振回路８
を形成する。なお、ｃＰは電極６の浮遊容量である。

電ｆｉ６から電圧が印加されず、空乏層が殆ど無い状態
では容量Ｃｄは大きく、その状態での共振回路８の共振
周波数をｆｌとする。一方、電圧が印加されて空乏層が
広がった状態では容量Ｃｄは小さく、その状態での共振
回路８の共振周波数をｆ２とする。そして、発振周波数
ｆｏを、第６図に示すように周波数ｆ１とｆ２の共振曲
線の一方の肩（図示の場合は左肩）に乗るように調節す
れば、空乏層の容量Ｃｄの変化に応じて検波出力を得る
ことができるわけである。

以上のような原理により記録、再生されるのは情報信号
だけであり、上記記録媒体５には例えはＶＨＤ　（登録
商標）方式において使用されるようなトラッキング信号
は記録されず、情報信号の記録時には記録素子機構の機
械制度に頼り、再生時にはウオブリング法というトラッ
キング制御を行なっている。以下、つ間ブリング方式の
トラッキングの原理について、第７図を参照しながら説
明する。

ウオブリング方式は、ＶＨＤ方式のｆ　　、ｆＰＩ　　
　Ｐ２信号に相当するような制御用の信号（パイロット信号）
を必要とせず、情報信号のみを利用する制御方法であり
、ウオブリングの名前の由来は、再生素子（センサー等
）を揺り動かす（ｗｏｂｂｌｅ）ことによる。ウオブリ
ング方式では、信号再生時に再生素子を記録トラックに
対して左右に強制的に揺動させる。但し、揺動の振幅は
トラック幅に対して充分小さくし、再生信号に対して悪
影響を与えないようにする必要がある。第７図（Ａ）〜
（Ｃ）に記録トラック（ハツチングを施した部分）と再
生素子の走査軌跡（蛇行した太線）の−例を示す。

同図（八）は、（揺動による変位を除いて）再生素子が
平均してトラックを正確にトレースしている状態を示し
、同図（Ｂ）及び（Ｃ）は再生素子が夫々上及び下方向
に変位（即ちトラックずれ）した状態を示している。第
７図（八）〜（Ｃ）の再生素子の走査状態に対応した信
号（キャリア）の出力波形を夫々第８図（Ａ）〜（Ｃ）
に示す。図中の時間軸は、第７図の再生素子の走査方向
の位置に一致させて描いである（後述の第９図（Ａ）〜
（Ｃ）についても同様）。出力波形は再生素子の走査状
態に応じて振幅変調を受ける。各国は説明をの都合上誇
張して描いてあり、実際の動作時にはキャリアの振幅変
動は、キャリアのレベルに比べて充分小さいものである
。第８図（八）〜ｆＣ）の各波形を包絡線検波した信号
Ｔの波形を、第９図（Ａ）の（ａ）〜（Ｃ）に夫々示す
。また、同図（Ｂ）は再生素子を揺動させるだめの駆動
信号Ｗ（通常正弦波）である。更に、同図（Ｃ）は、同
図（Ａ）の各信号Ｔと同図ｆＢ）の信号Ｗとの乗算結果
を示す信号Ｍであり、各波形（ａ）　〜（ｃ）は第９図
（Ａ）の波形（ａ）〜（Ｃ）に夫々対応している。同図
（Ｃ）から明らかなように、トラックすれか無けれは波
形（ａ）のように上下対称な波形となり、トラックすれ
を生じると、波形（ｂＬ　（Ｃ）のように上下非対称な
波形となり、トラックずれの方向と大きさに応じてＤＣ
成分を持つた波形となる。そこでこの信号Ｍから、ＬＰ
Ｆ（低域−波器）にて高周波数成分を除去したものをト
ラッキングエラー信号として、再生素子のトラッキング
制御に使用するものである。以下、得られなトラッキン
グエラー信号を基に、再生素子をトラッキング制御する
方法は、ＶＨＤ方式のプレーヤ等の再生素子に用いられ
ている周知のトラッキング方式と同じなので、詳細な説
明は省略する。

次に、圧電素子を用いたウオブリング方法について説明
する。電極針を効率良く高い周波数で駆動するなめに、
圧電素子（バイモルフ）を用いたのがこの方式である。

かかる方式を採用したピックアップ２０の構成を第１０
図に示す。これは、従来のＶＨＤ方式プレーヤの再生素
子（ピックアップ）のカンチレバーの一部をバイモルフ
２５で置き換えて、駆動部分（電極針２７と針ホルダー
２６）の軽量化を図ったものである。バイモルフ２５は
厚さ０．７１１ｎ＋、全長１１１１でカンチレバー２４
の略青を占める。なお、２１〜２３は信号記録。

検出用のリボン、２８はトラッキングサーボ用のトラッ
キングコイル、１９はＰ型ＨＮＯＳディスク（回転数１
８００ｒｐｌ）である。

バイモルフ２５の負荷３０■における印加電圧対変位の
特性を第１１図に示す。入力は１ｏｖｐ。

の正弦波である。なお、縦軸は左に変位（μｍ）。

右に位相（°）を示す。バイモルフ２５は通常は共振周
波数より低い周波数で使用するのか望ましいが、トラッ
キング性能を上げるには揺動周波数ｆｖは高い方か良い
。そこて、ｆ　Ｖ　＝　１６．６８ｋＨｚとし、バイモルフ
駆動電圧は６０Ｖ、−ｐの正弦波とした。このときのバ
イモルフ２５先端の振幅は推定０．１μｍ程度である。

次に、コイルを用いたウオブリング方法について、第１
２図を参照しながら説明する。第１２図（＾）、　（Ｂ
）は夫々ピックアップ３０の上面図及び前面図であり、
この図において第１０図のピックアップ２０と同一構成
部分には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。

コイルとマグネットによる電磁的な駆動方式であるＣ（
コイル）方式は、高い周波数での揺動は困難であるが、
ピックアップの構成が簡単であり、従来構成のピックア
ップに僅かな改造を施すだけで容易に作製できる。即ち
、第１２図（Ａ）、　ｆＢ）に示すように、針ホルダー
２６上にマグネット３１を取付け、このマグネット３１
に両側から斜め方向に対向させる形で１対のウオブリン
グ用コイル（振針コイル）２９ａ、２９ｂを近接配設す
る（支持固定部材の図示は省略する）。マグネット３１
はカンチレバー２４の撓み振動等による損失を防ぐため
に、電極針２７に接近させて、針ホルダー２６上に固定
されている。

マグネット３１はカンチレバ一部の実効質量増加による
トラッキング性能の悪化を招かないように、可能な限り
の軽量化が図られている。

このように軽量化が図られていても、かかる構成の従来
のピックアップ３０における電極針２７の揺動周波数は
、ｆ　、　＝２．４４　ｋＨ２程度か限度であり、これ
以上の高い周波数では揺動振幅が小さくなって、十分な
トラッキングエラー信号の検出は不可能になってしまう
という欠点があった。その１まため、従来のウオブリング方式のトラッキング方法では
、記録密度の向上に限界かあった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の情報記録再生センサーは、ダイヤモンド又はサ
ファイア等の透明度の高い非電導体を母体とし、この母
体の表面の一部に情報記録媒体表面の静電容量値変化を
検出し得る電極を形成し、この電極にリード線を接続す
ると共に電極形成個所以外の母体の上部に光ファイバの
一端を接合し、光ファイバの他端には光を母体に供給す
る発光部と、情報記録媒体表面に直線的に形成されてい
る光学的なトラック上を１−レースする母体からの反射
光を受光する受光部とを設け、電極付きの母体を先端に
取付けるためのカンチレバーと、電極付きの母体を揺動
させるための揺動手段と、電極付きの母体をトラッキン
グサーボするためのトラッキングコイルとを具備して構
成し、情報記録再生装置は、情報記録再生センサーの揺
動手段に特定の振動周波数を付与する周波数発生回路と
、この周波数発生回路からの信号と、上記揺動手段にて
ウオブリング駆動されることにより振幅変調を受けてい
る受光部からの検出信号とを乗算する乗算手段と、この
乗算手段の出方信号のうち不要な信号を除去してトラッ
キングサーボ信号を生成してトラッキングコイルに供給
するトラッキング制御手段と、電極及びリード線を介し
て情報記録媒体のトラックに映像信号、音声信号等の情
報信号を記録する記録手段と、トラックに記録された情
報信号を電極及びリード線を介して検出したのち復調し
て再生する再生手段とを備えて構成することにより、上
記課題を解決した。

〔実施例〕

本発明の情報記録再生センサー及びにれを搭載した情報
記録再生装置は、トラッキング用パターンか予め渦巻き
状に形成されているディスクを用いて、パターン上をウ
オブリング方式でトラッキングサーボを行ないながら、
情報信号の記録及び再生を行なうものである。使用する
ディスクには、信号記録前であってもウオブリングトラ
ッキングにて信号が検出できるように、光学的、構造的
パターンが半導体メモリーディスクに予め書込まれてい
る。ここで言う光学的、構造的パターンとは、ディスク
表面から見てパターンが光学的に確認できて、その部分
は単に表面だけでなく、深さ方向にメモリー構造を持っ
ていることを意味する。そしてそれ以外の場所にはメモ
リー構造が無く、シリコン等の基板のままになっている
。仮に、表面に光学的パターンが書込まれただけでは、
そのパターンを光でウオブリンクサーボし乍ら記録でき
るが、再生時には記録された信号トラックがウオブリン
グで振られていて、再生信号のＲＦの振幅が変調して出
力される。それを更に光学的なウオブリングでトラッキ
ングすると、信号は非常に乱れてしまう。従って、信号
トラックは少なくとも直線的に記録されるよう構成され
ている。そして、その記録用及びトラッキング用パター
ン上を、充分高い揺動周波数を実現し得たウオブリング
方式のセンサーでトラッキングサーボを行ないながら、
情報信号の高密度記録及び再生を行なうものである。

以下、第１図等を参照しなから、まず、情報記録再生セ
ンサーの一実施例について説明する。第１図（＾）、及
び（Ｂ）は夫々本発明の情報記録再生センサー１０の構
造を示す斜視図、及び光学系を示す拡大部分斜視図であ
り、この図において第１図の媒体構造図と同一構成部分
には同一符号を付してその詳細な説明を省略する。１１
は光ファイバー　１２は電気信号（静電容量値の変化）
出力用のリード線（フライリード）、１３は光透過性の
高いｔ４であり、この母体１３はダイヤモンド又はサフ
ァイア等の高硬度の非電導体材料にて構成される。また
、１４はディスクＤ上の静電容量値の変化を検出するた
めの電極、１５は円柱レンズ、１６は反射型ＬＥＤ　（
発光タイオード）である。

以上の構成から明らかなように、本発明の情報記録再生
センサー（以下単に「センサー」とも記載する）１０は
、従来のセンサーにおける電ｌ１Ｉｉ１４による静電容
量値の変化の検出のみならず、光ファイバーによる光検
出をも可能にしている。

次に、センサー１０の製法及び使用法について説明する
。まず、例えば同図ＣＢ）図示のような形状のダイヤモ
ンドの母体１３を研磨した後、イオン（Ｂ＋）を注入し
て、１側面の表層（例えは約０．２μｍ）を非晶質化す
ることにより電極１４を形成する。即ち、母体１３は光
信号の検出素子と、電極１４の形成体（支持体）の２役
を担っているのである。その後、母体１３の上部に光フ
ァイバー１１の一端を透明度の高い接着剤で接続して、
円柱レンズ１５を介して反射型ＬＥＤ１６より光を供給
する。電極１４の部分はイオン注入によりアモルファス
化しているので光の透過率はかなり下かっているが、母
体１３の方はまた完全なダイヤモンド結晶１ｆｒＪ造を
有しているので、光は母体１３の中を通ってその底面に
達し、更に底面に摺接しているディスクＤの表面の反射
率に応じて強度変調された光か、光ファイバー１１及び
円柱レンズ１５を介して反射型ＬＥＤ１６の方へ戻って
ゆく。周知のように、反射型ＬＥＤ１６は受光素子をも
内蔵しているので、それにより出力信号か容易に且つ直
ちに取出せるわけである。

かかる構成の本発明センサー１０により、ディス２９表
面に設けられた渦巻き状の光学的パターン（例えば記録
Ｉ・ラックは窒化シリコンＳん３　Ｎ　４で出来ている
ので茶色に見え、それ以外は銀白色のシリコンｓＬであ
る）を、例えば第１０図示のウオブリング付加手段にて
ウオブリングをかけてトラッキング制御を行ないながら
記録し、且つ再生できるわけである。この場合、−＃：
体１３及び電極１４は非常に軽量であり、しかも光ファ
イバー１１及びフライリード１２は軽量且つ柔軟なので
、充分高い周波数（例えば３０　ｋＨｚ）で母体１３の
揺動が可能である。一方、記録すべき信号は光学的パタ
ーン（窒化シリコン）の個所にしか記録されないので、
センサーがウオブリングにより振動していても、記録信
号は正弦波状にならず、微視的には直線的（巨視的には
渦巻状）に記録されるわけである。これにより、再生時
の出力波形は再生素子の走査状態のみに応じて振幅変調
を受けるようになる。

次に、かかるセンサーを搭載した記録再生装置の一実施
例について、その構成及び動作等を第２図を併せ参照し
ながら説明する。第２図は本発明の情報記録再生装置の
ブロック構成図である。第１図示の電極（センサー）１
４で検出された信号は、検波回路ＤＥＴ１で検波された
後、増幅回路ＡＨＰ１で所定のレベルに増幅され、夫々
所定の中心周波数を有する帯域ろ波器ＢＰＦ１及びＢＰ
Ｆ２によって、映像信号と音声信号に分離され、更に夫
々の復調器叶旧及び叶Ｈ２によって復調され（ディスク
Ｄには周波数変調にて記録されている）、再生回路（図
示せず）に出力される。

なお、情報信号の記録動作は、復調器Ｄ［旧、　ＤＥＨ
２の代りに変調器（図示せず）を使用して映像信号及び
音声信号を夫々周波数変調し、その変調信号をフライリ
ード１２及び電極１４を介して媒体の記録トラックに記
録する。その際にも当然電極１４はウオブリンク駆動さ
れるか、前記の如く記録可能なトラックは直線的に媒体
表面に形成されているので、被変調情報信号（映像、音
声両信号）は直線的に記録される。

一方、光センサ−（母体１３）で同時に検出された信号
は、ウオブリングにより振幅変調を受けているので、検
波回路ＤＥＴ２で検波される信号は例えは第８図に示し
たような波形となり、これが増幅回路＾ＨＰ２で所定の
レベルに増幅された後、検波回路ＤＥＴ３で包絡線検波
されて、例えば第９図（八）の（ａ）、　（ｂ）又はＦ
Ｃ）のような波形の信号となる。

また、Ｏ２０は例えば３０ｋｌｌＺの基準信号を発生す
る周波数発生回路であり、この基準信号を駆動回路ＤＲ
１に供給することにより圧電素子（バイモルフ）又は引
圧コイルを駆動させて、針先（電極１４付き母体１３）
を３０ｋＨ２で揺動させるわＣ−ｔである。従って、上
記検波回路ＤＥＴ３の出力は、当然周波数発生回路Ｏ８
Ｃの出力と同期しているわけであるか、途中の信号処理
回路において遅延が生じることもあるので、位相整合回
路ＰＨＣ１によって、周波数発生回路Ｏ８Ｃからの出力
信号を検波回路ＤＥ■３の出力信号と位相を一致させた
後、第９図（Ｂ）の如き信号を出力して、乗算回路ＨＴ
に検波回路ＤＥ■３の出力信号共々供給して乗算を行な
い、第９図ＦＣ）の（ａ）、　ｆｂ）又は（Ｃ）のよう
な波形の信号を生成するわけである。この乗算回路ＨＴ
の出力信号は、電極（センサー）１４の振動周波数（例
えば３０ｋｌｌｚ）より低い遮断周波数（例えは３　　
ｋｌｌｚ）を有する低域ろ波器ＬＰＦにより不要な周波
数成分を除去されて、電極１４のトラックずれの方向と
大きさを表わすトラッキング誤差信号となり、位相整合
回路ＰＨＣ２によって位相整合された後、駆動回路ＯＲ
２により電力増幅され、トラッキングコイル２８に印加
される。これによりカンチレバー２４（針ホルダー２６
）を半径方向に駆動して、電極センサー１４（母体１３
）かディスクＤのトラックを正確にトレースするよう制
御する。なお、かかるトラッキング制御は、情報信号の
記録時にも同様に行なわれる。

以上の説明においては、本発明の情報記録再生センサー
の光ファイバー１１は、その一端を母体１３の上部に透
明度の高い接着剤にて接続するものとしたか、光ファイ
バー１１として母体１３の大きさよりも十分太いものく
例えは２１１１１１１φ）を使用して、母体１３を光フ
ァイバー１１に圧入して接続するようにしても良い。ま
た、使用するディスクとして、ディスク表面の渦巻き状
パターンの記録トラックを茶色の窒化シリコンとし、そ
れ以外は銀白色のシリコンとしたが、これに限らず、光
学的、構造的パターンか予め書込まれているディスクな
ら何でも良い〔効　果〕以上詳細に説明したように、本発明の情報記録再生セン
サー及びこれを搭載した情報記録再生装置によれは、従
来例における諸欠点を良好に解消し、次のような優れた
特長を有する。

（１）センサーの母体に光ファイバーを直結したので、
記録再生ディスクの光学的検出も可能となり、従来の電
極付きセンサーでは静電容量信号しか検出できなかった
のに対し、１つのセンサーで電気的信号と光学的信号の
２種類の信号か検出可能となった。

（２）情報記録媒体の再生時は勿論、初めて記録する際
にも精度の高いトラッキング制御が可能となり、高密度
な情報記録か可能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）、及びＦＢ）は夫々本発明の情報記録再生
センサーの′＃４造を示す斜視図、及び光学系を示す拡
大部分斜視図、第２図は本発明の情報記録再生装置のブ
ロック構成図、第３図はＨＮＯ３構造の半導体メモリ素
子を用いた従来の情報記録媒体の構造及び記録、再生の
動作原理を示す拡大部分断面図、第４図は第３図示の情
報記録媒体の記録原理を示すヒステリシス特性図、第５
図は同じく再生原理説明用等化回路図、第６図は同じく
信号再生動作説明用周波数特性図、第７図（＾）〜（Ｃ
）はウオブリングサーボにおける記録トラックと再生素
子の走査軌跡の一例を示す原理図、第８図（＾）〜（Ｃ
）はウオブリングサーボにおける再生素子の走査状態に
対応した信号の出力波形図、第９図（Ａ）は第８図（Ａ
）〜（Ｃ）の各波形を包絡線検波した信号の波形図、同
図（Ｂ）は再生素子を揺動させるための駆動信号波形図
、同図（Ｃ）は同図（八）の各信号と同図（Ｂ）の信号
との乗算結果を示す信号波形図、第１０図及び第１２図
（Ａ）、　ｆＢ）は従来の情報記録再生センサーの主要
部を示す夫々斜視図及び上面図、前面図、第１１図は第
１０図示の従来例に使用されるバイモルフの印加電圧−
変位の特性図である。１０・・・情報記録再生センサー　１１・・・光ファイ
バー　１２−・・リードｍ＜フライリード）、１３・・
・母体、１４・・・電極、１５・・・円柱レンズ、１６
・・・反射型ＬＥＤ、２４・・・カンチレバー、２６・
・・針ホルダー、２８・・・トラ・ンキングコイル、Ａ
ＨＰｌ　、八ＨＰ２・・・増幅回路、ＢＰＦｌ、　Ｂｒ
Ｆ３・・・帯域ろ波器、ＤＥＨｌ、　ＤＥＨ２・・・復
調器、ＤＥＴ１〜Ｄ［１３・・・検波回路、ＤＲｌ　、
　ＤＲ２・・・駆動回路、ＬＰＦ・・・低域ろ波器、）
ＩＴ・・・乗算回路、Ｏ２０・・周波数発生回路、ＰＨ
Ｃｌ、　ＰＨＣ２・・・位相整合回路、Ｄ・・・ディス
ク。特許出願人　　日本ビクター株式会社代表者　　埋木　邦人ＷノＺｍ

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ダイヤモンド又はサファイア等の透明度の高い非
電導体を母体とし、該母体の表面の一部に情報記録媒体
表面の静電容量値変化を検出し得る電極を形成し、該電
極にリード線を接続すると共に電極形成個所以外の上記
母体の上部に光ファイバの一端を接合し、該光ファイバ
の他端には光を該母体に供給する発光部と、上記情報記
録媒体表面に直線的に形成されている光学的なトラック
上をトレースする該母体からの反射光を受光する受光部
とを設け、上記電極付きの母体を先端に取付けるための
カンチレバーと、該電極付きの母体を揺動させるための
揺動手段と、該電極付きの母体をトラッキングサーボす
るためのトラッキングコイルとを具備したことを特徴と
する情報記録再生センサー。
（２）特許請求の範囲第１項記載の情報記録再生センサ
ーの揺動手段に特定の振動周波数を付与する周波数発生
回路と、該周波数発生回路からの信号と、上記揺動手段
にてウォブリング駆動されることにより振幅変調を受け
ている上記受光部からの検出信号とを乗算する乗算手段
と、該乗算手段の出力信号のうち不要な信号を除去して
トラッキングサーボ信号を生成して上記トラッキングコ
イルに供給するトラッキング制御手段と、上記電極及び
リード線を介して上記情報記録媒体のトラックに映像信
号、音声信号等の情報信号を記録する記録手段と、該ト
ラックに記録された情報信号を該電極及びリード線を介
して検出したのち復調して再生する再生手段とを備えた
ことを特徴とする情報記録再生装置。