JPH02277252A - ピンセツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

〔産業上の利用分野〕 この発明は、手による汚染を与えることなく物を取り扱
うビンセットに関するものである。 〔従来の技術〕 第８図は従来、半導体ウェハの取り扱いなどに際して使
われているビンセットの正面図、第９図は第８図のビン
セットの側面図である。 図において、（１）はウェハ保持部、（２）はウェハが
深く入り込まないためのウェハエッヂストッパー

【４】
はビンセット（５）を握ったときの滑り止め部である。 次に動作について半導体ウェハの取り扱いを例に説明す
る。 滑り止め部（４）を指で持ち、ウェハ保持部（１）をウ
ェハ保持部（１）をウェハの端からウェハエツジストッ
パー（２）にウェハの端が来るまで差し込んだのち滑り
止め部（４７を持っている指に力を入れウェハを挾む。 〔発明が解決しようとする課題〕 従来のビンセットは以上のように構成されていたので、
長い板を用いて物をつかむことになり、重い物を持つと
きに大きな力が必要となる。また横幅があったり長い物
をつかむときは、つかんだ物を移動させたりすることが
不自由であるなどの問題点があった。 この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので指先に装着した治具でウェハをつかむことがで
きることを目的とする。 〔課題を解決するための手段〕 この発明に係るビンセットは治具を指先にはめこれを用
いてウェハをつかむものである。 〔作用〕 この発明におけるビンセットは、指先に治具をつけ、ウ
ェハをつかむことができる。 〔実施例〕 以下、この発明の一実施例を図について説明する。 第１図は親指用のビンセットの正面図、第２図は第１図
のビンセットの上面図、第３図は第１図のビンセットの
下面図、第４図は人差し指及び中指用のビンセットの正
面図、第５図は第４図のビンセットの上面図、第６図は
第４図のビンセットの下面図、第７図は第１図及び第４
図のビンセットを指先に装着してウェハをつかむ状況を
説明する図である。 図において、（６１、＋７１はビンセット、（１）はウ
ェハ保持部で、ここでウェハをはさむ。（２）はウェハ
エツジストッパーでビンセット（６）、（７）が必要以
上にウェハの奥まで入らないようにする。（３）は指入
れである。 次に動作を説明する。 まず作業者は手袋は無塵布で作られ、また手からの発塵
が外に出ないものを用いる。 次１こ、第７図に示すごとくビンセット（６）を親指に
つけ、ビンセット（７）を人差し指と中指につける。 ウェハの表側Ｉこ親指を添え、ウェハエツジストッパー
（２）がウェハの端に当るまで入れた後、ウェハの後側
に人差し指と中指を当ててウェハをつかむ。 なお、上記実施例では手袋とビンセットが別々のものを
説明したが手袋の先にビンセットを接着させて一体化し
ても良い。 〔発明の効果〕 以上のようにこの発明によればビンセットの柄を短くし
た治具を用いて直接、物がつかめるので少ない力で物を
つかむことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第７図はこの発明の一実施例を示すもので
、第１図は親指用のビンセットの正面図、第２図及び第
３図は第１図のビンセットのそれぞれ上面及び下面図、
第４図は人差し指及び中指用のビンセットの正面図、第
５図及び第６図は第４図のビンセットのそれぞれ上面図
及び下面図、第７図は第１図及び第４図のビンセットを
指先に装着してウェハをつかむ状況を説明する図、第８
図は従来のビンセットの正面図、第９図は第８図のビン
セットの側面図である。 図において（１）はウェハ保持部、Ｃ２Ｉはウェハエツ
ジストッパー、（３）は指入れ、（６）、（７）はビン
セットである。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェハ保持部を指先に取り付け可能にしたことを特徴と
   するピンセット。