JPH02269569A - 磁気ディスク基盤用多孔質砥石 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はポリビニルアセタール樹脂を用いた磁気ティス
フ基盤用多孔質砥石、とくには磁気ディスク基盤の素材
であるアルミニラ１１製サブストレトのニッケル合金（
Ｎ］−Ｐ）メツキ物（以下これを、「ニッケル合金メッ
キサブス１〜レー１〜」と略称する）の表面を研磨する
ために使用する多孔質砥石に関する。

（従来の技術） 従来、「ニッケル合金メンキサブストレー１〜」の表面
研磨は、酸化セリウム等の微粒子スラリーを用いた加工
、あるいは合成砥石を用いた加工によるのが一般的であ
った。しかし、前者の微粒子スラリーに用いる方法には
、スラリーの使用量が多く経済的に不利である、その廃
液の処理に多額の費用がかかる、大型のディスクを研磨
するのが難しいなどの問題があり、また後者の合成砥石
を用いる方法では仕上り精度を高めにくい、砥石が目詰
まりを起こし易いなどの欠点があった。

（発明が解決しようとする課題） 本発明者らは、これらの問題点を解決するため、鋭意研
究を進めた結果、本発明に到達したものである。すなわ
ち、本発明の目的は優れた面精度を得ると共に、砥石の
目詰まりか殆ど発生しない、連続研磨作業の可能な磁気
ディスク基盤用多孔質砥石を提供するにある。

（課題を解決するための手段） 本発明による磁気ディスク基盤用砥石は、ポリビニルア
セタール樹脂、その他の熱硬化性樹脂、および微細砥粒
からなる、（スーパーフィシキル１５−Ｙスケールで測
定した）ロックウェル硬度が−３７０〜−２３０の多孔
質体で構成されている。

この砥石の第１の特徴は柔らかく組織が緻密であるため
に、研磨面の仕上り精度が非常に高いことであり、第２
の特徴はこれが適度に脆いため研磨中に砥石が適切に脱
落し、目詰まり現象を起こさないことである。その結果
、適切な研磨速度を常時維持することが可能となり、表
面仕上り精度を極めて良好に保持すると共に、生産性の
大幅な向にに寄与する。

これを説明すると、この磁気ディスク基盤用多孔質砥石
はポリビニルアセタール樹脂、その他の熱硬化性樹脂、
および微細砥粒から構成されるが、（空隙を除いた）各
成分の割合はポリビニルアセタール樹脂６〜３０重量％
、その他の熱硬化性樹脂４〜２０重量％、砥粒６５重量
％以上であることが好ましい。この砥粒はその平均粒子
径が７μｍ以下で、最大粒子径が２０７ｍ以下の微粒子
からなるものがよく、その材料には炭化けい素、アルミ
ナ、酸化りロム、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、お
よびジルコンサンドの単独、または２種以」―の混合物
として用いられる。

ポリビニルアセタール樹脂は通常ポリビニルアルコール
樹脂の完全けん化物に水を加えて水溶液化し、これにア
ルデヒ１〜を加え、塩酸、硫酸等の酸触媒の存在下、ア
セタール化反応させて得られる。

その他の熱硬化性樹脂としてはフェノール系樹脂、メラ
ミン系樹脂、尿素系樹脂、アクリル系樹脂、メタクリル
系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエステル系樹脂などが挙
げられる。

本発明による多孔質低面は、まずポリビニルアルコール
樹脂の完全けん化物に、その他の熱硬化性樹脂と微細砥
粒とを混合した後、上記の方法によるアセタール化を行
うことによってスラリー状液とする。これを所定の大き
さの容器に入れて、５０〜７０℃で、１５〜２５時間反
応させて固化し、水洗乾燥後、必要に応じて、これにそ
の他の熱硬化性樹脂を再度含浸し乾燥する。次に、これ
を１５０〜一 ３００℃で、５〜５０時間熱処理して得られる。

このようにして得られた砥石は、ロックウェル硬度計の
スーパーフィシキル１５−Ｙスケールで測定した硬度が
−３７０〜−２３０であり、嵩密度が０．４１〜０．５
３の多孔質体となる。

この砥石において硬度がこの範囲外であると、加工の際
に表面精度を高めることができず、またこの値が大きい
と目詰まりを起こし易くなる。嵩密度も同様の傾向であ
るが、硬度はどの影響はない。砥石中での砥粒の含有率
が小さいときも、表面精度が悪く、目詰まりを起こし易
くなる傾向がある。

（実施例） 以下、本発明の具体的態様を実施例および比較例により
説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものでは
ない。

なお、各側しこおいて使用した測定装置および被研磨材
は次の通りである。

表面粗さ計：タリステップ（ティラー・ホプソン社製） 硬　度　計二ロックウェル硬度計（松沢精機製）被研磨
材ニアルミニウム製サブストレートにＮ１−Ｐメツキを
施した環状板 実施例　１゜ ポリビニルアルコールの完全けん化物に水を加えて水溶
液化し、これに水溶性のフェノール樹脂（住人デュレス
■製ＰＲ−９６１，Ａ）を混合し、さらに触媒としての
塩酸と、架橋剤としてのホルムアルデヒドを加えた後、
炭化けい素の砥粒（自社製、ＧＣＣ粉粒３０００番を混
合して均一なスラリー状液を調製した。このスラリー液
を直径２０Ｇ、高さ１５−の大きさの型枠に注入し、温
浴中で一昼夜反応固化させた後、水洗し、過剰の酸、ホ
ルムアルデヒ１へなどを除去して乾燥した。

乾燥後、アクリル系樹脂を含浸して再度乾燥した。その
後２５０℃の温度で一昼夜熱処理して第１表１こ示した
組成（重量比）の砥石を得た。

このようにして得られた砥石を金属製取付板に固定し、
ディスクの研磨を行った。研磨液としては水を用い、デ
ィスク１枚当り７分の割合で研磨後、被研磨材の表面状
況を検査した。また砥石前での目詰まり状況等を確認す
るため、砥石のドレッシング作業なしで２０バツチ連続
研磨を行い、砥面および研磨の状態を検査した。この結
果を第１表に併記した。

第１表より、硬度および嵩密度が前述した範囲外では表
面精度が悪くなる、いずれの値もこの範囲より大きくな
ると目詰まりを起こす、砥石中での微細砥粒の含有率が
低いものでは表面精度が悪く目詰まりを起こすことなど
が見出され、とりわけ硬度の影響の大きいことが確認さ
れた。

（表中、実験Ｎ０１１〜３、および６が本発明、他は比
較例である） 実施例　２゜ 砥粒の粒度を種々変化させた砥石を、前例と同様の手順
で作製し、同様の研磨作業を行い、同様に検査した結果
を第２表に示した。

この表より、適切な硬度の砥石では目詰まりを起こさず
５表面積度も砥粒の粒径に応じて極めて良好な結果が得
られた。

第　　２　　表 （発明の効果） 本発明の砥石では ■柔らかく組織が緻密であるために、研磨面の仕上り精
度が非常に高い。

■適度に脆いため研磨中に砥石が適切に脱落し、目詰ま
り現象を起こさない。その結果、適切な研磨速度を常時
維持することが可能となり、表面仕上り精度を極めて良
好に保持すると共に、生産性の大幅な向」−に寄与する
。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ポリビニルアセタール樹脂、その他の熱硬化性樹脂
   、および微細砥粒からなる、（スーパーフィシャル１５
   −Ｙスケールで測定した）ロックウェル硬度が−３７０
   〜−２３０である磁気ディスク基盤用多孔質砥石。