JPH02264428A - マイクロ波式プラズマエッチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はマイクロ波によるガスプラズマを利用して半導
体ウェハのエツチングを行なうマイクロ波式プラズマエ
ツチング装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来のマイクロ波式プラズマエツチング装置は、第４図
および第５図に示すように構成されていた。

第４図は従来のマイクロ波式プラズマエツチング装置を
示す正面図、第５図は第４図中Ｖ−Ｖ線断面図である。

これらの図において、１は半導体ウェハ（図示せず）が
装着される処理室で、この処理室ｌ上にはペルジャー２
が取付はボルト２ａニよって取付けられている。３は前
記処理室１内にマイクロ波を導くための円錐導波管で、
この円錐導波管３はその内方に前記ペルジャー２を挿入
させた状態で処理室ｌ上に取付はポル）３ａによって取
付けられている。４は後述するマイクロ波発振装置から
出力されたマイクロ波を前記円錐導波管３に導くための
Ｅコーナー導波管で、このＥコーナー導波管４の一端部
は前記円錐導波管３に連結され、かつ他端部はスタブ駆
動部５を有する電動スタブ６および整合器７を介してマ
イクロ波発振装置８に連結されている。また、前記円錐
導波管３．Ｅコーナー導波管４．電動スタブ６および整
合器７等の各部材の連結部分には互いに密接される一対
の方形状フランジ９が設けられ、各フランジ９を対接さ
せた状態で締付はボルト１０により締付けることによっ
て各部材が連結されている。この締付はボルト１０は導
波管内の気密を保つために複数本（この例では１０本）
取付けられている。

このように構成されたマイクロ波式プラズマエツチング
装置においては、マイクロ波発振装置８から出力された
マイクロ波は整合器７．電動スタブ６、Ｅコーナー導波
管４および円錐導波管３を介して処理室１内に送り込ま
れる。また、このマイクロ波式プラズマエツチング装置
は長期にわたって使用されると処理室１内およびペルジ
ャー２が汚損されるため、これらが定期的に清掃されて
いる。この清掃時には、先ず、円錐導波管３を取付はポ
ル）３ａを緩めて処理室１から取外すと共に、Ｅコーナ
ー導波管４と電動スタブ６との連結部分の締付はボルト
１０を緩めて電動スタブ６からＥコーナー導波管４を外
し、このＥコーナー導波管４と前記円錐導波管３とを互
いに連結された状態で装置から取り外す。そして、上述
したように円錐導波管ジが取り除かれて露出されたペル
ジャー２を取外し、処理室１内およびペルジャー２の清
掃が行われる。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかるに、このように構成された従来のマイクロ波式プ
ラズマエツチング装置においては、保守点検時、特に処
理室１およびペルジャー２を清掃するためにＥコーナー
導波管４と円錐導波管３とを取外す際には、その都度締
付はボルト１０を取外さなければならない。この締付は
ボルト１０の数が多いために連結部分の脱着が煩雑で、
しかも、清掃後に復旧する際にはＥコーナー導波管４の
連結部分は位置合わせを行ないながらボルト締めしなけ
ればならないため、作業時間が多くかかり過ぎ゛るとい
う問題があった。また、Ｅコーナー導波管４の連結部分
はフランジ９どうしの位置によって位置決めされていた
ため、位置決め精度は低いものであり、連結部分が位置
ずれを起こし易かった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係るマイクロ波式プラズマエツチング装置は、
前記導波管の連結部に、互いに密接される一対の連結用
円形フランジを設け、このフランジは、外周部の非対接
面側に外径方向へ向かうにつれ漸次厚みが薄くなる傾斜
面が設けられ、かう位置決め部材と嵌合される位置決め
穴が対接部分に複数設けられ、両フランジを位置決め部
材を介装させて対接させた状態で、前記傾斜面に対接さ
れフランジを半径方向中央部側へ押圧する環状挾圧部材
によって緊縛されるものである。

〔作　用〕

導波管の連結部に設けられた一対のフランジを環状挾圧
部材で緊縛させることによって導波管が連結され、両フ
ランジは対接される際に位置決め部材によって位置決め
される。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図ないし第３図によって
詳細に説明する。

第１図は本発明に係るマイクロ波式プラズマエツチング
装置を示す正面図、第２図は第１図中■−■線断面図、
第３図は第２図中ｍ−ｍ線断面図である。これらの図に
おいて前記第４図で説明したものと同一もしくは同等部
材については同一符号を付し、ここにおいて詳細な説明
は省略する。

第１図ないし第３図において、１１および１２はＥコー
ナー導波管４を電動スタブ６に連結するためのフランジ
で、このフランジ１１はＥコーナー導波管４の連結端部
に一体に設けられており、フランジ１２は電動スタブ６
の連結端部に一体に設けられている。この両フランジ１
１．１２は、全体が円盤状に形成され、その外周部の非
対接面側角部には外径方向へ向かうにつれ漸次厚みが薄
くなる傾斜面１３が形成されている。また、前記両フラ
ンジ１１．１２の対接面１４は、両フランジ１１．１２
を対接させた際に互いに密接されるように平坦に形成さ
れている。

１５は前記両フランジ１１．１２を互いに位置決めする
ための位置決めピンで、この位置決めピン１５はＥコー
ナー導波管４側のフランジ１１に複数本立設されており
、フランジ連結時には、電動スタブ６側のフランジ１２
に設けられた位置決め穴１２ａ内に嵌合されるように構
成されている。１６は前記両フランジ１１．１２を緊縛
するための環状挾圧部材としてのＶ型バンドで、このＶ
型バンド１６は全体が略々Ｃ字状に形成されており、両
フランジ１１．１２の傾斜面１３に対接される押圧面が
形成された押圧片１６ａと、この押圧片１６ａを支持す
る支持体１６ｂと、ハンドル１６ｃを有しかつ平面視略
々Ｃ字状に形成された前記押圧片１６ａおよび支持体１
６ｂの両端部を引っ張る締付は部材１６ｄとからなり、
前記ハンドル１６ｃを第３図中矢印に示すように揺動さ
せることによって、内径を狭めたり、拡げたりすること
ができるように構成されている。すなわち、両フランジ
１１．１２を対接させた状態で、前記押圧片１６ａの押
圧面を両フランジ１１．１２の傾斜面１３に対接させて
このＶ型バンド１６を前記両フランジ１１゜１２の外周
部に取付け、締付は部材１６ｄのハンドル１６ｃを第３
図中矢印向へ揺動させると、押圧片１６ａおよび支持体
１６ｂが周方向へ引っ張られて内径が狭められ、この■
型バンド１６によって両フランジ１１．１２が半径方向
へ押圧されることになる。この際、押圧片１６ａは傾斜
面１３に沿って摺動され、この押圧片１６ａにより両フ
ランジ１１．１２が互いに近接する方向へ押圧されるこ
とになる。なお、前記Ｖ型バンド１６を取外すには、ハ
ンドル１６ｃを第３図中Ｂ方向へ揺動させることによっ
て行われる。

このように構成されたマイクロ波式プラズマエツチング
装置おいては、保守点検時にＥコーナー導波管４を電動
スタブ６から取外すには、■型バンド１６のハンドル１
６ｃを第３図中Ｂ方向へ揺動させてＶ型バンド１６を緩
め、両フランジ１１．１２を引き離して行われる。また
、Ｅコーナー導波管４を電動スタブ６に連結するには、
フランジ１１の位置決めピン１５をフランジ１２の位置
決め穴１２ａ内に嵌合させた状態で両フランジ１１．１
２を対接させ、この状態でＶ型バンド１６を両フランジ
１１．１２の外周部に取付ける。そして、Ｖ型バンド１
６のハンドル１６ｃを第３図中矢印へ揺動させて両フラ
ンジ１１゜１２を緊縛させることによって行われる。

したがって、Ｅコーナー導波管４の脱着を■型バンド１
６を使用して行なうことができ、両フランジ１１．１２
の位置決めも位置決めピン１５をフランジ１２の位置決
め穴１２ａ内に嵌合することによって行なうことができ
るため、Ｅコーナー導波管４の脱着作業が簡略化される
。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係るマイクロ波式プラズマ
エツチング装置は、導波管の連結部に、互いに密接され
る一対の連結用円形フランジを設け、このフランジは、
外周部の非対接面側に外径方向へ向かうにつれ漸次厚み
が薄くなる傾斜面が設けられ、かつ位置決め部材と嵌合
される位置決め穴が対接部分に複数設けられ、両フラン
ジを位置決め部材を介装させて対接させた状態で、前記
傾斜面に対接されフランジを半径方向中央部側へ押圧す
る環状挾圧部材によって緊縛されるため、両フランジを
環状挾圧部材で緊縛させることによって導波管が連結さ
れ、その連結部分の位置決めは両フランジが対接される
際に位置決め部材によって行われる。したがって、導波
管の脱着を環状挾圧部材を使用して行なうことができる
から脱着作業が簡略化され、しかも、導波管の連結部分
の位置決めも位置決め部材によって確実かつ容易に行な
うことができるから、作業時間を短縮することができる
と共に、位置決め精度を向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るマイクロ波式プラズマエツチング
装置を示す正面図、第２図は第１図中■−ｎ線断面図、
第３図は第２図中ｍ−ｍ線断面図、第４図は従来のマイ
クロ波式プラズマエツチング装置を示す正面図、第５図
は第４図中Ｖ−Ｖ線断面図である。 １・・・・処理室、３・・・・円錐導波管、４・００．
Ｅコーナー導波管、６・・・・電動スタブ、１１．１２
・・・・フランジ、１２ａ・・・・位置決め穴、１３・
・・・傾斜面、１５：・・・位置決めピン、１６・・・
・Ｖ型バンド、１６ａ・・・・押圧片。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体ウェハが装着される処理室とマイクロ波発振装置
   とを接続する導波管が着脱自在に設けられたマイクロ波
   式プラズマエッチング装置おいて、前記導波管の連結部
   に、互いに密接される一対の連結用円形フランジを設け
   、このフランジは、外周部の非対接面側に外径方向へ向
   かうにつれ漸次厚みが薄くなる傾斜面が設けられ、かつ
   位置決め部材と嵌合される位置決め穴が対接部分に複数
   設けられ、両フランジを位置決め部材を介装させて対接
   させた状態で、前記傾斜面に対接されフランジを半径方
   向中央部側へ押圧する環状挾圧部材によって緊縛される
   ことを特徴とするマイクロ波式プラズマエッチング装置
   。