JPH02262024A - 同調可能なオプチカル・フイルタ - Google Patents
同調可能なオプチカル・フイルタInfo
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- JPH02262024A JPH02262024A JP2028602A JP2860290A JPH02262024A JP H02262024 A JPH02262024 A JP H02262024A JP 2028602 A JP2028602 A JP 2028602A JP 2860290 A JP2860290 A JP 2860290A JP H02262024 A JPH02262024 A JP H02262024A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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- G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour by interference
-
- G—PHYSICS
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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- G02F1/213—Fabry-Perot type
-
- G—PHYSICS
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- G02F2203/00—Function characteristic
- G02F2203/05—Function characteristic wavelength dependent
- G02F2203/055—Function characteristic wavelength dependent wavelength filtering
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- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Optical Communication System (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
Ａ、産業上の利用分野
本発明は光通信、レーザ及びスペクトロスコピー（５ｐ
ｅｅｔｒｏｓｃｏｐｙ ）に使われる同調可能なオプチ
カル・フィルタ、より詳細に言えば、単一の制御信号を
用いてフィルタのキャビティの長さを同時に変化するこ
とによって同調される単純化した同調可能なオプチカル
・フィルタに関する。
ｅｅｔｒｏｓｃｏｐｙ ）に使われる同調可能なオプチ
カル・フィルタ、より詳細に言えば、単一の制御信号を
用いてフィルタのキャビティの長さを同時に変化するこ
とによって同調される単純化した同調可能なオプチカル
・フィルタに関する。
Ｂ、従来の技術及び解決しようとする課題オプチカル・
フィルタの波長を判別する能力を改良するために、即ち
、精巧さ（ｆｉｎｅｓｓｅ）を効果的に増加するために
、２つの方法が試みられてきた。即ち、これら２つの方
法とは、（１）ミラーの性質に細心の注意を払うことに
よって単一のキャビティのオプチカル・フィルタの精巧
さを改良する方法と、（２）成る所定の光の波長におい
てだけ、すべてのキャビティが一緒に共振し、そして９
、他の光の波長において、すべてのキャピテイが殆どの
波長の入射光を通過しないような態様で、縦統的（カス
ケード）に結合された複数個のキャビティを通して光を
通過させる方法である。キャビティを縦統的に結合する
時に必要とする精巧さは、どのキャビティが持っている
個々の精巧さよりも道かに高い精巧さが必要である。複
数のキャビティを用いる方法は、効果的であり、しばし
ば用いられるけれども、この方法は、複数個のキャビテ
ィの調節を個々に行わねばならないので、柔軟性に欠け
るという大きな欠点を持っている。単一キャピテイのフ
ァプリー・ペローのオプチカル・フィルタは、例えば１
９８６年のケンブリッジ大学プレス（ｃａｍｂｒｉｄｇ
ｅ Ｕｎｉｖ、 Ｐｒｅｓｓ ）の「ファプリー・ベロ
ー干渉計Ｊ （Ｆａｂｒｙ−ＰｅｒｏｔＩｎｔｅｒｆｅ
ｒｏｍｅｔｅｒｓ ）と題するフエルナンデス（Ｇ、
Ｆｅｒｎａｎｄｅｚ ）の書籍、１９８７年の「応用光
学Ｊ （Ａｐｐｌｉｅｄ ０ｐｔｉｃｓ ）第２６巻第
４３０頁乃至第４３６頁の「ファプリー・ベロー干渉計
を使用した単一モードの光ファイバＷＤＭシステムのた
めの波長選択フィルタＪ （’Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ−
ＳｅｌｅｃｔｉｖｅＦｉｌｔｅｒｓ ｆｏｒ Ｓｉｎｇ
ｌｅ−Ｍｏｄｅ Ｆｉｂｅｒ ＷＤＭ Ｓｙｓｔｅｍｓ
ｕｓｉｎｇ Ｆａｂｒｙ−Ｐｅｒｏｔ Ｉｎｔｅｒｆｅ
ｒｏｍｅｔｅｒｓ ）と題するマリンソン（Ｓ、Ｒ，Ｍ
ａｌｉｎｓｏｎ）の文献、１９６３年の「応用光学」第
２巻第８７３頁乃至第８８５頁のｒＰＥＰｓＩＯ３純粋
干渉計の高分解能走査スペクトロメータＪ （Ｔｈｅ
ＰＥＰＳＩＯＳ ＰｕｒｅｌｙＩｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅ
ｔｒｉｃ Ｈｉｇｈ−Ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ Ｓｃａｎ
ｎｉｎｇＳｐｅｅｔｒｏｍｅ、ｔｅｒ ）と題するフッ
ク（Ｊ、Ｅ、Ｈａｃｋ ）等の文献、米国特許第３３７
３６５１号の発明、１９８９年２月の光波技術に関する
ＩＥＥＥ誌（ＩＥＥＥＪｏｕｒ、 ｏｆ Ｌｉｇｈｔｗ
ａｖｅ Ｔｅｃｈ、 ）第７巻の「光学ＦＤＭＡのＬＡ
Ｎにおけるデマルチプレクサとしての２段のファプリー
・ベロー・フィルタＪ（ＴｏｗＳｔａ８ｅ Ｆａｂｒｙ
−Ｐｅｒｏｔ Ｆｉｌｔｅｒ Ａｓ Ｄｅｍｕｌｔｉｐ
ｌｅｘｏｒｓ Ｉｎ０ｐｔｉｃａｌ ＦＤＭＡ ＬＡＮ
５ ）と題するホゲベーン（Ｓ、Ｊ、 ）ｉｏＢｅｖｅ
ｅｎ ）等などで広く知られている。
フィルタの波長を判別する能力を改良するために、即ち
、精巧さ（ｆｉｎｅｓｓｅ）を効果的に増加するために
、２つの方法が試みられてきた。即ち、これら２つの方
法とは、（１）ミラーの性質に細心の注意を払うことに
よって単一のキャビティのオプチカル・フィルタの精巧
さを改良する方法と、（２）成る所定の光の波長におい
てだけ、すべてのキャビティが一緒に共振し、そして９
、他の光の波長において、すべてのキャピテイが殆どの
波長の入射光を通過しないような態様で、縦統的（カス
ケード）に結合された複数個のキャビティを通して光を
通過させる方法である。キャビティを縦統的に結合する
時に必要とする精巧さは、どのキャビティが持っている
個々の精巧さよりも道かに高い精巧さが必要である。複
数のキャビティを用いる方法は、効果的であり、しばし
ば用いられるけれども、この方法は、複数個のキャビテ
ィの調節を個々に行わねばならないので、柔軟性に欠け
るという大きな欠点を持っている。単一キャピテイのフ
ァプリー・ペローのオプチカル・フィルタは、例えば１
９８６年のケンブリッジ大学プレス（ｃａｍｂｒｉｄｇ
ｅ Ｕｎｉｖ、 Ｐｒｅｓｓ ）の「ファプリー・ベロ
ー干渉計Ｊ （Ｆａｂｒｙ−ＰｅｒｏｔＩｎｔｅｒｆｅ
ｒｏｍｅｔｅｒｓ ）と題するフエルナンデス（Ｇ、
Ｆｅｒｎａｎｄｅｚ ）の書籍、１９８７年の「応用光
学Ｊ （Ａｐｐｌｉｅｄ ０ｐｔｉｃｓ ）第２６巻第
４３０頁乃至第４３６頁の「ファプリー・ベロー干渉計
を使用した単一モードの光ファイバＷＤＭシステムのた
めの波長選択フィルタＪ （’Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ−
ＳｅｌｅｃｔｉｖｅＦｉｌｔｅｒｓ ｆｏｒ Ｓｉｎｇ
ｌｅ−Ｍｏｄｅ Ｆｉｂｅｒ ＷＤＭ Ｓｙｓｔｅｍｓ
ｕｓｉｎｇ Ｆａｂｒｙ−Ｐｅｒｏｔ Ｉｎｔｅｒｆｅ
ｒｏｍｅｔｅｒｓ ）と題するマリンソン（Ｓ、Ｒ，Ｍ
ａｌｉｎｓｏｎ）の文献、１９６３年の「応用光学」第
２巻第８７３頁乃至第８８５頁のｒＰＥＰｓＩＯ３純粋
干渉計の高分解能走査スペクトロメータＪ （Ｔｈｅ
ＰＥＰＳＩＯＳ ＰｕｒｅｌｙＩｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅ
ｔｒｉｃ Ｈｉｇｈ−Ｒｅｓｏｌｕｔｉｏｎ Ｓｃａｎ
ｎｉｎｇＳｐｅｅｔｒｏｍｅ、ｔｅｒ ）と題するフッ
ク（Ｊ、Ｅ、Ｈａｃｋ ）等の文献、米国特許第３３７
３６５１号の発明、１９８９年２月の光波技術に関する
ＩＥＥＥ誌（ＩＥＥＥＪｏｕｒ、 ｏｆ Ｌｉｇｈｔｗ
ａｖｅ Ｔｅｃｈ、 ）第７巻の「光学ＦＤＭＡのＬＡ
Ｎにおけるデマルチプレクサとしての２段のファプリー
・ベロー・フィルタＪ（ＴｏｗＳｔａ８ｅ Ｆａｂｒｙ
−Ｐｅｒｏｔ Ｆｉｌｔｅｒ Ａｓ Ｄｅｍｕｌｔｉｐ
ｌｅｘｏｒｓ Ｉｎ０ｐｔｉｃａｌ ＦＤＭＡ ＬＡＮ
５ ）と題するホゲベーン（Ｓ、Ｊ、 ）ｉｏＢｅｖｅ
ｅｎ ）等などで広く知られている。
従来の技術において、２つ（または、それ以上）のキャ
ビティは、独立して分離した構造であり、通常、２つの
制御電圧が別個に設けられていることと、ただ１つのサ
ーボ・ループだけではなく、２つのサーボ・ループを必
要とした。先ず、ファプリー・ベローのキャビティ■の
ピーク数ｎが、所定の波長に同調され、ロックされ、そ
して次に、ファプリー・ベローのキャビティＩＩのピー
ク数ｍが、同じ波長に同調され、ロックされる。このよ
うな方法は、研究用「光学ベンチ」のような研究施設で
のみ調節可能である。
ビティは、独立して分離した構造であり、通常、２つの
制御電圧が別個に設けられていることと、ただ１つのサ
ーボ・ループだけではなく、２つのサーボ・ループを必
要とした。先ず、ファプリー・ベローのキャビティ■の
ピーク数ｎが、所定の波長に同調され、ロックされ、そ
して次に、ファプリー・ベローのキャビティＩＩのピー
ク数ｍが、同じ波長に同調され、ロックされる。このよ
うな方法は、研究用「光学ベンチ」のような研究施設で
のみ調節可能である。
上述の米国特許第３３７３６５１号の装置において、発
明者等は、１つのキャビティではなく、２つのキャビテ
ィを使用することによって、全体的な波長スペクトル転
送機能の改良を分析研究している。この発明において、
キャビティは別個に制御されることに基いている。発明
者は、縦続的（カスケード）に配列され分離された２つ
のミラーを持つキャビティと、２番目の「第３ミラー」
とで構成された構造、即ち左側のキャビティの右側のミ
ラーと、右側のキャビティの左側のミラーとが、上述の
ホゲベーン等で提案された装置と同じミラー構成を持っ
ている装置を分析している。過度な共振ピーク（第１ミ
ラーと第３ミラーとの間の定常波による共振ピーク）を
阻止するために、この３個のミラー装置は、３個のミラ
ーの反射を制御することに依存しているので、これらは
、ある許容範囲内の相互位置に関する成る比率に従わな
ければならない、２つのキャビティにおけるフィルタの
通常４個のミラーの装置においては、成る他の手法（以
下に説明されるように、第１のキャビティに対して相対
的に第２のキャビティを僅かに傾けること）が過度の反
射を抑制するために従来から使用されている。
明者等は、１つのキャビティではなく、２つのキャビテ
ィを使用することによって、全体的な波長スペクトル転
送機能の改良を分析研究している。この発明において、
キャビティは別個に制御されることに基いている。発明
者は、縦続的（カスケード）に配列され分離された２つ
のミラーを持つキャビティと、２番目の「第３ミラー」
とで構成された構造、即ち左側のキャビティの右側のミ
ラーと、右側のキャビティの左側のミラーとが、上述の
ホゲベーン等で提案された装置と同じミラー構成を持っ
ている装置を分析している。過度な共振ピーク（第１ミ
ラーと第３ミラーとの間の定常波による共振ピーク）を
阻止するために、この３個のミラー装置は、３個のミラ
ーの反射を制御することに依存しているので、これらは
、ある許容範囲内の相互位置に関する成る比率に従わな
ければならない、２つのキャビティにおけるフィルタの
通常４個のミラーの装置においては、成る他の手法（以
下に説明されるように、第１のキャビティに対して相対
的に第２のキャビティを僅かに傾けること）が過度の反
射を抑制するために従来から使用されている。
上述のフックのＰＥＰＳＩＯ８装置において、同調は、
本発明の同調方法と同じように、間隔を変化することに
よって行われていない。ＰＥＰＳＩＯ８装置において、
同調は、すべてのキャビティ内のガスの圧力及び量を同
時に変化させ、従って、異なったガスの量によってすべ
てのキャビティ中の屈折率を変化することによって行わ
れている。所望の共振周波数の変化を得るために、ガス
の圧力の変化（間隔を調節するものではない）を使用す
ることは、非常に複雑である。フック等がこのような同
調方法を行った理由は、同調を行うためにピエゾ電気材
料の利用には気すかなかったか、またはその時代のピエ
ゾ電気材料の性能が充分でなかったかの何れかであった
ことは明らかであろう。何れにせよ、フック等の装置は
、３つのキャビティが同時に同調されたときの波長にお
いて装置全体を走査するばかりでなく、最初の位置の一
致をセットするために、３つのチャンバのすべてにおい
て異なったガス圧力を使用していた。
本発明の同調方法と同じように、間隔を変化することに
よって行われていない。ＰＥＰＳＩＯ８装置において、
同調は、すべてのキャビティ内のガスの圧力及び量を同
時に変化させ、従って、異なったガスの量によってすべ
てのキャビティ中の屈折率を変化することによって行わ
れている。所望の共振周波数の変化を得るために、ガス
の圧力の変化（間隔を調節するものではない）を使用す
ることは、非常に複雑である。フック等がこのような同
調方法を行った理由は、同調を行うためにピエゾ電気材
料の利用には気すかなかったか、またはその時代のピエ
ゾ電気材料の性能が充分でなかったかの何れかであった
ことは明らかであろう。何れにせよ、フック等の装置は
、３つのキャビティが同時に同調されたときの波長にお
いて装置全体を走査するばかりでなく、最初の位置の一
致をセットするために、３つのチャンバのすべてにおい
て異なったガス圧力を使用していた。
３つのチャンバ中のガス圧力が、同じでなく、適宜の量
によって変化するのを確実にするために、精密な一連の
ニードル・バルブが用いられていた。
によって変化するのを確実にするために、精密な一連の
ニードル・バルブが用いられていた。
米国特許第４２２５２３６号の装置は、本発明と同じ種
類の装置、即ち２つ（または、それ以上）のキャビティ
を同時に制御することの出来るただ１つの制御電圧を持
つ装置に関している。然しながら、この特許で得られる
ものは、簡単で、低価格で高速な復帰が必要な装置では
なく、非常に複雑で、高張る装置であった。この特許の
装置は、垂直方向に向けられた大きな光学ベンチを含み
、この光学ベンチの水平方向がピエゾ電気に基いて制御
されている。光は左側から水平方向に入射し、キャビテ
ィＩ（間隔＝ｘ）ｔ−通って通過する。このキャビティ
の左側ミラーは固定され、右側ミラーはピエゾ電気によ
って動かされる光学ρ上に設けられている。光学段の右
側に、角度θだけ水平方向に対して上方向に傾けられた
角度受光反射する他のミラーがある。反射光は、キャビ
ティＩＩの右側ミラー（可動）を通って角度θで通過ル
、そして左側ミラー（固定）を通って投射される。この
装置を同調させるために、光学段は、コサインθに比例
した大きさのＸの変化量及びｙの変化量で移動される。
類の装置、即ち２つ（または、それ以上）のキャビティ
を同時に制御することの出来るただ１つの制御電圧を持
つ装置に関している。然しながら、この特許で得られる
ものは、簡単で、低価格で高速な復帰が必要な装置では
なく、非常に複雑で、高張る装置であった。この特許の
装置は、垂直方向に向けられた大きな光学ベンチを含み
、この光学ベンチの水平方向がピエゾ電気に基いて制御
されている。光は左側から水平方向に入射し、キャビテ
ィＩ（間隔＝ｘ）ｔ−通って通過する。このキャビティ
の左側ミラーは固定され、右側ミラーはピエゾ電気によ
って動かされる光学ρ上に設けられている。光学段の右
側に、角度θだけ水平方向に対して上方向に傾けられた
角度受光反射する他のミラーがある。反射光は、キャビ
ティＩＩの右側ミラー（可動）を通って角度θで通過ル
、そして左側ミラー（固定）を通って投射される。この
装置を同調させるために、光学段は、コサインθに比例
した大きさのＸの変化量及びｙの変化量で移動される。
この特許の装置において、１つのピエゾ素子は、可動ミ
ラーに差動的に結合されておらず、大きな可動構造（光
学ベンチ）を介して間接的に結合されているだけである
。この特許に記載されているように、大きな構造の許容
誤差を制御することが、困難な問題である。加えて、角
度θは装置を作った時から固定しているので、本発明と
は異なって、装置を作った後に、キャビティのサイズの
比率を選択する方法はない。上述のような要素のために
、この特許に開示された技術では、小型で、経済的で、
迅速に同調することが出来る構造を持ち、同調可能なレ
ーザ及び光通信に要求されている装置を達成することは
不可能である。
ラーに差動的に結合されておらず、大きな可動構造（光
学ベンチ）を介して間接的に結合されているだけである
。この特許に記載されているように、大きな構造の許容
誤差を制御することが、困難な問題である。加えて、角
度θは装置を作った時から固定しているので、本発明と
は異なって、装置を作った後に、キャビティのサイズの
比率を選択する方法はない。上述のような要素のために
、この特許に開示された技術では、小型で、経済的で、
迅速に同調することが出来る構造を持ち、同調可能なレ
ーザ及び光通信に要求されている装置を達成することは
不可能である。
本発明の目的は、広い範囲の波長に亙って同調すること
が出来、しかも簡単で、経済的な同調可能なオプチカル
・フィルタを提供することにある。
が出来、しかも簡単で、経済的な同調可能なオプチカル
・フィルタを提供することにある。
Ｃ６課題を解決するための手段
本発明は複数個の共振キャビティと、単一の制御信号に
応答してほぼ単一の軸に沿って各キャビティの反射面の
１つを同時に移動させる手段とを与えることによって上
述の問題を解決している。
応答してほぼ単一の軸に沿って各キャビティの反射面の
１つを同時に移動させる手段とを与えることによって上
述の問題を解決している。
従って、キャビティは、光学的信号が上述の軸に沿って
通過し、且つキャビティの長さの比率が、相互に関して
所定の整数倍の比率に調節された時、選択された波長に
おいて共振する。
通過し、且つキャビティの長さの比率が、相互に関して
所定の整数倍の比率に調節された時、選択された波長に
おいて共振する。
Ｄ、実施例
第１図は本発明に従った同調可能なオプチカル・フィル
タの実施例の図である０図示された装置において、導電
性素子２の両側に対向して導電性素子２と接触している
ピエゾ電気材料製の円筒状スリーブ１がある。剛体のス
ペーサ３はピエゾ電気材料のスリーブ１の端部と接触し
、そして、夫々ミラー８、または１１の一方とに接触し
ている。
タの実施例の図である０図示された装置において、導電
性素子２の両側に対向して導電性素子２と接触している
ピエゾ電気材料製の円筒状スリーブ１がある。剛体のス
ペーサ３はピエゾ電気材料のスリーブ１の端部と接触し
、そして、夫々ミラー８、または１１の一方とに接触し
ている。
ミラー８及び９の反射面４及び５は、共振キャビティ１
８の内側に面しているが、他方、ミラー１０及び１１の
反射面６及び７は、夫々、共振キャビティ１９の内側に
面している。術語、共振キャビティとは、反射面を持つ
一対のミラーの２つの反射面の間の空間を意味し、他方
、共振キャビティの長さとは、共振キャビティの反射面
の間の距離を意味する。例えば、第１図において、共振
キャビティ１８の長さＸは、一対の反射面４及び５によ
り形成され、共振キャビティ１９の長さｙは、一対の反
射面６及び７によって形成されている。
８の内側に面しているが、他方、ミラー１０及び１１の
反射面６及び７は、夫々、共振キャビティ１９の内側に
面している。術語、共振キャビティとは、反射面を持つ
一対のミラーの２つの反射面の間の空間を意味し、他方
、共振キャビティの長さとは、共振キャビティの反射面
の間の距離を意味する。例えば、第１図において、共振
キャビティ１８の長さＸは、一対の反射面４及び５によ
り形成され、共振キャビティ１９の長さｙは、一対の反
射面６及び７によって形成されている。
ガラス片８及び９の反射面４及び５は、ガラス片８及び
９の夫々一方の面上の被膜であり、他方の面１２及び１
３は、反復した反射（定常波）によろ過度の共振を避け
るために、従来の技術に従って傾けられている。同様に
、ガラス片１０及び１１の一方の反射面６及び７は、ガ
ラス片１０及び１１上の被膜であり、ガラス片１０及び
１１の他方の面１４及び１５は上述と同じ理由によって
、傾けられている。第１図の左側のスリーブの長さは、
Ｘであり、他方、右側のスリーブの長さは、Ｙである。
９の夫々一方の面上の被膜であり、他方の面１２及び１
３は、反復した反射（定常波）によろ過度の共振を避け
るために、従来の技術に従って傾けられている。同様に
、ガラス片１０及び１１の一方の反射面６及び７は、ガ
ラス片１０及び１１上の被膜であり、ガラス片１０及び
１１の他方の面１４及び１５は上述と同じ理由によって
、傾けられている。第１図の左側のスリーブの長さは、
Ｘであり、他方、右側のスリーブの長さは、Ｙである。
２つのファプリー・ベロー干渉計の縦続的な結合が、夫
々独立したものよりも、より大きな選択性を有している
ことは、良く知られたアイデアである。若し、キャビテ
ィ１８が波長λにおいて共振しているならば、ミラーの
有効間隔は、ｘ＝ｎλ／２である。上式において、ｎは
正の整数である。ミラーの有効間隔は、ミラー間の実際
の距離と、ミラーの闇にある媒体の有効屈折率とを乗算
したものである。フィルタを通過する光波のスペクトル
のピークは、次式の「自由スペクトル範囲（ｆｒｅｅ
５ｐｅｃｔｒａｌ ｒａｎｇｅ即ちＦＳＲ）Ｊによって
分離される。
々独立したものよりも、より大きな選択性を有している
ことは、良く知られたアイデアである。若し、キャビテ
ィ１８が波長λにおいて共振しているならば、ミラーの
有効間隔は、ｘ＝ｎλ／２である。上式において、ｎは
正の整数である。ミラーの有効間隔は、ミラー間の実際
の距離と、ミラーの闇にある媒体の有効屈折率とを乗算
したものである。フィルタを通過する光波のスペクトル
のピークは、次式の「自由スペクトル範囲（ｆｒｅｅ
５ｐｅｃｔｒａｌ ｒａｎｇｅ即ちＦＳＲ）Ｊによって
分離される。
ＦＳＲ１＝ｃ／２ｘ＝ｆ／ｎ
上式において、Ｃは光の速度であり、ｆは光の周波数で
ある。他方、若し、入射光線がキャビティ１８を通り、
次にキャビティ１９を通過するように、第２のキャビテ
ィ１９が第１のキャビティに縦続的に結合されており、
そして、若し、入で共振するキャビティ１９のミラーの
有効間隔が、Ｘと異なるｙ＝ｍλ／２であるならば、そ
の自由スペクトル範囲は、 ＦＳＲ２＝Ｃ／２ｙ＝ｆ／ｍ である。
ある。他方、若し、入射光線がキャビティ１８を通り、
次にキャビティ１９を通過するように、第２のキャビテ
ィ１９が第１のキャビティに縦続的に結合されており、
そして、若し、入で共振するキャビティ１９のミラーの
有効間隔が、Ｘと異なるｙ＝ｍλ／２であるならば、そ
の自由スペクトル範囲は、 ＦＳＲ２＝Ｃ／２ｙ＝ｆ／ｍ である。
従って、キャビティ１８の転送スペクトルは、ティース
（ｔｅｅｔｈ ）距離ｆ ／ ｎだけ離れ、キャビティ
１９に対してはティース距離ｆ／ｍだけ離れている。こ
こで、ｍ及びｎを相互に近い整数に選ぶことによって、
両方のキャビティを通過する光の完全な転送が、大きな
ティース距離で生じるから、キャビティの配列の精巧さ
を非常に高度にすることが出来る。直列結合されたキャ
ビティ全体のＦＳＲは、個々のＦＳＲの最小公倍数とす
ることが出来る。単一のキャビティの精巧さは、ミラー
の平面度、平滑度及び並行度の製造公差によって、通常
、制限されるので、直列結合によるアプローチは、質の
良くない２つ以上の装置から高い分解能の装置を作るた
めの強力な手段である。
（ｔｅｅｔｈ ）距離ｆ ／ ｎだけ離れ、キャビティ
１９に対してはティース距離ｆ／ｍだけ離れている。こ
こで、ｍ及びｎを相互に近い整数に選ぶことによって、
両方のキャビティを通過する光の完全な転送が、大きな
ティース距離で生じるから、キャビティの配列の精巧さ
を非常に高度にすることが出来る。直列結合されたキャ
ビティ全体のＦＳＲは、個々のＦＳＲの最小公倍数とす
ることが出来る。単一のキャビティの精巧さは、ミラー
の平面度、平滑度及び並行度の製造公差によって、通常
、制限されるので、直列結合によるアプローチは、質の
良くない２つ以上の装置から高い分解能の装置を作るた
めの強力な手段である。
第１図の左側から、コリメートされた光が入射し、相次
ぐ２つのキャビティ１８及び１９を通過し、そして右側
に放射する。ピエゾ電気材料の円筒形スリーブ１の全体
の長さ（Ｘ＋Ｙ）は印加電圧Ｖによって制御される。ス
リーブの長さと印加電圧との間の関係はリニヤである必
要はなく、重要なことは、ピエゾ電気材料のスリーブ１
のピエゾ電気作用による伸長が均一であることである。
ぐ２つのキャビティ１８及び１９を通過し、そして右側
に放射する。ピエゾ電気材料の円筒形スリーブ１の全体
の長さ（Ｘ＋Ｙ）は印加電圧Ｖによって制御される。ス
リーブの長さと印加電圧との間の関係はリニヤである必
要はなく、重要なことは、ピエゾ電気材料のスリーブ１
のピエゾ電気作用による伸長が均一であることである。
導電性シリンダ２は、反射面５及び６の間で一定の間隔
を正確に保つことが要求される。２つのスリーブ１の内
側には、低温度係数の材料で作られた２つの理性の円筒
形状のスペーサ３がある。また、これらのスペーサ３は
スリーブ１の端部の電気的端子としても用いられる。
を正確に保つことが要求される。２つのスリーブ１の内
側には、低温度係数の材料で作られた２つの理性の円筒
形状のスペーサ３がある。また、これらのスペーサ３は
スリーブ１の端部の電気的端子としても用いられる。
共振キャビティ１９の反射面６及び７と平行した面は、
例えば共振キャビティ１８の左側ミラーと、共振キャビ
ティ１９の右側ミラーとの間の過度の定常波の共振の発
生を減衰するために、共振キャビティ１８の平行な反射
面４及び５の面から、僅かな量だけ（キャビティの可成
り高い精巧さに対して十分に大きい角度）傾斜される。
例えば共振キャビティ１８の左側ミラーと、共振キャビ
ティ１９の右側ミラーとの間の過度の定常波の共振の発
生を減衰するために、共振キャビティ１８の平行な反射
面４及び５の面から、僅かな量だけ（キャビティの可成
り高い精巧さに対して十分に大きい角度）傾斜される。
この試態が示されている第３図において、軸線１６は反
射面４及び５の法線であり、線１７は反射面６及び７の
法線である。共振キャビティが単一制御電圧に応答して
長さを変化した時、２つの軸線がその共通軸から僅か傾
斜されているけれども、反射面はほぼ単一の軸に沿って
移動する。
射面４及び５の法線であり、線１７は反射面６及び７の
法線である。共振キャビティが単一制御電圧に応答して
長さを変化した時、２つの軸線がその共通軸から僅か傾
斜されているけれども、反射面はほぼ単一の軸に沿って
移動する。
最初の調節の時に、テスト光（転送光）の波長大の半分
の波長に、既知の数ｎを乗じた距離（即ち、ｘ＝ｎλ／
２）だけ、反射面４及び５を相互に離すことによって、
反射面４及び５がテスト光の波長久と共振するようにセ
ットされる。次に、波長入及び距′ｆａｘ ｅ一定に保
ち、波長入の半分の波長に、既知の数ｍを乗じた距離（
即ち、ｘ＝ｍλ／２．）だけ、ミラー面６から離すこと
によって、同様に、反射面７が、テスト光（転送光）と
共振するように調節される。
の波長に、既知の数ｎを乗じた距離（即ち、ｘ＝ｎλ／
２）だけ、反射面４及び５を相互に離すことによって、
反射面４及び５がテスト光の波長久と共振するようにセ
ットされる。次に、波長入及び距′ｆａｘ ｅ一定に保
ち、波長入の半分の波長に、既知の数ｍを乗じた距離（
即ち、ｘ＝ｍλ／２．）だけ、ミラー面６から離すこと
によって、同様に、反射面７が、テスト光（転送光）と
共振するように調節される。
剛性のスペーサ３の長さは重要である。ピエゾ電気材料
のスリーブ１の左側端部と反射面５との間の距離は、Ｘ
で表わしている。同様に、ピエゾ電気材料のスリーブ１
の右側端部と反射面６との間の距離はＹで示されている
。若し、Ｘが成る任意に選んだ大きなＸの倍数Ｋ（Ｋ＝
１０から１００）とすれば、同様にＹはｘｙでなければ
ならない。
のスリーブ１の左側端部と反射面５との間の距離は、Ｘ
で表わしている。同様に、ピエゾ電気材料のスリーブ１
の右側端部と反射面６との間の距離はＹで示されている
。若し、Ｘが成る任意に選んだ大きなＸの倍数Ｋ（Ｋ＝
１０から１００）とすれば、同様にＹはｘｙでなければ
ならない。
上述の距離において、第１図の装置は以下に説明するよ
うに動作する。この装置を、所定の波長に同調させる場
合、単一の電圧がピエゾ電気材料のスリーブ１に印加さ
れる。この電圧が、共振キャビティ１８を新しい波長に
共振させるような、適正な電圧である時、これは、共振
キャビティ１８中に定在している新しい波長の半分の波
長が、ｎ個存在していることを意味している。上述した
距Ｓ関係の定義に従って、所定のように、Ｘ＝ＫＸであ
り、従って、Ｙ＝（ｍ／ｎ）Ｋｘであり、ｙ＝Ｙ／に＝
（ｍ／ｎ ）ｘであることが判る。
うに動作する。この装置を、所定の波長に同調させる場
合、単一の電圧がピエゾ電気材料のスリーブ１に印加さ
れる。この電圧が、共振キャビティ１８を新しい波長に
共振させるような、適正な電圧である時、これは、共振
キャビティ１８中に定在している新しい波長の半分の波
長が、ｎ個存在していることを意味している。上述した
距Ｓ関係の定義に従って、所定のように、Ｘ＝ＫＸであ
り、従って、Ｙ＝（ｍ／ｎ）Ｋｘであり、ｙ＝Ｙ／に＝
（ｍ／ｎ ）ｘであることが判る。
キャビティ１８の左側ミラーから、キャビティ１９の右
側ミラーまでだけの非常に小さな値のピエゾ電気材料の
スリーブの伸長を使用することなく、ミラー間隔のに倍
の長い距離にピエゾ電気スリーブを装着することには理
由がある。現在のピエゾ電気材料は、その伸長比、Δβ
／βが約１％の小さな値↑あるという弱点を持っている
。従って、若しピエゾ電気材料のスリーブ１が外側のミ
ラー位置に装着されているならば、同調範囲（Δｆ／ｆ
’）は、１％に制限されざるを得ない。
側ミラーまでだけの非常に小さな値のピエゾ電気材料の
スリーブの伸長を使用することなく、ミラー間隔のに倍
の長い距離にピエゾ電気スリーブを装着することには理
由がある。現在のピエゾ電気材料は、その伸長比、Δβ
／βが約１％の小さな値↑あるという弱点を持っている
。従って、若しピエゾ電気材料のスリーブ１が外側のミ
ラー位置に装着されているならば、同調範囲（Δｆ／ｆ
’）は、１％に制限されざるを得ない。
広範囲の装着間隔、Ｋ：１の「機械的利益」を使用する
ことによって、約に％の同調率を得ることが出来る。大
多数の従来の単一フアプリ−・ベローの同調可能なオプ
チカル・フィルタは、上述した理由のために、この機械
的な利益を利用している。
ことによって、約に％の同調率を得ることが出来る。大
多数の従来の単一フアプリ−・ベローの同調可能なオプ
チカル・フィルタは、上述した理由のために、この機械
的な利益を利用している。
第４図及び第５図は、本発明の他の実施例を示す図であ
る。この実施例は１．第１図、第２図及び第３図に示し
た上述の４個のミラーの装置の代りに、「３個のミラー
」を使用した装置である。第４図及び第５図のピエゾ電
気素子のスリーブ２１は、正確に中央に位置付けられね
ばならないミラー構造が設けられた第１の実施例におい
て要求された導電性シリンダ２を持たない連続し一体的
な構造のものである。第１図のように、２つのミラーの
間に中央構造体を設ける代りに、第４図においては、両
方の方向に反射する単一のミラー２６が設けられており
、これにより、ミラー２４及び２６を含む共振キャビテ
ィと、ミラー２６及び２５を含む共振キャビティ２９と
が形成されている。
る。この実施例は１．第１図、第２図及び第３図に示し
た上述の４個のミラーの装置の代りに、「３個のミラー
」を使用した装置である。第４図及び第５図のピエゾ電
気素子のスリーブ２１は、正確に中央に位置付けられね
ばならないミラー構造が設けられた第１の実施例におい
て要求された導電性シリンダ２を持たない連続し一体的
な構造のものである。第１図のように、２つのミラーの
間に中央構造体を設ける代りに、第４図においては、両
方の方向に反射する単一のミラー２６が設けられており
、これにより、ミラー２４及び２６を含む共振キャビテ
ィと、ミラー２６及び２５を含む共振キャビティ２９と
が形成されている。
第４図において、ミラー２６は細い線で示されているが
、実際には、このミラーは薄いガラス板であり、一方の
面には反射薄膜が設けられ、他方の面には無反射薄膜が
設けられている。第１図と同様に、第４図の装置にもミ
ラー２４及び２５を含むスペーサ２３が設けられている
。キャピテイ２８の長さＸは、ミラー２４の反射面２２
からミラー２６の反射面までの距離であり、キャビティ
２９の長さｙは、ミラー２６の反射面からミラー２５の
反射面２７までの距離である。また、スリーブ２１の左
端からミラー２６までの距離Ｘと、ミラー２６からスリ
ーブ２１の右端までの距離Ｙは、第４図に示されている
。特に、単一の制御信号（■ボルト）がスリーブ２１に
印加されていることは注意を要する。再度説明すると、
距離関係、Ｘ／ｙ＝ｎ／ｍ＝Ｘ／Ｙ及びＸ ／ ｘ ＝
Ｙ ／ ｙ ＝ Ｋは維持されねばならず、この位置
関係を保つことによって、単一の制御電圧によって、広
い波長範囲に亙って同調可能な装置が与えられる。また
、本発明は２つ以上のキャビティを持つオプチカル・フ
ィルタに適用することが出来、また、共焦ミラーのよう
な非平面ミラーにも適用することが出来る。
、実際には、このミラーは薄いガラス板であり、一方の
面には反射薄膜が設けられ、他方の面には無反射薄膜が
設けられている。第１図と同様に、第４図の装置にもミ
ラー２４及び２５を含むスペーサ２３が設けられている
。キャピテイ２８の長さＸは、ミラー２４の反射面２２
からミラー２６の反射面までの距離であり、キャビティ
２９の長さｙは、ミラー２６の反射面からミラー２５の
反射面２７までの距離である。また、スリーブ２１の左
端からミラー２６までの距離Ｘと、ミラー２６からスリ
ーブ２１の右端までの距離Ｙは、第４図に示されている
。特に、単一の制御信号（■ボルト）がスリーブ２１に
印加されていることは注意を要する。再度説明すると、
距離関係、Ｘ／ｙ＝ｎ／ｍ＝Ｘ／Ｙ及びＸ ／ ｘ ＝
Ｙ ／ ｙ ＝ Ｋは維持されねばならず、この位置
関係を保つことによって、単一の制御電圧によって、広
い波長範囲に亙って同調可能な装置が与えられる。また
、本発明は２つ以上のキャビティを持つオプチカル・フ
ィルタに適用することが出来、また、共焦ミラーのよう
な非平面ミラーにも適用することが出来る。
２つのキャビティを持つ装置の実施例の数値例を以下に
示す。
示す。
それらは、波長＝１．５ミクロン、整数ｎ＝１００、ｘ
＝５０Ｘ１．５＝７５ミクロン、１．５ミクロンにおけ
る第１キヤビテイの自由スペクトル範囲＝１．５”／２
ｘ＝０．１５ミクロン、整数ｍ ＝ １０４、ｙ＝７８
ミクロン、１．５ミクロンに・おける第２キヤビテイの
自由スペクトル範囲＝１．５２／２ｙ＝０．１４４２３
ミクロン、有効な合計自由スペクトル範囲＝２６ＸＯ，
０１４４２３埃２５Ｘ０．０１５嬌０．３７５ミクロン
、Ｋ（レバー・アーム係数）＝１００である。代表的な
材料として、ＰＺＴ （鉛ジルコ酸塩−チタン酸塩）の
積層１．またはピエゾ電気材料のスリーブ用のシリンダ
と、円筒形スペーサ用の不変□鋼と、ミラー構造のため
の光学用のガラスとが使用される。
＝５０Ｘ１．５＝７５ミクロン、１．５ミクロンにおけ
る第１キヤビテイの自由スペクトル範囲＝１．５”／２
ｘ＝０．１５ミクロン、整数ｍ ＝ １０４、ｙ＝７８
ミクロン、１．５ミクロンに・おける第２キヤビテイの
自由スペクトル範囲＝１．５２／２ｙ＝０．１４４２３
ミクロン、有効な合計自由スペクトル範囲＝２６ＸＯ，
０１４４２３埃２５Ｘ０．０１５嬌０．３７５ミクロン
、Ｋ（レバー・アーム係数）＝１００である。代表的な
材料として、ＰＺＴ （鉛ジルコ酸塩−チタン酸塩）の
積層１．またはピエゾ電気材料のスリーブ用のシリンダ
と、円筒形スペーサ用の不変□鋼と、ミラー構造のため
の光学用のガラスとが使用される。
代表的な制御用電圧は、０ボルトから５００ボルトであ
る。
る。
Ｅ８発明の効果
本発明は、小型で、経済的で、広い範囲に亙って迅速に
同調することが出来る構造を持ち、同調可能なレーザ及
び光通信に要求されているオプチカル・フィルタを提供
する。
同調することが出来る構造を持ち、同調可能なレーザ及
び光通信に要求されているオプチカル・フィルタを提供
する。
第１図は本発明の同調可能なオプチカル・フィルタの第
１の実施例の側面を示す断面図、第２図は第１図の破線
で切断した本発明の第１の実施例の断面図、第３図は２
つのキャビティの間の過度な共振を回避するために、左
側の共振キャビティの平行ミラーに関して、右側の共振
キャビティの平行ミラーを僅かに傾けた構造を説明する
ための図、第４図は４個のミラーを使用しない第２の実
施例の側面を示す断面図、第５図は第４図の破線で切断
した第２の実施例の断面図である。 １・・・・ピエゾ電気材料のスリーブ、２・・・・導電
性素子、３・・・・剛体のスペーサ、４．５．６．７・
・・・反射面、８．９．１０．１１・・・・反射面、１
８・・・・第１の共振キャビティ、１９・・・・第２の
共振キャビティ、Ｘ・・・・左側のスリーブの長さ、Ｙ
・・・・右側のスリーブの長さ、Ｘ・・・・第１の共振
キャビティの長さ、ｙ・・・・第２の共振キャビティの
長さ。 出 願 人 インターナショナル・ビジネス・マシー
ンズ・コーポレーション
１の実施例の側面を示す断面図、第２図は第１図の破線
で切断した本発明の第１の実施例の断面図、第３図は２
つのキャビティの間の過度な共振を回避するために、左
側の共振キャビティの平行ミラーに関して、右側の共振
キャビティの平行ミラーを僅かに傾けた構造を説明する
ための図、第４図は４個のミラーを使用しない第２の実
施例の側面を示す断面図、第５図は第４図の破線で切断
した第２の実施例の断面図である。 １・・・・ピエゾ電気材料のスリーブ、２・・・・導電
性素子、３・・・・剛体のスペーサ、４．５．６．７・
・・・反射面、８．９．１０．１１・・・・反射面、１
８・・・・第１の共振キャビティ、１９・・・・第２の
共振キャビティ、Ｘ・・・・左側のスリーブの長さ、Ｙ
・・・・右側のスリーブの長さ、Ｘ・・・・第１の共振
キャビティの長さ、ｙ・・・・第２の共振キャビティの
長さ。 出 願 人 インターナショナル・ビジネス・マシー
ンズ・コーポレーション
Claims (4)
- （１）（ａ）各キャビティがその長さ方向の２つの対向
する端部の夫々に反射面を有する複数個の共振キャビテ
ィと、 （ｂ）ただ１つの制御信号に応答して、ほぼ単一の軸に
沿つて各上記共振キャビティの上記反射面の１つを同時
に動かす手段とからなり、 光学的信号が上記軸に沿つて上記キャビティを通過し、
且つキャビティの長さの比率が所定の比率まで調節され
た時、選択された波長において共振することを特徴とす
る同調可能なオプチカル・フィルタ。 - （２）（ａ）各キャビティがその長さ方向の２つの対向
する端部の夫々に反射面を有する複数個の共振キャビテ
ィと、 （ｂ）ただ１つの制御信号に応答して、ほぼ単一の軸に
沿つて各上記共振キャビティの上記反射面の１つを同時
に動かす手段とからなり、 （ｃ）光学的信号が、上記軸に沿つて上記キャビティを
通過し、且つキャビティの長さの比率が、相互の長さの
整数倍の比率まで調節された時、選択された波長におい
て共振するようにしたことを特徴とする、 同調可能なオプチカル・フィルタ。 - （３）（ａ）複数個の共振キャビティであつて、各共振
キャビティがその長さ方向で対向する２つの両端部に反
射面を有し、上記反射面は上記共振キャビティの内部に
向いており、且つ上記反射面は上記共振キャビティの上
記長さ方向に沿つた軸に対してほぼ垂直であることから
なる複数個の共振キャビティと、 （ｂ）上記共振キャビティを取り囲むピエゾ電気材料の
一対のスリーブであつて、２つのスリーブの長手方向は
上記軸にほぼ平行であり、上記スリーブは、２つのスリ
ーブの間にある導電性素子の対向する面と接触しており
、上記スリーブの一方の端部には、単一の制御電圧が印
加され、且つ上記スリーブの他方の端部が接地された時
、長さを変化するピエゾ電気材料の一対のスリーブと、
（ｃ）１対のスペーサであつて、各スペーサは一方の上
記スリーブ及び上記反射面の１つに接触し、上記スペー
サは、上記スリーブが上記制御電圧に応答して長さを変
化する時、上記共振キャビティの各々に上記反射面の１
つを、上記軸に沿つて反対方向に移動させる１対のスペ
ーサとからなり、光学的信号が上記軸に沿つて上記共振
キャビティを通過し、且つ共振キャビティの長さの比率
が、それぞれの共振キャビティの長さに対して整数とな
る所定の比率に調節された時、上記共振キャビティが選
択された波長で共振することを特徴とする同調可能なオ
プチカル・フィルタ。 - （４）（ａ）一対の共振キャビティであつて、各キャビ
ティは、その長さ方向で相対する両端に夫々反射面を有
し、上記反射面は上記キャビティの内部を向いており、
そして上記反射面は上記キャビティの上記長さ方向に沿
つた軸にほぼ垂直である一対の共振キャビティと、 （ｂ）両方の上記キャビティを取り囲むピエゾ電気材料
の一対のスリーブであつて、上記スリーブの長さ方向は
上記軸の方向と平行であり、上記スリーブは、単一の制
御電圧が上記スリーブの一方の端部に印加され、且つ上
記スリーブの他方の端部が接地された時、長さを変化す
るピエゾ電気材料の一対のスリーブと、 （ｃ）各スペーサの一方の端部が上記スリーブの一方の
端部に接触しており、且つ上記スペーサの他方の端部が
上記スリーブの他方の端部に接触しており、上記スリー
ブが上記単一の制御電圧に応答して長さを変化した時、
上記スペーサは上記キャビティの各々の上記反射面の１
つを上記軸に沿つて反対方向に移動される一対のスペー
サとからなり、 （ｄ）上記共振キャビティは、光学的信号が上記軸に沿
つて上記キャビティを通過し、且つキャビティの長さの
比率が相互の長さに対して整数である所定の比率に調節
された時、選択された波長において共振するようにした
ことを特徴とする、同調可能なオプチカル・フィルタ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/312,284 US5103340A (en) | 1989-02-21 | 1989-02-21 | Multiple-cavity optical filter using change of cavity length |
| US312284 | 1989-02-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02262024A true JPH02262024A (ja) | 1990-10-24 |
| JP2528533B2 JP2528533B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=23210740
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2028602A Expired - Lifetime JP2528533B2 (ja) | 1989-02-21 | 1990-02-09 | 同調可能なオプチカル・フイルタ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5103340A (ja) |
| EP (1) | EP0384116A3 (ja) |
| JP (1) | JP2528533B2 (ja) |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5625638A (en) * | 1993-05-28 | 1997-04-29 | Coherent, Inc. | Sealed crystalline windows for hollow laser fibers |
| US5710655A (en) * | 1993-07-21 | 1998-01-20 | Apeldyn Corporation | Cavity thickness compensated etalon filter |
| US5799231A (en) * | 1996-07-25 | 1998-08-25 | International Business Machines Corporation | Variable index distributed mirror |
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