JP2516266B2 - オプチカル・フイルタ - Google Patents

オプチカル・フイルタ

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Description

【発明の詳細な説明】 A.産業上の利用分野 本発明は光通信、レーザ及びスペクトロスコピー(sp
ectroscopy)に使われる同調可能なオプチカル・フイル
タ、より詳細に言えば、単一の制御電圧に応答して、オ
プチカル・フイルタの各キヤビテイ(空洞)内の電子光
学的材料の屈折率を同時に変化させる手段を有する単純
化された複数キヤビテイのオプチカル・フイルタに関す
る。
B.従来の技術及び解決しようとする課題 本発明は、異なつた波長で到達した光線を判別する光
学手段に関する。代表的なアプリケーシヨンは、光通信
(異なつた情報を担持するチヤンネルが異なつた光波長
を持つ場合)、同調可能なレーザ(レーザの外部にある
キヤビテイが、レーザの発射波長を制御する場合)、及
びスペクトロスコピー(光波長とエネルギのペクトルと
の関係の詳細を解析しなければならない場合)の分野に
ある。フアブリー・ペロー共振器(調節用の間隔を有す
る1対の平行ミラー)は、この同調可能の狭い帯域のフ
イルタ動作に広く使用されている。上述の3つの分野の
アプリケーシヨンに対して、光の波長を選択するための
重要な因子は、キヤビテイの「精巧さ」(finesse)で
あり、これは転じて、ミラーの反射率と、ミラーの平面
度及び平行度とを如何にして高度に達成出来るかにかか
つている。周波数の関数として、装置の光度の転送は、
等しい間隔で置かれた1組のテイース(teeth)であ
り、そして「精巧さ」は、テイース、自由スペクトル範
囲と、各テイースの最大値の半分との間の距離の比率と
して定義される。
オプチカル・フイルタの波長の判別能力を向上するた
めに、即ち、「精巧さ」を効果的に増加するために、2
つの方法が試みられてきた。即ち、これら2つの方法と
は、(1)ミラーの性質に細心の注意を払うことによつ
て単一のキヤビテイのオプチカル・フイルタの精巧さを
改良する方法と、(2)或る所定の光の波長においてだ
け、すべてのキヤビテイが一緒に共振し、そして、他の
光の波長において、すべてのキヤビテイが殆どの波長の
入射光を通過しないような態様で、縦続的(カスケー
ド)に結合された複数個のキヤビテイを通して光を通過
させる方法である。キヤビテイを縦続的に結合する時に
必要とする精巧さは、どのキヤビテイが持つている個々
の精巧さよりも遥かに高い精巧さが必要である。複数の
キヤビテイを用いる方法は、効果的であり、しばしば用
いられるけれども、この方法は、複数個のキヤビテイの
調節を個々に行わねばならないので、柔軟性に欠けると
いう大きな欠点を持つている。本発明は、複数個のキヤ
ビテイを同時に制御することを、簡単に、しかも経済的
に行う方法によつて、上述の問題を解決する。
例えば、単一キヤビテイのフアブリー・ペローのオプ
チカル・フイルタは、例えば1986年のケンブリツジ大学
プレス(Cambridge Univ.Press)の「フアブリー・ペロ
ー干渉計」(Fabry−Perot Interferometers)と題する
ヘルナンデス(G.Hernandez)の書籍や、1987年の「応
用光学」(Applied Optics)第26巻第430頁乃至第436頁
の「フアブリー・ペロー干渉計を使用した単一モードの
光フアイバWDMシステムのための波長選択フイルタ」(W
avelength−Selective Filters for Single−Mode Fibe
r WDM Systems using Fabry−Perot Interferometers)
と題するマリンソン(S.R,Malinson)の文献などに記載
されている。
複数のキヤビテイのオフチカル・フイルタも、例え
ば、1963年の「応用光学」第2巻第873頁乃至第885頁の
「PEPSIOS純粋干渉計の高分解能走査スペクトロメータ
(The PEPSIOS Purely Inserferometric High−Resolut
ion Scanning Spectrometer)と題するマツク(J.E.Mac
k)等の文献や、「直列に結合された3個のフアブリー
・ペロー・エタロンを使用したインターフエロメータ型
のスペクトルメータ」(Interferometric Spectrometer
Utilizing Three Fabry−Perot Etalons In Series)
と題するマツク(J.E.Mack)等の文献や、米国特許第33
73651号の発明や、1989年2月の光波技術に関するIEEE
誌(IEEE Jour.of Lightwave Tech.)第7巻の「光学FD
MAのLANにおけるテマルチプレクサとしての2段のフア
ブリー・ペロー・フイルタ」(Tow−Stage Fabry−Pero
t Filter As Demultiplexors In Optical FDMA LANs)
と題するサレ(A.M.Saleh)等などの文献で広く知られ
ている。
2個のキヤビテイのオプチカル・フイルタの特殊なミ
ラー装置が、応用光学誌、第25巻第22号第4184頁乃至第
4186頁のホゲベーン(S.J.Hogeveen)等の「3個のミラ
ーを持つフアブリー・ペロー・インターフエロメータ」
(Fably−Perot Interferometers With Three Mirror
s)と題する文献に記載されている。
従来の技術において、2つ(または、それ以上)のキ
ヤビテイは、独立して分離した構造であり、通常、2つ
の制御電圧が別個に設けられていることと、ただ1つの
サーボ・ループだけではなく、2つのサーボ・ループを
必要とした。先ず、フアブリー・ペローのキヤビテイI
のピーク数nが、所定の波長に同調され、ロツクされ、
そして次に、フアブリー・ペローのキヤビテイIIのピー
ク数mが、同じ波長に同調され、ロツクされる。システ
ムが他の周波数に復帰される時、2つの別個の再同調が
必要である。このような方法は、研究用「光学ベンチ」
のような研究施設でのみ調節可能である。以下に説明す
る本発明の装置は、第1のキヤビテイの適当な光学的通
路長xと、第2のキヤビテイの適当な光学通路長yとを
同時に単一の印加電圧を供給する手段を有し、両方のキ
ヤビテイが一体的に設けられた単一の装置である。
上述の1989年2月の光波技術に関するIEEE誌の第7巻
に記載された装置において、発明者等は、1つのキヤビ
テイではなく、2つのキヤビテイを使用することによつ
て、全体的な波長スペクトル転送機能の改良を分析研究
している。この発明において、キヤビテイは別個に制御
されることに基いている。発明者は、縦続的(カスケー
ド)に配列され分離された2つのミラーを持つキヤビテ
イと、2番目の「第3ミラー」とで構成された構造、即
ち左側のキヤビテイの右側のミラーと、右側のキヤビテ
イの左側とミラーとが、上述のホケベーン等で提案され
た装置と同じミラー構成を持つている装置を分析してい
る。過度な共振ピーク(第1ミラーと第3ミラーとの間
の定常波による共振ピーク)を阻止するために、この3
個のミラー装置は、3個のミラーの反射を制御すること
に依存しているので、これらは、ある許容範囲内の相互
位置に関する或る比率に従わなければならない。2つの
キヤビテイにおけるフイルタの通常4個のミラーの装置
においては、或る他の手法(以下に説明されるように、
第1のキヤビテイに対して相対的に第2のキヤビテイを
僅かに傾けること)が過度の反射を抑制するために従来
から使用されている。
上述のマツクのPEPSIOS装置において、同調は、本発
明のように間隔だけを変化し、または屈折率だけを変化
することによつて行われていない。このPEPSIOS装置に
おいて、同調は、すべてのキヤビテイ内のガスの圧力及
び量を同時に変化させ、従つて、異なつたガスの量によ
つてすべてのキヤビテイ中の屈折率を変化することによ
つて行われている。所望の共振周波数の変化を得るため
に、ガスの圧力の変化(間隔を調節するものではない)
を使用することは、非常に複雑である。マツク等がこの
ような同調方法を行つた理由は、同調を行うために電子
光学材料の利用には気ずかなかつたか、またはその時代
の電子光学材料の性能が充分でなかつたかの何れかであ
つたことは明らかであろう。何れにせよ、マツク等の装
置は、3つのキヤビティが同時に同調されたときの波長
において、装置全体を走査するばかりでなく、最初の位
置の一致をセツトするために、3つのチヤンバのすべて
において異なつたガス圧力を使用していた。3つのチヤ
ンバ中のガス圧力が、同じでなく、適宜の量によつて変
化するのを確実にするために、精密な一連のニードル・
バルブが用いられていた。
上述のPEPSIOS装置はキヤビテイの内部の物質を変化
することを提案しているが、この装置は、複数個の共振
キヤビテイ中で同じ屈折率を変化し、同時に、単一の制
御電圧だけに応答させることを提案していない。
米国特許第4225236号の装置は、本発明と同じ種類の
装置、即ち2つ(または、それ以上)のキヤビテイを同
時に制御することの出来るただ1つの制御電圧を持つ装
置に関している。然しながら、この特許で得られるもの
は、簡単で、低価格で高速な復帰が必要な装置ではな
く、非常に複雑で、嵩張る装置であつた。この特許の装
置は、垂直方向に向けられた大きな光学ベンチを含み、
この光学ベンチの水平方向がピエゾ電気に基いて制御さ
れている。光は左側から水平方向に入射し、キヤビテイ
I(間隔=x)を通つて通過する。このキヤビテイの左
側ミラーは固定され、右側ミラーはピエゾ電気によつて
動かされる光学段上に設けられている。光学段の右側
に、角度θだけ水平方向に対して上方向に傾けられた角
度で光反射する他のミラーがある。反射光は、キヤビテ
イIIの右側ミラー(可動)を通つて角度θで通過し、そ
して左側ミラー(固定)を通つて投射される。この装置
を同調させるために、光学段は、コサインθに比例した
大きさのxの変化量及びyの変化量で移動される。この
装置は、ミラーの間隔を変化させるために、ミラーを移
動することに依存しており、屈折率の変化に依存してい
ない。
本発明の目的は、同調可能なレーザ及び光通信に使用
することが出来、小型で、経済的で迅速に同調可能なオ
プチカル・フイルタを提供することにある。
C.課題を解決するための手段 本発明に従つて、両端に反射面を持つ複数個の共振キ
ヤビテイを有する同調可能なオプチカル・フイルタが与
えられる。また、本発明に従つて、ただ1つの制御電圧
に応答して、オプチカル・フイルタの各キヤビテイの中
の電子光学的材料の屈折率を変化させる手段が与えられ
る。共振キヤビティは、光学的信号が共振キヤビテイを
通過し、そして、電子光学的材料の屈折率が、所定の値
に調節された時、選択された波長で共振する。本発明
は、波長の選択性を最大にするために、縦続的に結合さ
れた複数のキヤビテイの同調を変化するためのただ1つ
の制御電圧を使用する複数キヤビテイの同調可能なオプ
チカル・フイルタである。本発明において、n及びmを
2つのキヤビテイ中の半波長の定在波の数とし、x及び
yを2つのキヤビテイの光路の長さとした場合、常にx/
y=n/mの関係で、共振する波長が変化するように、キヤ
ビテイの光学路の長さの比率が設定される。単一の制御
電圧を持つ構造で電気的に同調させる本発明の装置は、
光路の長さを固定したキヤビテイ中の電子光学的な材料
の屈折率が電圧に依存する材料を使用する。
E.実施例 2つのフアブリー・ペロー干渉計の縦続的な結合が、
夫々独立したものよりも、より大きな選択性を有してい
ることは、良く知られたアイデアである。若し、第1の
キヤビテイが波長λにおいて共振しているならば、ミラ
ーの有効間隔は、x=nλ/2である、上式において、n
は正の整数である。ミラーの有効間隔は、ミラー間の実
際の距離と、ミラーの間にある媒体の有効屈折率とを乗
算したものである。フイルタを通過する光波のスペクト
ルのピークは、次式の「自由スペクトル範囲(free spe
ctral range即ちFSR)」によつて分離される。
FSR1=c/2x=f/n 上式において、cは光の速度であり、fは光の周波数
である。他方、若し、入射光線の第1のキヤビテイを通
り、次に第2キヤビテイを通過するように、第2のキヤ
ビテイが第1のキヤビテイに縦続的に結合されており、
そして、若し、λで共振する第2のキヤビテイのミラー
の有効間隔が、xと異なるy=mλ/2であるならば、そ
の自由スペクトル範囲は、FSR2=c/2y=f/mである。従
つて、第1のキヤビテイの転送スペクトルは、テイース
(teeth)距離f/nだけ離れ、第2のキヤビテイに対して
はテイース距離f/mだけ離れている。ここで、m及びn
を相互に近い整数に選ぶことによつて、両方のキヤビテ
イを通過する光の完全な転送が、大きなテイース距離で
生じるから、キヤビテイの配列の精巧さを非常に高度に
することが出来る。直列結合されたキヤビテイ全体のFS
Rは、個々のFSRの最小公倍数とすることが出来る。単一
のキヤビテイの精巧さは、ミラーの平面度、平滑度及び
並行度の製造公差によつて、通常、制限されるので、直
列結合によるアプローチは、質の良くない2つ以上の装
置から高い分解能の装置を作るための強力な手段であ
る。
第1図及び第2図は2つのキヤビテイを持つ本発明の
実施例を示す図である。第1図において、コリメートさ
れた光が、2つの連続したキヤビテイを通過するよう
に、左側から入射され、そして右側に出る。両方のキヤ
ビテイ内で同じ屈折率を持つキヤビテイの媒体32は、適
当な電子光学的材料であり、その物質の屈折率は、電圧
の勾配の関数である(一次関数である必要はない)。電
極31の間に印加される電圧を変化することによつて、こ
の装置は同調される。キヤビテイの側壁33は、絶縁体材
料で作られており、上部壁及び下部壁は電極31である。
第2図に示したように、この装置は、長さに沿つて均一
な断面を持つている。
光学路の長さxの共振キヤビテイ48は、1対の反射面
34及び35で構成されている。同様に、光学路の長さyの
共振キヤビテイ49は、1対の反射面36及び37で構成され
ている。鏡面(反射面とも言われる)34及び35は、2枚
のガラス38及び39上の適当な被膜によつて形成されてい
る。面40及び41は、キヤビテイの過剰な共振を避けるた
めの従来の方法に従つて、反射面34及び35と平行になる
のを避けるために、僅かに傾けられている。同様に、面
42及び43は、反射面36及び37と平行にならないように構
成されている。
この装置が作られる時、キヤビテイ48を構成する対向
する平行な反射面34及び35は、間隔x(テスト波長λの
半波長のn倍)に設定される。同様に、キヤビテイ49
は、間隔y(同じテスト波長λの半波長のm倍)に設定
されている。
上述のような間隔が与えられた装置は、次のように動
作する。装置を任意の波長λに同調させる場合、所定の
単一の電圧が電極31に印加される。この電圧が電極31に
印加された時、キヤビテイ48中の電子光学的材料の屈折
率は、キヤビテイ48を波長λで共振させるような予め決
められた値に調節される。従つて、この共振キヤビテイ
中に波長λの半波長のn倍の定在波がある。共振キヤビ
テイ49中の材料がキヤビテイ48中の材料と同じであれ
ば、キヤビテイ49中の屈折率は所定の値にあるから、所
望のように、共振キヤビテイ49中に波長λの半波長のm
倍の定在数がある。
第3図及び第4図は、屈折率により共振させる方式を
用い、且つ3個のミラーと2個のキヤビテイで同調され
るオプチカル・フイルタを示している。第3図に示され
たように、ミラー66は細線で示されているが、実際に
は、薄いガラス板の一方の面に反射被覆を設け、他方の
面に無反射被覆を設けたものである。2つの共振キヤビ
テイはミラー64及び66と、ミラー66及び65とによつて形
成されている。制御電圧は、共振キヤビテイ68及び69の
上部の電極61と、下方の接地電極61とに跨がつて印加さ
れる。キヤビテイ内部の電子光学材料は62で示されてい
る。二次共振は、ミラーの反射を注意深く選ぶことによ
つて制御されているので、第1図の実施例に必要であつ
たように、一方のキヤビテイを他方のキヤビテイに対し
て傾斜させることは、3個のミラー装置の場合には必要
がない。
2個のキヤビテイの実施例の細部のパラメータの1例
を以下に示す。それらは、波長=1.5ミクロン、整数n
=100、自由距離x=50×1.5=75ミクロン、1.5ミクロ
ンにおける第1キヤビテイの自由スペクトル範囲=1.52
/2x=0.015ミクロン、整数m=104、自由距離y=78ミ
クロン、1.5ミクロンにおける自由スペクトル範囲=1.5
2/2y=0.014423ミクロン、有効合計自由スペクトル範囲
=26×0.014423=25×0.015=0.375ミクロンである。電
子光学的材料の代表的な材料は、ニオブ塩酸リチウムで
あり、良好な安定電極は、不変鋼(inver)であり、絶
縁性側壁は、セラミツク材料であり、ミラーの材料とし
ては光学ガラスである。電圧Vの代表的な値は0乃至50
0ボルトである。
本発明は2個以上のキヤビテイにも適用することが出
来るし、共焦ミラーのような非平面ミラーも使用するこ
とが出来る。
本発明の他の装置の例として、例えば非平面ミラー構
造(例えば共焦ミラー)を使用することが出来る。
E.発明の効果 本発明は、同調可能なレーザ及び光通信に使用するこ
とが出来、小型で、経済的で迅速に同調可能なオプチカ
ル・フイルタを提供する。
【図面の簡単な説明】
第1図は各端部に反射面を持つ2つの分離したキヤビテ
イを含む本発明のオプチカル・フイルタの第1の実施例
の断面図、第2図は第1図に示したII−IIの線で切断し
たオプチカル・フイルタの断面図、第3図は4個のミラ
ーでなく、3個のミラーを使用し、キヤビテイの各端部
に反射面を持つ本発明の第2の実施例の断面図、第4図
は第3図に示したIV−IVの線で切断したオプチカル・フ
イルタの断面図である。 31、61……電極、32、62……電子光学的媒体、34、35、
36、37……反射面、48、48、68、69……共振キヤビテ
イ、64、64、66……ミラー。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フイリツプ・アンドレ・ペリエア フランス国ヴイロスレイ、78220、アヴ エニユ・ゲージ17番地 (56)参考文献 特開 昭58−153902(JP,A) 特開 昭53−50757(JP,A)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】夫々が両端に反射面を有して内部に電子光
    学的材料が充填され、キャビティの長さが異なり、且つ
    所定の比率を有して一列に並んだ第1及び第2の共振キ
    ャビティと、 前記第1及び第2の共振キャビティの前記電子光学的材
    料を挟むように形成され、単一の制御電圧を前記第1及
    び第2の共振キャビティの各々に同時に印加して、前記
    第1及び第2の共振キャビティ中の前記電子光学的材料
    の屈折率を同時に同じだけ変化させる1対の電極とを備
    え、 光信号が前記キャビティを通過し、且つ前記電子光学的
    材料の屈折率が所定の値に調節された時、前記共振キャ
    ビティが選択された波長で共振すること を特徴とする同調可能なオプチカル・フィルタ。
JP2038533A 1989-02-21 1990-02-21 オプチカル・フイルタ Expired - Lifetime JP2516266B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US312285 1989-02-21
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Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5103340A (en) * 1989-02-21 1992-04-07 International Business Machines Corporation Multiple-cavity optical filter using change of cavity length
US5130839A (en) * 1989-03-10 1992-07-14 Ricoh Company Ltd. Scanning optical apparatus
JP2840356B2 (ja) * 1989-04-17 1998-12-24 株式会社リコー 光走査装置
US5099355A (en) * 1989-10-02 1992-03-24 Ricoh Company, Ltd. Optical element having heat control means
US5039201A (en) * 1990-04-30 1991-08-13 International Business Machines Corporation Double-pass tunable fabry-perot optical filter
DE69202993T2 (de) * 1991-02-04 1995-12-07 Nippon Telegraph & Telephone Elektrisch steuerbares, wellenlängenselektives Filter.
US5128798A (en) * 1991-02-07 1992-07-07 International Business Machines Corporation Addressable wedge etalon filter
US5710655A (en) * 1993-07-21 1998-01-20 Apeldyn Corporation Cavity thickness compensated etalon filter
IL119006A (en) 1996-08-04 2001-04-30 B G Negev Technologies And App Optical filters with adjustable stay line
US6303986B1 (en) 1998-07-29 2001-10-16 Silicon Light Machines Method of and apparatus for sealing an hermetic lid to a semiconductor die
US6384953B1 (en) 2000-06-29 2002-05-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Micro-dynamic optical device
US6707591B2 (en) 2001-04-10 2004-03-16 Silicon Light Machines Angled illumination for a single order light modulator based projection system
US20020159153A1 (en) * 2001-04-30 2002-10-31 Nishimura Ken A. Tunable optical filter
US20030020926A1 (en) * 2001-05-15 2003-01-30 Nicolae Miron Tunable band pass optical filter unit with a tunable band pass interferometer
US6747781B2 (en) 2001-06-25 2004-06-08 Silicon Light Machines, Inc. Method, apparatus, and diffuser for reducing laser speckle
US6782205B2 (en) 2001-06-25 2004-08-24 Silicon Light Machines Method and apparatus for dynamic equalization in wavelength division multiplexing
US6829092B2 (en) 2001-08-15 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Blazed grating light valve
EP1213571B1 (en) * 2001-08-17 2004-05-26 Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) Interference of light
US6785001B2 (en) * 2001-08-21 2004-08-31 Silicon Light Machines, Inc. Method and apparatus for measuring wavelength jitter of light signal
US7034975B1 (en) 2001-12-03 2006-04-25 Cheetah Onmi, Llc High speed MEMS device
US7110671B1 (en) 2001-12-03 2006-09-19 Cheetah Omni, Llc Method and apparatus for scheduling communication using a star switching fabric
US7209657B1 (en) 2001-12-03 2007-04-24 Cheetah Omni, Llc Optical routing using a star switching fabric
US7260655B1 (en) 2001-12-03 2007-08-21 Cheetah Omni, Llc Optical routing using star switching fabric with reduced effective switching time
US6800238B1 (en) 2002-01-15 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. Method for domain patterning in low coercive field ferroelectrics
US6767751B2 (en) 2002-05-28 2004-07-27 Silicon Light Machines, Inc. Integrated driver process flow
US6728023B1 (en) 2002-05-28 2004-04-27 Silicon Light Machines Optical device arrays with optimized image resolution
US6822797B1 (en) 2002-05-31 2004-11-23 Silicon Light Machines, Inc. Light modulator structure for producing high-contrast operation using zero-order light
US6829258B1 (en) 2002-06-26 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Rapidly tunable external cavity laser
US6714337B1 (en) 2002-06-28 2004-03-30 Silicon Light Machines Method and device for modulating a light beam and having an improved gamma response
US6813059B2 (en) 2002-06-28 2004-11-02 Silicon Light Machines, Inc. Reduced formation of asperities in contact micro-structures
US7057795B2 (en) * 2002-08-20 2006-06-06 Silicon Light Machines Corporation Micro-structures with individually addressable ribbon pairs
US6801354B1 (en) 2002-08-20 2004-10-05 Silicon Light Machines, Inc. 2-D diffraction grating for substantially eliminating polarization dependent losses
US6712480B1 (en) 2002-09-27 2004-03-30 Silicon Light Machines Controlled curvature of stressed micro-structures
GB0302655D0 (en) * 2003-02-05 2003-03-12 Univ Cambridge Tech Deposition of layers on substrates
US6829077B1 (en) 2003-02-28 2004-12-07 Silicon Light Machines, Inc. Diffractive light modulator with dynamically rotatable diffraction plane
US6806997B1 (en) 2003-02-28 2004-10-19 Silicon Light Machines, Inc. Patterned diffractive light modulator ribbon for PDL reduction
WO2008064470A1 (en) * 2006-11-27 2008-06-05 Roctest Ltée High selectivity band-pass interferometer with tuning capabilities
US10429287B2 (en) * 2014-01-28 2019-10-01 Osaka University Interferometric method for measuring a size of particle in the presence of a gap
SG11201807356VA (en) * 2016-03-22 2018-09-27 Lyteloop Technologies Llc Data in motion storage system and method
MX2020013441A (es) 2018-08-02 2021-02-26 Lyteloop Tech Llc Aparato y metodo para almacenar se?ales de onda en una cavidad.
CN112673279A (zh) 2018-08-10 2021-04-16 利特洛普技术有限公司 利用角度复用延长波信号路径长度的系统和方法
JP2022505417A (ja) 2018-11-05 2022-01-14 ライトループ・テクノロジーズ・エルエルシー 共有された共通の構成要素を使用して複数の増幅器、再生器及び送受信器を構築、動作及び制御するためのシステム及び方法
CN112180490A (zh) * 2020-09-28 2021-01-05 维沃移动通信有限公司 显示屏、显示方法、电子设备及可读存储介质
CN112964361B (zh) * 2021-02-05 2022-12-02 上海新产业光电技术有限公司 可调谐滤波器、光谱探测装置及光谱信息获取方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3612655A (en) * 1969-04-30 1971-10-12 Itek Corp Fabry-perot filter containing a photoconductor and an electro-optic medium for recording spatially varying information
BE859530A (fr) * 1976-10-15 1978-02-01 Western Electric Co Interferometre non lineaire
US4225236A (en) * 1977-11-11 1980-09-30 Rca Corporation Fabry-perot interferometer
US4269481A (en) * 1979-07-06 1981-05-26 Rockwell International Corporation Multiple-cavity electro-optic tunable filter
US4247166A (en) * 1979-08-15 1981-01-27 Rockwell International Corporation Single plate birefringent optical filter
US4553816A (en) * 1980-12-15 1985-11-19 Honeywell Inc. Tunable Fabry-Perot filter
JPS58153902A (ja) * 1982-03-09 1983-09-13 Matsushita Electric Ind Co Ltd フアブリペロ型光学変調器
GB8621439D0 (en) * 1986-09-05 1986-10-15 Secr Defence Electro-optic device

Also Published As

Publication number Publication date
EP0384117A2 (en) 1990-08-29
US4896948A (en) 1990-01-30
JPH02278132A (ja) 1990-11-14
EP0384117A3 (en) 1991-07-03

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