JPH02257100A - ヨハンソン型湾曲結晶の製作方法 - Google Patents
ヨハンソン型湾曲結晶の製作方法Info
- Publication number
- JPH02257100A JPH02257100A JP1079474A JP7947489A JPH02257100A JP H02257100 A JPH02257100 A JP H02257100A JP 1079474 A JP1079474 A JP 1079474A JP 7947489 A JP7947489 A JP 7947489A JP H02257100 A JPH02257100 A JP H02257100A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- crystals
- cylindrical
- primary substrate
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 74
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 abstract description 15
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 abstract description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 abstract description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- 238000001015 X-ray lithography Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＸ線リソグラフィーの分野でＸ線集光素子とし
て利用されるヨハンソン型湾曲結晶の製作方法に関する
。
て利用されるヨハンソン型湾曲結晶の製作方法に関する
。
Ｘ線分光用素子として長年用いられてきたヨハンソン型
湾曲結晶はＸ線リソグラフィーの分野でＸ線集光素子と
しての利用が考えられている（特開昭６２−２３００２
１号公報参照）。
湾曲結晶はＸ線リソグラフィーの分野でＸ線集光素子と
しての利用が考えられている（特開昭６２−２３００２
１号公報参照）。
ヨハンソン型湾曲結晶は、半径２Ｒ（Ｒはローランド円
の半径）の円筒状の結晶を半径Ｒの円筒面に湾曲させた
ものである。分光用結晶としては反射面が円筒面であっ
ても使用できるが１点光源から出たＸ線を１点に集光さ
せるためには９反射面はＲの半径とは垂直な方向に、さ
らに２ Ｒ５１ｎ’θＢ（θＢは使用波長におけるこの
結晶のブラッグ角）の半径を持つたる型曲面でなければ
ならない。
の半径）の円筒状の結晶を半径Ｒの円筒面に湾曲させた
ものである。分光用結晶としては反射面が円筒面であっ
ても使用できるが１点光源から出たＸ線を１点に集光さ
せるためには９反射面はＲの半径とは垂直な方向に、さ
らに２ Ｒ５１ｎ’θＢ（θＢは使用波長におけるこの
結晶のブラッグ角）の半径を持つたる型曲面でなければ
ならない。
従来のヨハンソン型湾曲結晶の製作手順の１例を第２図
に示す。まず、結晶ＣをヤトイＡに張ｐ付け、Ｘ線回折
装置で結晶面の傾きを調べながら表面と平行になるよう
に研磨する（ａ）。結晶ｃｌヤトイＡからはずし、結晶
面の平行の出ている面（基準面）を別のヤトイＢに張り
付ける（ｂ）。結晶Ｃの表面が半径２Ｒの凸型円筒面に
なるように研磨する（Ｃ）。結晶ＣをヤトイＢからはず
し９円筒表面を持ったヤトイＤに張り付け、裏面も半径
２Ｒの凹型円筒面になるように研磨する（ｄ）。さらに
後で湾曲させるときの便宜のため縦のみあるいは縦横の
いずれかの方向に表面に溝を入れる（−）。結晶Ｃをヤ
トイＤからはずし、半径Ｒの円筒面あるいはたる型曲面
を持った張υ付は台Ｅの上に置き、押え板Ｆで押えつけ
湾曲させて接着する（ｆ）。（ｇ）はこのようにして製
作されたヨハンソン型湾曲結晶を示す。
に示す。まず、結晶ＣをヤトイＡに張ｐ付け、Ｘ線回折
装置で結晶面の傾きを調べながら表面と平行になるよう
に研磨する（ａ）。結晶ｃｌヤトイＡからはずし、結晶
面の平行の出ている面（基準面）を別のヤトイＢに張り
付ける（ｂ）。結晶Ｃの表面が半径２Ｒの凸型円筒面に
なるように研磨する（Ｃ）。結晶ＣをヤトイＢからはず
し９円筒表面を持ったヤトイＤに張り付け、裏面も半径
２Ｒの凹型円筒面になるように研磨する（ｄ）。さらに
後で湾曲させるときの便宜のため縦のみあるいは縦横の
いずれかの方向に表面に溝を入れる（−）。結晶Ｃをヤ
トイＤからはずし、半径Ｒの円筒面あるいはたる型曲面
を持った張υ付は台Ｅの上に置き、押え板Ｆで押えつけ
湾曲させて接着する（ｆ）。（ｇ）はこのようにして製
作されたヨハンソン型湾曲結晶を示す。
従来のヨハンソン型湾曲結晶の製作工程において１円筒
板状に結晶を研磨加工する工程Ｃ６５までは比較的容易
に進む。しかし１曲げ加工時（ｆ）に結晶に割れが生じ
ることが多かった。結晶が小さいときや１曲げ半径が大
きい場合には表面に溝を切らなぐても割れずに曲げるこ
とができるが、大きい結晶や曲げ半径が小さい場合には
、湾曲させたとき表面に割れが生じる。この湾曲時の割
れは一次元的な円筒状の曲げのときよりも二次元的なた
る型の曲げのときによυ顕著となる。このような湾曲時
の割れを防ぐため９円筒状に曲げるときには縦のみの溝
・たる型に曲げるときには縦横の溝をあらかじめ結晶表
面に入れるが（０）、湾曲させる材料そのものが結晶自
身であるため、特にかたくてもろい結晶を曲げなければ
ならないとき、湾曲する底の部分で割れが生じることは
避けられなかった。
板状に結晶を研磨加工する工程Ｃ６５までは比較的容易
に進む。しかし１曲げ加工時（ｆ）に結晶に割れが生じ
ることが多かった。結晶が小さいときや１曲げ半径が大
きい場合には表面に溝を切らなぐても割れずに曲げるこ
とができるが、大きい結晶や曲げ半径が小さい場合には
、湾曲させたとき表面に割れが生じる。この湾曲時の割
れは一次元的な円筒状の曲げのときよりも二次元的なた
る型の曲げのときによυ顕著となる。このような湾曲時
の割れを防ぐため９円筒状に曲げるときには縦のみの溝
・たる型に曲げるときには縦横の溝をあらかじめ結晶表
面に入れるが（０）、湾曲させる材料そのものが結晶自
身であるため、特にかたくてもろい結晶を曲げなければ
ならないとき、湾曲する底の部分で割れが生じることは
避けられなかった。
本発明は・ヨハンソン型湾曲結晶のうち、特にＸ線集光
素子として用いられるたる型湾曲面を持った湾曲結晶の
曲げ加工時に割れを起こさない加工方法を提供すること
を目的さする。
素子として用いられるたる型湾曲面を持った湾曲結晶の
曲げ加工時に割れを起こさない加工方法を提供すること
を目的さする。
上記目的を達成するために１本発明の加工方法において
は１曲げ加工時に使う円筒板結晶として・結晶よυも高
弾性の材料でできた円筒薄板に縦横に入れた溝で完全に
分断された円筒板結晶を張り付けた一体品、あるいは弾
性円筒薄板に円筒板結晶を張り付けた上で結晶が完全に
分断される深さまで縦横に溝を切った一体品を使う。
は１曲げ加工時に使う円筒板結晶として・結晶よυも高
弾性の材料でできた円筒薄板に縦横に入れた溝で完全に
分断された円筒板結晶を張り付けた一体品、あるいは弾
性円筒薄板に円筒板結晶を張り付けた上で結晶が完全に
分断される深さまで縦横に溝を切った一体品を使う。
上記の加工方法によれば、Ｘ線反射素子の結晶と実際に
湾曲する部分の基材が全く別物なので。
湾曲する部分の基材が全く別物なので。
高弾性の基材を選ぶことにより、たる型曲面でも割れず
に湾曲させることができる。
に湾曲させることができる。
本発明によるヨハンソン型湾曲結晶の！ｌＩ！作方法の
一実施例を第１図全参照して説明する。
一実施例を第１図全参照して説明する。
（ａ） （ｂ）は従来例（第２図）と同じ結晶面の面出
しのための表面研磨の工程である。次例１面の出た結晶
に縦横に溝を入れる（Ｃ）。さらに、半径２Ｒの凸型円
筒面に研磨する（ｄ）。結晶とは別に凹型円筒ヤトイＤ
の表面にアルミ、ステンレス等の結晶より高弾性の金属
製の円筒薄板Ｇ（１次基板）′に張り付けたものを用い
（ｅ）、結晶Ｃｉ１次基板基板張り付けた後・ヤｌ〜イ
Ｂをはずし、さらに結晶Ｃの表面を半径２Ｒの凹型円筒
面忙研磨する（ｆ）。１次基板Ｇと結晶Ｃの一体品ケヤ
トイＤからはずし。
しのための表面研磨の工程である。次例１面の出た結晶
に縦横に溝を入れる（Ｃ）。さらに、半径２Ｒの凸型円
筒面に研磨する（ｄ）。結晶とは別に凹型円筒ヤトイＤ
の表面にアルミ、ステンレス等の結晶より高弾性の金属
製の円筒薄板Ｇ（１次基板）′に張り付けたものを用い
（ｅ）、結晶Ｃｉ１次基板基板張り付けた後・ヤｌ〜イ
Ｂをはずし、さらに結晶Ｃの表面を半径２Ｒの凹型円筒
面忙研磨する（ｆ）。１次基板Ｇと結晶Ｃの一体品ケヤ
トイＤからはずし。
押え板Ｆでたる型曲面を持つ２次基板Ｅに押えっけ、湾
曲させて接着する（ｇ）。（ｈｌはこのようにして製作
されたＸ線集光用ヨハンソン型湾曲結晶である。
曲させて接着する（ｇ）。（ｈｌはこのようにして製作
されたＸ線集光用ヨハンソン型湾曲結晶である。
この例では溝を切った結晶を１次基板に張り付けたが、
１次基板に結晶を張り付けた後に溝を切ってもかまわな
い。また、１次基板は金属としたが結晶より弾性のある
材料であれは金属にかぎらない。
１次基板に結晶を張り付けた後に溝を切ってもかまわな
い。また、１次基板は金属としたが結晶より弾性のある
材料であれは金属にかぎらない。
本発明は以上説明した製作方法であるので、ヨハンソン
型湾曲結晶の湾曲加工時におケる結晶の割れがなくなっ
た。本発明は１円筒溝曲、たる型湾曲のいずれにも有効
であるが、Ｘ線集光素子としてを望なたる型湾曲結晶の
湾曲加工には特に有効である。
型湾曲結晶の湾曲加工時におケる結晶の割れがなくなっ
た。本発明は１円筒溝曲、たる型湾曲のいずれにも有効
であるが、Ｘ線集光素子としてを望なたる型湾曲結晶の
湾曲加工には特に有効である。
結晶の表面のみに溝倉入れていた従来法とは違い、どん
なにもろい結晶を選んでも割れることはない。また１曲
げ半径の小さい湾曲結晶や面積の大きな湾曲結晶も作れ
るようになった。この結果。
なにもろい結晶を選んでも割れることはない。また１曲
げ半径の小さい湾曲結晶や面積の大きな湾曲結晶も作れ
るようになった。この結果。
焦点距離が短く露光面積も広く、かつ集光強度の強いＸ
線集光用ヨハンソン型湾曲結晶が製作可能となった。
線集光用ヨハンソン型湾曲結晶が製作可能となった。
第１図は本発明によるヨハンソン型湾曲結晶の製作工程
を説明する図、第２図は従来のヨハンソン型湾曲結晶の
製作工程を説明する図である。 Ａ 、 Ｂ−・・平型ヤトイ Ｃ・・・結晶 Ｄ・・・凹型円筒ヤトイ Ｅ・・・凸型の円筒面あるいはたる型曲面を持つ張り付
は台（２次基板） Ｆ−・・Ｅに対応する凸型の押え板 Ｇ・・・円筒薄板の１次基板 し；・”；１’：ｊＴｆ （Ｃ） （ｄ） げ）
を説明する図、第２図は従来のヨハンソン型湾曲結晶の
製作工程を説明する図である。 Ａ 、 Ｂ−・・平型ヤトイ Ｃ・・・結晶 Ｄ・・・凹型円筒ヤトイ Ｅ・・・凸型の円筒面あるいはたる型曲面を持つ張り付
は台（２次基板） Ｆ−・・Ｅに対応する凸型の押え板 Ｇ・・・円筒薄板の１次基板 し；・”；１’：ｊＴｆ （Ｃ） （ｄ） げ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 所定の曲率を持つた円筒板状結晶をたる型曲面を持つ基
板に沿って張ク付けたヨハンソン型湾曲結晶において、 （１）結晶より高弾性の材料で円筒板状１次基板を作り
、 （２）縦横に入れた溝で完全に分断された円筒板状結晶
を前記１次基板に張り付けた一体品、あるいは円筒板状
結晶を前記１次基板に張り付けた後、縦横に溝を入れて
結晶のみ完全に分断した一体品を作り、 （３）たる型曲面を持つ２次基板に沿つて前記一体品を
張り付けて成る ことを特徴とするヨハンソン型湾曲結晶の製作方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1079474A JPH02257100A (ja) | 1989-03-29 | 1989-03-29 | ヨハンソン型湾曲結晶の製作方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1079474A JPH02257100A (ja) | 1989-03-29 | 1989-03-29 | ヨハンソン型湾曲結晶の製作方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02257100A true JPH02257100A (ja) | 1990-10-17 |
Family
ID=13690888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1079474A Pending JPH02257100A (ja) | 1989-03-29 | 1989-03-29 | ヨハンソン型湾曲結晶の製作方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02257100A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0590308A2 (en) * | 1992-09-29 | 1994-04-06 | Physical Electronics, Inc. | Scanning and hig resoloution x-ray photo electron spectroscopy and imaging |
| JP2005534921A (ja) * | 2002-08-02 | 2005-11-17 | エックス−レイ オプティカル システムズ インコーポレーテッド | Ｘ線を方向付けるための光学デバイス及びその方法 |
| WO2019175281A1 (fr) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | Alpyx | Dispositif optique pour rayons x |
| JPWO2020203975A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51140778A (en) * | 1975-05-30 | 1976-12-03 | Shimadzu Corp | Spectroscopic curved crystalline structure and its manufacturing metho d |
-
1989
- 1989-03-29 JP JP1079474A patent/JPH02257100A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51140778A (en) * | 1975-05-30 | 1976-12-03 | Shimadzu Corp | Spectroscopic curved crystalline structure and its manufacturing metho d |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0590308A2 (en) * | 1992-09-29 | 1994-04-06 | Physical Electronics, Inc. | Scanning and hig resoloution x-ray photo electron spectroscopy and imaging |
| EP0590308A3 (en) * | 1992-09-29 | 1995-12-13 | Perkin Elmer Corp | Scanning and hig resoloution x-ray photo electron spectroscopy and imaging |
| JP2005534921A (ja) * | 2002-08-02 | 2005-11-17 | エックス−レイ オプティカル システムズ インコーポレーテッド | Ｘ線を方向付けるための光学デバイス及びその方法 |
| WO2019175281A1 (fr) * | 2018-03-14 | 2019-09-19 | Alpyx | Dispositif optique pour rayons x |
| FR3079035A1 (fr) * | 2018-03-14 | 2019-09-20 | Alpyx | Dispositif optique pour rayons x |
| JPWO2020203975A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1147522B1 (en) | Curved optical device and method of fabrication | |
| US20070025511A1 (en) | Curved X-ray reflector | |
| US4461018A (en) | Diffraction crystal for sagittally focusing x-rays | |
| JPWO2007072906A1 (ja) | 曲率分布結晶レンズの製造方法、偏光制御装置、ｘ線反射率測定装置およびｘ線反射率測定方法 | |
| JPH02257100A (ja) | ヨハンソン型湾曲結晶の製作方法 | |
| JP4710022B2 (ja) | 曲率分布結晶レンズ、曲率分布結晶レンズを有するｘ線装置及び曲率分布結晶レンズの作製方法 | |
| US4780899A (en) | Crystal for an X-ray analysis apparatus | |
| JP2003025118A (ja) | 切削用ダイヤモンド工具 | |
| US20010031034A1 (en) | Method and apparatus for fabricating curved crystal X-ray optics | |
| JP2001341122A (ja) | 工作物の切断方法 | |
| TW201941290A (zh) | 晶圓加工方法 | |
| US8557149B2 (en) | System and method for implementing enhanced optics fabrication | |
| JP2007212272A (ja) | 二重曲率ヨハンソン型ｘ線分光結晶の作製方法 | |
| EP0115892A1 (en) | X-ray examination apparatus having a double focusing crystal | |
| JP3918216B2 (ja) | 単結晶の切断装置と方法 | |
| JPH05302876A (ja) | Ｔｅｍ観察用試料の作成方法及び研磨用治具 | |
| JPH08201591A (ja) | 反射用光学素子 | |
| JP6780560B2 (ja) | 光学素子、周期構造体 | |
| US6070315A (en) | Method of producing a microspectrometer reflection grating | |
| JP3387866B2 (ja) | Ｙａｇレーザ用レーザミラー | |
| JPH08101300A (ja) | Ｘ線ミラー装置 | |
| JP2006305922A (ja) | ダイシングブレード及びそれを用いた光学ローパスフィルタの製造方法 | |
| JPH08201593A (ja) | 非球面反射光学素子 | |
| JP2988459B2 (ja) | Ｘ線分光器とその製造方法 | |
| JPH04354668A (ja) | 非球面加工方法 |