JPH02253066A - 絞り弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、圧力制御を行う絞り弁に係り、特に半導体製
造工程におけるプラズマエツチングに用いられる圧力制
御を行う絞り弁の構造に関するものである。

（従来の技術） 従来、このような分野の技術としては、例えば以下に示
すようなものがあった。

第７図はかかる従来の絞り弁の構成図であり、第７図（
ａ）はその正面図、第７図（ｂ）はその側面図、第７図
（ｃ）はその上面図である。

この図に示すように、真空配管と接続し、真空経路の一
部をなすボディ１に、該ボディ１の一部を貫通する軸２
が設けられ、該軸２に絞り弁となる円板３がねし４によ
って固定されている。

なお、円板３とボディ１間は、いかなる状態でも接触し
ないよう、一定の間隔（０，２〜０．５Ｔ１１［［ｌ）
に保たれている。

更に、軸２のボディ１の貫通部には、軸２と接触するよ
うにエラストマー０リング５が配置されており、更に、
ボディ１とブロック６で上記○リング５を挟み込み、ね
じ７によってブロック６をボディ１へ固定させることに
より、ボディ１内外への気体の漏れをなくし、かつ、軸
２の回転が自由に行えるように構成されている。

そこで、上記従来の構成において、前記軸２を回転させ
ることにより、気体の流れの方向に対する前記円板３の
角度が変化し、従って、絞り弁での流路の開口面積も変
化し、絞り弁の上流、下流での気体圧力を制御すること
が可能となる。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、以上述べた従来の絞り弁の構造では、ボ
ディ１の軸２が貫通する部分をエラストマー○リング５
で真空シールしているため、プラズマエツチング時に発
生ずるラジカル等によるエツチングや、軸２の回転によ
る摩耗により、Ｏリング５の真空シールとしての性能が
劣化し、長時間使用すると、ボディ１の軸２の貫通部よ
りリークが発生するという問題点があった。

本発明は、以上述べたエラストマー〇リングの摩耗、及
びプラズマエツチングによる真空シールとしての性能劣
化の問題点を除去し、長期間使用しても、リークの発生
しない絞り弁を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記目的を達成するために、絞り弁において
、２本の直列に接続される伸縮自在な管と、該管の伸縮
に対応して変位する第１及び第２のバッフル板と、前記
管の両端を固定する固定部材と、前記管の接続部材と、
該接続部材の外部に接続されるアームと、該アームに接
続される駆動源とを設けるようにしたものである。

（作用） 本発明によれば、ベローズ管内に２組の半円筒状パンフ
ル板を設置し、前記へローズ管を他の真空経路をなす配
管と接続し、更に、前記へローズ管をその外部に設置し
た駆動源からの力で伸縮させることにより、前記２組の
半円筒状バッフル板の間隔を変化させるようにしたので
、従来のようなリーク発生の原因となる絞り弁への駆動
軸の貫通を行う必要がなくなり、確実な弁動作を行わせ
ることができる。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明の絞り弁の構成図であり、第１図（ａ）
はその組立後の上面図、第１図（ｂ）はその正面図、第
１図（ｃ）はその側面図である。第２図は本発明の絞り
弁の配管部分の分解図である。

これらの図に示すように、本発明の絞り弁において、装
置側に接続する第１の配管１１と第２の配管１２と、該
第１の配管１１と第２の配管１２に各々接続される第３
の配管２２と第４の配管２３と、該第３の配管２２と第
４の配管２３の各内部に設置される第１のバッフル板２
０と第２のバッフル板２１とをそれぞれ接続し、前記第
２の配管１２と第４の配管２３の接続部に挿入されるガ
スケット２４と前記配管相互の接続固定を行う。

また、この絞り弁は、第１のクランプ１３と第２のクラ
ンプ１４と第３のクランプ゛１５と、８亥クランフ。

１５を貫通し、前記第１のクランプ１３と第３のクラン
プ１５を固定させる第１のロッド１８、第２のロッド１
９とを有している。なお、前記第２のクランプ１４は、
前記第１のロッド１８、第２のロッド１９の貫通部が該
ロッド１Ｂ、　１９の外径に対して僅かながら間隙を有
しているため、該ロッド１８．１９の長手方向に対して
移動可能となっている。

更に、該第２のクランプ１４は、その外部に２本のピン
２５を半埋め込みにしである。

また、前記第１の配管１１の外部には、この絞り弁の駆
動源となるリニアモータ１７が設置されており、前記ピ
ン２５に接続されたアーム１６を介して前記第２のクラ
ンプ１４を移動させる。

第３図乃至第５図は、前記した第１のバッフル板２０と
第２のパンフル板２１を示す図であり、中心部分をくり
ぬいた円板３０．４０に半円筒状バッフル板２０．２１
を接続したものである。なお、前記円板３０、４０は前
記ガスケット２４（第２図参照）と同様な機能を持って
おり、また、組立時において、第１のバッフル板２０に
対して、第２のバッフル板２１は１８０°回転させた状
態に設置される。

第４図は本発明の絞り弁の第３及び第４の配管の構成図
であり、ベローズ管構造となっている。

第４図（ａ）に示すベローズ管５０は、縮ませた状態で
ａ、ｂの寸法を有する〔第４図（ｂ）参照）とすると、
伸ばした状態ではａ’、ｂ’（第４図（ｃ）参照〕とな
る。

この時、ａ、ｂ、ａ’　、ｂ’の関係は、ａｈａ　　、
ｂｉｂ’ であり、即ち、縮ませた状態を考慮すると、第５図に示
すように、バッフル板２０は管内径！より小さい径β′
なる半円面を持った凸形状を有することが望ましい。

また、第６図に示すように、八ツフル板２０．２１の半
円面の端縁２０ａ、２１ａは若干突出しており、バッフ
ル板２０とパンフル板２１が当接した場合に、互いに重
なり合い隙間をつくらないようになし、完全に弁が閉じ
られるように構成されている。

次に、この絞り弁の動作について説明する。

第６図において実線で示すような状態にある場合、弁は
閉じている。この状態からりニアモータ１７を駆動して
、点線で示すように、ピン２５に接続されたアーム１６
を介して第２のクランプ１４を右方向へ移動させる。す
ると、ベローズ管５０は伸びて、バッフル板２０とバッ
フル板２１間が広がり、絞り弁での流路の開口面積は広
くなる。

このように、第１のバッフル板２０と第２のバッフル板
２１間の距離を変化させことにより、絞り弁内部の気体
流路の開口面積を変化させることができる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、ベロー
ズ管内に２組の半円筒状のバッフル板を設置し、前記へ
ローズ管を他の真空経路をなす配管と接続し、更に、前
記へローズ管をその外部に設置した駆動源からの力で伸
縮させることにより、２組のバッフル板の間隔を変化さ
せるようにしたので、リーク発生の原因となる絞り弁へ
の駆動軸の貫通を行う必要なくなり、確実な弁動作を行
わせることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す絞り弁の構成図、第２図
はその絞り弁の配管部分の分解図、第３図はその絞り弁
のバッフル板の構成図、第４図はその絞り弁のベローズ
管の構成図、第５図はその絞り弁の配管部分の構成図、
第６図はその絞り弁の動作を示す概略図、第７図は従来
の絞り弁の構成図である。 １１・・・第１の配管、１２・・・第２の配管、１３・
・・第１のクランプ、１４・・・第２のクランプ、１５
・・・第３のクランプ、１６・・・アーム、１７・・・
リニアモータ、１８・・・第１のロッド、１９・・・第
２のロッド、２０・・・第１のバッフル板、２０ａ、２
１ａ・・・端縁、２１・・・第２のパンフル板、２２・
・・第３の配管、２３・・・第４の配管、２４・・・ガ
スケット、２５・・・ビン、３０．４０・・・円板、５
ｏ・・・ベローズ管。 特許出願人　沖電気工業株式会社 代理人　弁理士　　清　水　　守（外１名）ｆ ／／ 第１の白乙管 （ｂ） （ｂ） （Ｃ） 従ｊｆ＝、ｖ泉起り４ｔの構成ジＡ 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （ａ）２本の直列に接続される伸縮自在な管と、（ｂ）
   該管の伸縮に対応して変位する第１及び第２のバッフル
   板と、 （ｃ）前記管の両端を固定する固定部材と、（ｄ）前記
   管の接続部材と、 （ｅ）該接続部材に接続されるアームと、 （ｆ）該アームに接続される駆動源とを具備することを
   特徴とする絞り弁。