JPH02253066A - 絞り弁 - Google Patents
絞り弁Info
- Publication number
- JPH02253066A JPH02253066A JP7378689A JP7378689A JPH02253066A JP H02253066 A JPH02253066 A JP H02253066A JP 7378689 A JP7378689 A JP 7378689A JP 7378689 A JP7378689 A JP 7378689A JP H02253066 A JPH02253066 A JP H02253066A
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- JP
- Japan
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- pipe
- throttle valve
- baffle plate
- bellows
- sets
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lift Valve (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、圧力制御を行う絞り弁に係り、特に半導体製
造工程におけるプラズマエツチングに用いられる圧力制
御を行う絞り弁の構造に関するものである。
造工程におけるプラズマエツチングに用いられる圧力制
御を行う絞り弁の構造に関するものである。
(従来の技術)
従来、このような分野の技術としては、例えば以下に示
すようなものがあった。
すようなものがあった。
第7図はかかる従来の絞り弁の構成図であり、第7図(
a)はその正面図、第7図(b)はその側面図、第7図
(c)はその上面図である。
a)はその正面図、第7図(b)はその側面図、第7図
(c)はその上面図である。
この図に示すように、真空配管と接続し、真空経路の一
部をなすボディ1に、該ボディ1の一部を貫通する軸2
が設けられ、該軸2に絞り弁となる円板3がねし4によ
って固定されている。
部をなすボディ1に、該ボディ1の一部を貫通する軸2
が設けられ、該軸2に絞り弁となる円板3がねし4によ
って固定されている。
なお、円板3とボディ1間は、いかなる状態でも接触し
ないよう、一定の間隔(0,2〜0.5T11[[l)
に保たれている。
ないよう、一定の間隔(0,2〜0.5T11[[l)
に保たれている。
更に、軸2のボディ1の貫通部には、軸2と接触するよ
うにエラストマー0リング5が配置されており、更に、
ボディ1とブロック6で上記○リング5を挟み込み、ね
じ7によってブロック6をボディ1へ固定させることに
より、ボディ1内外への気体の漏れをなくし、かつ、軸
2の回転が自由に行えるように構成されている。
うにエラストマー0リング5が配置されており、更に、
ボディ1とブロック6で上記○リング5を挟み込み、ね
じ7によってブロック6をボディ1へ固定させることに
より、ボディ1内外への気体の漏れをなくし、かつ、軸
2の回転が自由に行えるように構成されている。
そこで、上記従来の構成において、前記軸2を回転させ
ることにより、気体の流れの方向に対する前記円板3の
角度が変化し、従って、絞り弁での流路の開口面積も変
化し、絞り弁の上流、下流での気体圧力を制御すること
が可能となる。
ることにより、気体の流れの方向に対する前記円板3の
角度が変化し、従って、絞り弁での流路の開口面積も変
化し、絞り弁の上流、下流での気体圧力を制御すること
が可能となる。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、以上述べた従来の絞り弁の構造では、ボ
ディ1の軸2が貫通する部分をエラストマー○リング5
で真空シールしているため、プラズマエツチング時に発
生ずるラジカル等によるエツチングや、軸2の回転によ
る摩耗により、Oリング5の真空シールとしての性能が
劣化し、長時間使用すると、ボディ1の軸2の貫通部よ
りリークが発生するという問題点があった。
ディ1の軸2が貫通する部分をエラストマー○リング5
で真空シールしているため、プラズマエツチング時に発
生ずるラジカル等によるエツチングや、軸2の回転によ
る摩耗により、Oリング5の真空シールとしての性能が
劣化し、長時間使用すると、ボディ1の軸2の貫通部よ
りリークが発生するという問題点があった。
本発明は、以上述べたエラストマー〇リングの摩耗、及
びプラズマエツチングによる真空シールとしての性能劣
化の問題点を除去し、長期間使用しても、リークの発生
しない絞り弁を提供することを目的とする。
びプラズマエツチングによる真空シールとしての性能劣
化の問題点を除去し、長期間使用しても、リークの発生
しない絞り弁を提供することを目的とする。
(課題を解決するための手段)
本発明は、上記目的を達成するために、絞り弁において
、2本の直列に接続される伸縮自在な管と、該管の伸縮
に対応して変位する第1及び第2のバッフル板と、前記
管の両端を固定する固定部材と、前記管の接続部材と、
該接続部材の外部に接続されるアームと、該アームに接
続される駆動源とを設けるようにしたものである。
、2本の直列に接続される伸縮自在な管と、該管の伸縮
に対応して変位する第1及び第2のバッフル板と、前記
管の両端を固定する固定部材と、前記管の接続部材と、
該接続部材の外部に接続されるアームと、該アームに接
続される駆動源とを設けるようにしたものである。
(作用)
本発明によれば、ベローズ管内に2組の半円筒状パンフ
ル板を設置し、前記へローズ管を他の真空経路をなす配
管と接続し、更に、前記へローズ管をその外部に設置し
た駆動源からの力で伸縮させることにより、前記2組の
半円筒状バッフル板の間隔を変化させるようにしたので
、従来のようなリーク発生の原因となる絞り弁への駆動
軸の貫通を行う必要がなくなり、確実な弁動作を行わせ
ることができる。
ル板を設置し、前記へローズ管を他の真空経路をなす配
管と接続し、更に、前記へローズ管をその外部に設置し
た駆動源からの力で伸縮させることにより、前記2組の
半円筒状バッフル板の間隔を変化させるようにしたので
、従来のようなリーク発生の原因となる絞り弁への駆動
軸の貫通を行う必要がなくなり、確実な弁動作を行わせ
ることができる。
(実施例)
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
第1図は本発明の絞り弁の構成図であり、第1図(a)
はその組立後の上面図、第1図(b)はその正面図、第
1図(c)はその側面図である。第2図は本発明の絞り
弁の配管部分の分解図である。
はその組立後の上面図、第1図(b)はその正面図、第
1図(c)はその側面図である。第2図は本発明の絞り
弁の配管部分の分解図である。
これらの図に示すように、本発明の絞り弁において、装
置側に接続する第1の配管11と第2の配管12と、該
第1の配管11と第2の配管12に各々接続される第3
の配管22と第4の配管23と、該第3の配管22と第
4の配管23の各内部に設置される第1のバッフル板2
0と第2のバッフル板21とをそれぞれ接続し、前記第
2の配管12と第4の配管23の接続部に挿入されるガ
スケット24と前記配管相互の接続固定を行う。
置側に接続する第1の配管11と第2の配管12と、該
第1の配管11と第2の配管12に各々接続される第3
の配管22と第4の配管23と、該第3の配管22と第
4の配管23の各内部に設置される第1のバッフル板2
0と第2のバッフル板21とをそれぞれ接続し、前記第
2の配管12と第4の配管23の接続部に挿入されるガ
スケット24と前記配管相互の接続固定を行う。
また、この絞り弁は、第1のクランプ13と第2のクラ
ンプ14と第3のクランプ゛15と、8亥クランフ。
ンプ14と第3のクランプ゛15と、8亥クランフ。
15を貫通し、前記第1のクランプ13と第3のクラン
プ15を固定させる第1のロッド18、第2のロッド1
9とを有している。なお、前記第2のクランプ14は、
前記第1のロッド18、第2のロッド19の貫通部が該
ロッド1B、 19の外径に対して僅かながら間隙を有
しているため、該ロッド18.19の長手方向に対して
移動可能となっている。
プ15を固定させる第1のロッド18、第2のロッド1
9とを有している。なお、前記第2のクランプ14は、
前記第1のロッド18、第2のロッド19の貫通部が該
ロッド1B、 19の外径に対して僅かながら間隙を有
しているため、該ロッド18.19の長手方向に対して
移動可能となっている。
更に、該第2のクランプ14は、その外部に2本のピン
25を半埋め込みにしである。
25を半埋め込みにしである。
また、前記第1の配管11の外部には、この絞り弁の駆
動源となるリニアモータ17が設置されており、前記ピ
ン25に接続されたアーム16を介して前記第2のクラ
ンプ14を移動させる。
動源となるリニアモータ17が設置されており、前記ピ
ン25に接続されたアーム16を介して前記第2のクラ
ンプ14を移動させる。
第3図乃至第5図は、前記した第1のバッフル板20と
第2のパンフル板21を示す図であり、中心部分をくり
ぬいた円板30.40に半円筒状バッフル板20.21
を接続したものである。なお、前記円板30、40は前
記ガスケット24(第2図参照)と同様な機能を持って
おり、また、組立時において、第1のバッフル板20に
対して、第2のバッフル板21は180°回転させた状
態に設置される。
第2のパンフル板21を示す図であり、中心部分をくり
ぬいた円板30.40に半円筒状バッフル板20.21
を接続したものである。なお、前記円板30、40は前
記ガスケット24(第2図参照)と同様な機能を持って
おり、また、組立時において、第1のバッフル板20に
対して、第2のバッフル板21は180°回転させた状
態に設置される。
第4図は本発明の絞り弁の第3及び第4の配管の構成図
であり、ベローズ管構造となっている。
であり、ベローズ管構造となっている。
第4図(a)に示すベローズ管50は、縮ませた状態で
a、bの寸法を有する〔第4図(b)参照)とすると、
伸ばした状態ではa’、b’(第4図(c)参照〕とな
る。
a、bの寸法を有する〔第4図(b)参照)とすると、
伸ばした状態ではa’、b’(第4図(c)参照〕とな
る。
この時、a、b、a’ 、b’の関係は、aha 、
bib’ であり、即ち、縮ませた状態を考慮すると、第5図に示
すように、バッフル板20は管内径!より小さい径β′
なる半円面を持った凸形状を有することが望ましい。
bib’ であり、即ち、縮ませた状態を考慮すると、第5図に示
すように、バッフル板20は管内径!より小さい径β′
なる半円面を持った凸形状を有することが望ましい。
また、第6図に示すように、八ツフル板20.21の半
円面の端縁20a、21aは若干突出しており、バッフ
ル板20とパンフル板21が当接した場合に、互いに重
なり合い隙間をつくらないようになし、完全に弁が閉じ
られるように構成されている。
円面の端縁20a、21aは若干突出しており、バッフ
ル板20とパンフル板21が当接した場合に、互いに重
なり合い隙間をつくらないようになし、完全に弁が閉じ
られるように構成されている。
次に、この絞り弁の動作について説明する。
第6図において実線で示すような状態にある場合、弁は
閉じている。この状態からりニアモータ17を駆動して
、点線で示すように、ピン25に接続されたアーム16
を介して第2のクランプ14を右方向へ移動させる。す
ると、ベローズ管50は伸びて、バッフル板20とバッ
フル板21間が広がり、絞り弁での流路の開口面積は広
くなる。
閉じている。この状態からりニアモータ17を駆動して
、点線で示すように、ピン25に接続されたアーム16
を介して第2のクランプ14を右方向へ移動させる。す
ると、ベローズ管50は伸びて、バッフル板20とバッ
フル板21間が広がり、絞り弁での流路の開口面積は広
くなる。
このように、第1のバッフル板20と第2のバッフル板
21間の距離を変化させことにより、絞り弁内部の気体
流路の開口面積を変化させることができる。
21間の距離を変化させことにより、絞り弁内部の気体
流路の開口面積を変化させることができる。
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。
(発明の効果)
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、ベロー
ズ管内に2組の半円筒状のバッフル板を設置し、前記へ
ローズ管を他の真空経路をなす配管と接続し、更に、前
記へローズ管をその外部に設置した駆動源からの力で伸
縮させることにより、2組のバッフル板の間隔を変化さ
せるようにしたので、リーク発生の原因となる絞り弁へ
の駆動軸の貫通を行う必要なくなり、確実な弁動作を行
わせることができる。
ズ管内に2組の半円筒状のバッフル板を設置し、前記へ
ローズ管を他の真空経路をなす配管と接続し、更に、前
記へローズ管をその外部に設置した駆動源からの力で伸
縮させることにより、2組のバッフル板の間隔を変化さ
せるようにしたので、リーク発生の原因となる絞り弁へ
の駆動軸の貫通を行う必要なくなり、確実な弁動作を行
わせることができる。
第1図は本発明の実施例を示す絞り弁の構成図、第2図
はその絞り弁の配管部分の分解図、第3図はその絞り弁
のバッフル板の構成図、第4図はその絞り弁のベローズ
管の構成図、第5図はその絞り弁の配管部分の構成図、
第6図はその絞り弁の動作を示す概略図、第7図は従来
の絞り弁の構成図である。 11・・・第1の配管、12・・・第2の配管、13・
・・第1のクランプ、14・・・第2のクランプ、15
・・・第3のクランプ、16・・・アーム、17・・・
リニアモータ、18・・・第1のロッド、19・・・第
2のロッド、20・・・第1のバッフル板、20a、2
1a・・・端縁、21・・・第2のパンフル板、22・
・・第3の配管、23・・・第4の配管、24・・・ガ
スケット、25・・・ビン、30.40・・・円板、5
o・・・ベローズ管。 特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人 弁理士 清 水 守(外1名)f // 第1の白乙管 (b) (b) (C) 従jf=、v泉起り4tの構成ジA 第 図
はその絞り弁の配管部分の分解図、第3図はその絞り弁
のバッフル板の構成図、第4図はその絞り弁のベローズ
管の構成図、第5図はその絞り弁の配管部分の構成図、
第6図はその絞り弁の動作を示す概略図、第7図は従来
の絞り弁の構成図である。 11・・・第1の配管、12・・・第2の配管、13・
・・第1のクランプ、14・・・第2のクランプ、15
・・・第3のクランプ、16・・・アーム、17・・・
リニアモータ、18・・・第1のロッド、19・・・第
2のロッド、20・・・第1のバッフル板、20a、2
1a・・・端縁、21・・・第2のパンフル板、22・
・・第3の配管、23・・・第4の配管、24・・・ガ
スケット、25・・・ビン、30.40・・・円板、5
o・・・ベローズ管。 特許出願人 沖電気工業株式会社 代理人 弁理士 清 水 守(外1名)f // 第1の白乙管 (b) (b) (C) 従jf=、v泉起り4tの構成ジA 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (a)2本の直列に接続される伸縮自在な管と、(b)
該管の伸縮に対応して変位する第1及び第2のバッフル
板と、 (c)前記管の両端を固定する固定部材と、(d)前記
管の接続部材と、 (e)該接続部材に接続されるアームと、 (f)該アームに接続される駆動源とを具備することを
特徴とする絞り弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7378689A JPH02253066A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 絞り弁 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7378689A JPH02253066A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 絞り弁 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02253066A true JPH02253066A (ja) | 1990-10-11 |
Family
ID=13528224
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7378689A Pending JPH02253066A (ja) | 1989-03-28 | 1989-03-28 | 絞り弁 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH02253066A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009037724A1 (ja) * | 2007-09-18 | 2009-03-26 | Fujikin Incorporated | 小型流量制御弁 |
-
1989
- 1989-03-28 JP JP7378689A patent/JPH02253066A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009037724A1 (ja) * | 2007-09-18 | 2009-03-26 | Fujikin Incorporated | 小型流量制御弁 |
JPWO2009037724A1 (ja) * | 2007-09-18 | 2010-12-24 | 株式会社フジキン | 小型流量制御弁 |
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