JPH02251710A - 液晶層厚測定装置およびこの液晶層厚測定装置を用いた液晶層厚の測定方法 - Google Patents
液晶層厚測定装置およびこの液晶層厚測定装置を用いた液晶層厚の測定方法Info
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- JPH02251710A JPH02251710A JP7331589A JP7331589A JPH02251710A JP H02251710 A JPH02251710 A JP H02251710A JP 7331589 A JP7331589 A JP 7331589A JP 7331589 A JP7331589 A JP 7331589A JP H02251710 A JPH02251710 A JP H02251710A
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- Liquid Crystal (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、液晶を用いた液晶表示パネルや、液晶シャッ
ターパネルの液晶層厚の測定方法に係り１、特に９０度
以上のツイスト構造をもつ液晶パネルやカラーフィルタ
ーを内在したカラー液晶パネルの液晶層厚測定方法に関
する。
ターパネルの液晶層厚の測定方法に係り１、特に９０度
以上のツイスト構造をもつ液晶パネルやカラーフィルタ
ーを内在したカラー液晶パネルの液晶層厚測定方法に関
する。
従来より、光の干渉効果を用いた膜厚測定方法が提案さ
れ、干渉効果を用いた液晶層厚測定装置もいくつか発売
されている。また、結晶やフィルムなどのように旋光性
を持たない物質の複屈折性であるリタデーシ１ン測定方
法は提案されているが、液晶パネルのように複屈折性と
旋光性の両方を持つ物質の測定方法はほとんどない。
れ、干渉効果を用いた液晶層厚測定装置もいくつか発売
されている。また、結晶やフィルムなどのように旋光性
を持たない物質の複屈折性であるリタデーシ１ン測定方
法は提案されているが、液晶パネルのように複屈折性と
旋光性の両方を持つ物質の測定方法はほとんどない。
前記干渉効果を利用した液晶層厚測定方法では、液晶層
だけでなく、液晶を挟む基板による干渉効果も含まれる
ために、透明電極やカラーフィルター（ＣＦ）が付いた
基板では、正確な測定ができなかった。また、１８０度
以上のツイスト構造を持つスーパーツイストネマチック
（ＳＴＮ）液晶パネルでは、計算に用いる屈折率ｎの値
がツイスト構造により変化するために、正確な液晶層厚
が得られなかった。
だけでなく、液晶を挟む基板による干渉効果も含まれる
ために、透明電極やカラーフィルター（ＣＦ）が付いた
基板では、正確な測定ができなかった。また、１８０度
以上のツイスト構造を持つスーパーツイストネマチック
（ＳＴＮ）液晶パネルでは、計算に用いる屈折率ｎの値
がツイスト構造により変化するために、正確な液晶層厚
が得られなかった。
前記リタデーション測定方法においては、液晶パネルが
複屈折性によるリタデーシ！Ｉ／とツイスト構造による
旋光性の合わさった特性を持つためＫ、ツイスト構造を
持たない液晶パネル以外は、やはり正確な液晶層厚測定
はできなかった。
複屈折性によるリタデーシ！Ｉ／とツイスト構造による
旋光性の合わさった特性を持つためＫ、ツイスト構造を
持たない液晶パネル以外は、やはり正確な液晶層厚測定
はできなかった。
液晶層厚測定が正確に行えないと、表示特性の管理がで
きず、ＳＴＮ液晶パネルでは液晶層厚の違いによる配向
不良等の問題も生じていた。
きず、ＳＴＮ液晶パネルでは液晶層厚の違いによる配向
不良等の問題も生じていた。
本発明の目的は、ツイスト構造を持つ液晶パネルでも正
確に液晶層厚が測定でき、しかも透明電極やＣＦ等が付
いている液晶パネルでも正確な液晶層厚が測定できる方
法を提供することである。
確に液晶層厚が測定でき、しかも透明電極やＣＦ等が付
いている液晶パネルでも正確な液晶層厚が測定できる方
法を提供することである。
上記目的を達成させるために、本発明は、光の干渉効果
を用いず、液１ＩＩＮＩだけが持つ複興折性と旋光性に
より、入射偏光が液晶層を通過することで変化すること
を利用し、一対の偏光板と液晶パネルの配置角を複屈折
性が現われる状態にして測定した出射偏光の分光透過率
スペクトルの極大値、極小値、半値値などの特定値に対
応する特定波長をあらかじめ作成した特定波長と液晶の
複屈折率（Δｎ）と液晶層厚（ｄ）との積であるΔｎｄ
との相関図に照合してΔｎｄを求め、ＳＴＮ液晶パネ
ルや透明電極が付いている液晶パネルでも正確に液晶層
のΔｎｄを求めることができ、さらに、実測したΔｎで
割ることで、ｄを求めることができるようにする方法で
ある。
を用いず、液１ＩＩＮＩだけが持つ複興折性と旋光性に
より、入射偏光が液晶層を通過することで変化すること
を利用し、一対の偏光板と液晶パネルの配置角を複屈折
性が現われる状態にして測定した出射偏光の分光透過率
スペクトルの極大値、極小値、半値値などの特定値に対
応する特定波長をあらかじめ作成した特定波長と液晶の
複屈折率（Δｎ）と液晶層厚（ｄ）との積であるΔｎｄ
との相関図に照合してΔｎｄを求め、ＳＴＮ液晶パネ
ルや透明電極が付いている液晶パネルでも正確に液晶層
のΔｎｄを求めることができ、さらに、実測したΔｎで
割ることで、ｄを求めることができるようにする方法で
ある。
さらに、ＣＦ等の色彩の影響を除去するために、前記出
射偏光の分光透過率スペクトル（Ｓ’）を、いずれか１
枚の偏光板または両方の偏光板を取り除いた状態で測定
した分光透過率スペクトル（Ｒ）で各波長毎に除した液
晶だけの分光透過率スペクトル（φ）の特定値に対応す
る特定波長より同様に液晶層厚を求めるようにした方法
である。
射偏光の分光透過率スペクトル（Ｓ’）を、いずれか１
枚の偏光板または両方の偏光板を取り除いた状態で測定
した分光透過率スペクトル（Ｒ）で各波長毎に除した液
晶だけの分光透過率スペクトル（φ）の特定値に対応す
る特定波長より同様に液晶層厚を求めるようにした方法
である。
［ｆヤ）１１〕
２枚の偏光板の間に液晶パネルを配置した時の作用は、
液晶の複屈折性と、ツイスト構造にょる旋光性により複
雑な特性となり、一対の偏光板の交差角、偏光板と液晶
パネルの配置角、および液晶パネルのツイスト角と液晶
層厚と液晶の複屈折率により決定される。厳密には、液
晶パネル内の液晶分子の傾き角の影響を受けるが、液晶
の複屈折率を、傾き角を考慮した実効的な複屈折率とす
ることで単純化できる。従って、一対の偏光板の交差角
と液晶パネルの配置角およびツイスト角を複屈折性が現
われる状態に固定することで、出射偏光より求める分光
透過率スペクトルは液晶の複屈折率（Δｎ）と液晶層厚
（ｄ）だけに依存し、液晶パネルのΔｎｄを求めること
ができ、さらに、前もって屈折率計等により測定してお
いた、液晶のΔｎで割り算することで液晶層厚ｄを求め
ることができる。
液晶の複屈折性と、ツイスト構造にょる旋光性により複
雑な特性となり、一対の偏光板の交差角、偏光板と液晶
パネルの配置角、および液晶パネルのツイスト角と液晶
層厚と液晶の複屈折率により決定される。厳密には、液
晶パネル内の液晶分子の傾き角の影響を受けるが、液晶
の複屈折率を、傾き角を考慮した実効的な複屈折率とす
ることで単純化できる。従って、一対の偏光板の交差角
と液晶パネルの配置角およびツイスト角を複屈折性が現
われる状態に固定することで、出射偏光より求める分光
透過率スペクトルは液晶の複屈折率（Δｎ）と液晶層厚
（ｄ）だけに依存し、液晶パネルのΔｎｄを求めること
ができ、さらに、前もって屈折率計等により測定してお
いた、液晶のΔｎで割り算することで液晶層厚ｄを求め
ることができる。
この特性を計算機によりシミーレーションすることは従
来から行われており、４×４マトリクス法（Ｊ、 Ｏｐ
ｔ、 Ｓｏｃ、 Ａｍ、 ６２，５０２（１９５８）
）やジョーンズベクトルを用いた方法（Ｍｏｌ 、 Ｃ
ｒｙｓｔ、 Ｌｉｇ、 Ｃｒｙｓｔ。
来から行われており、４×４マトリクス法（Ｊ、 Ｏｐ
ｔ、 Ｓｏｃ、 Ａｍ、 ６２，５０２（１９５８）
）やジョーンズベクトルを用いた方法（Ｍｏｌ 、 Ｃ
ｒｙｓｔ、 Ｌｉｇ、 Ｃｒｙｓｔ。
Ｌｅｔｔｅｒｓ、 ４，６９（１９８７） ）が使用さ
れている。
れている。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。
〈実施例１〉
第４図は本発明の測定方法に用いる装置の構成図で、光
源４１と偏光板４２と偏光板４４及び分光器４６とから
なり、偏光板４２と偏光板４４の間に液晶パネル４６を
配置しである。レンズ４５は測定面積の調節に用いる。
源４１と偏光板４２と偏光板４４及び分光器４６とから
なり、偏光板４２と偏光板４４の間に液晶パネル４６を
配置しである。レンズ４５は測定面積の調節に用いる。
図中には示していないが、レンズ４５と分光器４６０間
にゲラスフηバーを挿入したほうが出射偏光の偏光方向
を拡散し、分光器４６の特性は安定する。光源４１は可
視域波長を発光するものであればかまわないが、本実雄
側ではハロゲンランプを使用した。偏光板４２と偏光板
４４は偏光プリズムが好ましいが、本実施例では偏光フ
ィルムを使用した。また、分光器４６の測定結果は小型
コンピューターに取り込まれるようになっている。
にゲラスフηバーを挿入したほうが出射偏光の偏光方向
を拡散し、分光器４６の特性は安定する。光源４１は可
視域波長を発光するものであればかまわないが、本実雄
側ではハロゲンランプを使用した。偏光板４２と偏光板
４４は偏光プリズムが好ましいが、本実施例では偏光フ
ィルムを使用した。また、分光器４６の測定結果は小型
コンピューターに取り込まれるようになっている。
それでは９０度ツイスト白黒液晶パネル（ＴＮ液晶パネ
ル）の測定例について説明する。まず測定したい液晶パ
ネル（測定液晶パネル）を偏光板４２と偏光板４４０間
にセットする。この時の測定液晶パネル４３０入射液晶
分子配向方向と偏光板４２の偏光軸のなす配置角は、最
も複屈折性が高くなる４５度としたがある程度複屈折性
が得られる範囲であればかまわない。また、偏光板４２
の偏光軸と偏光板４４の偏光軸交差角度である偏光板交
差角は９０度とした。この状態で３８０ｎｍから７８０
ｎｍまでｌｎｍ毎に測定した分光透過率スペクトルを第
１図（ａ）に示す。横軸は波長（λ）であり縦軸は透過
率である。次に特定波長（λｌ）の求め方について説明
する。特定波長としては、極大透過率を与える波長、極
小透過率を与える波長、あるいはその中間波長などの内
、液晶層厚が変化した時に広範囲にわたって可視域波長
に存在するものを選択することが好ましい。本実施例で
は、最も長波長側按存在する極大透過率を与える波長を
λ１としたので、第１図（ａ）より、このＴＮ液晶パネ
ルのλ１＝４９０ｎｍと求まる。
ル）の測定例について説明する。まず測定したい液晶パ
ネル（測定液晶パネル）を偏光板４２と偏光板４４０間
にセットする。この時の測定液晶パネル４３０入射液晶
分子配向方向と偏光板４２の偏光軸のなす配置角は、最
も複屈折性が高くなる４５度としたがある程度複屈折性
が得られる範囲であればかまわない。また、偏光板４２
の偏光軸と偏光板４４の偏光軸交差角度である偏光板交
差角は９０度とした。この状態で３８０ｎｍから７８０
ｎｍまでｌｎｍ毎に測定した分光透過率スペクトルを第
１図（ａ）に示す。横軸は波長（λ）であり縦軸は透過
率である。次に特定波長（λｌ）の求め方について説明
する。特定波長としては、極大透過率を与える波長、極
小透過率を与える波長、あるいはその中間波長などの内
、液晶層厚が変化した時に広範囲にわたって可視域波長
に存在するものを選択することが好ましい。本実施例で
は、最も長波長側按存在する極大透過率を与える波長を
λ１としたので、第１図（ａ）より、このＴＮ液晶パネ
ルのλ１＝４９０ｎｍと求まる。
次に、特定波長（λｌ）と、液晶パネルのΔｎｄとの相
関図の求め方を説明する。まず、液晶層厚を変化させた
基準パネルを作成する。そして、液晶を注入する前に、
基板間の隙間（ｄ）を、光の干渉を用いた装置により測
定しておく。本実施例では、ガラス厚１、ＩＭの基板を
用いて液晶注入前後の変化が無いようにし、さらに透明
電極もなく、配向層も０．０１μｍ程と極めて薄くして
、干渉方式でも測定誤差の少ないパネルとした。測定に
は、株式会社オーク製作所製の液晶セルギャップ測定装
置ＴＦＭ−１２ＯＡＦＴを用いた。
関図の求め方を説明する。まず、液晶層厚を変化させた
基準パネルを作成する。そして、液晶を注入する前に、
基板間の隙間（ｄ）を、光の干渉を用いた装置により測
定しておく。本実施例では、ガラス厚１、ＩＭの基板を
用いて液晶注入前後の変化が無いようにし、さらに透明
電極もなく、配向層も０．０１μｍ程と極めて薄くして
、干渉方式でも測定誤差の少ないパネルとした。測定に
は、株式会社オーク製作所製の液晶セルギャップ測定装
置ＴＦＭ−１２ＯＡＦＴを用いた。
次にこれらの基準パネルに、測定液晶パネルと同一の液
晶を注入して、測定液晶パネルと同一の測定方法で分光
透過率スペクトルを測定し、特定波長を求める。この特
定波長と、液晶層厚（ｄ）と液晶の複屈折率（Δｎ）と
の積であるΔｎｄをプロットした相関図を第１図（ｂｌ
に示した。○印が基準パネルから求めた点であり、実線
は前記ジョーンズベクトルを用いた方法により計算機シ
ミュレーションした結果である。このシミュレーション
結果より直線近似してもあまり誤差がないこと、また、
基準パネルを作成せずにシミュレーションだけからでも
相関図を作成できることがわかる。
晶を注入して、測定液晶パネルと同一の測定方法で分光
透過率スペクトルを測定し、特定波長を求める。この特
定波長と、液晶層厚（ｄ）と液晶の複屈折率（Δｎ）と
の積であるΔｎｄをプロットした相関図を第１図（ｂｌ
に示した。○印が基準パネルから求めた点であり、実線
は前記ジョーンズベクトルを用いた方法により計算機シ
ミュレーションした結果である。このシミュレーション
結果より直線近似してもあまり誤差がないこと、また、
基準パネルを作成せずにシミュレーションだけからでも
相関図を作成できることがわかる。
そして、第１図（ａ）で求めたλｌ＝４９０ｎｍ を第
１図（ｂ）に照合することにより、この測定液晶パネル
のΔｎｄ＝９１０ｎｍと求まり、さらに、前もって屈折
率計で測定しておいた波長５５０ｎｍの液晶のΔｎ＝０
．１５５ で割ることで、液晶層厚（ｄ）＝５．８７μ
ｍと測定できた。この測定結果は、前記干渉方式の液晶
セルギャップ測定装置を用いて、透明電極と配向膜によ
る干渉を補正して求めた値と一致した。また、Δｎｄの
測定精度は±５、Δｎの測定精度が±ｏ：ｏｏｔ 程で
あるので、液晶層厚の絶対精度は約±０．０５μｍ と
高精度が得られる。
１図（ｂ）に照合することにより、この測定液晶パネル
のΔｎｄ＝９１０ｎｍと求まり、さらに、前もって屈折
率計で測定しておいた波長５５０ｎｍの液晶のΔｎ＝０
．１５５ で割ることで、液晶層厚（ｄ）＝５．８７μ
ｍと測定できた。この測定結果は、前記干渉方式の液晶
セルギャップ測定装置を用いて、透明電極と配向膜によ
る干渉を補正して求めた値と一致した。また、Δｎｄの
測定精度は±５、Δｎの測定精度が±ｏ：ｏｏｔ 程で
あるので、液晶層厚の絶対精度は約±０．０５μｍ と
高精度が得られる。
〈実施例２〉
次に１８０度ツイストカラーＳＴＮ液晶パネルの測定例
について説明する。測定装置は実施例１と同様に第４図
に示す構成の装置を使用した。まず、測定したい液晶パ
ネルを偏光板４２と偏光板４４の間にセットする。１８
０度ツイスト５ＴＮｉ晶パネルでも、偏光板４２の偏光
軸と液晶パネル４３の入射液晶分子の配置角４５度とし
たときが最も複屈折性が高くなる。次Ｋ、偏光板４２を
取り外し、偏光板４４だけで３８０ｎｍから７８０ｎｍ
まで分光測定を行い、々の結果を参照分光透過率スペク
トル（Ｂ）とする。その次に、偏光板４２をもとに戻す
。偏光板４２と偏光板４４の偏光板交差角は９０度とし
た。そして、参照測定と同様に分光測定を行い、この結
果を測定分光透過率スペクトル（Ｓ）とする。最後に液
晶だけの分光透過率スペクトル（φ）を、スペクトルＳ
の各波長毎の透過率を、スペクトルＲの波長毎の透過率
で除算することにより求める。ここでは、偏光板４２を
取り外したが、偏光板４４でも、あるいは両方とも取り
外しても、全く同様に測定できる。
について説明する。測定装置は実施例１と同様に第４図
に示す構成の装置を使用した。まず、測定したい液晶パ
ネルを偏光板４２と偏光板４４の間にセットする。１８
０度ツイスト５ＴＮｉ晶パネルでも、偏光板４２の偏光
軸と液晶パネル４３の入射液晶分子の配置角４５度とし
たときが最も複屈折性が高くなる。次Ｋ、偏光板４２を
取り外し、偏光板４４だけで３８０ｎｍから７８０ｎｍ
まで分光測定を行い、々の結果を参照分光透過率スペク
トル（Ｂ）とする。その次に、偏光板４２をもとに戻す
。偏光板４２と偏光板４４の偏光板交差角は９０度とし
た。そして、参照測定と同様に分光測定を行い、この結
果を測定分光透過率スペクトル（Ｓ）とする。最後に液
晶だけの分光透過率スペクトル（φ）を、スペクトルＳ
の各波長毎の透過率を、スペクトルＲの波長毎の透過率
で除算することにより求める。ここでは、偏光板４２を
取り外したが、偏光板４４でも、あるいは両方とも取り
外しても、全く同様に測定できる。
第２図に、１８０度カラーＳＴＮ液晶パネルの測定例を
示す。横軸は波長（λ）で、あり、縦軸は透過率である
。２１は参照分光透過率スペクトル（Ｒ）、２２は測定
分光透過率スペクトル（Ｓ）、２６はＳ／Ｒより求めた
液晶だけの分光透過率スペクトル（φ）である。ＣＦや
透明電極が付いているので、測定分光透過率スペクトル
（Ｓ） ２２では特定波長を判別しにくいが、参照分光
透過率スペクトル（Ｒ） ２１で割ることにより、液晶
だけによる分光透過率スペクトル（φ）２３がきれいに
測定されることがわかる。そして、実施例１と同様に、
スペクトルφの特定波長を求め、特定波長と液晶ノくネ
ルのΔｎｄの相関図に参照することで、Δｎｄが求まり
、ｊｎで割ることで液晶層厚（ｄ）が測定できる。本実
施例では、最も長波長側の極小透過率を与える波長を特
定波長（λ１）とし、また相関図ハシミュレーシ１ンに
より作成した。
示す。横軸は波長（λ）で、あり、縦軸は透過率である
。２１は参照分光透過率スペクトル（Ｒ）、２２は測定
分光透過率スペクトル（Ｓ）、２６はＳ／Ｒより求めた
液晶だけの分光透過率スペクトル（φ）である。ＣＦや
透明電極が付いているので、測定分光透過率スペクトル
（Ｓ） ２２では特定波長を判別しにくいが、参照分光
透過率スペクトル（Ｒ） ２１で割ることにより、液晶
だけによる分光透過率スペクトル（φ）２３がきれいに
測定されることがわかる。そして、実施例１と同様に、
スペクトルφの特定波長を求め、特定波長と液晶ノくネ
ルのΔｎｄの相関図に参照することで、Δｎｄが求まり
、ｊｎで割ることで液晶層厚（ｄ）が測定できる。本実
施例では、最も長波長側の極小透過率を与える波長を特
定波長（λ１）とし、また相関図ハシミュレーシ１ンに
より作成した。
第３図は、液晶層′厚がわずかずつ異なる１８０度ツイ
ストカラーＳＴＮ液晶パネルの測定例であり、３１．３
２．３６はそれぞれ液晶層厚の測定結果が４．９７μｍ
、５．４２μｍ、５．８４μｍの液晶だけの分光透過率
スペクトル（φ）である。この液晶パネルは、１８０度
ツイストであり、さらにＣＦが内在しており、なおかつ
透明電極の厚さも０．２から０、３μｍもあるために、
通常の光の干渉を利用した液晶層厚測定方法では、全く
測定できなかった液晶パネルであるが、本発明による方
法を用いたことにより、高精度で液晶層厚を測定するこ
とができた。
ストカラーＳＴＮ液晶パネルの測定例であり、３１．３
２．３６はそれぞれ液晶層厚の測定結果が４．９７μｍ
、５．４２μｍ、５．８４μｍの液晶だけの分光透過率
スペクトル（φ）である。この液晶パネルは、１８０度
ツイストであり、さらにＣＦが内在しており、なおかつ
透明電極の厚さも０．２から０、３μｍもあるために、
通常の光の干渉を利用した液晶層厚測定方法では、全く
測定できなかった液晶パネルであるが、本発明による方
法を用いたことにより、高精度で液晶層厚を測定するこ
とができた。
本実施例では、特定波長として１つしか用いなかったが
、いくつかある特定値をすべて特定波長としてΔｎｄを
求め、それらの平均値を出すことにより、さらに高精度
の測定が可能である。
、いくつかある特定値をすべて特定波長としてΔｎｄを
求め、それらの平均値を出すことにより、さらに高精度
の測定が可能である。
また、使用する分光器は回折格子を回転させるタイプで
も瞬間測光タイプでもかまわないが、本実施例では瞬間
測光タイプを使用したので、前記の測定に必要な全時間
は、２〜３秒程であった。
も瞬間測光タイプでもかまわないが、本実施例では瞬間
測光タイプを使用したので、前記の測定に必要な全時間
は、２〜３秒程であった。
実施例１で測定した白黒液晶パネルも、実施例２と同様
な測定を行った方が、透明電極の干渉色等の除去ができ
るので、より好ましい。
な測定を行った方が、透明電極の干渉色等の除去ができ
るので、より好ましい。
さらに、相関図として、特定波長とΔｎｄの関係を用い
たが、はじめから、特定波長と液晶層厚（ｄ）の関係に
しておいても同様な測定が可能なことは、明らかである
。
たが、はじめから、特定波長と液晶層厚（ｄ）の関係に
しておいても同様な測定が可能なことは、明らかである
。
計算機シミエレーシ薗ンにより、相関図を作成する場合
は、ｊｎの各波長による値が必要となり、使用する液晶
により異なるが、波長による変化率はｊｎの絶対値にあ
る程度比例し、ｊｎの大きな液晶（ｊｎ ＞ ０．２
）は変化率が大きく、ｊｎの小さな液晶（ｊｎ＜０．１
）は変化率が小さいことが、実験より求められているの
で、測定精度は多少低下するが、各波長のｊｎを計算機
に入力しなくても推定により、作成できる。
は、ｊｎの各波長による値が必要となり、使用する液晶
により異なるが、波長による変化率はｊｎの絶対値にあ
る程度比例し、ｊｎの大きな液晶（ｊｎ ＞ ０．２
）は変化率が大きく、ｊｎの小さな液晶（ｊｎ＜０．１
）は変化率が小さいことが、実験より求められているの
で、測定精度は多少低下するが、各波長のｊｎを計算機
に入力しなくても推定により、作成できる。
本発明による液晶層厚測定方法は、光の干渉効果でなく
、液晶による複屈折性と旋光性を利用しているので、ツ
イスト構造を持つ液晶パネルや透明電極等が付いている
液晶パネルでも正確に液晶層厚が測定でき、さらに測定
方法を工夫したことにより、ＣＦ等が付いている液晶パ
ネルでも正確な液晶層厚を測定できる。
、液晶による複屈折性と旋光性を利用しているので、ツ
イスト構造を持つ液晶パネルや透明電極等が付いている
液晶パネルでも正確に液晶層厚が測定でき、さらに測定
方法を工夫したことにより、ＣＦ等が付いている液晶パ
ネルでも正確な液晶層厚を測定できる。
第１図は本発明による測定方法の原理を示したもので、
（ａ）は分光透過率スペクトル図、（ｂ）は特定波長（
λｌ）とΔｎｄの相関図であり、第２図は測定方法を説
明する分光透過率スペクトル図、第３図は１８０度ツイ
ストカラーＳＴＮ液晶パネルの測定結果線図、第４図は
本発明に用いる測定装置の一実施例を示す構成図である
。 ２１・・・・・・参照分光透過率スペクトル（Ｒ）、２
２・・・・・・測定分光透過率スペクトル（Ｓ）、２３
・・・・・・液晶だけの分光透過率スペクトル（φ）、
！Ｉｔ、３２．３３・・・・・・ＳＴＮカラー液晶パネ
ルの液晶だけの分光透過率スペクトル、 ４１・・・・・・光源、 ４２．４４・・・・・・偏光
板、４６・・・・・・測定する液晶パネル、４５・・・
・・・レンズ、 ４６・・・・・・分光器。 第１図 （ａ） 多皮長（入） （ｂ） ｂｕυ ｂυ０ Δｎｄ 第３図 第２ＦｇＪ ｉ肴（入）
（ａ）は分光透過率スペクトル図、（ｂ）は特定波長（
λｌ）とΔｎｄの相関図であり、第２図は測定方法を説
明する分光透過率スペクトル図、第３図は１８０度ツイ
ストカラーＳＴＮ液晶パネルの測定結果線図、第４図は
本発明に用いる測定装置の一実施例を示す構成図である
。 ２１・・・・・・参照分光透過率スペクトル（Ｒ）、２
２・・・・・・測定分光透過率スペクトル（Ｓ）、２３
・・・・・・液晶だけの分光透過率スペクトル（φ）、
！Ｉｔ、３２．３３・・・・・・ＳＴＮカラー液晶パネ
ルの液晶だけの分光透過率スペクトル、 ４１・・・・・・光源、 ４２．４４・・・・・・偏光
板、４６・・・・・・測定する液晶パネル、４５・・・
・・・レンズ、 ４６・・・・・・分光器。 第１図 （ａ） 多皮長（入） （ｂ） ｂｕυ ｂυ０ Δｎｄ 第３図 第２ＦｇＪ ｉ肴（入）
Claims (2)
- （１）２枚のガラス基板に液晶を挟持してなる液晶パネ
ルを、一対の偏光板の間に複屈折性が現われる状態で配
置して分光透過率スペクトルを測定し、得られた前記ス
ペクトルの特定値に対応する特定波長を、あらかじめ作
成した波長と液晶の複屈折率（Δｎ）と液晶層厚（ｄ）
との積であるΔｎｄとの相関図に照合してΔｎｄを求め
、前記複屈折率（Δｎ）の実測値から前記液晶層厚（ｄ
）を算出することを特徴とする液晶層厚の測定方法。 - （２）２枚のガラス基板に液晶を挟持してなる液晶パネ
ルを一対の偏光板の間に複屈折性が現われる状態で配置
して、測定した分光透過率スペクトルをＳとし、どちら
か一方または両方の偏光板を取り除いた状態で測定した
分光透過率スペクトルをＲとするとき、前記スペクトル
Ｓを各波長毎に前記スペクトルＲで除した分光透過率ス
ペクトルの特定値に対応する特定波長を、あらかじめ作
成した波長と液晶の複屈折率（Δｎ）と液晶層厚（ｄ）
との積であるΔｎｄとの相関図に照合してΔｎｄを求め
、前記複屈折率（Δｎ）の実測値から前記液晶層厚（ｄ
）を算出することを特徴とする液晶層厚の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7331589A JP2898298B2 (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | 液晶層厚測定装置およびこの液晶層厚測定装置を用いた液晶層厚の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7331589A JP2898298B2 (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | 液晶層厚測定装置およびこの液晶層厚測定装置を用いた液晶層厚の測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02251710A true JPH02251710A (ja) | 1990-10-09 |
| JP2898298B2 JP2898298B2 (ja) | 1999-05-31 |
Family
ID=13514618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7331589A Expired - Fee Related JP2898298B2 (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 | 液晶層厚測定装置およびこの液晶層厚測定装置を用いた液晶層厚の測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2898298B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002065053A1 (fr) * | 2001-02-09 | 2002-08-22 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Procede de mesure de l'espace entre plaques dans une cellule de cristaux liquides |
| KR100408961B1 (ko) * | 2000-09-01 | 2003-12-06 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 셀 두께 검출방법, 셀 두께 제어 시스템 및 액정 장치의제조방법 |
| JP2012112760A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Yokogawa Electric Corp | 膜厚測定方法および装置 |
| JP2014052317A (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-20 | Oji Holdings Corp | 一軸配向をもつ物品の複屈折測定方法及び装置 |
| CN107121077A (zh) * | 2017-04-19 | 2017-09-01 | 张家港市欧微自动化研发有限公司 | 一种基于光谱干涉装置的测量系统 |
-
1989
- 1989-03-24 JP JP7331589A patent/JP2898298B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100408961B1 (ko) * | 2000-09-01 | 2003-12-06 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 셀 두께 검출방법, 셀 두께 제어 시스템 및 액정 장치의제조방법 |
| WO2002065053A1 (fr) * | 2001-02-09 | 2002-08-22 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Procede de mesure de l'espace entre plaques dans une cellule de cristaux liquides |
| KR100714330B1 (ko) * | 2001-02-09 | 2007-05-04 | 오츠카 일렉트로닉스 가부시키가이샤 | 액정 셀의 갭 측정 방법 |
| US7230713B2 (en) | 2001-02-09 | 2007-06-12 | Otsuka Electronics Co., Ltd. | Method for measuring gap of liquid crystal cell |
| JP2012112760A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Yokogawa Electric Corp | 膜厚測定方法および装置 |
| JP2014052317A (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-20 | Oji Holdings Corp | 一軸配向をもつ物品の複屈折測定方法及び装置 |
| CN107121077A (zh) * | 2017-04-19 | 2017-09-01 | 张家港市欧微自动化研发有限公司 | 一种基于光谱干涉装置的测量系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2898298B2 (ja) | 1999-05-31 |
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|---|---|---|---|
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