JPH02245263A - ロール状原反の熱処理方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はロール状原反の熱処理方法およびその装置に
関し、さらに詳しくはロール状原反を均一かつ高品質に
熱処理する方法とその処理装置に関する。

〔従来の技術〕

近年、可撓性支持体上に塗布法、スパッタリング法、蒸
着法等を用いて種々の薄膜を形成することが行われてお
り、多方面にわたって広く利用されている。このように
して形成される薄膜は、薄手では１μｍ以下のものから
、厚手では数百μｍのものまで様々であるが、これらの
薄膜の形成品はほとんどロール状であって、形成後すぐ
に製品となることは少なく、はとんどの場合、形成した
薄膜の性状安定化のためエージングが施されている。そ
して、このエージングは、通常ドライヤー等の恒温恒湿
下で行われ、ロール状の原反では、生産効率向上のため
、ロール状のままエージングが行われている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、ロール状のままエージングを行うと、ロール
状原反の巻回、巻外にエージング速度の差による物性の
不均一が生じたり、あるいは巻き取り張力の大小による
巻きしわや、ブロッキングが起こり易く、ロール状原反
の均一かつ高品質な熱処理が行えないという難点がある
。

〔課題を解決するための手段〕

この発明はかかる現状に鑑み種々検討を行った結果なさ
れたもので、恒温恒湿に保持可能な熱処理炉内に、ロー
ル状原反の巻き出し機構と巻き取り機構を配設し、巻き
出し機構と巻き取り機構との間に、これらの間を移動す
る原反の張力、速度および位置を制御する張力制御機構
、速度制御機構、位置制御機構を配設したロール状原反
の熱処理装置を用いて、熱処理炉内部を所定の恒温恒湿
に保持した後、熱処理炉内に配設した巻き出し機構から
ロール状原反を巻き出し、熱処理炉内に配設した張力制
御機構、速度制御機構および位置制御機構により、所定
の張力および速度で位置制御しながら原反を移動しつつ
熱処理を行い、熱処理炉内に配設した巻き取り機構で熱
処理後の原反を巻き取ることによって、ロール状原反の
均一かつ高品質な熱処理が行えるようにしたものである
。

〔実施例〕

以下、この発明の熱処理装置の一実施例を示す図面に基
づいて説明する。

第１図はこの発明の熱処理装置の一実施例を示す構成図
であり、１は熱処理炉であって、内部両側に巻き出し芯
２および巻き取り芯３が配設されている。４は巻き出し
芯２に取りつけられたロール状原反で、巻き出し芯２か
ら巻き出され、ガイドロール５を介して張力制御センサ
６に取りつけられたテンションロール７に巻回され、さ
らにガイドロール８を介し、一対の位置制御センサ９間
ヲ通って、ガイドロール１０にニップロールＩＩで挟持
される。そして、再び一対の位置制御センサ１２間を通
り、ガイドロール１３を介して張力制御センサ１４に取
りつけられたテンションロール１５に巻回された後、ガ
イドロール１６を介して巻き取り芯３に巻き取られる。

しかして、巻き出し芯２に取りつけられたロール状原反
４は、所定の速度により送り出され、張力制御センサ６
および１４に取りつけられたテンションロール７および
１５と、ニップロールＩＩで巻き出し、巻き取りの張力
が制御され、位置制御センサ９および１２で位置制御さ
れて、巻取芯３に巻き取られるため、走行中に巻きずれ
を起こすこともなく、巻きしわやブロッキングも生じな
い、そして、この走行中に所定の恒温恒湿に保持された
熱処理炉ｌ内で熱処理されるため、原反４が均一に熱処
理され、歩留まりが高くて高品質の原反が得られる。

１７はタッチロールで、巻き出し芯２がら巻き出される
ロール状原反４の巻き出し部に接するように巻き出し芯
２の下部に配設されている。また１８はタフチロール１
７に近接して配設されたタフチロール角度センサ１８で
、ロール状原反４の巻き出しによって変化するタッチロ
ール１７のロール状原反４への接触角度は、このタッチ
ロール角度センサ１８で常に感知されている。同様にタ
ッチロール１７ａ、１７ｂ、１７ｃが、巻き出し芯２の
上部および巻き取り芯３の上下部に配設され、これらの
タフチロールロール１７ａ、１７ｂ１７ｃに近接して、
それぞれのロール状原反４への接触角度を感知するタッ
チロール角度センサ１８ａ、１８ｂ、１８ｃが配設され
ている。しかして、タッチロール角度センサ１８でタッ
チロール１７のロール状原反４への接触角度が感知され
、巻き出し芯２からの巻き出しの終了が検知されると、
巻き出し芯２の巻き出し操作と、巻き取り芯３の巻き取
り操作が自動的に切り換えられ、タッチロール１７とタ
ッチロール角度センサ１８の作動が、タッチロール１７
ｂとタッチロール角度、センサ１８ｂの作動に切り換え
られる。また、巻き出し方向および巻き取り方向を切り
換えるときは、タッチロール１７とタッチロール角度セ
ンサ１８の作動が、タッチロール１７ａとクツチロール
角度センサ１８ａの作動、あるいはタッチロール１７ｃ
とタッチロール角度センサ１８ｃの作動に切り換えられ
る。

従って、これらのタッチロール１７．１７ａ。

１７　ｂ、　　１７　ｃと、タッチロール角度センサ１
８１８ａ、１８ｂ、１８ｃの切り換え作動によって、巻
き出し芯２および巻き取り芯３の巻き出し、巻き取り機
能の交換ができ、また巻き出し、巻き取り方向の切り換
えもできるため、巻き出し芯２および巻き取り芯３は、
いずれを巻き出しあるいは巻き取りに供してもよく、ロ
ール状原反４はこの巻き出し芯２あるいは巻き取り芯３
の何れかに取付け、何れかに巻き取ってもよい。

熱処理炉１は、天井に高性能フィルタ１９を取りつけて
給気部とし、床面をグレーチング２０にして排気部とし
た全面ダウンフロータイブのクリーンルームにしてあり
、排気はグレーチング２０に連通連結した排出排気ダク
ト２１および循環排気ダクト２２を介して行われ、排出
排気ダクト２１に排出された排気は、排出排気ダンパ２
３および排出排気ファン３５を介して外気中に放出され
る。また循環排気ダクト２２に排出された排気は、循環
排気ダンパ２４を介してファン２５に送気され、このと
きの排出排気ダンパ２３および循環排気ダンパ２４の開
度調整によって、熱処理炉１内の熱効率が調整される。

また、排気の一部が循環排気ダンパ２４を介して送気さ
れるファン２５は、外気ダクト２６とプレフィルタ２７
および外気ダンパ２８を介して連通連結され、外気ダク
ト２６からプレフィルタ２７および外気ダンパ２８を介
して外気が取り入れられる。しかして、循環排気ダクト
２２を介してファン２５に送気される排気の不足分は、
外気ダクト２６からプレフィルタ２７および外気ダンパ
２８を介して取り入れられる外気によって補われ、この
外気と循環排気ダクト２２を介して送気された排気の一
部がファン２５で混合される。そして、混合された混合
気は、ファン２５に連通連結した連通ダクト２９および
混合気ダンパ３０を介して温調機３１に送気され、温調
機３１で温度および温度が調整された後、さらに温調機
３１．に連通連結された給気ダクト３２および給気ダン
パ３３を介して中性能フィルタ３４に送気される。この
中性能フィルタ３４は、熱処理炉ｌの天井に取りつけら
れた高性能フィルタ１９に連通連結され、これら中性能
フィルタ３４および高性能フィルタ１９を介して、清浄
な空気が熱処理炉１内に給気される。

このように、熱処理炉１は、全面ダウンフロータイブの
クリーンルームにしているため、常に清浄に保たれ、所
定の温度および湿度で良好に保持される。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の熱処理方法および処理装
置では、熱処理炉内部を所定の恒温恒湿に保持した後、
熱処理炉内に配設した巻き出し機構からロール状原反を
巻き出し、熱処理炉内に配設した張力制御機構、速度制
御機構および位置制御機構により、所定の張力および速
度で位置制御しながら原反を移動しつつ熱処理を行い、
熱処理炉内に配設した巻き取り機構で熱処理後の原反を
巻き取るようにしているため、ロール状のままエージン
グを行う従来の熱処理方法のように、エージングの速度
差による物性の不均一が生じたり、あるいは巻き取り張
力の大小による巻きしわや、ブロッキングが生じること
もない、従って、本発明の熱処理方法および処理装置に
よれば、ロール状原反の均一かつ高品質な熱処理が行え
、歩留まりが高くなる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のロール状原反熱処理装置の一実施例
を示す構成図である。 １・・・熱処理炉、２・・・巻き出し芯、３・・・巻き
取り芯、４・・・ロール状原反、５，８，１０，１３．
１６・・・ガイドロール、６，１４・・・張力制御セン
サ、７．１５・・・テンションロール、９．１２・・・
位置制・御センサ、１１・・・ニップロール 特許出願人　　日立マクセル株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、熱処理炉内部を所定の恒温恒湿に保持した後、熱処
   理炉内に配設した巻き出し機構からロール状原反を巻き
   出し、熱処理炉内に配設した張力制御機構、速度制御機
   構および位置制御機構により、所定の張力および速度で
   位置制御しながら原反を移動しつつ熱処理を行い、熱処
   理炉内に配設した巻き取り機構で熱処理後の原反を巻き
   取ることを特徴とするロール状原反の熱処理方法 ２、恒温恒湿に保持可能な熱処理炉内に、ロール状原反
   の巻き出し機構と巻き取り機構を配設し、巻き出し機構
   と巻き取り機構との間に、これらの間を移動する原反の
   張力、速度および位置を制御する張力制御機構、速度制
   御機構、位置制御機構を配設したことを特徴とするロー
   ル状原反の熱処理装置