JPH02227252A - Film for forming green sheet and manufacture of the green sheet - Google Patents
Film for forming green sheet and manufacture of the green sheetInfo
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
グリーンシートの成形用フィルム、および該フィルムを
用いたグリーンシートの製造方法に関し、成形後のグリ
ーンシートが容易に剥離でき、グリーンシートの成形時
の加熱、および引張の工程に於いて変形し難いグリーン
シートの成形用フィルム、およびそのフィルムを用いた
グリーンシートの製造方法を目的とし、
スラリー状のグリーンシート形成用材料をシート状のグ
リーンシートに成形するフィルムであって、
前記スラリー状のグリーンシート形成用材料を載置する
第１のフィルムと、該第１のフィルムに接着層を介して
接着され、前記第１のフィルムより厚さの寸法が大きい
第２のフィルムから構成する。[Detailed Description of the Invention] [Summary] Regarding a film for forming a green sheet and a method for producing a green sheet using the film, the green sheet after forming can be easily peeled off, and heating during forming the green sheet, and a film for forming a green sheet that is difficult to deform during the stretching process, and a method for manufacturing a green sheet using the film, and a film for forming a slurry green sheet forming material into a sheet-like green sheet. A first film on which the slurry-like green sheet forming material is placed, and a first film that is adhered to the first film via an adhesive layer and has a thickness larger than that of the first film. It consists of two films.
更に上記フィルムの第１フィルム側表面にスラリー状の
グリーンシート形成材料を所定の厚みで連続的に成層し
た状態で乾燥炉中に導入し、グリーンシートの乾燥工程
を終了した後、第２フィルムを剥離して薄い第１フィル
ム上に支持されたグリーンシートを得ることで構成する
。Furthermore, a green sheet forming material in the form of a slurry is continuously layered on the surface of the first film side of the film and introduced into a drying oven in a state where it is continuously layered to a predetermined thickness, and after completing the drying process of the green sheet, a second film is added. The green sheet is peeled off to obtain a green sheet supported on a thin first film.
本発明はグリーンシートの成形用フィルム、および該フ
ィルムを用いたグリーンシートの製造方法に関する。The present invention relates to a film for forming a green sheet, and a method for manufacturing a green sheet using the film.
セラミックと溶融せるガラスとを主成分としたグリーン
シートにスルーホールを設け、該スルーホール内および
グリーンシート上に導体層を形成したプリント基板形成
部材を多層構造に積層後、焼成して形成する多層セラミ
ック基板は、その熱伝導率が半導体素子に略一致し、タ
ブや素子のチップを直接搭載できることにより、より高
密度実装が可能となり、大型電子計算機の電子回路を形
成するプリント基板に用いられている。A multilayer product formed by laminating a printed circuit board forming member in which a through hole is provided in a green sheet whose main components are ceramic and meltable glass, and a conductor layer is formed inside the through hole and on the green sheet, and then firing. Ceramic substrates have a thermal conductivity that roughly matches that of semiconductor devices, and tabs and device chips can be directly mounted on them, allowing for higher-density mounting, and are used in printed circuit boards that form the electronic circuits of large computers. There is.
このような多層セラミックプリント基板を製造する場合
、第４図に示すようにアルミナと硼珪酸ガラス粉末等を
アセトン等の有機溶剤で混練してスラリー状とした後、
このスラリー状のグリーンシート形成材料１をスラリー
ダム２に供給し、ブレード３で一定の厚さにする。そし
てこの一定の厚さに形成されたグリーンシート形成材料
１を、供給用ローラ５Ａから供給され、第３図に示すポ
リエステルより成るグリーンシート成形用フィルム４の
上に載置する。When manufacturing such a multilayer ceramic printed circuit board, as shown in Fig. 4, after kneading alumina and borosilicate glass powder with an organic solvent such as acetone to form a slurry,
This green sheet forming material 1 in slurry form is supplied to a slurry dam 2 and made into a constant thickness by a blade 3. Then, the green sheet forming material 1 formed to a constant thickness is supplied from a supply roller 5A and placed on a green sheet forming film 4 made of polyester shown in FIG. 3.
そしてこのグリーンシート形成材料１を載置したグリー
ンシート成形用フィルム４を回転ローラ５Ｂ、５Ｃを用
いて乾燥炉６内部を通過させ、上記スラリー状のグリー
ンシート形成材料を乾燥させてシート状にした後、更に
回転ローラ５Ｄを用いて移動させ、グリーンシート成形
用フィルムと一体化された乾燥されたシート状のグリー
ンシートを得ている。Then, the green sheet forming film 4 on which the green sheet forming material 1 was placed was passed through a drying oven 6 using rotary rollers 5B and 5C to dry the green sheet forming material in the form of a sheet. Thereafter, the green sheet is further moved using a rotating roller 5D to obtain a dried sheet-like green sheet that is integrated with a green sheet forming film.
ところで、上記したスラリー状のグリーンシート形成用
材料１を載置したフィルム４を乾燥炉６内を通過させる
時、このフィルムが乾燥炉内で加熱されるとともに、こ
のフィルムに回転ローラの張力が掛かるようになり、こ
の加熱温度および張力に耐えるようにするために、フィ
ルムの厚さは通常１００μ閘以上必要としている。By the way, when the film 4 carrying the above-mentioned slurry-like green sheet forming material 1 is passed through the drying oven 6, the film is heated in the drying oven and the tension of the rotating roller is applied to the film. In order to withstand this heating temperature and tension, the film usually needs to have a thickness of 100 μm or more.
然し、高密度に電子部品を搭載する多層セラミック基板
を形成する場合には、グリーンシートの厚さは、益々薄
く形成することが要求されるように成っており、このよ
うな厚さの薄いグリーンシートを成形する場合には、成
形用フィルムの厚さも、その上に載置されるグリーンシ
ート形成材料の厚さ以下にしないと、成形されたグリー
ンシートを、フィルムより剥離する際にフィルムの応力
がグリーンシートに掛かってグリーンシートに歪やクラ
ックが発生し、極端な場合はグリーンシートが破れると
いう問題がある。However, when forming a multilayer ceramic substrate on which electronic components are mounted at high density, the thickness of the green sheet is required to be made thinner and thinner. When forming a sheet, the thickness of the forming film must be less than or equal to the thickness of the green sheet-forming material placed on it, otherwise stress on the film will be reduced when the formed green sheet is peeled off from the film. This causes problems such as distortion and cracking of the green sheet, and in extreme cases, the green sheet may be torn.
本発明は上記した問題点を解決し、乾燥炉内を通過する
際の耐熱性が有り、かつ成形されたグリーンシートにク
ラックを発生しない状態で容易に剥離できるようにした
グリーンシート成形用フィルムの提供を目的とする。The present invention solves the above-mentioned problems and provides a green sheet forming film that is heat resistant when passing through a drying oven and that can be easily peeled off without causing cracks in the formed green sheet. For the purpose of providing.
更に前記成形用フィルムを用いたグリーンシートの製造
方法の提供を目的とする。A further object of the present invention is to provide a method for manufacturing a green sheet using the above-mentioned forming film.
（課題を解決するための手段）
上記目的を達成する本発明のグリーンシートの成形用フ
ィルムは、第１図に示すようにスラリー状のグリーンシ
ート形成用材料を載置する第１のフィルム１１と、該第
１のフィルムに接着層１２を介して接着され、前記第１
のフィルムより厚さの寸法が大きい第２のフィルム１３
から構成する。(Means for Solving the Problems) The film for forming a green sheet of the present invention that achieves the above object has a first film 11 on which a slurry-like material for forming a green sheet is placed, as shown in FIG. , adhered to the first film via an adhesive layer 12, and the first film
A second film 13 having a thickness dimension larger than that of the film
Consists of.
更に上記フィルムを用いたグリーンシートの製造方法は
第２図に示すように、上記フィルムの第１フィルム１１
側の表面にスラリー状のグリーンシート形成材料ｌを所
定の厚みで連続的に成層した状態で乾燥炉６中に導入し
、グリーンシートの乾燥工程を終了した後、第２フィル
ム１３を剥離して薄い第１フィルム１１上に支持された
グリーンシートを得ることである。Furthermore, the method for manufacturing a green sheet using the above film is as shown in FIG.
A slurry-like green sheet forming material l is continuously layered on the side surface to a predetermined thickness and introduced into the drying oven 6, and after completing the drying process of the green sheet, the second film 13 is peeled off. The objective is to obtain a green sheet supported on a thin first film 11.
本発明のグリーンシート成形用フィルムは、第１図に示
すように、厚さが３８μ−程度の薄い第１のフィルム１
１と、該第１のフィルムに接着層１２を介して接着され
、厚さが約１００μ−の分厚い第２のフィルム１３で構
成された３層構造のフィルムである。As shown in FIG. 1, the green sheet forming film of the present invention consists of a thin first film 1 having a thickness of approximately 38 μm.
The film has a three-layer structure, consisting of a thick second film 13 having a thickness of about 100 microns and bonded to the first film through an adhesive layer 12.
この３層構造のフィルムは全体の厚さが厚いために、乾
燥炉内を通過しても、乾燥炉内の加熱温度で変形するこ
とは無く、また３層構造のフィルムの第１の薄いフィル
ムｌｌ上にスラリー状のグリーンシート形成用材料を載
置して乾燥炉を通過させた後、接着層１２と第２の分厚
いフィルム１３を剥離することで、第１の薄いフィルム
１１とその上に乾燥成形されたグリーンシートを取り出
すことができる。This three-layer structure film has a large overall thickness, so even if it passes through the drying oven, it will not be deformed by the heating temperature in the drying oven, and the first thin film of the three-layer structure film After placing the green sheet forming material in the form of a slurry on the ll and passing it through a drying oven, the adhesive layer 12 and the second thick film 13 are peeled off. The dry-formed green sheet can be taken out.
そしてこの第１の薄いフィルム１１と、その上に設置さ
れている乾燥成形されたグリーンシートを剥離する場合
には、第１のフィルム１１の厚さが薄いので剥離するグ
リーンシートに掛かる応力が小さく、グリーンシートに
クランクを発生させない状態で容易に第１のフィルムと
剥離できる。When this first thin film 11 and the dry-formed green sheet placed thereon are peeled off, since the first film 11 is thin, the stress applied to the green sheet to be peeled off is small. The green sheet can be easily peeled off from the first film without causing any cranking.
このようにして乾燥炉をグリーンシート成形用フィルム
が通過する迄は、薄い第１フィルムと厚い第２フィルム
でグリーンシート形成材料が支持されるようにして乾燥
炉の熱によって成形用フィルムが変形するのを防ぎ、乾
燥炉を通過した後は厚い第２フィルムを接着層１２より
剥がして、薄い第１フィルムにグリーンシートが保持さ
れるようにし、グリーンシートが破損することなく成形
用フィルムより容易に剥離できるようになる。In this way, until the green sheet forming film passes through the drying oven, the green sheet forming material is supported by the thin first film and the thick second film, and the forming film is deformed by the heat of the drying oven. After passing through the drying oven, the thick second film is peeled off from the adhesive layer 12 so that the green sheet is held by the thin first film, so that the green sheet is not damaged and is easier than the forming film. It becomes possible to peel it off.
以下、図面を用いながら本発明の一実施例につき詳細に
説明する。Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
第１図は本発明のグリーンシートの成形用フィルムの断
面図である。FIG. 1 is a sectional view of a film for forming a green sheet of the present invention.
図示するように本発明のグリーンシートの成形用フィル
ムは、ポリエステルより成り、厚さが３８μｍの薄い第
１のフィルム１１と、該第１のフィルム１１に接着層１
２を介して接着され、ポリエステルよりなり厚さが１０
０μ−の第２のフィルム１３とで構成された３層構造の
フィルムである。As shown in the figure, the green sheet forming film of the present invention is made of polyester and includes a thin first film 11 with a thickness of 38 μm, and an adhesive layer 1 on the first film 11.
2, made of polyester and has a thickness of 10
The film has a three-layer structure including a second film 13 having a thickness of 0 μ-.
上記接着層１２はアクリル製の有機樹脂材料で形成され
ている。The adhesive layer 12 is made of an acrylic organic resin material.
このような本発明のグリーンシート成形用フィルムを用
いてスラリー状のグリーンシート形成材料をグリーンシ
ートに形成する方法に付いて述べると、第２図で示すよ
うにスラリーダム２に供給されたスラリー状のグリーン
シート形成材料１を供給ローラ５Ａから供給された３層
構造フィルムの厚さの薄い第１のフィルムｌｌ上に前記
したブレード３を用いて所定の厚さに塗布する。Regarding the method of forming a green sheet forming material in the form of a slurry into a green sheet using the green sheet forming film of the present invention, as shown in FIG. The green sheet forming material 1 is applied to a predetermined thickness using the blade 3 described above onto the thin first film 11 of the three-layer structure film supplied from the supply roller 5A.
次いで回転ローラ５Ｂ、５Ｃを用いて５０°Ｃ程度の温
度に加熱された乾燥炉６の内部を通過させる。するとこ
の３層構造の成形用フィルムは、厚さが厚いのでこの乾
燥炉の温度に充分耐えるので変形しない。Next, using rotating rollers 5B and 5C, the material is passed through a drying oven 6 heated to a temperature of about 50.degree. This three-layered forming film is thick enough to withstand the temperature of the drying oven, and therefore does not deform.
次いで乾燥したグリーンシートを載置した３層構造のフ
ィルムを回転ローラ５Ｄ、５Ｅを用いて、グリーンシー
ト形成材料１が！！置された第１のフィルム１１と、接
着層１２に接着された厚さの厚い第２のフィルム１３と
に分離する。Next, the three-layer film on which the dried green sheet is placed is rolled using rotating rollers 5D and 5E to form the green sheet forming material 1! ! The first film 11 is separated into the thick second film 13 adhered to the adhesive layer 12.
コノ際、第１フィルム１１の裏面にシリコンコーティン
グを施しておくと、第２のフィルムとの分離作業が更に
容易となる。If a silicone coating is applied to the back surface of the first film 11 at the time of completion, separation from the second film becomes easier.
この第１フィルム１１の厚さは、その上に載置されたグ
リーンシート形成材料の厚さより薄いために、後の工程
で回転ローラを用いてフィルム１１とグリーンシートを
剥離する際に、第１のフィルム１１の応力がグリーンシ
ートに掛かることが無くなるので、グリーンシートにク
ラックが発生することなく第１のフィルム１１より容易
に剥離される。The thickness of the first film 11 is thinner than the thickness of the green sheet forming material placed thereon, so when the film 11 and the green sheet are separated using a rotating roller in a later step, the first film 11 is thinner than the green sheet forming material placed thereon. Since the stress of the first film 11 is no longer applied to the green sheet, the green sheet can be peeled off more easily than the first film 11 without cracking.
以上の説明から明らかなように本発明によれば、乾燥炉
内の加熱温度で変形せず、かつ成形されたグリーンシー
トがフィルムよりクランクを生じない状態で剥離される
ので、高品質なグリーンシートが得られる効果がある。As is clear from the above description, according to the present invention, the formed green sheet is not deformed by the heating temperature in the drying oven and is peeled off from the film without causing cranking, so that a high quality green sheet can be obtained. There is an effect that can be obtained.
第１図は本発明のグリーンシート成形用フィルムの断面
図、
第２図は本発明のフィルムを用いてグリーンシートを成
形する方法の説明図、
第３図は従来のグリーンシート成形用フィルムの断面図
、
第４図は従来のフィルムを用いてグリーンシートを成形
する方法の説明図である。
図において、
ｌはグリーンシート形成用材料、２はスラリーダム、３
はブレード、５Ａは供給用ローラ、５Ｂ、５Ｃ，５Ｄ。
５Ｅは回転ローラ、６は乾燥炉、１１は第１のフィルム
、１２は接着層、１３は第２のフィルムを示す。
７ト褐ｅ片ｎフ゛ソーンシート２乏゛ｆｒ４）閂フイＩ
Ｌム哨φ中面ｊフ第 １ 図
、Ｈ−月めへＭ５吊フィル乙げ％＋７７ツー５シートを
銭゛ガンｈ方３ｋＱｔｉ島グＢグ第２図Figure 1 is a cross-sectional view of the film for forming a green sheet of the present invention. Figure 2 is an explanatory diagram of a method for forming a green sheet using the film of the present invention. Figure 3 is a cross-sectional view of a conventional film for forming a green sheet. FIG. 4 is an explanatory diagram of a method of forming a green sheet using a conventional film. In the figure, l is the green sheet forming material, 2 is the slurry dam, and 3 is the green sheet forming material.
is a blade, 5A is a supply roller, 5B, 5C, 5D. 5E is a rotating roller, 6 is a drying oven, 11 is a first film, 12 is an adhesive layer, and 13 is a second film. 7 piece brown e-piece n fir saw sheet 2 fr4) bar ferro I
Figure 1: Transfer the M5 hanging filter % + 77 to 5 sheets to the H-month. Figure 2.
Claims (2)
グリーンシートに成形するフィルムであって、前記スラ
リー状のグリーンシート形成用材料（１）を載置する第
１のフィルム（１１）と、該第１のフィルムに接着層（
１２）を介して接着され、前記第１のフィルムより厚さ
の寸法が大きい第２のフィルム（１３）から成ることを
特徴とするグリーンシートの成形用フィルム。(1) A first film (11) on which the slurry-like green sheet-forming material (1) is placed, the film forming the slurry-like green sheet-forming material (1) into a green sheet; An adhesive layer (
12) A film for forming a green sheet, characterized in that the second film (13) is bonded via a second film (13) and has a thickness larger than that of the first film.
のグリーンシート形成材料（１）を所定の厚みで連続的
に成層した状態で乾燥炉（６）中に導入し、グリーンシ
ートの乾燥工程を終了した後、第２フィルムを剥離して
薄い第１フィルム上に支持されたグリーンシートを得る
ことを特徴とする請求項１記載のフィルムを用いたグリ
ーンシートの製造方法。(2) The green sheet forming material (1) in slurry form is continuously layered on the surface of the first film side of the film to a predetermined thickness and introduced into the drying oven (6), and the drying process of the green sheet is carried out. 2. The method of manufacturing a green sheet using a film according to claim 1, wherein the second film is peeled off after completion of the process to obtain a green sheet supported on a thin first film.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8949589A JPH02227252A (en) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | Film for forming green sheet and manufacture of the green sheet |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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|---|---|
| JPH02227252A true JPH02227252A (en) | 1990-09-10 |
Family
ID=12835416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8949589A Pending JPH02227252A (en) | 1989-02-28 | 1989-02-28 | Film for forming green sheet and manufacture of the green sheet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02227252A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04325453A (en) * | 1991-04-26 | 1992-11-13 | Murata Mfg Co Ltd | Production of ceramic green sheet |
| JP2015134476A (en) * | 2014-01-17 | 2015-07-27 | リンテック株式会社 | Mold release film, method for producing green sheet and method for producing multilayer ceramic electronic component |
Citations (1)
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| JPS62218107A (en) * | 1986-03-20 | 1987-09-25 | 富士通株式会社 | Method of molding green sheet |
-
1989
- 1989-02-28 JP JP8949589A patent/JPH02227252A/en active Pending
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