JPH0222537Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0222537Y2 JPH0222537Y2 JP1984056451U JP5645184U JPH0222537Y2 JP H0222537 Y2 JPH0222537 Y2 JP H0222537Y2 JP 1984056451 U JP1984056451 U JP 1984056451U JP 5645184 U JP5645184 U JP 5645184U JP H0222537 Y2 JPH0222537 Y2 JP H0222537Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- pipe
- degree
- aperture
- vacuum container
- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は、半導体素子製造用ウエハのCUD
反応などに用いる真空装置に関するものである。
反応などに用いる真空装置に関するものである。
ウエハの収容された真空容器に反応ガスを流
し、最も効率良く反応させるには、真空容器内の
真空度を適切に維持することが必要である。
し、最も効率良く反応させるには、真空容器内の
真空度を適切に維持することが必要である。
従来、この真空度を調節するのにバタフライバ
ルブを用いているが、この装置は、第４図の様に
真空容器をロータリポンプ（図示しない）との連
結パイプ１に、パイプ１の横断面と同径の円板２
を回転可能に軸着し、円板２を矢印Ａ２方向に回
転させ、パイプ１と円板２との間隙ｌを変化せし
めることにより真空度を調節するものである。
ルブを用いているが、この装置は、第４図の様に
真空容器をロータリポンプ（図示しない）との連
結パイプ１に、パイプ１の横断面と同径の円板２
を回転可能に軸着し、円板２を矢印Ａ２方向に回
転させ、パイプ１と円板２との間隙ｌを変化せし
めることにより真空度を調節するものである。
しかし、この装置は、流れ方向に厚い上に開口
面積を小さくする程、開口面積がリニアに変化し
ないので、矢印Ａ１方向に流れる気体の流量を正
確にコントロールできず、最適な真空度を維持す
ることは困難である。
面積を小さくする程、開口面積がリニアに変化し
ないので、矢印Ａ１方向に流れる気体の流量を正
確にコントロールできず、最適な真空度を維持す
ることは困難である。
本考案は、薄形で、かつ正確に迅速に、最適な
真空度に調節できる装置を提供することを目的と
する。
真空度に調節できる装置を提供することを目的と
する。
本考案は、真空容器と排気装置とを、パイプで
連結し、該パイプに、カメラの絞り羽根からなる
絞り機構を設け、且つ絞り機構の上部および下部
にネツトを設けて、パイプを流れる気体の量を調
節して、真空容器内の真空度を調整するものであ
る。
連結し、該パイプに、カメラの絞り羽根からなる
絞り機構を設け、且つ絞り機構の上部および下部
にネツトを設けて、パイプを流れる気体の量を調
節して、真空容器内の真空度を調整するものであ
る。
以下、本考案の実施例を添附図面により説明す
る。
る。
図において、１０は真空容器、１１はロータリ
ポンプなどの排気装置で、このロータリポンプ１
１は、パイプ１２を介して、真空容器１０に連結
され、このパイプ１２には、精密なカメラの絞り
機構１３を設ける。
ポンプなどの排気装置で、このロータリポンプ１
１は、パイプ１２を介して、真空容器１０に連結
され、このパイプ１２には、精密なカメラの絞り
機構１３を設ける。
このカメラの絞り機構１３には種々のものがあ
るが、例えば、第２図、第３図に示す様に構成す
る。すなわち、円筒１４の外周にラツク１５を形
成すると共に、絞り羽根１６にピン用穴１７と軸
用穴１８を形成し、円筒１４の上面に複数枚の絞
り羽根１６を重ねて配設し、円筒１４を覆う様に
する。絞り羽根１６のピン用穴１７にピン１９を
挿入し、該ピン１９を円筒１４に固定すると共
に、軸用穴１８に軸２０を挿入し、該軸２０をフ
ランジ２１に固定する。円筒１４のラツク１５
に、ピニオン２２を噛み合わせ、ピニオン２２に
モータ２３を連結する。なお絞り羽根１６の上部
および下部にネツト２４，２５を設け、該ネツト
２４，２５をフランジ２１に固定して、高圧な気
体が絞り羽根１６に当つても該羽根１６を損傷せ
しめない様にする。
るが、例えば、第２図、第３図に示す様に構成す
る。すなわち、円筒１４の外周にラツク１５を形
成すると共に、絞り羽根１６にピン用穴１７と軸
用穴１８を形成し、円筒１４の上面に複数枚の絞
り羽根１６を重ねて配設し、円筒１４を覆う様に
する。絞り羽根１６のピン用穴１７にピン１９を
挿入し、該ピン１９を円筒１４に固定すると共
に、軸用穴１８に軸２０を挿入し、該軸２０をフ
ランジ２１に固定する。円筒１４のラツク１５
に、ピニオン２２を噛み合わせ、ピニオン２２に
モータ２３を連結する。なお絞り羽根１６の上部
および下部にネツト２４，２５を設け、該ネツト
２４，２５をフランジ２１に固定して、高圧な気
体が絞り羽根１６に当つても該羽根１６を損傷せ
しめない様にする。
本実施例の作動につき説明すると、オートプレ
ツシヤーコントロール（APC）を所定の真空度、
例えば、10-1〜10-4トール（TORR）の範囲で設
定すると共に、ロータリポンプ１１を駆動して吸
引させながら、反応ガスを真空容器１０に注入
し、真空容器１０内の真空度を真空計２７で測定
する。
ツシヤーコントロール（APC）を所定の真空度、
例えば、10-1〜10-4トール（TORR）の範囲で設
定すると共に、ロータリポンプ１１を駆動して吸
引させながら、反応ガスを真空容器１０に注入
し、真空容器１０内の真空度を真空計２７で測定
する。
真空計２７の真空度が、真空度セツト装置２６
のセツト値と相異すると、コントローラ２８が作
動しモータ２３を駆動せしめる。モータ２３が、
矢印Ａ２３方向に回転すると、ピニオン２２も同
方向に回転し、同時にラツク１５を介して円筒１
４を矢印Ａ１４方向に回転せしめる。この円筒１
４の回転によりピン１９は矢印Ａ１４方向に移動
し、軸２０を支点にして絞り羽根１６の先部１６
ａを矢印Ａ１４方向に回転させ、開口部２８の開
口径を縮少せしめ、パイプ１２内を流れる気体量
を減少せしめる。逆に、モータ２３を矢印Ａ２３
と反対方向に回転させると、絞り羽根１６の先部
１６ａは、矢印Ａ１４と逆方向に回転し、開口部
２８の開口径を拡大してパイプ１２内を流れる気
体量を増大せしめる。このようにオリフイスを調
節して気体量の流入量を変化せしめ、真空容器１
０内の真空度を調節する。
のセツト値と相異すると、コントローラ２８が作
動しモータ２３を駆動せしめる。モータ２３が、
矢印Ａ２３方向に回転すると、ピニオン２２も同
方向に回転し、同時にラツク１５を介して円筒１
４を矢印Ａ１４方向に回転せしめる。この円筒１
４の回転によりピン１９は矢印Ａ１４方向に移動
し、軸２０を支点にして絞り羽根１６の先部１６
ａを矢印Ａ１４方向に回転させ、開口部２８の開
口径を縮少せしめ、パイプ１２内を流れる気体量
を減少せしめる。逆に、モータ２３を矢印Ａ２３
と反対方向に回転させると、絞り羽根１６の先部
１６ａは、矢印Ａ１４と逆方向に回転し、開口部
２８の開口径を拡大してパイプ１２内を流れる気
体量を増大せしめる。このようにオリフイスを調
節して気体量の流入量を変化せしめ、真空容器１
０内の真空度を調節する。
この装置では、開口部２８が常に円形であり、
その開口面積は、半径の二乗に比例する。従つて
開口部の半径が変化すると、気体流量が変化する
ので予め円筒１４の回転角と、半径を定めておけ
ば気体流量の正確な調節ができる。
その開口面積は、半径の二乗に比例する。従つて
開口部の半径が変化すると、気体流量が変化する
ので予め円筒１４の回転角と、半径を定めておけ
ば気体流量の正確な調節ができる。
なお、パイプ１２内を流通する気体が高圧の場
合絞り羽根１６が高圧を受けて損傷するおそれが
あるので、羽根１６の上部と下部にネツト２４，
２５を設け、このネツト２４，２５で羽根１６が
保持される様にすると良い。
合絞り羽根１６が高圧を受けて損傷するおそれが
あるので、羽根１６の上部と下部にネツト２４，
２５を設け、このネツト２４，２５で羽根１６が
保持される様にすると良い。
本考案は、以上の様に真空容器と吸引装置とを
パイプで連結し、該パイプにカメラの絞り機構を
設けたので、開口部の開口面積を正確にコントロ
ールできる。従つて、開口部を流通する気体量を
確実にコントロールできるので真空容器内の真空
度を最適に維持できる。
パイプで連結し、該パイプにカメラの絞り機構を
設けたので、開口部の開口面積を正確にコントロ
ールできる。従つて、開口部を流通する気体量を
確実にコントロールできるので真空容器内の真空
度を最適に維持できる。
又、カメラの絞り機構によりオリフイスを形成
したので、従来のバタフライバルブに比し、薄形
となり、スペースを少なくすることができる。
したので、従来のバタフライバルブに比し、薄形
となり、スペースを少なくすることができる。
第１図〜第３図は本考案の実施例を示す図で第
１図は、本考案の装置を装着した装置の一部断面
図、第２図、第３図は第１図の要部拡大図、第４
図は、従来例を示す縦断面図である。 １０……真空容器、１１……吸引装置、１２…
…パイプ、１３……カメラの絞り機構。
１図は、本考案の装置を装着した装置の一部断面
図、第２図、第３図は第１図の要部拡大図、第４
図は、従来例を示す縦断面図である。 １０……真空容器、１１……吸引装置、１２…
…パイプ、１３……カメラの絞り機構。
Claims (1)
- 真空容器に連結された排気系と、この排気系に
設けられた絞り羽根からなる絞り機構と、この絞
り機構の上部および下部に設けられたネツトとを
設けたことを特徴とする真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5645184U JPS60167863U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5645184U JPS60167863U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 真空装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60167863U JPS60167863U (ja) | 1985-11-07 |
| JPH0222537Y2 true JPH0222537Y2 (ja) | 1990-06-18 |
Family
ID=30580054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5645184U Granted JPS60167863U (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60167863U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60227066A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-12 | Daido Steel Co Ltd | 開口面積調節装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5586978A (en) * | 1978-12-22 | 1980-07-01 | Toshiba Corp | Motor switchgear |
-
1984
- 1984-04-17 JP JP5645184U patent/JPS60167863U/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5586978A (en) * | 1978-12-22 | 1980-07-01 | Toshiba Corp | Motor switchgear |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60167863U (ja) | 1985-11-07 |
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