JPH02223033A - 光記録媒体 - Google Patents

光記録媒体

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JPH02223033A
JPH02223033A JP1089053A JP8905389A JPH02223033A JP H02223033 A JPH02223033 A JP H02223033A JP 1089053 A JP1089053 A JP 1089053A JP 8905389 A JP8905389 A JP 8905389A JP H02223033 A JPH02223033 A JP H02223033A
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JP
Japan
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Application number
JP1089053A
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English (en)
Inventor
Shinichi Ishibashi
信一 石橋
Keiji Okubo
大久保 恵司
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Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
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Publication date
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  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は光記録媒体の保護層に係り、特に光感度と信
頼性に優れる光記録媒体に関する。
〔従来の技術〕
近年、情報記録の高密度化、大容量化に対する要求が高
まり、国内外でその研究開発が盛んに行われているが、
特にレーザを光源として用いる光ディスクは、従来の磁
気記録媒体に比べておよそ10〜100倍の記録密度を
有し、 しかも記録、再生ヘッドと記録媒体とが非接触
状態で情報の記録。
再生ができるために記録媒体の損傷も少なく、長寿命で
あるなどの特徴があることから、膨大な情報量を記録、
再生する手段として有望である。
この光ディスクは用途に応じて再生専用型、追記型、書
換え型の3種類に大別することができる。
再生専用型は情報の読み出しのみが可能な再生専用ディ
スクであり、追記型は必要に応じて情報を記録し再生す
ることはできるが、記録した情報の消去は不可能なもの
である。これに対して書換え型は情報の記録、再生とさ
らに記録済みの情報を消去して書き換えることが可能で
あり、コンビコータ用のデータファイルとしての利用が
望まれ、最も期待の大きいものである。
書換え型のディスクについては、光磁気方式と相変化方
式の2つの記録方式の開発が進められているが、いずれ
の方式も記録材訓や書込み機構などの点でなお改良の余
地が残されている。これらのうち、相変化方式は一般に
レーザ光をディスクの記録面に集光して加熱し、レーザ
光のノくルス出力とパルス幅とを制御することによって
生ずる記録材料の相変化、すなわち結晶状態から非晶質
状態への移行または相転移などを起こさせ、それぞれの
状態における反射率の違いで情報の記録と消去を行うも
のである。
この相変化方式の光ディスクの構造は、通常多くのトラ
ッキング溝を設けた例えばポリカーボネートなどの基板
表面に810□等のセラミック等よりなる保護層を形成
し、その上に記録用の媒体層を設け、さらにその上にセ
ラミック等よりなる保護層と有機物の表面保護層を順次
積層している。また、保護層と有機物表面保護層の間に
AI’、’Cr、八〇等へ冷却層を設けることも行われ
る。冷却層は結晶状態から非晶質状態へ媒体層を変化さ
せる際に媒体層の冷却速度を高めるために設けられる。
この際セラミック保護層は断熱層として作用することに
なるが、媒体の特性を確保するため保護層の厚さにつき
最適化がなされる。レーザ光は基板側から入射される。
光記録媒体においては初期状態では媒体層を結晶状態と
し、情報記録時にはレーザ光を照射して照射部を溶融し
て急冷し、非晶質状態のスポットを形成する。消去時に
は非晶質状態のスポットをレーザ光でアニールして結晶
状態にもどす。
このような光記録媒体において、保護層としては良好な
耐熱性、小さな熱拡散率が要求される他高い屈折率が要
求される。耐熱性が要求されるのは、媒体層が溶融する
ためであり、熱拡散率は媒体層を効率良く加熱するため
必要である。また高い屈折率が要求されるのは次の理由
による。即ち、保護層と媒体層の屈折率をそれぞれT1
++12とすると、保護層と媒体層の界面にあける光反
射率Rは概略 R=(n2 nl)2/(n2+n+)”      
(1)で与えられる。媒体層の光吸収率をA、光透過率
をTとすると、Aは A=1−R−T           〔2〕で与えら
れる。ここでTは通常非常に小さな値となるからこれを
省略し、かつ(1)式を(2)式に代入すると、 A= 1−(n2−n、)’/(n2+n+)2= 4
 n + n x/ (n + + n 2)”   
    (3)が与えられる。また媒体層の屈折率n2
は保護層の屈折率n1より大きい。即ち 0〈nlくn2           (4)である。
(4)式の条件下では(3〕式の光吸収率はn。
とともに単調に増加するので、(4)式を満足する条件
でn、は高いことが必要となる。
〔発明が解決しようとする課題〕
従来これらの保護層として5iC1a、 Sin、 Z
r02ZnS等が用いられてきたが、耐熱性、熱拡散率
屈折率のバランスに欠け、光記録媒体の光感度。
信頼性を満足させることができなかった。例えばZnS
は屈折率は2.3と高いが耐熱性に欠け、保護膜として
そのまま使用できない。SiOは熱拡散率の点で510
2.2r02より有利であるが屈折率が1.8〜1.9
と小さい。また5102は屈折率が小さ過ぎ、ZrO2
は熱拡散率も屈折率も大きい。
この発明は上述の点に鑑みてなされ、その目的は耐熱性
、熱拡散率、屈折率のいずれも適切な値を有する新規な
セラミックスを保護層に用いることにより、光感度と信
頼性に優れる光記録媒体を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上述の目的はこの発明によれば基板上に第1の保護層、
媒体層、第2の保護層および表面保護層を順次形成し、
前記媒体層ヘレーザ光を照射してその相変化により情報
の記録、再生および消去を行う光記録媒体において、2
をCu、 AJ、 Ti、 PtCr、 Fe、 Nd
、 Sm、 Dyのうちのいずれか1つとしたときに一
般式(SiOx) +−,(Z)yで表される組成のセ
ラミックスからなる第1およ、び第2の保護層を備える
ことにより達成される。
<5iOX)l−y(Cu) yはXの増大とともに屈
折率nが減少し熱拡散率が増大する。またyの増大とと
もに屈折率nが増大し、熱拡散率が増大する。
〔作用〕
Xの値が小さい方が屈折率が大きく、かつ熱拡敗率が小
さくなるので好ましいが、x<Q、5 の場合SiOx
が酸化されてSiOあるいは5102に変化し、光学的
にも不安定となる。また光の透過率も下がってくる。x
=2.0 の場合は屈折率が小さくかつ熱拡散率も大き
くなりレーザ光に対する光感度が低下する。
yに関してはyが所定値をこえると熱拡散率が大きく、
媒体層に吸収された光エネルギが熱となって損失しやす
い。またyが所定値以下になると屈折率が小さくなり、
媒体層における光吸収率が小さくなる。
〔実施例〕
次にこの発明の実施例を図面に基づいて説明する。第1
図はこの発明の実施例に係る光記録媒体を示す模式断面
図で、基板21の上に第1の保護層22、媒体層23.
第2の保護層24.有機物表面保護層25が順次積層さ
れる。基板21としては石英が使用される。第1の保護
層22および第2の保護層24トシテハ(SIOX)7
.−y(z)yがRF スハ7 夕1:よりそれぞれ1
100n、 200nm厚に形成される。媒体層23は
GeTsが抵抗加熱蒸着またはRFスパッタにより15
0n[ll以下の厚さに形成される。
比較例 保護層としてSin、、、 5in2. ZrO2を用
いる以外実施例と同様にして光記録媒体が形成される。
実施例1: 第2図に保護層(SIOX) +−y (Cu) Yに
おいてXを1<ラメータとしてy値を変化させたときの
保護層の屈折率nが示される。曲線41.42.43.
44.45はそれぞれ x =0.5. (1,9,1
,3,1,7,2,0に対応する。屈折率nはyの値が
増大するにつれて大きくなっている。これは(SiOX
) l−y (Cu) YにおけるXの値によらない。
しかしこのとき熱拡散率の値もyとともに大きくなり媒
体層の温度上昇にとって不利となる。熱拡散率との関係
からy<0.1 が必要条件となる。
第3図に保護層の組成を(SiOx>o、5s(Cu)
o、osとしてXの値を変化させたときの保護層の屈折
率nが示される。Xに関してはその値が減少する程屈折
率が増大する。これは(SiDx) I−7(Cu) 
yにおけるyの値によらない。Xの値が減少するにつれ
て熱拡散率が小さくなるのでXの値は小さい方が良いが
x<0.5 のときSiOにが酸化されやすくなり使用
に耐えなくなる。
第4図にGeTe媒体層23が非晶質であるときの媒体
層厚さ(nm)と媒体層における光吸収率との関係が保
護層材料をパラメータとして示される。第4図で曲線3
1ハZrO2,曲線32は(Sift、 3)Q、 5
s(Cu) O,O5、曲線33 ハsiO,,、、曲
線34はSin、である。
光吸収率の大きさの順序は保護膜材質の屈折率(Zr0
2〜2.2. (SAG、、 3) 11.95 (C
u) o、 a、〜1.95. Sift−3〜1,8
5. S+Oz 1.46)に対応している。
第5図にGeTe媒体層23が結晶質であるときの媒体
層厚さ(nm)と媒体層における光吸収率どの関係が保
護層材料をパラメータとして示される。符号の意味は第
4図と同様である。光吸収率と屈折率との関係は上述の
場合と同様である。
次イこ光記録媒体を窒素ガスふん囲気中において、5分
間温度250 t:で加熱処理を行い、光記録媒体を初
期化(媒体層のGeTeを結晶化)してがら、83on
lTlの半導体レーザ光を用い、情報の記録、消去のた
めのレーザパルス照射条件を調べる。第6図に情報書き
込みの場合のパルス幅(μs)とレーザパワー(m@)
との関係が保護層材料をパラメータとして示される。符
号の意味は第4図の場合と同様である。この図によると
、この発明の実施例に係る(Sift、 3) 0.9
5(Cu) o、 osを保護層として用いた場合が最
もレーザパワーが少ないことがわかる。即ち、(Sif
t、s)o、1s(Cu)o、osを保護層としテ用イ
ルトキに媒体層は最も効率良く温度上昇することを示す
これは(SiG+、 3)+1. ss<Cu)o、 
O5保護層を用いると、媒体層の光吸収率と保護層を介
しての熱拡散とが共同して有利な方向に働いたことによ
る。この関係は2rO,を保護層として用いるときは、
媒体層の光吸収率は最大となるにもかかわらず、その熱
拡散率も大きいために所要のレーザパワーが大きくなる
ことにも現れている。y=0.1 のとき即ち(Sif
t、 3) O,s<CLI) o、 +を保護層とし
て用いるときはレーザパワーが大きくなることも示され
る(曲線35)。
第7図に消去の場合のパルス幅(Jis)とレーザパワ
ー(mW>との関係が保護層材料をパラメータとして示
される。符号の意味は第4図の場合と同様である。コノ
場合も(Slot、 s) o、 ss (Cu) o
、 。sを保護層として用いるときに最も少ないレーザ
パワーで情報の消去ができる(媒体層を結晶化できる)
ことがわかる。この(Slot、 *) o−ss (
Cu) o、 as保護層を用いた光記録媒体を書き込
み15mW 、、  0.2 us、消去12mJ0.
2μsのパルス条件でくり返しを10’回行ったが、安
定した反射率変化が得られ、(S ID +。、)。、
、。
(Cu)。、os保護層がくり返しサイクルに対しても
安定であることが確認される。
さらにディスク直径130mmの光記録媒体につき周速
8m/sでディスクを回転させながら波長830nn+
のレーザにより周波数2MHzの信号を書き込む際の保
護層(Slot、 3) +−y(口u)yにおけるy
値と最適記録パワーP−との関係(曲線47)およびy
値とC/N比との関係(曲線46)が第8図に示される
。第8図からy=0.05のときP−が15mWとなる
ことがわかる。
C/N仕としては46dBが得られる。第9図に保護層
5101+におけるX値と 最適記録パワーPwとの関
係(曲線49)およびX値とC/N比との関係(曲線4
8)が示される。実験条件は第8図の場合と同様である
。pwは18mW以上でありC/N比は46dBである
。従って保護層として(S!0+、 z) 0.95 
(Cu) 00asを用いると、少ないレーデパワーで
記録ができるうえ電気特性にも優れることがわかる。
yに関してはy≧0,1 において熱拡散率が大きく、
媒体層に吸収された光エネルギの熱拡散率が大きい。ま
たy<0.04においては屈折率が小さく媒体層におけ
る光吸収率が小さくなる。
このようにして(S10や)、、、、□y (Cu )
 yの材料は耐熱性の点で問題のないことは勿論である
が、情報の記録、消去に必要とされるレーザ照射領域か
らみて、熱拡散率、屈折率の値をx、yの選択によって
適切なものになし得ることがわかる。
実施例2; 第10図に保護層として(Slot、 3) 1−y(
Al)yを用いるときのy値と屈折率との関係(曲線5
0)およびy値と減衰係数にとの関係(曲線51)が示
される。
屈折率nはy値とともに増大する。一方減衰係数には増
大傾向にはあるものの0.1以下で小さく保護層自体に
よる光の吸収は少ない。このようにして媒体層の光吸収
効率はy値の増大とともに向上するが、y値が0.12
以上になると熱拡散率が増大して媒体層で吸収されたエ
ネルギが拡散によって失われるようになり、レーザ光に
対する感度が上昇しなくなり、y≧0.15で感度が低
下する。このためy値は0.15よりも小であることが
要求される。
またy<0.04の範囲ではSiOに比し効果が見られ
ないのでyの好適な範囲としては0.05≦y<0.1
5が得られる。
第11図にGeTe媒体層23が非晶質であるときの媒
体層厚さと媒体層における光吸収率との関係が保護層材
料をパラメータとして示される。第11図で曲線31は
ZrO2,曲線36は(Slot、*)o、sl(IV
)o、os。
曲線33は5101.31曲線34はSiO□である。
光吸収率の大きさの順序は保護膜材質の屈折$(ZrO
2〜2.2゜(Slot、i>。、sl(Aj’)。、
。、〜1.95.5101.3〜1.85Si021.
46 )に対応している。
第12図にGeTe媒体層23が結晶質であるときの媒
体層厚さ(nm)と媒体層における光吸収率との関係が
保護層材料をパラメータとして示される。符号の意味は
第11図と同様である。光吸収率と屈折率との関係は上
述の場合と同様である。
次に光記録媒体を窒素ガスふん囲気中において、5分間
層度250℃で加熱処理を行い、光記録媒体を初期化〈
媒体層のGeTeを結晶化)してから、830nmの半
導体レーザ光を用い、情報の記録、消去のためのレーザ
パルス照射条件を調べる。第13図に情報書き込みの場
合のパルス幅(μs)とレーザパワー (mW)との関
係が保護層材料をパラメータとして示される。符号の意
味は第11図の場合と同様である。この図によると、こ
の発明の実施例に係る(S101.3)。、++(Aj
’)。、。、を保護層として用いた場合が最もレーザパ
ワーが少ないことがわかる。即ち、(Slot、 3)
 0.91 (Al) 11.09を保護層として用イ
ルときに媒体層は最も効率°良く温度上昇することを示
す。
これは(Slot、 3)。、sl(/V)。、。9保
護層を用いると、媒体層の光吸収率と保護層を介しての
熱拡散とが共同して有利な方向に働いたことによる。こ
の関係は2r02を保護層として用いるときは、媒体層
の光吸収率は最大となるにもかかわらず、その熱拡散率
も大きいために所要のレーザパワーが大きくなることに
も現れている。
第14図に消去の場合のパルス幅(Jis)とレーザパ
ワー(mW>との関係が保護層材料をパラメータとして
示される。符号の意味は第11図の場合と同様である。
この場合も(Slot、5)o−it(/V)o、os
を保護層として用いるときに最も少ないレーデパワーで
情報の消去ができる(媒体層を結晶化できる)ことがわ
かる。この(SIOl、3)。1、(Δl)。、。9保
護層を用いた光記録媒体を書き込み15mW、  0.
2μs、消去12mW、0.2μsのパルス条件でくり
返しを106回行ったが、安定した反射率変化が得られ
、(SI[l+、3)。1(AA’)。、。9保護層が
くり返しサイクルに対しても安定であることが確認され
る。
さらにディスク直径130mmの光記録媒体につき周速
8 m/sでディスクを回転させながら波長830nm
のレーザにより周波数2MHzの信号を書き込む際の保
護層(Si(]+、 3) +−y(A1) 、におけ
るy値と最適記録パワーP11との関係(曲線55)お
よびy値とC/N比との関係(曲線54)が第15図に
示される。第15図から V=0.09のときpwが1
5mWとなることがわかる。C/N比としては46dB
が得られる。従って保護層として(S+0+、a)。、
 s 1(M)。、I、9を用いると、少ないレーザパ
ワーで記録ができるうえ電気特性にも優れることがわか
る。
このようにして(s 1OX)l −、(A/) yの
材料は耐熱性の点で問題のないことは勿論であるが、情
報の記録、消去に必要とされるレーザ照射領域からみて
、熱拡散率、屈折率の値をx、yの選択によって適切な
ものになし得ることがわかる。
実施例3: 第16図に保護層として(Slot、3)+−y(Ti
)yを用いたときのy値と屈折率nの関係(曲線52)
およびy値と減衰係数にとの関係(曲線53)が示され
る。
屈折率nはy値とともに上昇する。そして媒体層の光吸
収率も上昇する。しかしながらy値が0.12以上にな
ると減衰係数kが0.35以上となり、保護層自体の光
吸収率が増大するので媒体層の光吸収率は上昇しなくな
る。同時にyが0.12以上になると保護層の熱拡散率
も増大し、吸収エネルギの拡散が大きくなって光感度が
上昇しなくなり、y≧0.15となると光感度は減少に
転する。またyく0.02の範囲ではS10に比し効果
が見られない。yの好適な範囲は0.03≦y<0.1
5である。
第17図にGeTe媒体層23が非晶質であるときの媒
体層厚さ(nm )と媒体層における光吸収率との関係
が保護層材料をパラメータとして示される。第17図で
曲線31はZrO,、曲線37は(Slot、 3)0
.98(Ti)o、os、 曲線33は3i01.a、
 曲線34ハ5102テアル。
光吸収率の大きさの順序は保護膜材質の屈折率(ZrO
2〜2.2 、 (Slot、 s) o、 ss (
Tl)o、 os 〜2. O’、 Slot、 3〜
1.85.5iOz 1.46)に対応している。
第18図にGeTe媒体層23が結晶質であるときの媒
体層厚さ(nm)と媒体層における光吸収率との関係が
保護層材料をパラメータとして示される。符号の意味は
第17図と同様である。光吸収率と屈折率との関係は上
述の場合と同様である。
次に光記録媒体を窒素ガスふん囲気中において、5分間
温度250℃で加熱処理を行い、光記録媒体を初期化(
媒体層のGeTeを結晶化)してから、830nmの半
導体レーザ光を用い、情報の記録、消去のためのレーザ
パルス照射条件を調べる。第19図に情報書き込みの場
合のパルス幅(μs)とレーザパワー(mW)との関係
が保護層材料をパラメータとして示される。符号の意味
は第17図の場合と同様である。この図によると、この
発明の実施例に係る(S!0+、3)o、5s(Ti)
o−osを保護層として用いた場合が最もレーザパワー
が少ないことがわかる。即ち、(S!O+、 3L、 
5s(Ti)o−osを保護層として用いるときに媒体
層は最も効率良く温度上昇することを示す。
これは(Slot、 3)。−5s(Ti)。、。、保
護層を用いると、媒体層の光吸収率と保護層を介しての
熱拡散とが共同して有利な方向に働いたことによる。こ
の関係はZrO2を保護層として用いるときは、媒体層
の光吸収率は最大となるにもかかわらず、その熱拡散率
も大きいために所要のレーザパワーが大きくなることに
も現れている。
第20図に消去の場合のパルス幅(μs)とレーザパワ
ー(mW)との関係が保護層材料をパラメータとして示
される。符号の意味は第17図の場合と同様である。こ
の場合も(SiO1,、)。、5s(Ti)。、。、を
保護層として用いるときに最も少ないレーザパワーで情
報の消去ができる(媒体層を結晶化できる)ことがわか
る。この(SIDI、 3)。、5s(Ti)。、。、
保護層を用いた光記録媒体を書き込み15mW、  0
.2μs、消去12mW、0.2μsのパルス条件でく
り返しを10’回行ったが、安定した反射率変化が得ら
れ、(S!0+、 3) +1.5s(Ti)。、。、
保護層がくり返しサイクルに対しても安定であることが
確認される。
さらにディスク直径130mmの光記録媒体につき周速
3 m/sでディスクを回転させながら波長830nm
のレーザにより周波数2MHzの信号を書き込む際の保
護層(SIDI、 3) +−y(Ti)yにおけるy
値と最適記録パワーP@との関係(曲線57)およびy
値とC/N比との関係(曲線56)が第21図に示され
る。第21図から y=0.05のときP@が15ff
lWとなることがわかる。C/N比としては46dBが
得られる。従って保護層として(SIDI−3)。、5
s(Ti)。、。、を用いると、少ないレーザパワーで
記録ができるうえ電気特性にも優れることがわかる。
このようにして(slox) l−y (Ti)yの材
料は耐熱性の点で問題のないことは勿論であるが、情報
の記録、消去に必要とされるレーザ照射領域からみて、
熱拡散率、屈折率の値をx、yの選択によって適切なも
のになし得ることがわかる。
実施例4: 第22図に保護層として(SIDE、 3) l−4(
Pt) yを用いたときのy値と屈折率nの関係(曲線
58)およびy値と減衰係数にとの関係(曲線59)が
示される。屈折率nはy値とともに上昇する。そして媒
体層の光吸収率も上昇する。しかしながらy値が0.0
5以上になると減衰係数kが0.30以上となり、保護
層自体の光吸収率が増大するので記録層の光吸収率は上
昇しなくなる。同時にyが0.05以上になると保護層
の熱拡散率も増大し、吸収エネルギの拡散が大きくなっ
て光感度が上昇しなくなり、y≧0.06となると光感
度は減少に転する。またyく0.02の範囲ではSiO
に比し効果が見られない。yの好適な範囲は0.02≦
y<0.06である。
第23図にGeTe媒体層23が非晶質であるときの媒
体層厚さくnm )と媒体層における光吸収率との関係
が保護層材料をパラメータとして示される。第23図で
曲線31はZrL、曲線38は(SiOl−3)。、、
6(Pt)。、041曲線33は5i011.  曲線
34は5102である。
光吸収率の大きさの順序は保護膜材質の屈折率(ZrL
〜2.2. (SIIL、 z)a、 5s(PL)o
、 04〜2.30. Si[11,0〜1.85. 
SiO□1.46 )に対応している。
第24図にGeTe媒体層23が結晶質であるときの媒
体層厚さ(nm)と媒体層における光吸収率との関係が
保護層材料をパラメータとして示される。符号の意味は
第23図と同様である。光吸収率と屈折率との関係は上
述の場合と同様である。
次に光記録媒体を窒素ガスふん囲気中において、5分間
温度250℃で加熱処理を行い、光記録媒体を初期化(
媒体層のGeTeを結晶化)してから、830nmの半
導体レーデ光を用い、情報の記録、消去のためのレーザ
パルス照射条件を調べる。第25図に情報書き込みの場
合のパルス幅(μs)とレーザパワー(ml?)との関
係が保護層材料をパラメータとして示される。符号の意
味は第23図の場合と同様である。この図によると、こ
の全問の実施例に係る(Si貼、3)。、5s(PL)
。、。、を保護層として用いた場合が最もレーザパワー
が少ないことがわかる。即ち、(S!0+、 *)。1
s(Pt)。、。、を保護層として用いるときに媒体層
は最も効率良く温度上昇することを示す。
これはスS+0+、 3)。、p+g(Pt)。、。、
保護層を用いると、媒体層の光吸収率と保護層を介して
の熱拡散とが共同して有利な方向に働いたことによる。
この関係はZrO,を保護層として用いるときは、媒体
層の光吸収率は最大となるにもかかわらず、その熱拡散
率も大きいために所要のレーザパワーが大きくなること
にも現れている。y=0.1 のとき即ち(Si(L、
 sho、 5(Pt)o、 +を保護層として用いる
ときはレーザパワーが大きくなることも示される(曲線
70)。
第26図に消去の場合のパルス幅(μs)とレーザパワ
ー(m−)との関係が保護層材料をパラメータとして示
される。符号の意味は第23図の場合と同様である。こ
の場合も(slo+−i)。、5s(Pt)。、。、を
保護層として用いるときに最も少ないレーザパワーで情
報の消去ができる(媒体層を結晶化できる)ことがわか
る。この(SID1.3)。、5s(Pt)。、。、保
護層を用いた光記録媒体を書き込み15mW、  0.
2μs、消去12mW、0.2μsのパルス条件でくり
返しを101回行ったが、安定した反射率変化が得られ
、(Sift、*)a、5a(Pt)。、。、保護層が
くり返しサイクルに対しても安定であることが確認され
る。
さらにディスク直径130mmの光記録媒体につき周速
8m/sでディスクを回転させながら波長830nmの
レーザにより周波数2MHzの信号を書き込む際の保護
層(Sift、s)+−y(Pt)yにおけるy値と最
適記録パワーpwとの関係(曲線61)およびy値とC
/N比との関係(曲線60)が第27図に示される。第
27図から y=0.04のときpwが15mWとなる
ことがわかる。C/N比としては46dBが得られる。
従って保護層として(S!O+、 3)O,5s(Pt
)o、 04を用いると、少ないレーザパワーで記録が
できるうえ電気特性にも優れることがわかる。
このようにして<5IOX) l−y (Pt) yの
材料は耐熱性の点で問題のないこきは勿論であるが、情
報の記録、消去に必要とされるレーザ照射領域からみて
、熱拡散率1MI折率の値をx、yの選択によって適切
なものになし得ることがわかる。
実施例5: 第28図に保護層として(SlO+、 3) I−y 
(Cr)、を用いたときのy値と屈折率nの関係(曲線
62)およびy値と減衰係数にとの関係(曲線63〉が
示される。
屈折率nはy値とともに上昇する。そして媒体層の光吸
収率も上昇する。しかしながらy値が0.08以上にな
ると減衰係数kが0.35以上となり、保護層自体の光
吸収率が増大するので媒体層の光吸収率は上昇しなくな
る。同時にyが0.08以上になると保護層の熱拡散率
も増大し、吸収エネルギの拡散が大きくなって光感度が
上昇しなくなり、y≧0.09となると光感度は減少に
転する。またyくa、02の範囲では5i(lに比し効
果が見られない。yの好適な範囲は0.02≦y<0.
09である。
第29図にGeTe媒体層23が非晶質であるときの媒
体層厚さ(nm )と媒体層における光吸収率との関係
が保護層材料をパラメータとして示される。第29図で
曲線31はZr0i 1曲線39は(Sift、 s)
a、 5s(Cr)o、、s、  曲線33は3i01
−3 、  曲線341tsi02テア6゜光吸収率の
大きさの順序は保護膜材質の屈折率(ZrL 〜2.2
. (Sift、 3) 0.96 (Cr) O,o
s 〜2.0. Sift、 s〜1.85.5i02
1.46)に対応している。
第30図にGeTe媒体層23が結晶質であるときの媒
体層厚さ(nm)と媒体層における光吸収率との関係が
保護層材料をパラメータとして示される。符号の意味は
第29図と同様である。光吸収率と屈折率との関係は上
述の場合と同様である。
次に光記録媒体を窒素ガスふん囲気中において、5分間
温度250℃で加熱処理を行い、光記録媒体を初期化(
媒体層のGeTeを結晶化)してから、8300山の半
導体レーザ光を用い、情報の記録、消去のためのレーザ
パルス照射条件を調べる。第31図に情報書き込みの場
合のパルス幅(μs)とレーザパワー (mW)との関
係が保護層材料をパラメータとして示される。符号の意
味は第29図の場合と同様である。この図によると、こ
の発明の実施例に係る(Sift、 3)L cs(C
r)o、 asを保護層として用いた場合が最もレーザ
パワーが少ないことがわかる。即ち、(Sift、 3
)01s(Cr)o、 osを保護層としテ用イルトキ
に媒体層は最も効率良く温度上昇することを示す。
これは(Sift、s)o、5s(Cr)o、os保護
層を用いると、媒体層の光吸収率と保護層を介しての熱
拡散とが共同して有利な方向に働いたことによる。この
関係はZrO,を保護層として用いるときは、媒体層の
光吸収率は最大となるにもかかわらず、その熱拡散率も
大きいために所要のレーザパワーが大きくなることにも
現れている。y=0.12のとき即ち(SlO+、s)
o、。5(Cr)。、12を保護層として用いるときは
レーザパワーが大きくなることも示される(曲線40)
第32図に消去の場合のパルス幅(jJs)とレーザパ
ワー(mW)との関係が保護層材料をパラメータとして
示される。符号の意味は第29図の場合と同様である。
この場合も(S!0+、 3)01s(Cr)o、 o
sを保護層として用いるときに最も少ないレーザパワー
で情報の消去ができる(媒体層を結晶化できる)ことが
わかる。この(SiO+、 3)L 1s(Cr)o、
 os保護層を用いた光記録媒体を書き込み15mW、
  0.2μs、消去12mW、 0.2usのパルス
条件でくり返しを10’回行ったが、安定した反射率変
化が得られ、(SIol、3)。1゜(Cr)。、。、
保護層がくり返しサイクルに対しても安定であることが
確認される。
さらにディスク直径130mmの光記録媒体につき周速
3 m/sでディスクを回転させながら波長830nm
のレーザにより周波数2M)12の信号を書き込む際の
保護層(Si貼、 a) +−y (Cr) yにおけ
るy値と最適記録パワーPwとの関係(曲線65)およ
びy値とC/N比との関係(曲線64)が第33図に示
される。第33図から V=0.05のときpwが15
mWとなることがわかる。C/N比としては46dBが
得られる。従って保護層として(SIOl、 3)。、
5s(Cr)。、。、を用いると、少ないレーザパワー
で記録ができるうえ電気特性にも優れることがわかる。
このようにして(SiOo) 、−、(Cr) 、の材
料は耐熱性の点で問題のないことは勿論であるが、情報
の記録、消去に必要とされるレーザ照射領域からみて、
熱拡散率、屈折率の値をx、yの選択によって適切なも
のになし得ることがわかる。
実施例6: !34図に保護層として(siol、 a) +−y(
Fe)yを用いたときのy値と屈折率nの関係(曲線6
6)およびy値と減衰係数にとの関係(曲線67)が示
される。屈折率nはy値とともに上昇する。そして媒体
層の光吸収率も上昇する。しかしながらy値が0.1以
上になると減衰係数kが0.35以上となり、保護層自
体の光吸収率が増大するので記録層の光吸収率は上昇し
なくなる。同時にyが0.08以上になると保護層の熱
拡散率も増大し、吸収エネルギの拡散が大きくなって光
感度が上昇しなくなり、y≧0.1 となると光感度は
減少に転する。またyく0.05の範囲ではSiOに比
し効果が見られない。yの好適な範囲は0.05≦y<
Q、lである。
第35図にGeTe媒体層23が非晶質であるときの媒
体層厚さ(nm )と媒体層における光吸収率との関係
が保護層材料をパラメータとして示される。第35図で
曲線31はZrO2,曲線26は(SiOl−)。、 
−(Pe) 0+ o8 、  曲線33はS+Oi、
s、  曲線34はSin、である。
光吸収率の大きさの順序は保護膜材質の屈折率(Zr0
2〜2.2. (SiO+、 3ho、 94 (Fe
) o、 o6〜2.0.3iO+、 s〜1.85.
 SiQ□1.46)に対応している。
第36図にGeTe媒体層23が結晶質であるときの媒
体層厚さ(nm)と媒体層における光吸収率との関係が
保護層材料をパラメータとして示される。符号の意味は
第35図と同様である。光吸収率と屈折率との関係は上
述の場合と同様である。
次に光記録媒体を窒素ガスふん囲気中において、5分間
温度250℃で加熱処理を行い、光記録媒体を初期化(
媒体層のGeTeを結晶化)してから、830nmの半
導体レーザ光を用い、情報の記録、消去のためのレーザ
パルス照射条件を調べる。第37図に情報書き込みの場
合のパルス幅(μs)とレーザパワー(mW)との関係
が保護層材料をパラメータとして示される。符号の意味
は第35図の場合と同様である。この図によると、この
発明の実施例に係る(SIol、 3)O,5a(Fe
)a、 o@を保護層として用いた場合が最もレーザパ
ワーが少ないことがわかる。即ち、(SiO+、 3)
 0.94 (Fe) 0.06を保護層トシテ用イル
トキに媒体層は最も効率良く温度上昇することを示す。
これは(SIol、 3) 0.114 (Fe) o
、 as保護層を用いると、媒体層の光吸収率と保護層
を介しての熱拡散とが共同して有利な方向に働いたこと
による。この関係はZrO,を保護層として用いるとき
は、媒体層の光吸収率は最大となるにもかかわらず、そ
の熱拡散率も大きいために所要のレーザパワーが大きく
なることにも現れている。y =0.12のとき即ち(
S!0+、 3) 0.88 (Fe) o、 + 2
を保護層として用いるときはレーザパワーが大きくなる
ことも示される(曲線30)。
第38図に消去の場合のパルス幅(μs)とレーザパワ
ー(mW)との関係が保護層材料をパラメータとして示
される。符号の意味は第35図の場合と同様である。こ
の場合も(S!0+、 3) o、 54(Fe) O
,O8を保護層として用いるときに最も少ないレーザパ
ワーで情報の消去ができる(媒体層を結晶化できる)こ
とがわかる。この(Sll11.3)。、 94(Fe
)。、。、保護層を用いた光記録媒体を書き込み15m
W 、  0.2 JS、消去12mW、0.2μsの
パルス条件でくり返しを106回行ったが、安定した反
射率変化が得られ、(SiO+、 s)o、 5s(F
e)。、。6保護層がくり返しサイクルに対しても安定
であることが確認される。
さらにディスク直径130mmの光記録媒体につき周速
8m/sでディスクを回転させながら波長830nmの
レーデにより周波数2MH2の信号を書き込む際の保護
層(Si11.3> +−y(t’e)yにあけるy値
と最適記録パワーpwとの関係(曲線69)およびy値
とC/N比との関係(曲線68)が第39図に示される
。第39図から y=a、asのときPwが15m11
となるこきがわかる。C/N比としては46dBが得ら
れる。従゛って保護層として(S!0+、 3) 01
4 (Fe) O−asを用いると、少ないレーデパワ
ーで記録ができるうえ電気特性にも優れることがわかる
このようにして(SIOx) +−y (Fe) yの
材料は耐熱性の点で問題のないことは勿論であるが、情
報の記録、消去に必要とされるレーザ照射領域からみて
、熱拡散率、屈折率の値をx、yの選択によって適切な
ものになし得ることがわかる。
実施例7: 第40図に保護層として(SIO+、 3) l−y 
(Nd) yを用いたときのy値と屈折率nの関係(曲
線71)およびy値と減衰係数にとの関係(曲線72)
が示される。屈折率nはy値とともに上昇する。そして
媒体層の光吸収率も上昇する。しかしながらy値が0.
12以上になると減衰係数kが0,35以上となり、保
護層自体の光吸収率が増大するので記録層の光吸収率は
上昇しなくなる。同時にyが0.1以上になると保護層
の熱拡散率も増大し、吸収エネルギの拡散が大きくなっ
て光感度が上昇しなくなり、y≧0.15となると光感
度は減少に転する。またyく0.02の範囲ではSiO
に比し効果が見られない。yの好適な範囲は0.02≦
y<0.15である。
第41図にGeTe媒体層23が非晶質であるときの媒
体層厚さ(nm )と媒体層における光吸収率との関係
が保護層材料をパラメータとして示される。第41図で
曲線31はZrD、、 曲線27は(SiO,、−)、
、 9−(Nd) o、 04 、 曲線33は3i0
1.3. 曲線34は5102である。
光吸収率の大きさの順序は保護膜材質の屈折率(ZrL
 〜2.2. (S!0+、 3) o、 ss (N
d) o、 os 〜2.1.5ift、 s〜1.8
5.5iOz 1.46)に対応している。
第42図にGeTe媒体層23が結晶質であるときの媒
体層厚さくnm)と媒体層における光吸収率との関係が
保護層材料をパラメータとして示される。符号の意味は
第41図と同様である。光吸収率と屈折率との関係は上
述の場合と同様である。
次に光記録媒体を窒素ガスふん囲気中において、5分間
温度250℃で加熱処理を行い、光記録媒体を初期化(
媒体層のGeTaを結晶化)してから、830nmの半
導体レーデ光を用い、情報の記録、消去のためのレーザ
パルス照射条件を調べる。第4′3図に情報書き込みの
場合のパルス幅(μs)とレーデパワー(mW)との関
係が保護層材料をパラメータとして示される。符号の意
味は第41図の場合と同様である。この図によると、こ
の発明の実施例に係る(SID1.3>。、sg(Nd
)。、。、を保護層として用いた場合が最もレーザパワ
ーが少ないことがわかる。即ち、(SiO+、 3)0
. sg(Nd)o、 04を保護層として用いるとき
に媒体層は最も効率良く温度上昇することを示す。
これは(SI[]1.3)。、sg(Nd)。、。4保
護層を用いると、媒体層の光吸収率と保護層を介しての
熱拡散とが共同してを利な方向に働いたことによる。こ
の関係はZrD2を保護層として用いるときは、媒体層
の光吸収率は最大となるにもかかわらず、その熱拡散率
も大きいために所要のレーザパワーが大きくなることに
も現れている。y =0.18のとき即ち(SiO+、
 sea、 ez(NdL、 +sを保護層として用い
るときはレーザパワーが大きくなることも示される(曲
線20) 。
第44図に消去の場合のパルス幅(部)とレーザパワー
(m−)との関係が保護層材料をパラメータとして示さ
れる。符号の意味は第41図の場合と同様である。この
場合も(SIO+、 :+) o、 ss (Nd) 
0.04を保護層として用いるときに最も少ないレーザ
パワーで情報の消去ができる(媒体層を結晶化できる)
ことがわかる。この(S!O+、*)o、5a(Nd)
i、os保護層を用いた光記録媒体を書き込み15mW
、  0.2μs、消去121御、01μsのパルス条
件でくり返しを10’回行ったが、安定した反射率変化
が得られ、(SIOl、 3) o、 5s(Nd)。
、。、保護層がくり返しサイクルに対しても安定である
ことが確認される。
さらにディスク直径taommの光記録媒体につき周速
8m/sでディスクを回転させながら波長830nmの
レーザにより周波数21482の信号を書き込む際の保
護層(S!0+、 3) +−y(Nd)yにおけるy
値と最適記録パワーpwとの関係(曲線29)およびy
値とC/N比との関係(曲線28)が第45図に示され
る。第45図から y=o、o6のときPwが15mW
となることがわかる。C/N比としては46dBが得ら
れる。従って保護層として(SIOl、z)。、5s(
Nd)。、。4を用いると、少ないレーザパワーで記録
ができるうえ電気特性にも優れることがわかる。
このようにして(SiOx) +−y (Nd) yの
材料は耐熱性の点で問題のないことは勿論であるが、情
報の記録、消去に必要とされるレーザ照射領域からみて
、熱拡散率、屈折率の値をx、yの選択によって適切な
ものになし得ることがわかる。
実施例8: 第46図に保護層として(SIOl、 3) +−’y
 (Sm) yを用いたときのy値と屈折率nの関係(
曲線73)およびy値と減衰係数にとの関係(曲線74
)が示される。屈折率nはy値とともに上昇する。そし
て媒体層の光吸収率も上昇する。しかしながらy値が0
.12以上になると減衰係数kが0.35以上となり、
保護層自体の光吸収率が増大するので記録層の光吸収率
は上昇しなくなる。同時にyが0.1以上になると保護
層の熱拡散率も増大し、吸収エネルギの拡散が大きくな
って光感度が上昇しな(なり、y≧0.15となると光
感度は減少に転する。またyく0.02の範囲ではSi
口に比し効果が見られない。yの好適な範囲は0.02
≦y<0.12である。
第47図にGeTe媒体層23が非晶質であるときの媒
体層厚さ(nm)と媒体層における光吸収率との関係が
保護層材料をパラメータとして示される。第47図で曲
線31はZrL、 曲線81は(Slot、 3)0.
96(Sm) o、 a 4 、  曲線33はSin
、、3.  曲線34はSin□である。
光吸収率の大きさの順序は保護膜材質の屈折率(ZrL
 〜2.2.(SIOl、3)O,ss(Sm)O+ 
04〜2.l、  SIOl−s〜1,85. S’i
0z 1.46)に対応している。
第48図にGeTe媒体層23が結晶質であるときの媒
体層厚さ(nm)と媒体層における光吸収率との関係が
保護層材料をパラメータとして示される。符号の意味は
第47図と同様である。光吸収率と屈折率との関係は上
述の場合と同様である。
次に光記録媒体を窒素ガスふん囲気中において、5分間
温度250℃で加熱処理を行い、光記録媒体を初期化(
媒体層のGeTeを結晶化)してから、830nmの半
導体レーザ光を用い、情報の記録、消去のためのレーザ
パルス照射条件を關べろ。′JJ49図に情報書き込み
の場合のパルス幅(μs)とレーザパワー (mW)と
の関係が保護層材料をバラメー°夕として示される。符
号の意味は第47図の場合と同様である。この図による
と、この発明の実施例に係る(S+0. z) 0.9
6 (Sm) 0.04を保護層として用いた場合が最
もレーザパワーが少ないことがわかる。即ち、(sho
t、 i) O,ss (Sm) o、 a4を保護層
として用いるときに媒体層は最も効率良く温度上昇する
ことを示す。
これは<S!0+、 3) 0. s6(Sm) ll
+ 04保護屡を用いると、媒体層の光吸収率と保護層
を介しての熱拡散とが共同して有利な方向に働いたこと
による。この関係はZr口、を保護層として用いるとき
は、媒体層の光吸収率は最大となるにもかかわらず、そ
の熱拡散率も大きいために所要のレーザパワーが大きく
なることにも現れている。V =0.18のとき即ち(
SIOl、 s)o、 a2(Peso、 +8を保護
層として用いるときはレーザパワーが大きくなることも
示される(曲線82)。
第50図に消去の場合のパルス幅(μs)とレーザパワ
ー(mW)との関係が保護層材料をパラメータとして示
される。符号の意味は第47図の場合と同様である。こ
の場合も(Slol、 3)。、 sg(Sm)o、 
。4を保護層として用いるときに最も少ないレーザパワ
ーで情報の消去ができる(媒体層を結晶化できる)こと
がわかる。この(SID1.3)。16(釦)。、04
保護層を用いた光記録媒体を書き込み15mW、  0
.2μs、消去12mW、 0.2JJsのパルス条件
でくり返しを106回行ったが、安定した反射率変化が
得られ、(SIOl、 3)。、9@(Sm)。、。、
保護層がくり返しサイクルに対しても安定であることが
確認される。
さらにディスク直径130mmの光記録媒体につき周速
8 m/sでディスクを回転させながら波長830nm
のレーザにより周波数2MHzの信号を書き込む際の保
護層(Sl0+、 s> l−y(Sm)yにおけるy
値と最適に録パワーpwとの関係(曲線76)およびy
値とC/N比との関係(曲線75)が第51図に示され
る。第51図から V=0.12のときpwが15mW
となることがわかる。C/N比としては46dBが得ら
れる。従って保護層として(Sl(L、 3)O,ss
(!J)o−04を用いると、少ないレーザパワーで記
録ができるうえ電気特性にも優れることがわかる。
このようにして(SiDx) +−y (Sm) yの
材料は耐熱性の点で問題のないことは勿論であるが、情
報の記録、消去に必要とされるレーザ照射領域からみて
、熱拡散率、屈折率の値をx、yの選択によって適切な
ものになし得ることがわかる。
実施例9: 第52図に保護層として(SIO+、 3) 1−7(
Dy)yを用いたときのy値と屈折率nの関係(曲線7
7)およびy値と減衰係数にとの関係(曲線78)が示
される。屈折率nはy値とともに上昇する。そして媒体
層の光吸収率も上昇する。しかしながらy値が012以
上になると減衰係数kが0.35以上となり、保護層自
体の光吸収率が増大するので記録層の光吸収率は上昇し
なくなる。同時にyが0.1以上になると保護層の熱拡
散率も増大し、吸収エネルギの拡散が大きくなって光感
度が上昇しなくなり、y≧0.15となると光感度は減
少に転する。またy〈0.02の範囲では810に比し
効果が見られない。yの好適な範囲は0.02≦y<0
.12である。
第53F!!JにGeTe媒体層23が非晶質であると
きの媒体層厚さ(nm )と媒体層にふける光吸収率と
の関係が保護層材料をパラメータとして示される。第5
3図で曲線31は1rOz、  曲線83は(Si[]
1.−)。−6(Dy) o、o 4 、 曲線33 
ハsiO,,s 、  曲l11341tsioz T
: アル。
光吸収率の大きさの順序は保護膜材質の屈折率(2rL
 〜2.2.(SIO,,3)O,all (Dy)o
、114〜2.1.  SiO+、 3〜1,85,5
iOi 1.46>に対応している。
第54図にGeTe媒体層23が結晶質であるときの媒
体層厚さ(nm>と媒体層における光吸収率との関係が
保護層材料をパラメータとして示される。符号の意味は
第53図と同様である。光吸収率と屈折率との関係は上
述の場合と同様である。
次に光記録媒体を窒素ガスふん囲気中において、5分間
温度250℃で加熱処理を行い、光記録媒体を初期化(
媒体層のGeTeを結晶化)してから、830nmの半
導体レーザ光を用い、情報の記録、消去のためのレーザ
パルス照射条件を調べる。第55図に情報書き込みの場
合のパルス幅(μs)とレーザパワー (mW)との関
係が保護層材料をパラメータとして示される。符号の意
味は第53図の場合と同様である。この図によると、こ
の発明の実施例゛に係る(StO+、 3)。1. (
Dy)。、。、を保護層として用いた場合が最もレーザ
パワーが少ないことがわかる。即ち、(S+O+、t)
。、9!1(DY)。、。、を保護層として用いるとき
に媒体層は最も効率良く温度上昇することを示す。
これは(SiO+、s)o、5s(DY)o、on保護
層を用いると、媒体層の光吸収率と保護層を介しての熱
拡散とが共同して有利な方向に働いたことによる。この
関係はZrO,を保護層として用いるときは、媒体層の
光吸収率は最大となるにもかかわらず、その熱拡散率も
大きいために所要のレーザパヮーカ大キくなることにも
現れている。y=0.18のとき即ち(SiO+、 i
)o、 52(Dy)o、 1@を保護層として用いる
ときはレーザパワーが大きくなることも示される(曲線
84)。
第56図に消去の場合のパルス幅(Jis)とレーザパ
ワー(mll)との関係が保護層材料をパラメータとし
て示される。符号の意味は第53図の場合と同様である
。この場合も(SiO+、 3)。、 96 (Dy)
。、。、を保護層として用いるときに最も少ないレーザ
パワーで情報の消去ができる(媒体層を結晶化できる)
ことがわかる。この(S+0+−1)O,5s(Dy)
o、 114保護層を用いた光記録媒体を書き込み15
mJ  0.2μs、消去12mW、0.2μsのパル
ス条件でくり返しを106回行ったが、安定した反射率
変化が得られ、(S+0+、 a)。、、。
(Oy)。、。、保護層がくり返しサイクルに対しても
安定であることが確認される。
さらにディスク直径13釦mの光記録媒体につき周速8
m/sでディスクを回転させながら波長830nmのレ
ーザにより周波数2MHzの信号を書き込む際の保護層
(SIOl、 3) +−y(D!/)yにおけるy値
と最適記録パワーP−との関係(曲線80)およびy値
とC/N比との関係(曲線79)が第57図に示される
。第57図から y=o、o6のときpwが15m1l
となることがわかる。C/N比としては46dBが得ら
れる。従って保護層として(SIOl、3>。、sg(
D!/)。−04を用いると、少ないレーザパワーで記
録ができるうえ電気特性にも優れることがわかる。
このようにして(SiOx) l−y (Dy) yの
材料は耐熱性の点で問題のないことは勿論であるが、情
報の記録、消去に必要とされるレーザ照射領域からみて
、熱拡散率、屈折率の値をx、yの選択によって適切な
ものになし得ることがわかる。
〔発明の効果〕
この発明によれば基板上に第1の保xi g 、媒体層
、第2の保護層および表面保護層を順次形成し、前記媒
体層ヘレーザ光を照射してその相変化により情報の記録
、再生および消去を行う光記録媒体において、ZをCu
、 Al、 Ti、 Pt、 Cr、 Pe。
Nd、 Sm、 Dyのうちのいずれか1つとしたとき
に一般式(SloX) +−y(z)yで表される組成
のセラミックスからなる第1および第2の保護層を備え
るもので保護層の屈折率と熱拡散率の値が適切なものと
なり、光記録媒体の媒体層における光吸収率が大きくな
って光エネルギがを効に媒体層の加熱に利用されるとと
もにその熱拡散が防止され、その結果従来より少ないレ
ーデパワーで情報の記録、消去ができるうえ、電気特性
、信頼性にも優れる光記録媒体を提供することが可能と
なる。
【図面の簡単な説明】 第1図はこの発明の実施例に係る光記録媒体の模式断面
図、第2図はこの発明の実施例に係る(SloX)+−
,(Cu)y保護層のy値と屈折率との関係を示す線図
、第3図はこの発明の実施例に係る(S 1Ox) 0
.9 S (Cu) a−115保護層のX値と屈折率
との関係を示す線図、第4図は媒体層が非晶質であると
きの媒体層厚さと光吸収率との関係を示す線図、第5図
は媒体層が結晶質であるときの媒体層厚さと光吸収率と
の関係を示す線図、第6図は保護層材料をパラメータと
する、情報記録時におtする、レーザ照射領域を示す線
図、第7図は保護層材料をパラメータとする、情報消去
時における、レーデ照射領域を示す線図、第8図はこの
発明の実施例に係る(SiO,、)、−、(CuLOi
iJ層のy値と最適記録パワーとの関係およびy値と 
C/N比との関係を示す線図、第9図は5IOII葆謹
層のX値と最適記録パワーとの関係およびX値と C/
N比との関係を示す線図、第10図はこの発明の実施例
に係る(S+0.3> 1−(Al)y保護層のy値と
屈折率との関係およびy値と減衰係数にとの関係を示す
線図、第11図は媒体層が非晶質であるときの媒体層厚
さと光吸収率との関係を示す線図、第12図は媒体層が
結晶質であるときの媒体層厚さと光吸収率との関係を示
す線図、第13図は保護層材料をパラメータとする、情
報記録時におけるレーザ照射領域を示す線図、第14図
は保護層材料をパラメータとする、情報消去時における
、レーザ照射領域を示す線図、第15図はこの発明の実
施例に係る(SIOl、3) 1−y(A1) 、保護
層のy値と最適記録パワーとの関係およびy値と C/
N比との関係を示す線図、第16図はこの発明の実施例
に係る(SIOl、 s>(Ti)、保護層のy値と屈
折率との関係およびy値と減衰係数にとの関係を示す線
図、第17図は媒体層が非晶質であるときの媒体層厚さ
と光吸収率との関係を示す線図、第18図は媒体層が結
晶質゛であるときの媒体層厚さと光吸収率との関係を示
す線図、第19図は保護層材料をパラメータとする、情
報記録時における、レーデ照射領域を示す線図、第20
図は保護層材料をパラメータとする、情報消去時におけ
る、レーザ照射領域を示す線図、第21図はこの発明の
実施例に係る(SIOl、 3) +−y(T+)y保
護層のy値と最適記録パワーとの関係およびy値とC/
N比との関係を示す線図、第22図はこの発明の実施例
に係る(SIOl、s) +−y(Pt)y保護層のy
値と屈折率との関係およびy値と減衰係数にとの関係を
示す線図、第23図は媒体層が非晶質であるときの媒体
層厚さと光吸収率との関係を示す線図、第24図は媒体
層が結晶質であるときの媒体層厚さと光吸収率との関係
を示す線図、第25図は保護層材料をパラメータとする
、情報記録時における、レーザ照射領域を示す線図、第
26図は保護層材料をパラメータとする、情報消去時に
おける、レーザ照射領域を示す線図、第27図はこの発
明の実施例に係る(siol、 s) I−、(pt)
 y保護層のy値と最適記録パワーとの関係およびy値
と C/N比との関係を示す線図、第28図はこの発明
の実施例に係る(SIOl、3)+−y(Cr)y保護
層のy値と屈折率との関係およびy値と減衰係数にとの
関係を示す線図、第29図は媒体層が非晶質であるとき
の媒体層厚さと光吸収率との関係を示す線図、第30図
は媒体層が結晶質であるときの媒体層厚さと光吸収率と
の関係を示す線図、第31図は保護層材料をパラメータ
とする、情報記録時における、レーザ照射領域を示す線
図、第32図は保護層材料をパラメータとする、情報消
去時における、レーザ照射領域を示す線図、第33図は
この発明の実施例に係る(SiOl−3) +−y(c
r)y保護層のy値と最適記録パワーとの関係およびy
値とC/N比との関係を示す線図、第34図はこの発明
の実施例に係る(SiO3,3) 1−(Fe) 、保
護層のy値と屈折率との関係ふよびy値と減衰係数にと
の関係を示す線図、第35図は媒体層が非晶質であると
きの媒体層厚さと光吸収率との関係を示す線図、第36
図は媒体層が結晶質であるときの媒体層厚さと光吸収率
との関係を示す線図、第37図は保護層材料をパラメー
タとする、情報記録時における、レーザ照射領域を示す
線図、第38図は保護層材料をパラメータとする、情報
消去時における、レーザ照射領域を示す線図、第39図
はこの発明の実施例に係る(SiOl、 a) +−y
(Fe) y保護層のy値と最適記録パワーとの関係お
よびy値とC/N比との関係を示す線図、第40図はこ
の発明の実施例に係る(S+0+−s) 1−y(Nd
)−保護層のy値と屈折率との関係およびy値と減衰係
数にとの関係を示す線図、第41図は媒体層が非晶質で
あるときの媒体層厚さと光吸収率との関係を示す線図、
第42図は媒体層が結晶質であるときの媒体層厚さと光
吸収率との関係を示す線図、第43図は保護層材料をパ
ラメータとする、情報記録時にふける、レーザ照射領域
を示す線図、第44図は保護層材料をパラメータとする
、情報消去時における、レーザ照射領域を示す線図、第
45図はこの発明の実施例に係る(SiOl、 3) 
+−y(Nd)y保護層のy値と最適記録パワーとの関
係右よびy値と C/N比との関係を示す線図、第46
図はこの発明の実施例に係る(SiOl、 3) I−
y (Sm) y保護層のy値と屈折率との関係および
y値と減衰係数にとの関係を示す線図、第47図は媒体
層が非晶質であるときの媒体層厚さと光吸収率との関係
を示す線図、第48図は媒体層が結晶質であるときの媒
体層厚さと光吸収率との関係を示す線図、第49図は保
護層材料をパラメータとする、情報記録時における、レ
ーザ照射領域を示す線図、第50図は保護層材料をパラ
メータとする、情報消去時における、レーザ照射領域を
示す線図、第51図はこの発明の実施例に係る(SiO
l、 3) +−y(sm)y保護層0) y 値ト最
適記録パワーとの関係およびy値と C/N比との関係
を示す線図、第52図はこの発明の実施例に係る(Si
01−3)(Dy) y保護層のy値と屈折率との関係
およびy値と減衰係数にとの関係を示す線図、第53図
は媒体層が非晶質であるときの媒体層厚さと光吸収率と
の関係を示す線図、第54図は媒体層が結晶質であると
きの媒体層厚さと光吸収率との関係を示す線図、第55
図は保護層材料をパラメータとする、情報記録時にふけ
る、レーザ照射領域を示す線図、第56図は保護層材料
をパラメータとする、情報消去時における、レーザ照射
領域を示す線図、第57図はこの発明の実施例に係る(
SiOl、 3) +−y(DyL保護保護y値と最適
記録パワーとの関係およびy値とC/N比との関係を示
す線図である。 21  基板、22  第1の保護層、23  媒体層
、24第 図 媒体層厚さ(nm) 第4区 媒体層厚さ(nm) 第5図 2 4 6  B  +0124416(SiOx)1
−y(Cu)yl−おけるy値(XIO−2)第 区 (SiOx)o、5s(Cu)o、o5にお116x値
第 図 パルス’l (Ps) 第6図 パルス幅(ps) 第7図 C/N (SiO+、3)+−y(Cu)yl:おけるy値(X
IO−”)(SiOx)l、:21ける×値 第9Σ 媒体層厚さ(nm) 媒体層厚さ(nm) 第12区 (SiOt3)+−y(AI)yCおけるy値(XIO
−”)図 0.1 パルス幅(Ps) 第13図 0.1 パルス幅(ps) 第 図 叩ミ優 肩焼き源 0.11 パルス幅(ps) 第19区 0.11 パルス幅(μS) 第20図 媒体層厚さ(nm) 第17区 媒体層厚さ(nm) 第18図 叩ミ脣 111柩込頗 媒体層厚さ(nm) 媒体層厚さ(nm) [Eflミ優 宥愼謎姫 0.1 パルス幅(Ps) 第25 パルス幅(μS) 第26 媒体層厚さ(nm) 第 媒体層厚さ(nm) 第 0.1 パルス幅(ps) 第31Σ 0.1 パルス幅(μS) 第 Σ 媒体層厚さ(nm) 第35図 媒体層厚さ(nm) 第 区 回!i!ii:箸 箕愼き頗 パルス幅(μS) @蕎簀 511If愼き鋭 パルスSCμs) 第43 図 0.11 パルス幅(μS) 第44図 媒体層厚さ(nm) 圓蕎簀 責愼き源 媒体層厚さ(nm) 媒体層厚さ(nm) 第 図 四蕎井 雪1帽ミ脳 パルス幅(μS) 第49図 パルス幅(μS) 第 図 媒体層厚さ(nm) 媒体層厚さ(nm) 第 区 パルス幅(ps) 第 Σ パルス幅(μS) 第 図 C/N (SiO+、3)+−y(Dy)yl:おけるy値(X
IO−2)第 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1)基板上に第1の保護層、媒体層、第2の保護層およ
    び表面保護層を順次形成し、前記媒体層へレーザ光を照
    射してその相変化により情報の記録、再生および消去を
    行う光記録媒体において、ZをCu、Al、Ti、Pt
    、Cr、Fe、Nd、Sm、Dyのうちのいずれか1つ
    としたときに一般式(SiO_x)_1_−_y(Z)
    _yで表される組成のセラミックスからなる第1および
    第2の保護層を備えることを特徴とする光記録媒体。
JP1089053A 1988-07-08 1989-04-07 光記録媒体 Pending JPH02223033A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63-170110 1988-07-08
JP17011088 1988-07-08
JP63-287288 1988-11-14

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04126327U (ja) * 1991-04-19 1992-11-18 尚人 波多野 セラミツクcd
EP1571658A2 (en) * 2004-03-03 2005-09-07 NEC Corporation Optical information recording medium and method of manufacturing the same

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