JPH02219457A - 磁気カップリングシール - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気カップリングシールに関し、特に真空装置
内の駆動機構を大気側から同期駆動させる磁気カップリ
ングシールに関する。

〔従来の技術〕

従来のこの種の磁気カップリングシールの一例を第３図
に示す。図示のように、真空装置のスリーブ１の内側（
真空側）には先端に磁性体３を固着した真空側移動子２
を配設し、また、このスリーブ１の外側（大気側）には
マグネット５を配置している。そして、このマグネット
５を支持する大気側移動子４をモータ６によって軸回転
されるスクリューボルト７に螺合させ、スクリューボル
ト７の軸回転によって軸方向に移動できるように構成し
ている。また、この大気側移動子４の一部にはスリット
板８を一体に設け、前記スクリューボルト７に沿って適
宜距離離して設けた一対のセンサ９ａ、９ｂによりスリ
ット板８の位置を検出し得るようにしている。

この構成では、マグネット５が大気側移動子４と共にス
クリューボルト７によって直線移動されると、このマグ
ネット５と磁性体３との磁気結合により直線運動がその
まま真空側移動子２に伝達される。大気側移動子４はス
リット板８とセンサ９ａ、９ｂによって移動範囲が規制
され、これに伴って真空側移動子４の移動範囲及びその
停止位置を決定する。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の磁気カップリングシールは、真空側の磁
性体３と大気側のマグネット５との磁気結合により同期
駆動させて真空装置内の駆動機構の駆動及びその位置決
めを行っている。このため、その磁気結合より大きな力
が突発的に加えられてマグネット５と磁性体３の間に位
置ずれが生じた場合でも、この状態を直に検出すること
ができず、真空装置内の駆動機構に誤動作を生じさせて
しまうことがある。

本発明は真空側と大気側との位置ずれを直に検出するこ
とを可能にした磁気カップリングシールを提供すること
を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の磁気カップリングシールは、真空側に設けた磁
性体又はマグネットに対応して設けられて、この磁性体
又はマグネットに磁気結合される大気側のマグネットの
移動方向両端に夫々磁気強度を検出する一対のセンサを
設け、かつこれらセンサの検出信号の差を出力し得るよ
うに構成している。

〔作用〕

上述した構成では、一対のセンサに対して真空側磁性体
又はマグネットが位置ずれを生じたときに、一対のセン
サの検出信号に差が生じ、これから大気側及び真空側の
各マグネット又は磁性体の位置ずれを検出する。

〔実施例〕

次に、本発明を図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の断面図である。図示のよう
に、真空装置のスリーブ１の内側（真空側）には先端に
磁性体３を固着した真空側移動子２を配設し、またスリ
ーブ１の外側（大気側）には筒状の大気側移動子４を配
設し、この移動子４にマグネット５を日間状態に配置し
ている。そして、このマグネット５を支持する大気側移
動子４をモータ６によって軸回転されるスクリューボル
ト７に螺合させ、スクリューボルト７の軸回転によって
軸方向に移動できるように構成している。

また、この大気側移動子４の一部にはスリット板８を一
体に設け、前記スクリューボルト７に沿って適宜距離離
して設けた一対のセンサ９ａ、９ｂによりスリット板８
の位置を検出し得るようにしている。

更に、前記マグネット５の前後端には夫々センサ１０ａ
　　１０ｂを配設している。これらセンサ１０ａ、１０
ｂには磁力によりその強弱を電気信号に変換し出力する
方式のセンサを用いており、マグネット５と磁性体３と
の同期駆動状態を検出し、その信号出力を差動増幅回路
１１に入力して位置ずれを検出するように構成している
。

次に動作について説明する。

マグネット５が大気側移動子４と共にスクリューボルト
７により直線移動されると、このマグネット５と磁性体
３との磁気結合により磁性体３が同期駆動され、大気側
移動子４の直線運動がそのまま真空側移動子２に伝達さ
れる。大気側移動子４はスリット板８とセンサ９ａ、９
ｂによって移動範囲が規制され、これに伴って真空側移
動子２の移動範囲及びその停止位置が決定される。

そして、マグネット５と磁性体３間に両者の磁気結合力
より大きな力が突発的に加わってマグネット５と磁性体
３との位置がずれた場合には、センサ１０ａ、１０ｂに
対する磁性体２の相対位置バランスが崩れるため、雨セ
ンサ１０ａ、１０ｂ間に磁力の強弱の差が生じ、差動増
幅回路１１より一部レベル以上の信号が出力される。し
たがって、この出力信号により警報を鳴らす等すれば、
この位置ずれによる異常状態を直に外部へ知らせること
ができる。

なお、真空側に設けた磁性体３はマグネットに代えても
良い。

第２図は本発明を回転方向に駆動させる磁気カップリン
グシールに適用した第２実施例を示し、同図（ａ）は断
面図、同図（ｂ）はその縦断面図である。

同図（ａ）のように、真空装置のスリーブ１の内側（真
空側）に真空側回転子２Ａを配設し、その先端には複数
個のマグネット３Ａを円周方向に配設している。また、
スリーブ１の外側（大気側）には筒状の大気側回転子４
Ａを配設し、ここに複数個のマグネッ）５Ａを円周方向
に配設している。

この大気側回転子４Ａは図外の駆動機構により軸回り方
向に回転駆動され、かつその一部にはスリット板８を一
体に設け、このスリット板８とセンサ９とにより大気側
回転子４への回転位１を検出して該回転子４Ａの回転範
囲を規制し、かつその停止位置を設定するように構成し
ている。

更に、前記大気側マグネッ）５Ａの一部には、円周方向
両側に一対のセンサ１０ａ、１０ｂを適宜距離離して設
け、これらセンサ１０ａ、１０ｂの出力信号を差動増幅
回路１１に入力させている。

次に動作について説明する。

大気側回転子４Ａが図示を省略する駆動機構によって回
転されると、大気側マグネット５Ａと真空側マグネッ）
３Ａとの磁気結合により、大気側回転子４Ａによって真
空側回転子２Ａは同期駆動される。このとき、何らかの
原因により、大気側と真空側の両回転子間に異常が生じ
、ずれが発生すると、センサ１０ａ、１０ｂが真空側マ
グネット３Ａに対するバランスが崩れ、各センサ１０ａ
。

１０ｂの出力に差が生じる。これにより、差動増幅回路
１１より一部レベル以上の信号が出力され、この出力信
号により異常状態を知ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、大気側のマグネットの移
動方向両端に夫々磁気強度を検出する一対のセンサを設
けているので、真空側磁性体又はマグネットが位置ずれ
を生じたときに、一対のセンサの検出信号に差が生じ、
これから大気側と真空側との間の位置ずれを直に検出す
ることができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の縦断面図、第２図は本発
明の第２実施例を示し、同図（ａ）は縦断面図、同図（
ｂ）は直交する方向の縦断面図、第３図は従来の磁気カ
ップリングシールの縦断面図である。 １・・・スリーブ、２・・・真空側移動子、２Ａ・・・
真空側回転子、３・・・磁性体、３Ａ・・・真空側マグ
ネット、４・・・大気側移動子、４Ａ・・・大気側回転
子、５．５Ａ・・・大気側マグネット、６・・・モータ
、７・・・スクリューボルト、８・・・スリット板、９
．９ａ、９ｂ・・・センサ、１０ａ、１０ｂ−センサ、
１１・・・差動増幅回路。 第１図 第２ 図 第３ 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、真空側に設けた磁性体又はマグネットと、大気側に
   設けたマグネットとを磁気結合させ、大気側のマグネッ
   トを移動させて真空側の磁性体又はマグネットを同期駆
   動する構成の磁気カップリングシールにおいて、前記大
   気側マグネットの移動方向両端に夫々磁気強度を検出す
   る一対のセンサを設け、かつこれらセンサの検出信号の
   差を出力し得るように構成したことを特徴とする磁気カ
   ップリングシール。