JPH02217380A - 摺動部材 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、新規なセラミックス摺動部材に係るものであ
り、特に摺動部材として、無機化合物を５ｉａＮａで結
合した多孔質セラミックスを使用することにより高い耐
摩耗性を付与し、これにより耐久性に優れた摺動部材及
びそれを用いた磁気ディスク装置に関する。

〔従来の技術〕

機械が動くときには必ず摺動がついてまわる。

摺動部の摩擦と摩耗を減らせれば、それだけ省エネルギ
、長寿命、クリーン化につながる。例えば、磁気ディス
ク装置では高精度化が要求されており、大きな問題とな
っている。このアクチュエータに高剛性が耐摩耗性に優
れるセラミックスを使用することは容易に考えられる。

なぜなら、近年セラミックス製の摺動部材がいろいろ提
供されているからである。摺動材用セラミックスとして
代表的なものは、ＳｉＣ，５ｉｓＮａ、ＡｎｚＯａ、及
びＺｒ０ｚが知られているが、摺動材として実際に使用
するには以下の要求特性を満たさなければならない。

（１）硬度が高く、耐摩耗性及び耐焼付き性が優れてい
ること。

（２）摺動相手材との相性が良いこと（摩擦係数が低く
、相手材の摩耗も小さいこと） （３）耐蝕性が優れていること （４）強度、靭性及び耐熱衝撃性が高いこと（５）摺動
面間の良好な潤滑状態を維持するために、応力や熱によ
る摺動面の変形が小さいこと（すなわち、ヤング率が高
く、熱膨張係数が小さいこと） （６）熱伝導度が高いこと（耐熱衝撃性を高め、摩擦熱
の蓄積を防ぐことによって摩擦係数の上昇と摺動面の熱
変形を抑制する） （７）比重が小さいこと（遠心応力を低減する）これら
の要求特性に対する既存材料の適性をみると、金属質材
料は耐焼付き性、耐摩耗性に問題がある。ＡＱｚＯ３セ
ラミックス単独は耐熱衝撃性に弱く、熱膨張係数が大き
いので熱による摺動面の変形が生じる。ＺｒＯ２単独も
ＡＭ２０３と同様に、耐熱衝撃性に弱く、熱膨張係数も
大きい。

５ｉａＮ４単独は、熱伝導度が低い。ＳｉＣ単独は、硬
く、熱伝導にも優れているが、じん性が劣る、などの問
題があり、耐摩耗性、耐蝕性を兼備し、かつ耐熱衝撃性
の一段と向上した摺動材が要求されている。

また昔から公知である含油金属軸受部品の応用として、
多孔質のセラミックスに油や潤滑剤を含浸して使用する
方法で摺動材として多く適用されており、例えば、特開
昭６１−１６３１７４号公報に「湿式条件下において優
れた摺動特性を有する多孔質のＳｉＣ焼結体からなる摺
動材」に係る発明が開示されている。

しかしながら、従来の多孔質セラミックスでは潤滑剤の
保持性について検討されていないために例えば磁気ディ
スク装置のアクチュエータ摺動部材のように耐久性２発
塵性が要求される摺動部材として性能が十分でなく、ま
た十分にするための技術が不明であった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記従来技術は、摺動状態の耐摩耗性の点について配慮
がされておらず、摩耗が生じ、発塵するという問題があ
った。

本発明の目的は、潤滑剤の保持性を高め、耐摩耗性に優
れ摺動部材及びそれを用いた磁気ディスク装置を提供す
ることにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的は、平均粒径１００μｍ以上の炭化物。

酸化物、窒化物、酸窒化物の少なくとも一種の無機化合
物粒子と平均粒径が該無機化合物より小さい窒化ケイ素
反応焼結体からなり、気孔量が８から４０ｖｏｌ％、直
径が３０μｍ以下の気孔を有し、少なくともその表面上
に油及び／又は固体潤滑剤を含浸及び／又は付着させる
ことにより達成される。

本発明は、磁気ヘッドを直線状に案内駆動するアクチュ
エータの構成要素であるガイドレール及び／又はベアリ
ングを備えた磁気ディスク装置において、前記ガイドレ
ール及び／又はベアリングは、炭化物、酸化物、窒化物
、酸窒化物の少なくとも一種の無機化合物粒子と、平均
粒径が該無機化合物より小さい窒化ケイ素反応焼結体か
らなり、該焼結体は気孔量が８から４０ｖｏｌ１％、及
び直径が３０μｍ以下の気孔を有し、少なくともその表
面に油及び／又は固体潤滑剤を含浸及び又は付着させた
ことを特徴とする磁気ディスク装置にある。

〔作用〕

本発明は、第１図に示すように、平均粒径１００μｍ以
下の炭化物、酸化物、窒化物、酸窒化物の少なくとも一
種の無機化合物粒子１、平均粒径が８から４０ｖｏ１２
％、最大気孔径が３０μｍ以下の気孔３からなり、平均
粒径が該無機化合物より小さい５ｉｚｌ’Ｌａ２粒子間
の微小な気孔中に番号４のように該気孔中及び５ｉａＮ
ａ部の表面上に油及び／又は固体潤滑剤を含浸及び／又
は付着させることにより達成される。

なぜなら、摺動により油及び／又は固体潤滑剤４が、摺
動面を支える番号１の無機化合物粒子上に広がり摺動特
性を高めると共に、油及び／又は固体潤滑剤を保持する
微小気孔部分が存在することにより、保持性をも高める
ことができることが発明者らによって判ったからである
。

ここで、番号２の５ｉａＮａ粒子の大きさは、番号１の
該無機化合物粒子より小さくなければらない、５ｉａＮ
４粒子の粒径が該無機化合物粒子の粒径以上になると潤
滑剤の脱落率が高くなると共に急激に発塵する。これは
、番号２の５ｉａＮ４粒子が番号１の該粒子より大きい
と気孔中及び５ｉａｔＬａ粒子表面上での油及び／又は
固体潤滑剤との接触面積が小さくなるために保持効果が
悪くなるためである６特に、５ｉａＮａ粒子の平均粒径
は、０．２〜５μｍの範囲にあると最も潤滑剤の保持性
に優れる。

無機化合物粒子番号１とＳｉ３Ｎ＋粒子番号２の摺動面
は平滑あるいは、ラッピング加工により、Ｓｉ３Ｎ４粒
子番号２をＯ，ｌμｒｎ　から１μｍ程度凹にするとさ
らに潤滑剤の保持性を高めることが可能である。この凹
部があると潤滑剤が溜り潤滑効果をより向上できる。

特に本発明においては、番号・２の５ｉａＮ４粒子は、
無機化合物と金属Ｓｉ粉末の成形体を窒化反応させて生
成した５ｉａＮｉ粒子とするのが好ましい。なぜなら、
これによって生成した５ｉａＮ４粒子は３μｍ以下の均
一微細であり、気孔径も３０μｍ以下のものが容易に得
られるからである。またこの方法では、該気孔中に直径
１μｍ以下の窒化物ホイスカーが生成し、気孔中の物質
との接触面積が増加し、油及び／又は固体潤滑剤の保持
性をさらに高めることができ、耐摩耗性に優れるととも
に、潤滑剤の脱落による汚染を防止できる。

本発明において、無機化合物は、硬度の大きいＳｉＣ，
ＴｉＮ、ＴｉＣ，ＺｒＮ、ＺｒＣの少なくとも一種とす
るのが好ましい、なぜなら、番号ｌの粒子が主に摺動相
手材を与えるので耐摩耗性に優れた材料が良いためであ
る。また、ＳｉＣ。

ＴｉＮ＊　ＴｉＣｔ　Ｚｔ’Ｎは、金属Ｓｉから生成し
てできた５ｉａＮ番との共有結合性が良いために結合力
が極めて強く、粒子の脱落が生じにくいからである。

本発明において、無機化合物の平均粒径は０．５から１
００μｍとするのが好ましい。なぜなら、０．５μｍよ
り小さいと無機化合物が脱落しやすくなるからである。

また１００μｍより大きいと粒子の脱落が生じやすくな
り汚染の元になるからである。特に５から２０μｍとす
ると相手材を支えるのに有効であり、粒子の脱落防止に
最適である。また同様にボイス力を使用することもでき
る。

本発明において、摺動面を気孔率８〜４０％の気孔を持
つセラミックス焼結体とする理由は、気孔率が４０％よ
り多くなると粒子同士の結合強度が低下し、摺動中に粒
子の脱落が多くなり汚染の元になり、一方８０％より少
ないと潤滑効果が無くなるために摩耗による発塵が生じ
るからである。

摺動面を気孔率８〜４０％の気孔とすることにより、潤
滑油膜が破断されないので凝着や焼付きが生じない。こ
れより、３０μｍより大きくなると発塵量が増加する。

気孔径が３０μｍより大きくなると潤滑剤の脱落が多く
なり汚染となると共に潤滑効果が無くなるために摩耗が
生じるからである０以上のように特定の気孔量、気孔径
とすることにより、極めて優れた摺動特性をもたらすこ
とが判った。

従って、片面が本発明のセラミックスであれば、他面は
金属、気孔率３０ｖｏｌ％以下のＳｉＣ。

Ｓ　ｉ　ａＮａ、　Ａ　Ｑ　ｚｏａ、　Ｚ　ｒ　０２セ
ラミツクスでも優れた摺動特性を有する。

したがって、本発明において、摺動材を上記セラミック
スで構成した場合、相手材には、金属。

気孔率３０ｖｏ　Ｑ％以下のＳ　ｉＣ，Ｓ　１ａＮ４＋
Ａ　Ｑ　ｚｏｓ、　Ｚ　ｒ　Ｏｚ　、同一材のうち一種
で構成することができる。

本発明において、摺動面の油、固体潤滑剤を気孔中及び
Ｓｉ３Ｎ４粒子上に保持することにより。

極めて優れた耐摩耗性を有する部材を得ることができる
。これより、油には比重１．５ｇ／ｃｄ以上または粘度
４００センチポアズ以上のものを使用するのが好ましい
、その理由は、比重１．５ｇ／−以上または粘度４００
センチポアズ以上の油ではセラミックス焼結体摺動面で
の保持性に優れ。

蒸発などによりディスク上にゴミとなって飛び出しにく
いからである。

そして粘度４００センチポアズ以上の油にグラファイト
、二硫化モリブデン、二硫化タングステン、二硫化チタ
ン、ＢＮ、フッ素樹脂、二硫化テルル、二硫化セレン、
水酸化バリウム、塩化鉄。

ヨウ化銀、タルク、ホウ砂、カオリン、酸化鉛。

バーミユライト、パラフィンワックス、ステアリン、Ｆ
　ｅ　−Ｍ　ｎリン酸鉛などの少なくとも一種以上の固
体潤滑剤が混合されている潤滑剤を使用することもでき
る。なぜなら、油単体であると高温状態で長期間の使用
中に油切れ状態になる可能性があるが、油と固体潤滑剤
の混合物であるとその心配がなく信頼性、耐久性に優れ
るからである。

〔実施例〕

実施例１ 平均粒径０．９μｍの金属Ｓｉ粉末６０重量部と平均粒
径１６μｍのＳｉＣ粉末４０重量部をメタノールと一緒
にポットミルで混合、乾燥した後、ポリエチレン系ワッ
クスを９重量部添加して、１５０℃で加圧ニーダを用い
て５時間混棟した。

そして混合物を粉砕し、１５０℃、１０００ｋｇ／ｄの
条件でガイドレール形状に成形した。成形体のワックス
分を除去した後、窒素ガス中１３８０℃まで段階的に長
時間かけて加熱処理し、５ｉａＮ４結合ＳｉＣセラミッ
クスを得た。この時の成形体から焼結体への寸法変化率
は０．１５％　と小さく寸法精度に優れたものが得られ
た。焼結体の気孔率は１５％、気孔径２０μｍ以下であ
った。Ｓｉ３Ｎ＋の結晶粒径は３μｍ以下とＳｉＣ粉子
に比較して小さい。

摺動面を砥石で研摩し、摺動面の面粗さは十点平均粗さ
で０．１μｍとした。そして、オートクレーブにより粘
度４００センチポアズのフッ素オイルを含浸した。評価
は、第２図の概略図に示す磁気ディスク装置に組込み試
験をおこなった。ベアリングには、５ＵＳ４４０Ｃを用
いた。試験条件は、最大速度１．４ｍ／ｓ、周波数６０
　Ｈｚで磁気ヘッドを１００回往復運動させた。試験後
の摺動面の面粗さは十点平均粗さで０．１μｍであり、
摺動前と変化しないことが確認できた。また摺動部と未
摺動部の段差は０．０１μｍ以下と小さいことが確認で
きた。摺動試験後の摺動面は、フッ素オイルが気孔中及
び５ｉｓＮ＋粒子上に含浸。

付着していることが判った。これより、本発明品は潤滑
剤の保持性に優れているために耐摩耗性に優れており、
アクチエータに適していることが判った。

比較のために多孔質ＳｉＣ（気孔率１５ｖｏｌ％）、多
孔質５ｉａＮ４（気孔率１５ｖｏｌ％）にフッ素オイル
を含浸して同様に試験した結果、１０’回往復運動程度
で急激な摩耗が生じた。摺動面をｗｔ格した結果、潤滑
剤がほとんど無くなっており、潤滑剤の保持性が悪いた
めに摩耗が激しく生じたと考えられる。

第３図は該無機化合物と５ｉａＮ＋粒子の粒径比と発塵
量及び潤滑剤の脱落率の関係を示す。発塵量は磁気ディ
スク上に飛散した物質の重量を測定した。潤滑剤にはフ
ッ素オイルを用いた。第５図より、５ｉａＮ４粒子の粒
径が該無機化合物粒子の粒径以上になると潤滑剤の脱落
率が高くなると共に急激に発塵していることが判る。こ
れは、番号２の５ｉａＮ＋粒子が番号１の該粒子より大
きいと気孔中及び５ｉａＮ４粒子表面上での油及び／又
は固体潤滑剤との接触面積が小さくなるために保持効果
が悪くなるためである。特に、Ｓｉ３Ｎ＋粒子の平均粒
径は、０．２〜５μｍの範囲にあると最も潤滑剤の保持
性に優れる。

本発明において、摺動面を気孔率８〜４０％の気孔を持
つセラミックス焼結体とする理由は、第４図に気孔率と
発塵量の関係を示すように、気孔率が４０％より多くな
ると粒子同士の結合強度が低下し、摺動中に粒子の脱落
が多くなり汚染の元になり、一方８％より少ないと潤滑
効果が無くなるために摩耗により発塵が生じるからであ
る。摺動面を気孔率８〜４０％の気孔とすることにより
、潤滑油膜が破断されないので凝着や焼付きが生じない
。第５図に最大気孔径と発塵量の関係を示す。

これより、３０μｍより大きくなると発塵量が増加して
いることが判る。気孔径が３０μｍより大きくなると潤
滑剤の脱落が多くなり汚染となると共に潤滑効果が無く
なるために摩耗が生じるからである。以上のように特定
の気孔量、気孔径とすることにより、極めて優れた摺動
特性をもたらすことが判る。

従って、片面が本発明のセラミックスであれば。

他面は金属、気孔率３０ｖｏ　０％以下のＳｉＣ。

Ｓ　ｉ　ａＮａ、　Ａ　Ｑ　２０３．　Ｚ　ｒ　Ｃ）ｚ
セラミックスでも優れた摺動特性を有する。

したがって、本発明において、摺動材を上記セラミック
スで構成した場合、相手材には、金属。

気孔率３０ＶＯ０％以下のＳｉＣ，５ｉａＮ＋。

ＡＱｚＯａ、Ｚ　ｒＯｚ　＋同一材のうち一種で構成す
ることができる。

本発明において、摺動面の浦、固体潤滑剤を気孔中及び
５ｉａＮ＋粒子上に保持することにより、極めて優れた
耐摩耗性を有する部材を得ることができる。第６図に油
の比重及び粘度と発塵性の関係を示す。これより、油に
は比重１．５ｇ／ａＩ！以上または粘度４００センチポ
アズ以上のものを使用するのが好ましい。

実施例２ 平均粒子０．７μｍの金属Ｓｉ粉末８０重量部と平均粒
子３μｍのＴｉＮ粉末２０重量部をメタノールと一緒に
ポットミルで混合、乾燥した後、ポリエチレン系ワック
スを９重量部添加して、１５０℃で加圧ニーダを用いて
５時間混棟した。

そして混合物を粉砕し、１５０℃、１０００ｋｇ／−の
条件でベアリング形状に成形した。成形体のワックス分
を除去した後、窒素ガス中１３５０℃まで階段的に長時
間かけて加熱処理し、５ｉａＮ４結合ＴｉＮセラミック
スを得た。この時の成形体から焼結体への寸法変化率は
０．１５％　と小さく寸法精度に優れたものが得られた
。焼結体の気孔率は８％、気孔径１０μｍ以下であった
。Ｓｉ３Ｎ４の結晶粒径は２μｍ以下とＴｉＮ粒子に比
較して小さい。

摺動面を砥石で研摩し、摺動面の面粗さは十点平均粗さ
で０．０７μｍとした。そして、オートクレーブにより
フラン樹脂を含浸した。評価は、第２図の概略図に示す
磁気ディスク装置に組み込み試験をおこなった。ガイド
レールには、気孔率５ｖｏ１２％のＡｆｌｚＯａを用い
た。試験条件は、最大速度１．４ｍ／ｓ　　、周波数６
０Ｈｚで磁気ヘッドを１００回往復運動させた。試験後
の摺動部の面粗さは十点平均粗さで０．０８μｍであり
、摺動前と変化しないことが確認できた。また摺動部と
未摺動部の段差は０．０１μｍ以下と小さいことが確認
できた。摺動試験後の摺動面は、フラン樹脂が気孔中及
び５ｉａＮ４粒子上に含浸、付着していることが判った
。これより１本発明品は耐摩耗性に優れており、アクチ
ュエータに適していることが判った。

比較のために５ＵＳ４４０Ｃでベアリングを作製し、同
様に試験した結果摩耗が激しく問題外であった。

実施例３ 実施例１と同様にして、ＳｉＣ粒子の代わりにＴｉＮ、
ＴｉＣ，ＺｒＮ、ＺｒＣ粒子に変えてガイドレールを試
作し試験を行った。その結果、実施例１と同様に摩耗が
無く良好な結果が得られた。

これは、本発明品は気孔及び５ｉａＮ＋粒子上に潤滑剤
が付着し摺動効果をもたらしているためである。

実施例４ 実施例１と同様にして、ＳｉＣ粉末の平均粒径を変えて
成形、焼結し摺動試験を行った。その結果、ＳｉＣ粒子
が５ｉａＮ４粒子より小さくなると摩耗が生じ、また１
００μｍより大きくなるとＳｉＣ粒子が脱落しやすくな
り、脱落したＳｉＣ粒子により障害が生じることが判っ
た。ここで。

５ｉａＮ４粒子より大きい平均粒径の異なるＳｉＣ粉末
を２成分以上混合しても同様に優れた摺動特性を示した
。

実施例５ 実施例１と同様にして、金属ＳｉとＳｉＣの原料配合比
を変えて焼結体中の５ｉａＮａ相とＳｉＣ相の組成比を
変えた場合の試験を行った。その結果、ＳｉＣ粒子の量
が６０ｖｏｆ１％より多くなると機械的強度が下がるた
めに摩耗量が多くなり。

障害をもたらすことが判った。したがって、ＳｉＣ粒子
の量は、６０ｖｏ　Ｑ％以下である方が好ましい。

実施例６ 平均粒径０．５μｍの金属Ｓｉ粉末６０重量部と平均粒
径５μｍのＳｉＣ粉末４０重量部にポリエチレンとステ
アリン酸と合成ワックスの混合物を１３重量部添加、混
練し原料とした。この原料を抽出し成形機を用いて第７
図に示すような中空のガイドレールの成形体を作製した
。成形体中のワックス分を除去した後、窒素ガス中１１
００℃〜１４００℃まで６℃／ｈで加熱処理した、得ら
れたガイドレールの焼結時寸法変化率は０．１３％と小
さく、摺動面を加工するのみで使用可能であった。した
がって、製品の寸法ばらつきを抑えることができ、加工
コストも従来の半分以下になると考えられ、量産品に適
していることが判った。

そして、オートクレーブにより粘度２０００センチポア
ズのマシンオイルに固体潤滑剤ＢＮを混合した潤滑剤を
含浸した。評価は、第２図の概略図に示す磁気ディスク
装置に組み込み試験をおこなった。ベアリングには、固
体潤滑剤ＢＮを含浸した気孔質２０ｖｏｌ％のＳｉＣを
用いた。試験条件は、最大速度１．４ｍ／ｓ、周波数６
０Ｈｚで磁気ヘッドを１０”回往復運動させた。試験後
の摺動面の面粗さは十点平均粗さで０．１μｍであり、
摺動前と変化しないことが確認できた。また摺動部と未
摺動部の段差は０．０１μｍ以下と小さいことが確認で
きた。摺動試験後の摺動面は。

マシンオイルに固体潤滑剤ＢＮを混合した潤滑剤が気孔
中５ｉａＮａ粒子上に含浸、付着していることが判った
。これより１本発明品は耐摩耗性に優れており、アクチ
ュエータに適していることが判った。

実施例７ 実施例１のＳｉＣ粉子の変わりに長さ５０μｍ、アスペ
クト比５０のＳｉＣウィスカを原料に用いて同様に成形
、焼結を行い摺動試験を行った。その結果実施例１と同
様に良好な結果得られた。

実施例８ 平均粒径０．２μｍの５ｉａＮ＋粉末５０重量部と平均
粒径５μｍのＳｉＣ粉末４５重量部と焼結助剤ＹｚＯｓ
５重量部にポリエチレンとステアリン酸と合成ワックス
の混合物を１０重量部添加、混練し原料とした。この原
料をプレス成形機を用いて板上の成形体を作製した。成
形体中のワックス分を除去した後、窒素ガス中、１７０
０℃で６時間加熱処理した。そして、焼結体は加工後オ
ートクレーブにより固体潤滑剤ＢＮとフッ素オイルの混
合潤滑剤を含浸した。第８図に示すように５ＵＳ４４０
Ｃに接着剤により摺動部に貼り付はガイドレールとした
。評価は、第２図の概略図に示す磁気ディスク装置に取
み込み試験をおこなった。ベアリングには、固体潤滑剤
ＢＮを含浸した気孔率２０ｖｏｌ％のＳｉＣを用いた。

試験条件は、最大速度１．４ｍ／ｓ、周波数６０Ｈｚで
磁気ヘッドを１０’回往復運動させた。試験後の摺動面
の面粗さは十点平均粗さで０．１μｍであり、摺動面と
変化しないことが確認できた。また摺動部と未摺動部の
段差は０．０１μｍ以下と小さいことが確認できた。摺
動試験後の摺動面は、ＢＮが気孔中５ｉａＮｎ粒子上に
含浸、付着していることが判った。これより、本発明品
は耐摩耗性に優れており、アクチュエータに適している
ことが判った。

実施例９ 実施例１で得られたセラミックス焼結体にグリセリンを
含浸し、水道用のバルブ摺動材に適用した。熱水１００
℃と冷水１０’Ｃの循環を繰返しながらバルブの開閉を
行ない試験を行なった。その結果、クラックも発生せず
、摩耗量も測定不可能程度である耐久性に優れたバルブ
摺動材が得られることが判った。

実施例１０ 第９図は本発明の摺動部材を用いた磁気ディスク装置の
断面図である。磁気ディスク２はスピンドル１９に保持
され、高速で回転する。薄膜磁気ヘッド組立体１３はア
ームアセンブリ１４に保持され、その先端に薄膜磁気ヘ
ッドが設けられる。

この組立体１３は磁気ディスク２０の数あり、キャリッ
ジ１６に一体に固定され、ガイドレール６の上をベアリ
ング５によって同時に移動する。移動は磁気回路１５に
よって自動的に行われる。

１７は導体、１８は金属製エンクロージャである。

本実施例では、実施例１と同様に第３図に示すものと同
じガイドレール及びベアリングを製造した６本実施例に
おいてもガイドレール及びベアリングともに耐摩耗性が
優れ、摺動特性の高いものであった。

〔発明の効果〕

本発明によれば、耐摩耗性に極めて優れた摺動特性を有
しているので、磁気ディスク装置用アクチュエータ、光
デイスク装置アクチュエータ、各種ポンプ用シール材、
水道用バルブ、各種軸受等の耐久性や信頼性を著しく向
上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明のアクチュエータ摺動部材の断面模式
図、第２図は、磁気ディスク装百のアクチュエータ部概
略図、第３図〜第６図は発塵量の関係を示す線図、第７
図は、押出し成形により作製したガイドレールの斜視図
、第８図は金属にセラミックスを貼付だガイドレールの
斜視図、第９図は磁気ディスク装置の断面図である。 １・・ＳｉＣ，２・・Ｓｉ３Ｎ＋、３・・・気孔、４・
・・潤滑剤、５・・・ベアリング、６・・ガイドレール
、７・・・コイル、８・・・フレーム、９・・・金属、
１０・・・接着剤、１１・・・セラミックス、１３・・
・薄膜磁気ヘッド組立体、１４・・アームアセンブリ、
１５・・・磁気回路、１６・・キャリッジ、１７・・・
導体、１８・・・エンクロージャ、１９・・・スピンド
ル、２０・・・磁気ディスク。 第 図 第 図 第 図 最大気孔径（μｍ） 第 図 無機化合物粒径／５１３Ｎ４粒径 第 図 気孔率（％） 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、平均粒径１００μｍ以下の炭化物、酸化物、窒化物
   、酸窒化物の少なくとも一種の無機化合物粒子と平均粒
   径が該無機化合物粒子より小さい窒化ケイ素反応焼結体
   からなり、該焼結体は８〜４０体積％の気孔率を有し、
   かつ、直径が３０μｍ以下の気孔を有し、少なくともそ
   の表面に油及び／又は固体潤滑剤を含浸及び／又は付着
   させたことを特徴とする摺動部材。 ２、前記気孔中に直径１μｍ以下の窒化物ホイスカーが
   存在している特許請求の範囲第１項に記載の摺動部材。 ３、前記油は比重１．５ｇ／ｃｍ＾３以上である特許請
   求の範囲第１項又は第２項記載の摺動部材。 ４、前記油は粘度４００センチポアズ以上である特許請
   求の範囲第１項又は第２項記載の摺動部材。 ５、前記反応焼結体の少なくとも表面に固体潤滑剤が粘
   度４００センチポアズ以上の油にグラファイト、二硫化
   モリブデン、二硫化タングステン、二硫化チタン、ＢＮ
   、フッ素樹脂、二硫化テルル、二硫化セレン、水酸化バ
   リウム、塩化鉄、ヨウ化銀、タルク、ホウ砂、カオリン
   、酸化鉛、バーミユライト、パラフィンワックス、ステ
   アリン、Ｆｅ−Ｍｎリン酸鉛の一種以上の固体潤滑剤が
   混合された潤滑剤が含浸又は／及び付着している特許請
   求の範囲第１項又は第２項記載の摺動部材。 ６、摺動の相手材が同種材、金属、気孔率３０ｖｏｌ％
   以下のＳｉＣ、Ｓｉ＿３Ｎ＿４、Ａｌ＿２Ｏ＿３又はＺ
   ｒＯ＿２焼結体で構成されている特許請求の範囲第１項
   又は第２項記載の摺動部材。 ７、磁気ヘッドを直線状に案内駆動するアクチュエータ
   の構成要素であるガイドレール及び／又はベアリングを
   備えた磁気ディスク装置において、前記ガイドレール及
   び／又はベアリングは、炭化物、酸化物、窒化物、酸窒
   化物の少なくとも一種の無機化合物粒子と、平均粒径が
   該無機化合物より小さい窒化ケイ素反応焼結体からなり
   、該焼結体は気孔量が８から４０ｖｏｌ％、及び直径が
   ３０μｍ以下の気孔を有し、少なくともその表面に油及
   び／又は固体潤滑剤を含浸及び又は付着させたことを特
   徴とする磁気デイスク装置。