JPH02201105A - レーザ光位置検知装置 - Google Patents
レーザ光位置検知装置Info
- Publication number
- JPH02201105A JPH02201105A JP2060689A JP2060689A JPH02201105A JP H02201105 A JPH02201105 A JP H02201105A JP 2060689 A JP2060689 A JP 2060689A JP 2060689 A JP2060689 A JP 2060689A JP H02201105 A JPH02201105 A JP H02201105A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser light
- comparator
- reflecting mirror
- detectors
- laser beam
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザ光の位置を検知するための検知装置に関
し、特に４象限式検知器や２次元式検知器が高価である
紫外及び中速赤外波長域のレーザ光位置検知装置に関す
る。
し、特に４象限式検知器や２次元式検知器が高価である
紫外及び中速赤外波長域のレーザ光位置検知装置に関す
る。
従来、この種のレーザ光位置検知装置としては４象限式
検知器や２次元式検知器またはアレイ状に並べた単素子
の検知器によって、可視及び近赤外のレーザ光位置を検
知していた。
検知器や２次元式検知器またはアレイ状に並べた単素子
の検知器によって、可視及び近赤外のレーザ光位置を検
知していた。
従来、この種のレーザ光位置検知装置は４象限式検知器
や２次元式検知器を使用しているが、これらの検知器は
紫外及び中速赤外では未開発であるか、または非常に高
価であるという欠点がある。
や２次元式検知器を使用しているが、これらの検知器は
紫外及び中速赤外では未開発であるか、または非常に高
価であるという欠点がある。
単素子検知器は、高速のもの、広いダイナミックレンジ
のもの、レーザ光を入射しても損傷しすらいもの等選択
の範囲が広いが、単素子の検知器をアレイ状に並べて使
用した場合は、検知器間にレーザ光に対して感度を持た
ない不感帯が多くできるという欠点がある。
のもの、レーザ光を入射しても損傷しすらいもの等選択
の範囲が広いが、単素子の検知器をアレイ状に並べて使
用した場合は、検知器間にレーザ光に対して感度を持た
ない不感帯が多くできるという欠点がある。
本発明の目的は前記課題を解決したレーザ光位置検知装
置を提供することにある。
置を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明に係るレーザ光位置検
知装置においては、レーザ光の空間パターンを４分割す
るためのピラミッド型ミラーと、４分割されたレーザ光
のエネルギーを検知するための４つの検知器と、４つの
検知器からの信号を比較するための比較器とを有するも
のである。
知装置においては、レーザ光の空間パターンを４分割す
るためのピラミッド型ミラーと、４分割されたレーザ光
のエネルギーを検知するための４つの検知器と、４つの
検知器からの信号を比較するための比較器とを有するも
のである。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
ピラミッド型反射鏡の立体図である。
ピラミッド型反射鏡の立体図である。
第１図において、本発明はピラミッド型反射鏡１と、第
１の光検知器２と、第２の光検知器３と、第３の光検知
器４と、第４の光検知器５と、比較器６とを備えて構成
されている。
１の光検知器２と、第２の光検知器３と、第３の光検知
器４と、第４の光検知器５と、比較器６とを備えて構成
されている。
第２図に示すピラミッド型反射！１！１は第１の反射面
７と、第２の反射面８と、第３の反射面９と、第４の反
射ＷＪ１０とを角錐状に配設して構成されている。
７と、第２の反射面８と、第３の反射面９と、第４の反
射ＷＪ１０とを角錐状に配設して構成されている。
本装置に入射したレーザ光１１はピラミッド型反射！１
１によって反射される。このとき、ピラミッド型反射ｆ
ｉ１の第１の反射面７で反射されたレーザ光は第１の光
検出器２で電気信号に変換された後に比較器６に入力さ
れ、ピラミッド型反射鏡１の第２の反射面８で反射され
たレーザ光は第２の光検出器３で電気信号に変換された
後に比較器６に入力され、ピラミッド型反射鏡１の第３
の反射面９で反射されたレーザ光は第３の光検知器４で
電気信号に変換された後に比較器６に入力され、ピラミ
ッド型反射！ｉ１の第４の反射面１０で反射されたレー
ザ光は第４の光検知器５で電気信号に変換された後に比
較器６に入力され、本装置に入射したレーザ光１１の位
置が計算される。
１によって反射される。このとき、ピラミッド型反射ｆ
ｉ１の第１の反射面７で反射されたレーザ光は第１の光
検出器２で電気信号に変換された後に比較器６に入力さ
れ、ピラミッド型反射鏡１の第２の反射面８で反射され
たレーザ光は第２の光検出器３で電気信号に変換された
後に比較器６に入力され、ピラミッド型反射鏡１の第３
の反射面９で反射されたレーザ光は第３の光検知器４で
電気信号に変換された後に比較器６に入力され、ピラミ
ッド型反射！ｉ１の第４の反射面１０で反射されたレー
ザ光は第４の光検知器５で電気信号に変換された後に比
較器６に入力され、本装置に入射したレーザ光１１の位
置が計算される。
以上説明したように本発明はピラミッド型反射鏡と安価
な単素子光検知器を使用することにより、４象限式検知
器や２次元式検知器が高価である波長域において安価な
レーザ光位置検知装置を提供することができる。また、
高速のもの、広いダイナミックレンジのもの、レーザ光
を入射しても根部しすらいもの等を自由に選択できる単
素子検知器の利点を利用することができ、さらに単素子
の検知器をアレイ状に並べて使用した場合にも、検知器
間にレーザ光に対して感度を持たない不怒帯がほとんど
できないという効果がある。
な単素子光検知器を使用することにより、４象限式検知
器や２次元式検知器が高価である波長域において安価な
レーザ光位置検知装置を提供することができる。また、
高速のもの、広いダイナミックレンジのもの、レーザ光
を入射しても根部しすらいもの等を自由に選択できる単
素子検知器の利点を利用することができ、さらに単素子
の検知器をアレイ状に並べて使用した場合にも、検知器
間にレーザ光に対して感度を持たない不怒帯がほとんど
できないという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
ピラミッド型反射鏡の立体図である。 １・・・ピラミッド型反射鏡 ２・・・第１の光検知器 ４・・・第３の光検知器 ６・・・比較器 ８・・・第２の反射面 １０・・・第４の反射面 ３・・・第２の光検知器 ５・・・第４の光検知器 ７・・・第１の反射面 ９・・・第３の反射面 １１・・・レーザ光 特許出願人 日本電気株式会社 代 理 人 弁理士 菅 野 中パ第１
図
ピラミッド型反射鏡の立体図である。 １・・・ピラミッド型反射鏡 ２・・・第１の光検知器 ４・・・第３の光検知器 ６・・・比較器 ８・・・第２の反射面 １０・・・第４の反射面 ３・・・第２の光検知器 ５・・・第４の光検知器 ７・・・第１の反射面 ９・・・第３の反射面 １１・・・レーザ光 特許出願人 日本電気株式会社 代 理 人 弁理士 菅 野 中パ第１
図
Claims (1)
- （１）レーザ光の空間パターンを４分割するためのピラ
ミッド型ミラーと、４分割されたレーザ光のエネルギー
を検知するための４つの検知器と、４つの検知器からの
信号を比較するための比較器とを有することを特徴とす
るレーザ光位置検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060689A JPH02201105A (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | レーザ光位置検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2060689A JPH02201105A (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | レーザ光位置検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02201105A true JPH02201105A (ja) | 1990-08-09 |
Family
ID=12031925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2060689A Pending JPH02201105A (ja) | 1989-01-30 | 1989-01-30 | レーザ光位置検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02201105A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019105664A1 (en) * | 2017-11-29 | 2019-06-06 | Asml Netherlands B.V. | Laser beam monitoring system |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61191902A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-26 | Olympus Optical Co Ltd | レ−ザ集光位置検出装置 |
| JPS61264203A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-22 | Fujitsu Ltd | レ−ザ光源の位置検出装置 |
-
1989
- 1989-01-30 JP JP2060689A patent/JPH02201105A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61191902A (ja) * | 1985-02-15 | 1986-08-26 | Olympus Optical Co Ltd | レ−ザ集光位置検出装置 |
| JPS61264203A (ja) * | 1985-05-17 | 1986-11-22 | Fujitsu Ltd | レ−ザ光源の位置検出装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019105664A1 (en) * | 2017-11-29 | 2019-06-06 | Asml Netherlands B.V. | Laser beam monitoring system |
| CN111417844A (zh) * | 2017-11-29 | 2020-07-14 | Asml荷兰有限公司 | 激光束监控系统 |
| JP2021504732A (ja) * | 2017-11-29 | 2021-02-15 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | レーザビームモニタリングシステム |
| US11366399B2 (en) | 2017-11-29 | 2022-06-21 | Asml Netherlands B.V. | Laser beam monitoring system |
| TWI782144B (zh) * | 2017-11-29 | 2022-11-01 | 荷蘭商Ａｓｍｌ荷蘭公司 | 雷射光束監視系統 |
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