JPH02194367A - 静電容量測定装置および方法 - Google Patents
静電容量測定装置および方法Info
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- JPH02194367A JPH02194367A JP1210552A JP21055289A JPH02194367A JP H02194367 A JPH02194367 A JP H02194367A JP 1210552 A JP1210552 A JP 1210552A JP 21055289 A JP21055289 A JP 21055289A JP H02194367 A JPH02194367 A JP H02194367A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/26—Measuring inductance or capacitance; Measuring quality factor, e.g. by using the resonance method; Measuring loss factor; Measuring dielectric constants ; Measuring impedance or related variables
- G01R27/2605—Measuring capacitance
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、受動電子素子のインピーダンス測定に関す
るものである。特に、充電測定システムを用いた静電容
量測定に関するものである。
るものである。特に、充電測定システムを用いた静電容
量測定に関するものである。
[従来の技術]
静電容量、漏れ電流、並列抵抗等、コンデンサの種々の
特性を測定するための方法および回路が知られている。
特性を測定するための方法および回路が知られている。
しかし、これらの多くは、複雑であり、解析を行うのが
容易でなく、また高価である。これらの装置においては
、コンデンサブリッジ、演算増幅器等の精密機器が必要
である。これらのものは、設備の整った修理店にしかな
い場合が多い。
容易でなく、また高価である。これらの装置においては
、コンデンサブリッジ、演算増幅器等の精密機器が必要
である。これらのものは、設備の整った修理店にしかな
い場合が多い。
そこで、電気サービス機器として使用される普通のマル
チメータに、静電容量測定の機能を付加することが望ま
れている。マルチメータは、一般に、電圧、電流、直流
抵抗の測定用として設計されており、小型、軽量で比較
的安価である。そのため、技術サービスにおいて、かな
りポピユラーである。おおまかな静電容量であれば、マ
ルチメータの抵抗測定回路により、未知のコンデンサの
充電時間を見て、測定することができる。しかし、ユー
ザは、安価なままで、より高精度の静電容量測定法を望
んでいる。ところが、上記の複雑な信号調節システム等
の従来の静電容量測定システムを付加すると、コスト増
大が大きく、また−膜内なマルチメータの限界を超えて
かさばってしまう。
チメータに、静電容量測定の機能を付加することが望ま
れている。マルチメータは、一般に、電圧、電流、直流
抵抗の測定用として設計されており、小型、軽量で比較
的安価である。そのため、技術サービスにおいて、かな
りポピユラーである。おおまかな静電容量であれば、マ
ルチメータの抵抗測定回路により、未知のコンデンサの
充電時間を見て、測定することができる。しかし、ユー
ザは、安価なままで、より高精度の静電容量測定法を望
んでいる。ところが、上記の複雑な信号調節システム等
の従来の静電容量測定システムを付加すると、コスト増
大が大きく、また−膜内なマルチメータの限界を超えて
かさばってしまう。
さらに、使用中に、間違って静電容量測定回路に電圧を
かけてしまうことも予想される。だからといって、回路
保護用の直列インピーダンスを接続することは現実的で
ない。なぜなら、付加したインピーダンスによりもたら
される誤差を、真の静電容量と区別することが困難だか
らである。
かけてしまうことも予想される。だからといって、回路
保護用の直列インピーダンスを接続することは現実的で
ない。なぜなら、付加したインピーダンスによりもたら
される誤差を、真の静電容量と区別することが困難だか
らである。
[発明の概要]
この発明に係る静電容量測定装置および方法は、= 6
− 充電測定システムを用いている。充電回路は基準抵抗と
所定電圧源を備えており、静電容量性素子に直列接続さ
れている。これにより、静電容量性素子は完全に充電さ
れる。積算演算増幅器は、静電容量性素子が充電される
間、基準抵抗に接続される。これに対応する比例電荷は
、積算演算増幅器のフィードバックループに設けられた
蓄積コンデンサに蓄積される。この第1の動作状態を、
充電サイクルと呼ぶ。
− 充電測定システムを用いている。充電回路は基準抵抗と
所定電圧源を備えており、静電容量性素子に直列接続さ
れている。これにより、静電容量性素子は完全に充電さ
れる。積算演算増幅器は、静電容量性素子が充電される
間、基準抵抗に接続される。これに対応する比例電荷は
、積算演算増幅器のフィードバックループに設けられた
蓄積コンデンサに蓄積される。この第1の動作状態を、
充電サイクルと呼ぶ。
測定サイクルである第2の動作状態において、積算演算
増幅器は充電回路から切り離され、所定の電源に接続さ
れて、蓄積コンデンサの電荷が放電される。蓄積コンデ
ンサは、比較器の入力に接続される。蓄積コンデンサの
電荷が0になると、比較器は出力状態を変化させる(
+−リップする)。
増幅器は充電回路から切り離され、所定の電源に接続さ
れて、蓄積コンデンサの電荷が放電される。蓄積コンデ
ンサは、比較器の入力に接続される。蓄積コンデンサの
電荷が0になると、比較器は出力状態を変化させる(
+−リップする)。
蓄積コンデンサの電荷が放電されるのに要した時間は、
静電容量性素子の静電容量に直接比例する。
静電容量性素子の静電容量に直接比例する。
その時間は公知技術によって測定可能である。例えば、
測定サイクルの開始によりクロックパルスの旧数を行い
、l・リップ点に達した比較器の出力変化により停止す
るデジタルカウンタによって可能である。カウンタ出力
によって表わされる時間は、静電容量単位として読み出
すことができる。
測定サイクルの開始によりクロックパルスの旧数を行い
、l・リップ点に達した比較器の出力変化により停止す
るデジタルカウンタによって可能である。カウンタ出力
によって表わされる時間は、静電容量単位として読み出
すことができる。
積算演算増幅器、比較器、デジタルカウンタは、多くの
携帯マルチメータに見られるA/Dコンバータを備えて
いる。よって、この発明によれば、わずかな修正によっ
て、マルチメータに静電容量測定機能を付加することが
できる。
携帯マルチメータに見られるA/Dコンバータを備えて
いる。よって、この発明によれば、わずかな修正によっ
て、マルチメータに静電容量測定機能を付加することが
できる。
この発明の目的は、新たな静電容量測定装置および方法
を提供することである。
を提供することである。
この発明の他の目的は、充電測定システムを用いた静電
容量測定装置を提供することである。
容量測定装置を提供することである。
この発明のさらに他の目的は、コストの増大および装置
の大型化を招来することなく、携帯マルチメータに静電
容量測定機能を与えることである。
の大型化を招来することなく、携帯マルチメータに静電
容量測定機能を与えることである。
この発明の他の目的、特徴、効果は、この分野の専門家
が図面を参照しつつ、以下の詳細な説明を読むことで、
明らかである。
が図面を参照しつつ、以下の詳細な説明を読むことで、
明らかである。
[実施例]
第1図に、未知のコンデンサ10の静電容量CXを測定
するシステムの、詳細なブロック図を示す。
するシステムの、詳細なブロック図を示す。
このシステムの大部分は、マルチメータに見られるよう
な、通常の二重勾配(dual−slope) A /
Dコンバータ(A D C)を用いている。しかし、
電圧に関するよりも、電荷Qの測定に適している。電荷
Qは、クーロンで測定され、単位時間、単位電流あたり
の電荷の移動量に等しい。Q=itである。
な、通常の二重勾配(dual−slope) A /
Dコンバータ(A D C)を用いている。しかし、
電圧に関するよりも、電荷Qの測定に適している。電荷
Qは、クーロンで測定され、単位時間、単位電流あたり
の電荷の移動量に等しい。Q=itである。
二重勾配ADCは、単一利得電圧ホロワ(unity−
gain voltage folloer)として接
続されたバッファアンプA1を備えている。バッファア
ンプA1の負荷抵抗12は、R1の抵抗値を有し、積算
演算増幅器A2の反転入力に接続されている。演算増幅
器A2の出力と反転入力間には、C1の値のコンデンサ
14が接続されている。増幅器AI 、A2のオフセッ
ト電圧および電流は、説明上、無視できるものと仮定す
る。積算演算増幅器A2の出力は、比較器A3の一方の
入力に接続される。この比較器A3の他方の入力には、
増幅器A2の反転入力が接続される。第1図をよく見る
と、比較器A3の2つの入力の間に、コンデンサ14が
接続されていることがわかる。比較器A3の出力は、カ
ウンタ16のインヒビット入力もしくは「カウント停止
」入力に接続される。カウンタ16は、測定サイクル中
には、クロック源18からのクロック信号を計数する。
gain voltage folloer)として接
続されたバッファアンプA1を備えている。バッファア
ンプA1の負荷抵抗12は、R1の抵抗値を有し、積算
演算増幅器A2の反転入力に接続されている。演算増幅
器A2の出力と反転入力間には、C1の値のコンデンサ
14が接続されている。増幅器AI 、A2のオフセッ
ト電圧および電流は、説明上、無視できるものと仮定す
る。積算演算増幅器A2の出力は、比較器A3の一方の
入力に接続される。この比較器A3の他方の入力には、
増幅器A2の反転入力が接続される。第1図をよく見る
と、比較器A3の2つの入力の間に、コンデンサ14が
接続されていることがわかる。比較器A3の出力は、カ
ウンタ16のインヒビット入力もしくは「カウント停止
」入力に接続される。カウンタ16は、測定サイクル中
には、クロック源18からのクロック信号を計数する。
計数結果は、測定・表示ユニット20に転送される。シ
ステム全体の動作は、制御ロジックユニット22により
なされる。
ステム全体の動作は、制御ロジックユニット22により
なされる。
この制御ロジックユニット22は、マイクロプロセッサ
−およびタイミング回路を備えていることが好ましい。
−およびタイミング回路を備えていることが好ましい。
回路の動作を参照すれば、この発明がよく理解できるで
あろう。
あろう。
制御ロジック回路22は、スイッチ駆動回路24に対し
、スイッチロジック信号を送る。スイッチ駆動回路24
は、マトリックスで表わされている。マトリックスの縦
列は、各スイッチ81〜S6に対応し、破線により関係
付けられている。横行は、各機能に対応している。スイ
ッチ駆動回路24とこれに連結したスイッチは、当業者
によく知られている種々の方法で、実現できる。マトリ
ックス中の黒い点は、スイッチが閉じていることを示し
ており、黒点が無いことは、スイッチが開いていること
を示している。
、スイッチロジック信号を送る。スイッチ駆動回路24
は、マトリックスで表わされている。マトリックスの縦
列は、各スイッチ81〜S6に対応し、破線により関係
付けられている。横行は、各機能に対応している。スイ
ッチ駆動回路24とこれに連結したスイッチは、当業者
によく知られている種々の方法で、実現できる。マトリ
ックス中の黒い点は、スイッチが閉じていることを示し
ており、黒点が無いことは、スイッチが開いていること
を示している。
未知の静電容量を充電する経路には、抵抗値R8訂の基
準抵抗30と、抵抗値R,の過電圧保護抵抗32が設け
られている。抵抗32は、入力端子34への過誤の電圧
印加によるダメージから、入力回路を保護するものであ
る。容易にわかるように、抵抗値R1は、未知の静電容
量Cxの決定に影響を与えないものである。
準抵抗30と、抵抗値R,の過電圧保護抵抗32が設け
られている。抵抗32は、入力端子34への過誤の電圧
印加によるダメージから、入力回路を保護するものであ
る。容易にわかるように、抵抗値R1は、未知の静電容
量Cxの決定に影響を与えないものである。
未知の静電容量を測定する第1のステップにおいては、
システムの初期化がなされる。制御ロジック回路22が
スイッチ駆動回路24に「初期化」信号を送ると、スイ
ッチSl、S3.S5.S6が閉じる。スイッチS1を
閉じることによって、抵抗30と32の接続点が接地さ
れ、未知のコンデンサ10が完全に放電される。スイッ
チS3を閉じることによって、バッファアンプAIの人
力が接地され、抵抗12を介して、演算増幅器A2の反
転入力にグランド電圧(ゼロボルト)が印加される。ス
イッチS5を閉じることによって、演算増幅器の非反転
入力が接地され、コンデンサ14を完全に放電する。ス
イッチS6を閉じることによって、比較器A3の出力は
ゼロボルトにセットされる。
システムの初期化がなされる。制御ロジック回路22が
スイッチ駆動回路24に「初期化」信号を送ると、スイ
ッチSl、S3.S5.S6が閉じる。スイッチS1を
閉じることによって、抵抗30と32の接続点が接地さ
れ、未知のコンデンサ10が完全に放電される。スイッ
チS3を閉じることによって、バッファアンプAIの人
力が接地され、抵抗12を介して、演算増幅器A2の反
転入力にグランド電圧(ゼロボルト)が印加される。ス
イッチS5を閉じることによって、演算増幅器の非反転
入力が接地され、コンデンサ14を完全に放電する。ス
イッチS6を閉じることによって、比較器A3の出力は
ゼロボルトにセットされる。
次に、制御ロジック回路22が「Cア充電」信号をスイ
ッチ駆動回路に送ると、一定時間t、の間、スイッチS
l、S3.S5.S6が開き、スイッチS2A、S2B
、S2Cが閉じて、充電サイクルが実行される。時間t
、の間、所定電圧の基準電源36が、基準抵抗30とバ
ッファアンプA1の接続点に接続される。よって、基準
電圧源36が抵抗12の一端に接続される。未知のコン
デンサ10には、基準抵抗30および過電圧保護抵抗3
2を介して、基準電源36の直流基準電圧■R〜が供給
され、これにより、未知のコンデンサIOは、基準電圧
VRI!Fに近付くように充電され始める。また、コン
デンサ14も、抵抗12を介して、充電され始める。抵
抗30を流れる充電電流は、それに比例した電圧を抵抗
30の両端に生じる。コンデンサ10の充電によって、
演算増幅器A3の非反転入力に与えられる電圧は(VR
□に近付くように)増加し、抵抗30両端の電圧は減少
する。すなわち、演算増幅器A2の二つの入力は、抵抗
30を流れる充電電流を測定するために、抵抗30の両
端に接続され、演算増幅器の作用によって、増幅器A2
とコンデンサI4は、抵抗12に流れる電流に比例した
値を積算する。したがって、コンデンサ10の充電電流
の時間t、にわたる積算が、蓄積コンデンサ14に比例
電荷として蓄積される。蓄積コンデンサI4への正確な
充電を期するため、時定数の数倍時間コンデンサ10を
充電し、最終電圧VREFとしなければならない、ある
いは時間t1をj+>>(RRgp+Rp)C,としな
ければならない。実際」−は、コンデンサは時定数の5
倍の時間内に充電されるとみなせる。なぜなら、このと
き、最終電圧の約993%に達するからである。
ッチ駆動回路に送ると、一定時間t、の間、スイッチS
l、S3.S5.S6が開き、スイッチS2A、S2B
、S2Cが閉じて、充電サイクルが実行される。時間t
、の間、所定電圧の基準電源36が、基準抵抗30とバ
ッファアンプA1の接続点に接続される。よって、基準
電圧源36が抵抗12の一端に接続される。未知のコン
デンサ10には、基準抵抗30および過電圧保護抵抗3
2を介して、基準電源36の直流基準電圧■R〜が供給
され、これにより、未知のコンデンサIOは、基準電圧
VRI!Fに近付くように充電され始める。また、コン
デンサ14も、抵抗12を介して、充電され始める。抵
抗30を流れる充電電流は、それに比例した電圧を抵抗
30の両端に生じる。コンデンサ10の充電によって、
演算増幅器A3の非反転入力に与えられる電圧は(VR
□に近付くように)増加し、抵抗30両端の電圧は減少
する。すなわち、演算増幅器A2の二つの入力は、抵抗
30を流れる充電電流を測定するために、抵抗30の両
端に接続され、演算増幅器の作用によって、増幅器A2
とコンデンサI4は、抵抗12に流れる電流に比例した
値を積算する。したがって、コンデンサ10の充電電流
の時間t、にわたる積算が、蓄積コンデンサ14に比例
電荷として蓄積される。蓄積コンデンサI4への正確な
充電を期するため、時定数の数倍時間コンデンサ10を
充電し、最終電圧VREFとしなければならない、ある
いは時間t1をj+>>(RRgp+Rp)C,としな
ければならない。実際」−は、コンデンサは時定数の5
倍の時間内に充電されるとみなせる。なぜなら、このと
き、最終電圧の約993%に達するからである。
コンデンサ10が充電し終わると、抵抗30に電流は流
れなくなる。そして、演算増幅器の二つの入力がVRE
Fでバランスし、抵抗12を電流が流れなくなるので、
コンデンサ14には電荷が蓄積されなくなる。第2図に
、コンデンサlOの充電カーブを示す。
れなくなる。そして、演算増幅器の二つの入力がVRE
Fでバランスし、抵抗12を電流が流れなくなるので、
コンデンサ14には電荷が蓄積されなくなる。第2図に
、コンデンサlOの充電カーブを示す。
時間t、の終了により、制御ロジック回路22のタイミ
ング回路が、スイッチS2A、S2B、S2Cを開くよ
う指示する。
ング回路が、スイッチS2A、S2B、S2Cを開くよ
う指示する。
制御ロジック回路22が「Cア測定」信号をスイッチ駆
動回路24に送ると、スイッチS3.S4が閉じ、測定
ザイクルとなる。同時に、カウンタ16がクロック源1
8の信号の計数を開始し、時間t2まで行う。
動回路24に送ると、スイッチS3.S4が閉じ、測定
ザイクルとなる。同時に、カウンタ16がクロック源1
8の信号の計数を開始し、時間t2まで行う。
スイッチS3を閉じると、バッファアンプA1の入力が
接地され、これに伴い、抵抗】2の一端も接地される。
接地され、これに伴い、抵抗】2の一端も接地される。
スイッチS4を閉じると、演算増幅器A2の非反転入力
に、基準電圧Ltgpが印加される。基準電圧VR1,
Pは、演算増幅器の機能により、両切幅器A2A3の反
転入力にも現われる。したがって、基準電圧VRI!P
は抵抗12にも印加され、コンデンサ14を直線的に放
電する一定電流が抵抗12に流れる。比較器A3の非反
転入力に印加される直線的に増加する電圧か、反転入力
に印加されている基準電圧■8.。
に、基準電圧Ltgpが印加される。基準電圧VR1,
Pは、演算増幅器の機能により、両切幅器A2A3の反
転入力にも現われる。したがって、基準電圧VRI!P
は抵抗12にも印加され、コンデンサ14を直線的に放
電する一定電流が抵抗12に流れる。比較器A3の非反
転入力に印加される直線的に増加する電圧か、反転入力
に印加されている基準電圧■8.。
に一致し、コンデンサ14の電荷がゼロに落ちたことを
示すと、比較器A3は出力状態を変化し、カウンタ16
を停止させる。そして、制御ロジック回路22は、スイ
ッチS3.S4を開き、カウンタ16の計数結果を読む
。第3図に、コンデンサ14の放電波形と、時間経過測
定を示す。
示すと、比較器A3は出力状態を変化し、カウンタ16
を停止させる。そして、制御ロジック回路22は、スイ
ッチS3.S4を開き、カウンタ16の計数結果を読む
。第3図に、コンデンサ14の放電波形と、時間経過測
定を示す。
経過時間t2は、スイッチS3.S4を閉じた時から比
較器A3のトリップ点までで測定され、コンデンサ10
、コンデンサ14に蓄積された電荷の双方に比例するも
のである。基準電圧VRFFは、コンデンサ】Oの充電
およびコンデンサ14の放電の双方に用いられるので、
時間t2は基準電圧VREFに影響されない。充電およ
び放電動作を示す式は下記の通りである Q+o ;VREp・cx
(1)Q14 ;Q+o・(R++Ep/
Rh) ” (VRp:p/Rh)・t2(2)式(
1)と(2)を組合せると、下式が導かれる:Cア;t
2/R,lEp (3)よっ
て、未知のコンデンサ10の静電容量C8が、測定・表
示ユニット20により迅速に決定され、静電容量の単位
とともに表示される。
較器A3のトリップ点までで測定され、コンデンサ10
、コンデンサ14に蓄積された電荷の双方に比例するも
のである。基準電圧VRFFは、コンデンサ】Oの充電
およびコンデンサ14の放電の双方に用いられるので、
時間t2は基準電圧VREFに影響されない。充電およ
び放電動作を示す式は下記の通りである Q+o ;VREp・cx
(1)Q14 ;Q+o・(R++Ep/
Rh) ” (VRp:p/Rh)・t2(2)式(
1)と(2)を組合せると、下式が導かれる:Cア;t
2/R,lEp (3)よっ
て、未知のコンデンサ10の静電容量C8が、測定・表
示ユニット20により迅速に決定され、静電容量の単位
とともに表示される。
コンデンサ10は、第1図に示すように、スイッチS1
を閉じることによって放電され、入力回路から安全に切
り離される。実際には、コンデンサ14に測定用の電荷
が蓄積された後ならば、コンデンサ10はいつ放電して
よい。連続して測定を行うのであれば、測定サイクル中
にコンデンサ10を放電しておくことが好ましい。次の
「初期化」段階に先立っての放電が迅速になるからであ
る。
を閉じることによって放電され、入力回路から安全に切
り離される。実際には、コンデンサ14に測定用の電荷
が蓄積された後ならば、コンデンサ10はいつ放電して
よい。連続して測定を行うのであれば、測定サイクル中
にコンデンサ10を放電しておくことが好ましい。次の
「初期化」段階に先立っての放電が迅速になるからであ
る。
」二記の1回の測定では、十分な精度が得られない場合
には、コンデンサ10の充電・放電サイクルを2回以上
繰り返せばよい。これにより、コンデンサ10には、1
サイクルの数倍の値が蓄積される。
には、コンデンサ10の充電・放電サイクルを2回以上
繰り返せばよい。これにより、コンデンサ10には、1
サイクルの数倍の値が蓄積される。
測定された数倍値を、コンデンサ10の充電・放電サイ
クルの回数により単純に割れば、Cアの値を高精度に求
められる。蓄積の方法は、2重勾配測定法の適用可能な
改良法とともに、当業者によく知られている。
クルの回数により単純に割れば、Cアの値を高精度に求
められる。蓄積の方法は、2重勾配測定法の適用可能な
改良法とともに、当業者によく知られている。
はとんどの場合、第1図のダイアグラムは、マルチメー
タの抵抗測定機能にも用いることかできる。したがって
、マルチメータの設計において、抵抗測定とコンデンサ
測定の両方を実現するための回路の追加および付加を、
極めて小さくできる。
タの抵抗測定機能にも用いることかできる。したがって
、マルチメータの設計において、抵抗測定とコンデンサ
測定の両方を実現するための回路の追加および付加を、
極めて小さくできる。
商業的実施例においては、この発明に係る方法および装
置は、1pFから5μFまでの未知の静電容量を測定で
きる。もっとも、回路定数を調整することにより、」−
記範囲外の静電容量も容易に測定可能である。上で述べ
た商業的実施例における定数値は、次のとおりである。
置は、1pFから5μFまでの未知の静電容量を測定で
きる。もっとも、回路定数を調整することにより、」−
記範囲外の静電容量も容易に測定可能である。上で述べ
た商業的実施例における定数値は、次のとおりである。
vl、lF、 −+1.23V、RREF = IOM
Ω、IMΩ、100KΩもしくはIKΩきざみに選んだ
値、Rp= 2にΩ、R,= 16.6にΩ、C5=
0.022μF0時間t1は、RIl!Fと同様に、時
定数の数倍を超える範囲で、任意に選択することができ
る。ただし、この実施例では、tlは正確に100m5
ecとした。この時間は1、ロジック回路22内のタイ
ミング回路により、クロック源18を用いてセットされ
る。この点から、クロック源18は安定なものであり、
全ての付随機能に十分な周波数(例えば、40KHz)
の精密クォーツ発振器であることが好ましい。
Ω、IMΩ、100KΩもしくはIKΩきざみに選んだ
値、Rp= 2にΩ、R,= 16.6にΩ、C5=
0.022μF0時間t1は、RIl!Fと同様に、時
定数の数倍を超える範囲で、任意に選択することができ
る。ただし、この実施例では、tlは正確に100m5
ecとした。この時間は1、ロジック回路22内のタイ
ミング回路により、クロック源18を用いてセットされ
る。この点から、クロック源18は安定なものであり、
全ての付随機能に十分な周波数(例えば、40KHz)
の精密クォーツ発振器であることが好ましい。
前述の目的もしくは他の目的が達成されたことを理解い
ただける筈である。ただし、上記に示されて説明された
この発明の実施例は、単に説明のためのものであり、発
明がこれに限定されるものではない。
ただける筈である。ただし、上記に示されて説明された
この発明の実施例は、単に説明のためのものであり、発
明がこれに限定されるものではない。
第1図は、この発明に係る静電容flit Mlす定シ
ステムを示すブロック図である。 第2図は、未知の静電容量の充電曲線を示す図であり、
第1図のシステムの動作説明に用いるものである。 第3図は、第1図のシステムの静電容量の測定状態を示
す波形図である。 AI・・・バッファアンプ A2・・・積算演算増幅器 A3・・・比較器 10・・・未知のコンデンサ 】6・・・カウンタ 14・・・コンデンサ 30・・・基準抵抗 36・・・基準電源 出願人 ジョンフルークマニファクチャリング= 17
=
ステムを示すブロック図である。 第2図は、未知の静電容量の充電曲線を示す図であり、
第1図のシステムの動作説明に用いるものである。 第3図は、第1図のシステムの静電容量の測定状態を示
す波形図である。 AI・・・バッファアンプ A2・・・積算演算増幅器 A3・・・比較器 10・・・未知のコンデンサ 】6・・・カウンタ 14・・・コンデンサ 30・・・基準抵抗 36・・・基準電源 出願人 ジョンフルークマニファクチャリング= 17
=
Claims (11)
- (1)静電容量性素子の静電容量を測定する装置であっ
て下記を備えたもの: 静電容量性素子に接続可能に設けられた充電回路; 第1の動作状態において充電回路に接続される蓄積コン
デンサを有し、静電容量性素子の静電容量に対応した電
荷を蓄積するための電荷蓄積手段手段;および 第2の動作状態において、電荷蓄積手段に接続され、蓄
積された電荷を測定する測定手段。 - (2)請求項1の装置において、 前記充電回路は、静電性容量素子に直列接続された基準
抵抗を備えており、基準抵抗と静電容量性素子に直流基
準電圧が印加されることを特徴とするもの。 - (3)請求項2の装置において、 前記基準電圧は、静電容量性素子が完全に充電されるよ
うに、予め定められた十分な時間、基準抵抗と静電容量
性素子に印加されることを特徴とするもの。 - (4)請求項2の装置において、 電荷蓄積手段は積算演算増幅器を備えており、この積算
演算増幅器は、第1の動作状態において、基準抵抗の一
端に接続される第1の入力と、基準抵抗の他端に接続さ
れる第2の入力を有し、基準抵抗の電流に比例した電流
を積算することを特徴とするもの。 - (5)請求項2の装置において、 前記測定手段は、制御係数により、蓄積コンデンサの電
荷を放電する放電手段を備えていることを特徴とするも
の。 - (6)請求項5の装置において、 前記放電手段は、積算演算増幅器を備えており、この積
算演算増幅器は、第2の動作状態において、抵抗を介し
て接地される第1の入力と、基準抵抗に接続される第2
の入力を有していることを特徴とするもの。 - (7)請求項5の装置において、 前記測定手段は、さらに、蓄積コンデンサの電荷の放電
に要した時間を測定する時間測定手段をも備えているこ
とを特徴とするもの。 - (8)請求項7の装置において、 前記時間測定手段は、クロックパルス源とこのクロック
パルスを計数するカウンタとを備えており、このカウン
タは第2の動作状態の開始とともに動作し、蓄積コンデ
ンサの電荷がゼロになった時に停止するものであること
を特徴とするもの。 - (9)静電容量性素子の静電容量を測定する装置であっ
て下記を備えたもの: 静電容量性素子と直列に接続された基準抵抗;第1の動
作状態において、基準抵抗と静電容量性素子に接続され
る所定電圧源; 蓄積コンデンサを有する積算演算増幅器であり、該蓄積
コンデンサは積算演算増幅器の第1の入力と出力との間
のフィードバックループに接続されるとともに、該積算
演算増幅器は第1の動作状態において入力抵抗を介して
基準抵抗の一端に接続される第1の入力を有し、さらに
該積算演算増幅器は第2の動作状態において前記入力抵
抗を介して接地される前記第1の入力と、所定電圧源の
接続される第2の入力とを有している; 第1の入力が蓄積コンデンサの一端に接続され、第2の
入力が蓄積コンデンサの他端に接続された比較器; 積算演算増幅器の第1および第2の動作状態を制御する
制御手段; 制御手段および比較器の出力に接続され、蓄積コンデン
サの電荷放電に要した時間を測定する測定手段。 - (10)静電容量性素子の静電容量を測定する方法であ
って下記のステップを備えたもの: 充電回路を介して静電容量性素子を充電し、同時に充電
回路に接続された蓄積コンデンサに静電容量性素子の静
電容量に比例した電荷を蓄積し、制御係数により、蓄積
コンデンサを放電し、蓄積コンデンサを放電するに要し
た時間を測定する。 - (11)請求項10の方法において、 前記充電および前記蓄積が複数回行われることを特徴と
するもの。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/248,489 US5073757A (en) | 1988-09-23 | 1988-09-23 | Apparatus for and method of measuring capacitance of a capacitive element |
US248,489 | 1988-09-23 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02194367A true JPH02194367A (ja) | 1990-07-31 |
JPH0726988B2 JPH0726988B2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=22939371
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---|---|---|---|
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---|---|
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EP (1) | EP0360605B1 (ja) |
JP (1) | JPH0726988B2 (ja) |
CN (1) | CN1041457A (ja) |
CA (1) | CA1327994C (ja) |
DE (1) | DE68916144T2 (ja) |
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- 1989-09-21 EP EP89309615A patent/EP0360605B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-09-22 CA CA000612537A patent/CA1327994C/en not_active Expired - Fee Related
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