JPH02192180A - Piezoelectric element - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
（イ） 産業上の利用分野
本発明は、圧電アクチュエータ等に用いる圧電素子に関
する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Field of Industrial Application The present invention relates to a piezoelectric element used in a piezoelectric actuator or the like.
（ロ） 従来の技術
従来、圧電アクチュエータの一形態として、軸方向に移
動するプランジャと、同プランジャをつかむクランプ部
材と、クランプ部材を作動させる圧電素子と、１ランジ
ヤを移動させるストローク用圧電素子とにより構成され
たものがあり、各圧電素子は、複数個の圧電素子片を銀
ペースト等の導電性接着剤で積層接着して一個の圧電素
子を構成している。(B) Conventional technology Conventionally, as one form of piezoelectric actuator, a plunger that moves in the axial direction, a clamp member that grips the plunger, a piezoelectric element that operates the clamp member, and a stroke piezoelectric element that moves one plunger are used. Each piezoelectric element is constructed by laminating and bonding a plurality of piezoelectric element pieces using a conductive adhesive such as silver paste.
そして、各圧電素子片の積層は、第１４図で示すように
リードワイヤ接続用の銀箔小片（５０）を各圧電素子（
５１）間に挾み込み、手作業て各圧電素子片（５１）の
位置合せをしながら行われている。Then, to stack each piezoelectric element piece, as shown in FIG.
51) and manually aligning each piezoelectric element piece (51).
（ハ） 発明が解決しようとする課題
しかしながら、上記の圧電素子には次のような問題点か
ある。(c) Problems to be Solved by the Invention However, the piezoelectric element described above has the following problems.
■ 手作業で位置合せしながら各圧電素子片（５１）を
積層するのでは、積層の組立精度を高めることができな
い。(2) If the piezoelectric element pieces (51) are stacked while manually aligning them, it is not possible to improve the assembly accuracy of the stacking.
■ 各圧電素子片（５１）間に銅箔小片（５０）か介在
するなめ、各圧電素子片（５１）を平行に積層すること
ができない。(2) Since the copper foil pieces (50) are interposed between the piezoelectric element pieces (51), the piezoelectric element pieces (51) cannot be laminated in parallel.
■ 銅箔小片（５０）が破断しやすいなめ、リードワイ
ヤのハンダ付けがやりにくく手間かかかる。■ The small piece of copper foil (50) is easily broken, and it is difficult and time-consuming to solder the lead wire.
■ 銀箔小片（５０）やリードワイヤが変形しやすいの
で、これらが接触しショートすることがあるという欠点
があった。(2) Since the small silver foil piece (50) and the lead wire are easily deformed, there is a drawback that they may come into contact and cause a short circuit.
（ニ） 課題を解決するための手段
本発明では、基板上に複数個の圧電素子片と電極とを交
互に積層して構成した圧電素子において、基板にガイド
体を立設して、同ガイド体で各圧電素子片の位置決めを
行うと共に、同ガイド体で各圧電素子片間の電極を導通
せしめたことを特徴とする圧電素子を提供せんとするも
のである。(d) Means for Solving the Problems In the present invention, in a piezoelectric element constructed by alternately laminating a plurality of piezoelectric element pieces and electrodes on a substrate, a guide body is provided upright on the substrate, and the guide body is arranged vertically on the substrate. It is an object of the present invention to provide a piezoelectric element characterized in that each piezoelectric element piece is positioned by a body and the electrodes between the piezoelectric element pieces are electrically connected by the same guide body.
（ホ） 作用・効果
本発明の圧電素子では、複数個の圧電素子片を積層接着
する際、基板に立設したガイドピンを用いて位置合ぜを
行うことができるのて、積層された各圧電素子片の位置
精度が高く、圧電素子に正確かつ高能率の作動を行わせ
ることができる。(E) Functions and Effects In the piezoelectric element of the present invention, when a plurality of piezoelectric element pieces are laminated and bonded, alignment can be performed using guide pins provided upright on the substrate. The positional accuracy of the piezoelectric element piece is high, and the piezoelectric element can be operated accurately and with high efficiency.
銀箔小片の介装を要しないので、各圧電素子片を平行に
積層することができる。Since it is not necessary to interpose small pieces of silver foil, each piezoelectric element piece can be stacked in parallel.
また、ガイド体を導電性素材で構成すれば、同カイト体
を用いて各圧電素子間の電極を導通させることができ、
ガイド体は銀箔小片やリードワイヤなどと異なり変形し
にくいので、圧電素子の取扱中にショートしたりするの
が防止される。Furthermore, if the guide body is made of a conductive material, the electrodes between the piezoelectric elements can be electrically connected using the same kite body.
Since the guide body is not easily deformed unlike small pieces of silver foil or lead wires, it is possible to prevent short circuits during handling of the piezoelectric element.
上記のように、ガイド体が圧電素子片の位置決めと電極
の導通を兼ねることから、特に手間をかけなくても、正
確な圧電素子片の積層作業と、電極の導通作業の両方を
同時に行うことかでき、作業能率を高めることができる
。As mentioned above, since the guide body serves both to position the piezoelectric element pieces and to conduct the electrodes, it is possible to perform both the accurate lamination work of the piezoelectric element pieces and the conduction work of the electrodes at the same time without any particular effort. can be used to improve work efficiency.
（へ）実施例
以下、添付図に示す実施例にもとづき、本発明を詳説す
る。(F) Examples The present invention will now be described in detail based on examples shown in the accompanying drawings.
第１図、第２図は本発明の第１実施例を示しており、そ
れぞれ所定厚さを有する圧電素子片（ｑ１）〜（ｑｎ）
と基板（ｒ）とを積層接着して一体の圧電素子（Ｑ）を
構成している。1 and 2 show a first embodiment of the present invention, in which piezoelectric element pieces (q1) to (qn) each having a predetermined thickness are shown.
and a substrate (r) are laminated and bonded to form an integrated piezoelectric element (Q).
圧電素子片（ｑ１）〜（ｑｎ）は第２図で示すように、
外周縁に耳部（ＩＩ）を凸段して、同耳部（ＩＩＩ）に
カイト体（Ｇ）としてのピン（ｎ）を挿通するためのガ
イド体挿通孔（０）を穿設すると共に、各圧電素子片（
ｑ１）〜（ｑｎ）の側面に銀ペースト等の導電性接着剤
（ｐ）をスクリーン印刷等の手法を用いて塗布し、これ
らの圧電素子片（ｑ１）〜（ｑｎ）と、同様にして導電
性接着剤（ｐ）を塗布した基板（ｒ）とを積層し、加圧
接着して一体の圧電素子（Ｑ）を構成している。As shown in FIG. 2, the piezoelectric element pieces (q1) to (qn) are
A protruding ear (II) is formed on the outer peripheral edge, and a guide body insertion hole (0) for inserting a pin (n) as a kite body (G) is bored in the ear (III), Each piezoelectric element piece (
A conductive adhesive (p) such as silver paste is applied to the side surfaces of q1) to (qn) using a method such as screen printing, and a conductive adhesive is similarly applied to these piezoelectric element pieces (q1) to (qn). The piezoelectric element (Q) is laminated with a substrate (r) coated with an adhesive (p) and bonded under pressure to form an integrated piezoelectric element (Q).
かかる圧電素子片（ｑ１）〜（ｑｎ）の積層に際し、基
板（「）にカイト体（Ｇ）としてのピン（ｊｌ）を立設
しておき、耳部（■）のカイト体挿通孔（０）にピン（
ｎ）を挿通しながら各圧電素子片（ｑ１）〜（ｑｎ）を
積層することによって、上記圧電素子片（ｑｌ）〜ｆａ
ｎ）の位置決めを行うようにしている。When stacking the piezoelectric element pieces (q1) to (qn), a pin (jl) as a kite body (G) is set upright on the substrate (''), and a kite body insertion hole (0 ) to the pin (
By stacking each piezoelectric element piece (q1) to (qn) while inserting the piezoelectric element piece (ql) to fa
n) positioning is performed.
第３図及び第４図は第２実施例を示しており、第１実施
例と同様に形成した耳部（１１）にガイド体挿通ｉ ｆ
ｔ）を形成しており、圧電素子片（ｑ１）〜（ｑｎ）の
積層に際し、基板（ｒ）に立設したガイド体（Ｇ）とし
てのピン（ｎ）を、カイト体挿通溝（１）に挿通させな
がら圧電素子片（ｑ１）〜（ｑｎ）を積層することで、
各圧電素子片（ｑｌ）〜［ｑｎ）の位置決めを行うよう
にしている。3 and 4 show the second embodiment, in which the guide body is inserted into the ear portion (11) formed in the same manner as in the first embodiment.
t), and when stacking the piezoelectric element pieces (q1) to (qn), a pin (n) serving as a guide body (G) provided upright on the substrate (r) is inserted into the kite body insertion groove (1). By stacking the piezoelectric element pieces (q1) to (qn) while inserting them into the
Each piezoelectric element piece (ql) to [qn) is positioned.
第５図及び第６図は第３実施例を示しており、第１実施
例と同様に形成した耳部（Ｉｎ）の外側縁に、基板（ｒ
）に立設したカイト体（Ｇ）としての断面路コ字形状の
治具（Ｖ）を外嵌することて各圧電素子片（ｑ１）〜（
ｑｎ）の位置決めを行うようにしている。5 and 6 show a third embodiment, in which a substrate (r
), each piezoelectric element piece (q1) to (
qn).
この様にして一体に積層接着された圧電素子（Ｑ）では
、圧電素子片（ｑ１）〜（ｑｎ）間に介在した導電性接
着剤（ｐ）電極として利用することができる。In the piezoelectric element (Q) integrally laminated and bonded in this manner, the conductive adhesive (p) interposed between the piezoelectric element pieces (q1) to (qn) can be used as an electrode.
すなわち、第１実施例〜第３実施例において、第１図〜
第６図で示すように、基板（ｒ）に立設した２本のピン
（ｎ）または治具（Ｖ）に、一つおきの圧電素子片（ｑ
１）〜（ｑｎ）の耳部（ｍ）に挿通または当接させるこ
とで、基板（ｒ）のターミナル（〜￥）と、電極を兼ね
る導電性接着剤（ｐ）とを導通させることができ、圧電
素子片（ｑ１）〜（ｑｎ）の積層と電極の導通とを一回
の作業で同時に行うことかできる。That is, in the first to third embodiments, FIGS.
As shown in FIG. 6, every other piezoelectric element piece (q
1) By inserting or contacting the ears (m) of ~(qn), it is possible to establish continuity between the terminal (~¥) of the board (r) and the conductive adhesive (p) that also serves as an electrode. , lamination of the piezoelectric element pieces (q1) to (qn) and conduction of the electrodes can be performed simultaneously in one operation.
上記のようにして積層された圧電素子片（ｑｌ）〜ｆｑ
ｎ）は、積層時に基板（ｒ）に立設したカイト体（Ｇ）
で位置決めされるので、特に手間を掛Ｇ→なくても位置
精度が高く、高能率の積層作業を行うことができる。Piezoelectric element pieces (ql) to fq laminated as above
n) is a kite body (G) erected on the substrate (r) during lamination.
Since positioning is performed using G →, positioning accuracy is high and highly efficient lamination work can be performed without the need for particular effort and effort.
各圧電素子片（ｑｌ）〜［ｑｎ）の素材は、例えは、Ａ
ＢＯ３へロブスカイト形の結晶構造をもつ強誘電材料で
あって、ＰＺＴ （Ｐｂ （Ｚｒ、’ｒ”ｉ ）Ｏａ
〕系や、ＰＬＺＴ （Ｆ’ｂ、Ｌａ、（Ｚｒ、Ｔｉ ）
Ｏａ ）系、Ｐ Ｔ ＣＰ ｂ Ｔ ｉ Ｏａ ：］系
、あるいはＰＺ ｉ’を基にしな３次分系の圧電セラミ
ックス等を用いることができる。The material of each piezoelectric element piece (ql) to [qn) is, for example, A
BO3 is a ferroelectric material with a lobskite crystal structure, and PZT (Pb (Zr,'r”i)Oa
] system, PLZT (F'b, La, (Zr, Ti)
Piezoelectric ceramics based on Oa ) system, P T CP b T i Oa :] system, or a third-order subsystem based on PZ i' can be used.
また、基板（ｒ）には、カラスエポキシ基板等を用いる
事も考えられるが、本実施例では耐熱性及び機械的強度
に優れたセラミック基板を使用し、導電性接着剤（ｐ）
に銀ペーストを使用して、積層した圧電素子片（ｑ１）
〜（ｑｎ）と基板（「）を加圧しながら約７００°Ｃで
焼付は接着して一体の圧電素子（Ｑ）を構成して、圧電
素子片（ｑｌ）〜［ｑｎ）と基板（ｒ）の接着強度を高
めると共に、銀ペースト中の銀の粒子を相互に溶着させ
て導電性を高めている６次いで、上記のようにして積層
構成した圧電素子を用いた圧電アクチュエータ（Ａ）に
ついて説明する。Furthermore, although it is possible to use a glass epoxy substrate etc. for the substrate (r), in this example, a ceramic substrate with excellent heat resistance and mechanical strength is used, and a conductive adhesive (p) is used.
Piezoelectric element pieces laminated using silver paste (q1)
~(qn) and the substrate ('') are baked and bonded at approximately 700°C under pressure to form an integrated piezoelectric element (Q), and the piezoelectric element piece (ql) ~[qn) and the substrate (r) are bonded together. In addition to increasing the adhesive strength of the silver paste, the silver particles in the silver paste are welded together to increase conductivity.6 Next, a piezoelectric actuator (A) using piezoelectric elements laminated as described above will be explained. .
第７図で示すように、前後壁（ａ）（ｂ）を具備する筒
状のケース内に同心円的に、かつ、軸線に沿って進退自
在にプランジャ（、Ｐ）を配設し、同プランジャＣＰ）
の外周に、それぞれクランプ部材（ｋＨｌ）を具備する
一対のクランプ用圧電素子（ｅ）（ｆ）と、ストローク
用圧電素子（ｇ）とを配設することによって構成してい
る。As shown in Fig. 7, a plunger (,P) is disposed concentrically in a cylindrical case having front and rear walls (a) and (b) and can move forward and backward along the axis. CP)
A pair of clamping piezoelectric elements (e) and (f) each having a clamping member (kHl) and a stroke piezoelectric element (g) are disposed on the outer periphery of the rotor.
すなわち、クランプ用圧電素子（ｅ）は、ケースの中央
部に取１寸けた保持具（ｈ）の下側に配設・支持されて
おり、一方、クランプ用圧電素子（ｆ）と、ストローク
用圧電素子（ｑ）とは保持具（ｈ）の上側に配設・支持
されている。That is, the piezoelectric element for clamping (e) is arranged and supported under the holder (h), which is set one inch apart in the center of the case, while the piezoelectric element for clamping (f) and the piezoelectric element for stroke The piezoelectric element (q) is arranged and supported on the upper side of the holder (h).
次に、各圧電素子（ｅ）（ｆ）（ｇ）の作用について説
明する。Next, the action of each piezoelectric element (e), (f), and (g) will be explained.
圧電素子（ｅ）（ｆ）は、電圧を印加するとクランプ部
材（ｋ）（１）を介してプランジャＣＰ）をクランプし
、電圧を印加していないときは上記クランプを解除する
。The piezoelectric elements (e) and (f) clamp the plunger CP via the clamp members (k) and (1) when a voltage is applied, and release the clamp when no voltage is applied.
一方、圧電素子（ｇ）は、電圧を印加すると軸線方向に
短縮し、上記電圧を解除すると伸長して復位するように
している。On the other hand, the piezoelectric element (g) is configured to shorten in the axial direction when a voltage is applied, and to expand and return to its original position when the voltage is removed.
第８図に、上記構成を有する圧電アクチュエータ（Ａ）
を制御するための制御装置（Ｃ）の構成を示しており、
同制御装置（Ｃ）は、マイクロプロセッサ（ＨＰＵ）と
、駆動信号を出力するスイッチ（舖）等と接続した入力
インターフェース（１）と、駆動回路（Ｄ）を介して圧
電素子ｆｅ）（ｆ）（ｑ）と接続した出力インターフェ
ース（１）と、圧電素子（ｅ）（ｆ）（ｏ）の駆動プロ
グラムを記憶したメモリ（Ｈ）とで構成されている。FIG. 8 shows a piezoelectric actuator (A) having the above configuration.
It shows the configuration of the control device (C) for controlling the
The control device (C) connects a microprocessor (HPU), an input interface (1) connected to a switch (or) etc. that outputs a drive signal, and a piezoelectric element fe) (f) via a drive circuit (D). It consists of an output interface (1) connected to (q) and a memory (H) that stores a drive program for piezoelectric elements (e), (f), and (o).
ついで、かかる構成を有するアクチュエータ（八）によ
るプランジャＣＰ）の移動について、第９図〜第１２図
を参照して説明する。Next, the movement of the plunger CP) by the actuator (8) having such a configuration will be explained with reference to FIGS. 9 to 12.
制御装置（Ｃ）に駆動信号が入力すると、前記プログラ
ムに従って、第９図に示すように、圧電素子（ｆ）に電
圧を印加してプランジャＣＰ）をクランプし、しかるの
ち、圧電素子（ｅ）への電圧を止めてプランジャ（Ｐ）
のクランプを解除する。When a drive signal is input to the control device (C), according to the program, a voltage is applied to the piezoelectric element (f) to clamp the plunger CP), as shown in FIG. 9, and then the piezoelectric element (e) Stop the voltage to the plunger (P)
Release the clamp.
次に、第１０図に示すように、圧電素子（ｃ＋）に電圧
を印加して収縮させると、圧電素子（ｑ）は矢印方向に
移動し、これに伴い圧電素子（ｆ）かクランプしたプラ
ンジャ（Ｐ）も矢印方向に移動する。Next, as shown in FIG. 10, when a voltage is applied to the piezoelectric element (c+) to cause it to contract, the piezoelectric element (q) moves in the direction of the arrow, and as a result, the piezoelectric element (f) moves away from the clamped plunger. (P) also moves in the direction of the arrow.
その後、第１１図に示すように、圧電素子（ｅ）に電圧
を印加してプランジャ（Ｐ）をクランプし、しかるのち
、圧電素子（ｆ）の印加電圧を解除してプランジャ（Ｐ
）のクランプを解除する。Thereafter, as shown in FIG. 11, a voltage is applied to the piezoelectric element (e) to clamp the plunger (P), and then the voltage applied to the piezoelectric element (f) is released to clamp the plunger (P).
) release the clamp.
そして、第１２図で示すように、圧電素子（ｇ）への印
加電圧を解除して伸長させ、圧電素子（ｆ）だけを矢印
方向に移動させ、第９図の状態に復帰させる。Then, as shown in FIG. 12, the voltage applied to the piezoelectric element (g) is released and expanded, and only the piezoelectric element (f) is moved in the direction of the arrow, returning to the state shown in FIG. 9.
その後、北記動作を繰り返すことにより、プランジャ（
Ｐ）を、μ■１オータ或いはサブμｍオーダのストロー
クで尺とり車状に移動することかでき、各種装置や機械
等を精密に動作させることができる。After that, by repeating the Kitaki operation, the plunger (
P) can be moved like a scale wheel with a stroke on the order of .mu.1 or sub-.mu.m, and various devices and machines can be operated precisely.
第１３図は本発明の圧電素子（Ｑ）で構成した圧電アク
チュエータ（＾）で、ダイヤフラム型の弁体を駆動する
ように構成した自動弁（Ｖ）であり、（１０）は弁箱で
あって、それぞれ−次配管と、二次配管とに連通連結す
る流入路（１１）と流出路（１２）とを設けている。ま
た、弁箱（１０）内において、流入路（１１）と流出路
（１２）との間には、主弁孔（１３）が形成され、主弁
孔（１３）の上端開口周縁には主弁座（１４）が形成さ
れている。Fig. 13 shows a piezoelectric actuator (^) constructed with the piezoelectric element (Q) of the present invention, which is an automatic valve (V) constructed to drive a diaphragm-type valve body, and (10) is a valve box. An inflow path (11) and an outflow path (12) are provided which are connected to the secondary piping and the secondary piping, respectively. Further, in the valve box (10), a main valve hole (13) is formed between the inflow path (11) and the outflow path (12), and the main valve hole (13) is formed at the upper opening periphery of the main valve hole (13). A valve seat (14) is formed.
そして、主弁座（１４）上には、主弁孔（１３）を開閉
する主弁体を兼ねたダイヤフラム（１５）が接離自在に
配設されている。A diaphragm (15), which also serves as a main valve element for opening and closing the main valve hole (13), is disposed on the main valve seat (14) so as to be able to move toward and away from the main valve seat (14).
ダイヤフラム（１５）の上方にはダイヤフラム背室（１
６）が形成されており、同ダイヤフラム背室（１６）は
、ダイヤフラム（１５）の周縁に設けたオリフィス（１
７）を介して流入路（１１）と連通している。Above the diaphragm (15) is the diaphragm back chamber (1
6) is formed, and the diaphragm back chamber (16) is formed with an orifice (1
7) and communicates with the inflow channel (11).
（１８）はダイヤフラム（１５）に穿設したパイ四ツ１
−弁孔であり、ダイヤフラム背室（１６）と流出路（１
２）とを連通させている。(18) is the piezo 1 drilled in the diaphragm (15).
- Valve hole, diaphragm back chamber (16) and outflow channel (1
2).
パイロット弁孔（１８）の上方には圧電アクチュエータ
（八）のプランジャ（Ｐ）の下端に設けたパイロット弁
体（１９）を対峙させて、圧電χクチュエータ（＾）の
作動によりパイロット弁孔（１８）を開閉させる。The pilot valve body (19) provided at the lower end of the plunger (P) of the piezoelectric actuator (8) is opposed to the upper part of the pilot valve hole (18), and the pilot valve hole (18) is operated by the piezoelectric χ actuator (^). ) to open and close.
上記の構成により、自動弁（ｖ）はタイヤフラム型の弁
体か有するセルフサーボ作用で、ダイヤフラム（１５）
が、圧電アクチュエータ（＾）のプランジャ（Ｐ）の動
きを追従して、主弁座（１４）を開閉するものである。With the above configuration, the automatic valve (v) has a self-servo action having a tire flam type valve body, and the diaphragm (15)
follows the movement of the plunger (P) of the piezoelectric actuator (^) to open and close the main valve seat (14).
（２０）はプランジャ（Ｐ）の上下ストロークを制限す
るフランジ、（２１）はＹ型断面のシールである。(20) is a flange that limits the vertical stroke of the plunger (P), and (21) is a seal with a Y-shaped cross section.
第１図、第２図は本発明第１実施例の断面側面図及び展
開斜視図、第３図、第４図は第２実施例の断面側面図及
び展開斜視図、第５図、第６図は第３実施例の断面側面
図及び展開斜視図、第７図は圧電アクチュエータの断面
説明図、第８図は制御装置の構成を示すブロック図、第
９図〜第１２図は同アクチュエータの作動説明図、第１
３図は本発明の圧電アクチュエータで構成した自動弁の
断面図、第１４図は従来の圧電素子片の斜視図。
（Ｇ）ニガイド体
（Ｑ）：圧電素子
（ｒ）二基板
（ｑ１）〜（ｑｎ） ：圧電素子片1 and 2 are a sectional side view and an exploded perspective view of the first embodiment of the present invention, FIGS. 3 and 4 are a sectional side view and an exploded perspective view of the second embodiment, and FIGS. 5 and 6 The figures are a cross-sectional side view and an exploded perspective view of the third embodiment, FIG. 7 is a cross-sectional explanatory diagram of the piezoelectric actuator, FIG. 8 is a block diagram showing the configuration of the control device, and FIGS. 9 to 12 are the diagrams of the actuator. Operation diagram, 1st
FIG. 3 is a sectional view of an automatic valve constructed using the piezoelectric actuator of the present invention, and FIG. 14 is a perspective view of a conventional piezoelectric element piece. (G) Two guide body (Q): Piezoelectric element (r) Two substrates (q1) to (qn): Piezoelectric element piece
Claims (1)
ｎ）と電極とを交互に積層して構成した圧電素子（Ｑ）
において、基板（ｒ）にガイド体（Ｇ）を立設して、同
ガイド体（Ｇ）で各圧電素子片（ｑ１）〜（ｑｎ）の位
置決めを行うと共に、同ガイド体（Ｇ）で各圧電素子片
（ｑ１）〜（ｑｎ）間の電極を導通せしめたことを特徴
とする圧電素子。1) A plurality of piezoelectric element pieces (q1) to (q
Piezoelectric element (Q) configured by alternately laminating n) and electrodes
, a guide body (G) is erected on the substrate (r), and the guide body (G) positions each piezoelectric element piece (q1) to (qn), and the guide body (G) positions each piezoelectric element piece (q1) to (qn). A piezoelectric element characterized in that electrodes between piezoelectric element pieces (q1) to (qn) are electrically connected.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011481A JPH02192180A (en) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | Piezoelectric element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1011481A JPH02192180A (en) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | Piezoelectric element |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02192180A true JPH02192180A (en) | 1990-07-27 |
Family
ID=11779246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1011481A Pending JPH02192180A (en) | 1989-01-19 | 1989-01-19 | Piezoelectric element |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02192180A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014120553A (en) * | 2012-12-14 | 2014-06-30 | Taiheiyo Cement Corp | Piezoelectric element, piezoelectric actuator and manufacturing method therefor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61108182A (en) * | 1984-11-01 | 1986-05-26 | Toshiba Corp | Laminated piezoelectric element unit and usage thereof |
-
1989
- 1989-01-19 JP JP1011481A patent/JPH02192180A/en active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61108182A (en) * | 1984-11-01 | 1986-05-26 | Toshiba Corp | Laminated piezoelectric element unit and usage thereof |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014120553A (en) * | 2012-12-14 | 2014-06-30 | Taiheiyo Cement Corp | Piezoelectric element, piezoelectric actuator and manufacturing method therefor |
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