JP2913675B2 - Easy-to-stack piezoelectric elements - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 (イ)産業上の利用分野 本発明は、積層式の圧電アクチュエータ等に用いるこ
とができ、かつ容易に製作することができる圧電素子に
関する。The present invention relates to a piezoelectric element that can be used for a laminated piezoelectric actuator or the like and that can be easily manufactured.
(ロ)従来の技術 従来、圧電アクチュエータの一形態として、複数個の
圧電素子片を銀ペースト等の接着材で積層接着すること
によって構成される積層式のものがある。(B) Conventional technology Conventionally, as one form of a piezoelectric actuator, there is a laminated type constituted by laminating and bonding a plurality of piezoelectric element pieces with an adhesive such as silver paste.
即ち、第11図で示すように、上記複数個の圧電素子片
の積層接着は、複数の圧電素子片51を、各圧電素子片51
の約180度対向する側に設けた絶縁側側部51aと電極側側
部51bとが交互に上下方向に整列状態に現出するように
積層・接着するとともに、基板54に積層・接着すること
によって行われ、その後、導電性接着材52,53によっ
て、積層された圧電素子片組み合わせ体の180度対向す
る側面に沿って導電性接着材52,53を塗布し、基板54に
各圧電素子片の電極を接続することになる。That is, as shown in FIG. 11, the lamination and bonding of the plurality of piezoelectric element pieces
Laminated and bonded so that the insulating side portions 51a and the electrode side portions 51b provided on the sides facing each other by about 180 degrees alternately appear in a vertically aligned state, and are laminated and bonded to the substrate 54. After that, the conductive adhesives 52 and 53 are applied along the 180 ° facing side surfaces of the stacked piezoelectric element piece combination by the conductive adhesives 52 and 53, and the piezoelectric element pieces are applied to the substrate 54. Will be connected.
(ハ)発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記の圧電素子は、未だ、次のような
問題点を有していた。(C) Problems to be solved by the invention However, the above-mentioned piezoelectric element still has the following problems.
上述したように、複数個の圧電素子片51の積層に際
しては、各圧電素子片51の約180度対向する側に設けた
絶縁側側部51aと電極側側部51bとが交互に上下方向に整
列状態に現出させる必要があるが、手作業でこれを行う
場合、位置合わせが困難である。As described above, when laminating the plurality of piezoelectric element pieces 51, the insulating side parts 51a and the electrode side parts 51b provided on the sides of each piezoelectric element piece 51 facing each other by about 180 degrees alternately in the vertical direction. Although it is necessary to make it appear in an aligned state, if this is done manually, alignment is difficult.
また、位置合わせが困難であるため、各圧電素子片
51の約180度対向する側に設けた絶縁側側部51aと電極側
側部51bとが交互に上下方向に整列状態に現出させるこ
とができず、その後の、導電性接着材52,53の塗布作業
が困難となり、基板54と各圧電素子片51の電極との信頼
性のある接続が確保できない。In addition, since alignment is difficult, each piezoelectric element piece
The insulating side portions 51a and the electrode side portions 51b provided on the side opposite to each other by about 180 degrees cannot alternately appear in a vertically aligned state, and thereafter, the conductive adhesives 52, 53 This makes it difficult to perform a coating operation, and a reliable connection between the substrate 54 and the electrode of each piezoelectric element piece 51 cannot be secured.
本発明は、上記課題を解決することができる積層容易
な圧電素子を提供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an easily stackable piezoelectric element that can solve the above problems.
(ニ)課題を解決するための手段 本発明は、複数個の圧電素子片間に導電性接着剤を介
在させて積層した圧電素子において、各圧電素子片の側
面に、各圧電素子片の表裏を表示し、かつ、各圧電素子
片の回転軸線廻りの位置を表示するための積層位置合わ
せ用基準マークを設け、かつ、同積層位置合わせ用基準
マークの上下方向の整列によって、各圧電素子片の側面
に設けた絶縁側側部と電極側側部とが、上下方向に交互
に整列するようにしたことを特徴とする積層容易な圧電
素子に係るものである。(D) Means for Solving the Problems The present invention relates to a piezoelectric element laminated with a conductive adhesive interposed between a plurality of piezoelectric element pieces, and the front and back of each piezoelectric element piece are provided on the side face of each piezoelectric element piece. Are provided, and a reference mark for stacking alignment for indicating the position of each piezoelectric element piece around the rotation axis is provided, and each of the piezoelectric element pieces is aligned by vertical alignment of the stacking alignment reference mark. The present invention relates to an easy-to-stack piezoelectric element characterized in that the insulating side portions and the electrode side portions provided on the side surfaces are alternately arranged in the vertical direction.
(ホ)作用・効果 本発明では、上記した構成によって、圧電素子片の積
層時に、単に各圧電素子片に設けた積層位置合わせ用基
準マークを整列させることによって、自動的に、各圧電
素子片の側面に設けた絶縁側側部と電極側側部とを、上
下方向に交互に整列することができる。(E) Function / Effect According to the present invention, when the piezoelectric element pieces are laminated, the respective piezoelectric element pieces are automatically arranged by simply aligning the reference marks for lamination positioning provided on each piezoelectric element piece. The insulating-side portions and the electrode-side portions provided on the side surfaces can be arranged alternately in the vertical direction.
従って、全圧電素子片の積層作業を極めて容易に行う
ことができる。Therefore, the lamination work of all the piezoelectric element pieces can be performed extremely easily.
また、積層位置合わせ用基準マークを整列させること
によって各圧電素子片の側面に設けた絶縁側側部と電極
側側部とを、上下方向に交互に整列するようにしている
ので、絶縁側側部と電極側側部とを、上下方向に交互に
正確に整列させることができる。Also, since the insulating side portions and the electrode side portions provided on the side surfaces of the respective piezoelectric element pieces are arranged alternately in the vertical direction by aligning the reference marks for stacking alignment, the insulating side The part and the electrode side part can be alternately and accurately aligned in the vertical direction.
従って、導電性接着剤の塗布作業も容易に行うことが
でき、基板と各圧電素子片の電極との接続を容易かつ確
実に行うことができる。Therefore, the operation of applying the conductive adhesive can be easily performed, and the connection between the substrate and the electrodes of the respective piezoelectric element pieces can be easily and reliably performed.
(ヘ)実施例 第1図〜第3図に本発明の一実施例を示しており、そ
れぞれ所定厚さを有する略リング上の厚電素子片q1〜qn
と基板rとを積層接着して一体の圧電素子Qを構成して
いる。(F) Embodiment FIGS. 1 to 3 show one embodiment of the present invention, in which thick electric element pieces q1 to qn on substantially rings each having a predetermined thickness.
And the substrate r are laminated and bonded to form an integrated piezoelectric element Q.
このようにして一体に積層接着された圧電素子Qで
は、圧電素子片q1〜qn間に介在した導電性接着材pを電
極として利用することができる。In the piezoelectric element Q thus integrally laminated and bonded, the conductive adhesive p interposed between the piezoelectric element pieces q1 to qn can be used as an electrode.
即ち、各圧電素子片q1〜qnの両面には、第2図で示す
ように、銀ペースト等の導電性接着材pをスクリーン印
刷等の手法を用いて塗布して、導電性接着材pのパター
ンを形成している。That is, as shown in FIG. 2, a conductive adhesive p such as a silver paste is applied to both surfaces of each of the piezoelectric element pieces q1 to qn by using a method such as screen printing to form a conductive adhesive p. The pattern is formed.
このパターンは各圧電素子片q1〜qnの外周縁から所定
幅の絶縁性接着剤prを塗布した絶縁部Atと、その内側に
導電性接着材pを塗布した接着部pcと、同接着部pcから
各圧電素子片q1〜qnの外周縁に達する導電性接着材pを
塗布した延出部paとで形成されている。This pattern is composed of an insulating portion At in which an insulating adhesive pr of a predetermined width is applied from the outer peripheral edge of each of the piezoelectric element pieces q1 to qn, an adhesive portion pc in which a conductive adhesive p is applied, and an adhesive portion pc having the same. And an extended portion pa coated with a conductive adhesive p that reaches the outer peripheral edge of each of the piezoelectric element pieces q1 to qn.
なお、上記延出部paは各圧電素子片q1〜qnの両面に塗
布されているが、表面と裏面とでは互いに位置を、例え
ば、180゜対向して異ならせている。The extending portions pa are applied to both surfaces of each of the piezoelectric element pieces q1 to qn, but the positions of the front and rear surfaces are different from each other, for example, by 180 °.
そして、延出部pa同士、絶縁部At同士を対向させて圧
電素子片q1〜qnを積層し、これらの圧電素子片q1〜qnを
導電性接着材pを塗布した基板r上に積層し、加圧接着
して一体の圧電素子Qを構成している。Then, the piezoelectric element pieces q1 to qn are laminated with the extension parts pa facing each other and the insulating parts At facing each other, and these piezoelectric element pieces q1 to qn are laminated on the substrate r coated with the conductive adhesive p, The integrated piezoelectric element Q is formed by pressure bonding.
なお、接着部pcと延出部paは、スクリーン印刷等の手
法で、圧電素子片q1〜qnに接着部pcの導電性接着材pと
同時に形成することができ、また、絶縁部Atも同様にス
クリーン印刷等の手法で形成することができる。The bonding portion pc and the extension portion pa can be formed on the piezoelectric element pieces q1 to qn at the same time as the conductive bonding material p of the bonding portion pc by a method such as screen printing, and the insulating portion At can be similarly formed. Can be formed by a method such as screen printing.
このようにして積層された圧電素子Qの外面の上記延
出部paの外側に引出用導電性接着材pbを塗布し、各導電
性接着材pと基板rに設けたターミナルwとを接続導通
させている。A conductive adhesive pb for drawing is applied to the outer surface of the piezoelectric element Q laminated in this manner outside the extending portion pa, and each conductive adhesive p is connected to a terminal w provided on the substrate r. Let me.
また、各圧電素子片q1〜qn間の電極は、導電性接着材
pの延出部pa同士を対向させて積層したことで、一方の
ターミナルwに一つ置きの電極が並列状態で接続し、残
りの電極が他方のターミナルwと接続して、各圧電素子
片q1〜qnに電圧を印加できるようになる。Further, the electrodes between the piezoelectric element pieces q1 to qn are stacked with the extending portions pa of the conductive adhesive p facing each other, so that every other electrode is connected in parallel to one terminal w. The remaining electrodes are connected to the other terminal w, so that a voltage can be applied to each of the piezoelectric element pieces q1 to qn.
本発明は、上記構成において、さらに、第1図〜第3
図を示すように、各圧電素子片q1〜qnの側面に、各圧電
素子片q1〜qnの表裏を表示し、かつ、各圧電素子片q1〜
qnの回転軸線廻りの位置を表示するための積層位置合わ
せ用基準マークmを設け、かつ、同積層位置合わせ用基
準マークmの上下方向の整列によって、各圧電素子片q1
〜qnの側面に設けた絶縁側側部S1と電極側側部S2とが、
上下方向に交互に整列するようにした構成を具備するこ
とを特徴とする。According to the present invention, in the above-described configuration, further, FIGS.
As shown in the figure, the front and back of each piezoelectric element piece q1 to qn are displayed on the side surface of each piezoelectric element piece q1 to qn, and each piezoelectric element piece q1 to
A reference mark m for stacking positioning for indicating the position of the rotation axis of qn around the rotation axis is provided, and each of the piezoelectric element pieces q1
An insulating side side S 1 and the electrode-side side S 2 provided on the side surface of the ~qn is,
It is characterized by having a configuration in which it is arranged alternately in the vertical direction.
本実施例では、積層位置合わせ用基準マークmは、第
3図及び第3A図に示す如く、180゜対向する側に、それ
ぞれ、上部水平線xの一端を下方に屈曲して垂直線yを
形成し、同垂直線yの下端から、上部水平線xと反対方
向に下部水平線zを伸延させることによって形成してい
る。In this embodiment, as shown in FIGS. 3 and 3A, one end of the upper horizontal line x is formed by bending one end of the upper horizontal line x downward on the side facing 180 °, as shown in FIGS. 3 and 3A. The lower horizontal line z is formed to extend from the lower end of the vertical line y in a direction opposite to the upper horizontal line x.
また、180゜対向する側に設けた積層位置合わせ用基
準マークmは、それぞれ、一方のマークmの上部水平線
xが、他方のマークMの上部水平線yと反対方向に、伸
延するように形成している。Also, the reference marks m for stacking alignment provided on the side facing 180 ° are formed such that the upper horizontal line x of one mark m extends in the opposite direction to the upper horizontal line y of the other mark M. ing.
そして、垂直線yは、各圧電素子片q1〜qnの回転軸線
周りの位置合わせに用いるものであり、同軸線周りのず
れを防止することができる。The vertical line y is used for positioning the piezoelectric element pieces q1 to qn around the rotation axis, and can prevent the displacement around the coaxial line.
一方、上部水平線xと下部水平線zは、電極延伸方向
の位置合わせに用いるものであり、電極の延伸方向(裏
表)を表示することができるものである。On the other hand, the upper horizontal line x and the lower horizontal line z are used for alignment in the electrode extending direction, and can indicate the extending direction (front and back) of the electrode.
かかる構成によって、同一構造及び同一の積層位置合
わせ用基準マークmを有する圧電素子片q1〜qnを用いて
圧電素子を形成することができ、かつ、圧電素子片q1〜
qnの積層時に、単に各圧電素子片q1〜qnに設けた積層位
置合わせ用基準マークmを整列させることによって交互
に裏返し積み重ね、自動的に、かつ、正確に、各圧電素
子片q1〜qnの側面に設けた絶縁側側部S1と電極側側部S2
とを、上下方向に交互に整列することができる。With such a configuration, a piezoelectric element can be formed using the piezoelectric element pieces q1 to qn having the same structure and the same stacking alignment reference mark m, and the piezoelectric element pieces q1 to
When stacking qn, they are stacked upside down alternately simply by simply aligning the stacking alignment reference marks m provided on each of the piezoelectric element pieces q1 to qn, automatically, and accurately, for each of the piezoelectric element pieces q1 to qn. provided on the side surface insulating side side S 1 and the electrode-side side portion S 2
And can be alternately arranged in the vertical direction.
従って、全圧電素子片q1〜qnの積層作業を極めて容易
に行うことができる。Therefore, the lamination work of all the piezoelectric element pieces q1 to qn can be performed extremely easily.
また、積層位置合わせ用基準マークmを整列させるこ
とによって各圧電素子片q1〜qnの側面に設けた絶縁側側
部と電極側側部とを、上下方向に交互に整列するように
しているので、絶縁側側部S1と電極側側部S2とを、上下
方向に交互に正確に整列させることができる。Also, by aligning the stacking alignment reference marks m, the insulating side portions and the electrode side portions provided on the side surfaces of the respective piezoelectric element pieces q1 to qn are alternately aligned in the vertical direction. and an insulating-side side S 1 and the electrode-side side S 2, can be accurately aligned alternately in the vertical direction.
従って、導電性接着剤材pbの塗布作業も容易に行うこ
とができ、電極形成を容易かつ正確に行うことができ
る。Therefore, the operation of applying the conductive adhesive material pb can be easily performed, and the electrodes can be easily and accurately formed.
なお、積層位置合わせ用基準マークmは、上記した位
置合わせ、即ち、全圧電素子片q1〜qnの絶縁側即部S1と
電極側側部S2の整列を容易かつ正確に行うことができる
形態であれば、如何なる図形、記号、文字も用いること
ができる。Incidentally, the reference mark m laminated alignment, alignment described above, i.e., it is possible to perform all the piezoelectric element piece q1~qn insulating side alignment of the immediate portion S 1 and the electrode-side side S 2 easily and accurately Any form, symbol, or character can be used in the form.
また、本実施例において、各圧電素子片q1〜qnの素材
は、例えば、ABO3ペロブスカイト形の結晶構造をもつ強
誘電材料であって、PZT〔Pb(Zr,Ti)O3〕系や、PLZT
〔Pb,La(Zr,Ti)O3〕系、Pt〔PbTiO3〕系、あるいはPZ
Tを基にした3成分系の圧電セラミックス等を用いるこ
とができる。In the present embodiment, the material of each of the piezoelectric element pieces q1 to qn is, for example, a ferroelectric material having an ABO 3 perovskite type crystal structure, such as PZT [Pb (Zr, Ti) O 3 ], PLZT
[Pb, La (Zr, Ti) O 3 ], Pt [PbTiO 3 ], or PZ
T-based ternary piezoelectric ceramics or the like can be used.
また、基板rには、ガラスエポキシ基板等を用いる事
も考えられるが、本実施例では耐熱性及び機械的強度に
優れたセラミック基板を使用し、導電性接着材pに銀ペ
ーストを使用して、積層した圧電素子片q1〜qnと基板r
を印加しながら約800℃で焼付接着して一体の圧電素子
Qを構成して、圧電素子片q1〜qnと基板rの接着強度を
たしかめると共に、銀ペースト中の銀の微粒子を相互に
溶着させて導電性を高めている。Although a glass epoxy substrate or the like may be used as the substrate r, in this embodiment, a ceramic substrate having excellent heat resistance and mechanical strength is used, and a silver paste is used as the conductive adhesive p. The laminated piezoelectric element pieces q1 to qn and the substrate r
By applying and baking at about 800 ° C. to form an integrated piezoelectric element Q, determine the adhesive strength between the piezoelectric element pieces q1 to qn and the substrate r, and weld the silver fine particles in the silver paste to each other. To increase conductivity.
次いで、上記構成の圧電素子を用いた圧電アクチュエ
ータAについて説明する。Next, the piezoelectric actuator A using the piezoelectric element having the above configuration will be described.
第4図で示すように、前後壁a,bを具備する筒状のケ
ース内に同心円的に、かつ、軸線にそって進退自在にプ
ランジャPを配設し、同プランジャPの外周に、それぞ
れクランプ部材k,lを具備する一対のクランプ用圧電素
子e,fと、ストローク用圧電素子gとを配設することよ
にって構成している。As shown in FIG. 4, a plunger P is disposed concentrically in a cylindrical case having front and rear walls a and b so as to be able to advance and retreat along an axis. It is configured by disposing a pair of clamping piezoelectric elements e and f having the clamping members k and l and a stroke piezoelectric element g.
すなわち、クランプ用圧電素子eは、ケースの中央部
に取付けた保持具hの下側に配設・支持されており、一
方クランプ用圧電素子fと、ストローク用圧電素子gと
は保持具hの上側に配設・保持されている。That is, the clamping piezoelectric element e is disposed and supported below the holder h attached to the center of the case, while the clamping piezoelectric element f and the stroke piezoelectric element g are connected to the holder h. Arranged and held on the upper side.
次に、各圧電素子e,f,gの作用について説明する。 Next, the operation of each of the piezoelectric elements e, f, and g will be described.
圧電素子e,fは、電圧を印加するとクランプ部材k,lを
介してプランジャPをクランプし、電圧を印加していな
いときは上記クランプを解除する。The piezoelectric elements e and f clamp the plunger P via the clamp members k and l when a voltage is applied, and release the clamp when no voltage is applied.
一方、圧電素子gは、電圧を印加すると軸線方向に短
縮し、上記電圧を解除すると伸長して復位するようにし
ている。On the other hand, when a voltage is applied, the piezoelectric element g contracts in the axial direction, and when the voltage is released, the piezoelectric element g expands and returns.
第5図に、上記構成を有する圧電アクチュエータAを
制御するための制御装置Cの構成を示しており、同制御
装置Cは、マイクロプロセッサMPUと、駆動信号を出力
するスイッチSW等と接続した入力インターフェースI
と、駆動回路Dを介して圧電素子e,f,gと接続した出力
インターフェースIと、圧電素子e,f,gの駆動プログラ
ムを記憶したりメモリMとで構成されている。FIG. 5 shows a configuration of a control device C for controlling the piezoelectric actuator A having the above configuration. The control device C includes a microprocessor MPU and an input connected to a switch SW for outputting a drive signal. Interface I
And an output interface I connected to the piezoelectric elements e, f, g via a drive circuit D, and a memory M for storing a drive program for the piezoelectric elements e, f, g.
次いで、かかる構成を有するアクチュエータAによる
プランジャPの移動について、第6図〜第9図を参照し
て説明する。Next, the movement of the plunger P by the actuator A having such a configuration will be described with reference to FIGS.
制御装置Cに従って駆動信号が入力すると、前記プロ
グラムに従って、第6図に示すように、圧電素子fに電
圧を印加してプランジャPをクランプし、しかるのち、
圧電素子eへの電圧を止めてプランジャPのクランプを
解除する。When a drive signal is input according to the control device C, a voltage is applied to the piezoelectric element f to clamp the plunger P according to the program, as shown in FIG.
The voltage to the piezoelectric element e is stopped to release the clamp of the plunger P.
次に、第7図に示すように、圧電素子gに電圧を印加
して縮小させると、圧電素子gは矢印方向に移動し、こ
れに伴い圧電素子fがクランプしたプランジャPも矢印
方向に移動する。Next, as shown in FIG. 7, when a voltage is applied to the piezoelectric element g to reduce it, the piezoelectric element g moves in the direction of the arrow, and accordingly, the plunger P clamped by the piezoelectric element f also moves in the direction of the arrow. I do.
その後、第8図に示すように、圧電素子eに電圧を印
加してプランジャPをクランプし、しかるのち、圧電素
子fの印加電圧を解除してプランジャPのクランプを解
除する。Thereafter, as shown in FIG. 8, a voltage is applied to the piezoelectric element e to clamp the plunger P, and then the applied voltage to the piezoelectric element f is released to release the clamp of the plunger P.
そして、第9図で示すように、圧電素子gへの印加電
圧を解除して伸長させ、圧電素子fだけを矢印方向に移
動させ、第6図の状態に復帰させる。Then, as shown in FIG. 9, the voltage applied to the piezoelectric element g is released and extended, and only the piezoelectric element f is moved in the direction of the arrow to return to the state shown in FIG.
その後、上記動作を繰り返すことにより、プランジャ
Pを、μmオーダ或いはサブμmオーダのストロークで
尺とり虫状に移動することができ、各種装置や機械等を
精密に動作させることができる。Thereafter, by repeating the above operation, the plunger P can be moved like a scale with a stroke of the order of μm or sub-μm, and various devices and machines can be operated accurately.
第10図は本発明の圧電アクチュエータAでダイヤフラ
ム型の弁体を駆動するように構成した自動弁Vであり、
10は弁箱であって、それぞれ一次配管と、二次配管とに
連通連結する流入路11と流出路12とを設けている。ま
た、弁箱10内において、流入路11と流出路12との間に
は、主弁孔13が形成され、主弁孔13の上端開口周縁には
主弁座14が形成されている。FIG. 10 shows an automatic valve V configured to drive a diaphragm type valve element by the piezoelectric actuator A of the present invention,
Reference numeral 10 denotes a valve box, which is provided with an inflow path 11 and an outflow path 12 which are respectively connected to a primary pipe and a secondary pipe. In the valve box 10, a main valve hole 13 is formed between the inflow path 11 and the outflow path 12, and a main valve seat 14 is formed around the upper end opening of the main valve hole 13.
そして、主弁座14上には、主弁孔13を開閉する主弁体
を兼ねたダイヤフラム15が接離自在に配設されている。Further, on the main valve seat 14, a diaphragm 15 also serving as a main valve body for opening and closing the main valve hole 13 is disposed so as to be able to freely contact and separate.
ダイヤフラム15の上方にはダイヤフラム背室16が形成
されており、同ダイヤフラム背室16は、ダイヤフラム15
の周縁に設けたオリフィス17を介して流入路11と連通し
ている。Above the diaphragm 15, a diaphragm back chamber 16 is formed, and the diaphragm back chamber 16 is
Communicates with the inflow passage 11 through an orifice 17 provided on the periphery of the inflow passage.
18はダイヤフラム15に穿設したパイロット弁孔であ
り、ダイヤフラム背室16と流出路12とを連通させてい
る。Reference numeral 18 denotes a pilot valve hole formed in the diaphragm 15 and connects the diaphragm back chamber 16 to the outflow passage 12.
パイロット弁孔18の上方には圧電アクチュエータAの
プランジャPの下端に設けたパイロット弁体19を対峙さ
せて、圧電アクチュエータAの作動によりパイロット弁
孔18を開閉させる。A pilot valve element 19 provided at the lower end of the plunger P of the piezoelectric actuator A faces the pilot valve hole 18, and the pilot valve hole 18 is opened and closed by the operation of the piezoelectric actuator A.
上記の構成により、自動弁Vはダイヤフラム型の弁対
が有するセルフサーボ作用で、ダイフラム15が圧電アク
チュエータAのプランジャPの動きに追従して主弁座14
を開閉するものである。With the above-described configuration, the automatic valve V is a self-servo action of the diaphragm type valve pair, and the diaphragm 15 follows the movement of the plunger P of the piezoelectric actuator A to cause the main valve seat 14 to move.
To open and close.
20はプランジャPの上下ストロークを制限するフラン
ジ、21はY型断面のシールである。Reference numeral 20 denotes a flange for limiting the vertical stroke of the plunger P, and reference numeral 21 denotes a Y-shaped seal.
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明に係る圧電素子の実施例の断面側面図、
第2図は同平面図、第3図は分解斜視図、第3A図は積層
位置合わせ用基準マークの拡大説明図、第4図は圧電素
子を具備する圧電アクチュエータの断面説明図、第5図
は制御装置の構成を示すブロック図、第6図〜第9図は
同アクチュエータの作動説明図、第10図は上記圧電アク
チュエータで構成した単弁型式の自動弁の断面図、第11
図は従来の圧電素子の断面側面図である。 図中、 (m):積層位置合わせ用基準マーク (pr):絶縁性接着剤 (At):絶縁部 (Q):圧電素子 (p):導電性接着材 (pa):延出部 (pb):引出用導電性接着材 (q1)〜(qn):圧電素子片BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a sectional side view of an embodiment of a piezoelectric element according to the present invention;
2 is a plan view of the same, FIG. 3 is an exploded perspective view, FIG. 3A is an enlarged explanatory view of a reference mark for stacking alignment, FIG. 4 is an explanatory sectional view of a piezoelectric actuator having a piezoelectric element, and FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of the control device, FIGS. 6 to 9 are explanatory diagrams of the operation of the actuator, FIG. 10 is a sectional view of a single-valve type automatic valve constituted by the piezoelectric actuator, FIG.
The figure is a sectional side view of a conventional piezoelectric element. In the figure, (m): reference mark for stacking alignment (pr): insulating adhesive (At): insulating part (Q): piezoelectric element (p): conductive adhesive (pa): extension part (pb) ): Lead-out conductive adhesive (q1) to (qn): Piezoelectric element piece
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 清原 正勝 神奈川県茅ケ崎市本村2丁目8番1号 東陶機器株式会社茅ケ崎工場内 (56)参考文献 実開 昭62−28460(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) H01L 41/00 - 41/26 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing from the front page (72) Inventor Masakatsu Kiyohara 2-8-1, Honmura, Chigasaki-shi, Kanagawa Prefecture Tochiki Kikai Co., Ltd. Chigasaki Plant (56) References Real Opening Sho 62-28460 (JP, U) 58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) H01L 41/00-41/26
Claims (1)
電性接着剤(p)を介在させて積層した圧電素子(Q)
において、 各圧電素子片(q1)〜(qn)の側面に、各圧電素子片
(q1)〜(qn)の表裏を表示し、かつ、各圧電素子片
(q1)〜(qn)の回転軸線廻りの位置を表示するための
積層位置合わせ用基準マーク(m)を設け、かつ、同積
層位置合わせ用基準マーク(m)の上下方向の整列によ
って、各圧電素子片(q1)〜(qn)の側面に設けた絶縁
側側部と電極側側部とが、上下方向に交互に整列するよ
うにしたことを特徴とする積層容易な圧電素子。1. A piezoelectric element (Q) laminated by interposing a conductive adhesive (p) between a plurality of piezoelectric element pieces (q1) to (qn).
, The front and back of each of the piezoelectric element pieces (q1) to (qn) are displayed on the side surfaces of each of the piezoelectric element pieces (q1) to (qn), and the rotation axis of each of the piezoelectric element pieces (q1) to (qn). Each of the piezoelectric element pieces (q1) to (qn) is provided with a stacking alignment reference mark (m) for displaying the surrounding position and by vertically aligning the stacking alignment reference mark (m). An easy-to-stack piezoelectric element characterized in that the insulating side portions and the electrode side portions provided on the side surfaces are alternately arranged in the vertical direction.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1182967A JP2913675B2 (en) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | Easy-to-stack piezoelectric elements |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1182967A JP2913675B2 (en) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | Easy-to-stack piezoelectric elements |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0346380A JPH0346380A (en) | 1991-02-27 |
JP2913675B2 true JP2913675B2 (en) | 1999-06-28 |
Family
ID=16127455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1182967A Expired - Lifetime JP2913675B2 (en) | 1989-07-14 | 1989-07-14 | Easy-to-stack piezoelectric elements |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2913675B2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP6159985B2 (en) * | 2012-12-14 | 2017-07-12 | 日本特殊陶業株式会社 | Piezoelectric element, piezoelectric actuator, and manufacturing method thereof |
-
1989
- 1989-07-14 JP JP1182967A patent/JP2913675B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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