JPH02185940A - 酸化雰囲気中での接合が可能な液相拡散接合用合金箔 - Google Patents

酸化雰囲気中での接合が可能な液相拡散接合用合金箔

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JPH02185940A
JPH02185940A JP447389A JP447389A JPH02185940A JP H02185940 A JPH02185940 A JP H02185940A JP 447389 A JP447389 A JP 447389A JP 447389 A JP447389 A JP 447389A JP H02185940 A JPH02185940 A JP H02185940A
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    • B23K35/00Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
    • B23K35/22Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by the composition or nature of the material
    • B23K35/24Selection of soldering or welding materials proper
    • B23K35/30Selection of soldering or welding materials proper with the principal constituent melting at less than 1550 degrees C
    • B23K35/3033Ni as the principal constituent

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  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は金属材料の液相拡散接合に関し、詳しくはステ
ンレス鋼、高ニツケル基合金、及び耐熱合金鋼の液相拡
散接合あるいはこれら合金鋼と炭素鋼の液相拡散接合に
有用で、酸化雰囲気中での接合が可能で、接合強度の高
い接合部を得ることができることを特徴とする液相拡散
接合用材料に関する。
〔従来の技術〕
液相拡散接合は接合しようとする材料の間に箔。
粉末、あるいはメツキ等の形態で被接合材よりも融点の
低い共晶組成を有する合金を介在させて加圧し、挿入合
金(以下インサートメタルと称する)の液相線直上の温
度に接合部を加熱することによって溶融1等温凝固させ
る接合法であり、固相接合法の一種と考えられている。
比較的低い加圧力で接合できることから、接合による残
留応力や、変形を極力避ける必要のある接合に用いられ
、同時に溶接の困難な高合金鋼。
耐熱鋼の接合にも適用されている技術である。
液相拡散接合によって接合しようとする材料は多くの場
合、合金組成として1.0%以上のCrを含有する。C
r含有材料は緻密な酸化Cr (多くの場合Cr203
)皮膜を表面に形成するために、耐酸化性。
耐食性が優れているのが特徴である。従って接合時の加
熱によっても当然接合面には酸化皮膜が形成されること
となり、熔融したインサートメタルの濡れが阻害され、
接合に必要な原子の拡散が著しく妨げられる。
故に従来は特開昭53−81458号公報1特開昭62
−34685号公報、さらに特開昭62−227595
号公報に見られるように何れも接合の際には雰囲気を真
空。
不活性、もしくは還元性に保たねばならず、接合コスト
の著しい上昇を招いていた。
本発明者らは以上の知見に基づき研究を重ねた結果、成
分として■を含有するインサートメタルは酸化雰囲気中
でも液相拡散接合が可能であることを見いだした。しか
も、■はインサートメタルの融点を上昇させる元素では
あるが、他の元素(本発明においては専らSiおよびB
、P、Cの複合添加)を適当に調整することで接合性の
極めて優れたインサートメタルを得ることができること
を見いだした。
■を含有し、5ifiを増加させ、B、P、Cを複合添
加した液相拡散接合用合金箔は殆ど前例が無い。米国特
許第3856513明細書にMaYbZcなる組成を有
する合金についての開示がある。式中MはFe。
Ni、 Co、  V、 Crからなる群から選ばれる
金属であり、YはP、B、Cからなる群から選ばれる元
素であり、2はAI、 Si、 Sn、 Ge、 In
、 Sb、 Beからなる群から選ばれる元素であり、
aは約60〜90原子%の範囲にあり、bは約10〜3
0原子%の範囲にあり、Cは約0.1〜15原子%の範
囲にある。このような材料は現在周知の処理技術を用い
て溶融物からの象、速冷却によって工業的に製造され、
実用化されている。
しかしながらこの場合には、■は基材として使用するこ
とおよび合金をアモルファス化することを目的としたも
のであって接合用の合金箔として開示されたものではな
い。しかも、Siの含有量が低く、合金の融点は本発明
に比較して相当に高いため、液相拡散接合の実現は極め
て困難である。
加えてB、P、C含有量も本発明とは全く異なっており
、高いために接合部近傍のMo、 もしくハCr含有合
金側に粗大な析出物を生成するので接合強度が本発明の
箔を用いて得られる接合部に比較して全く低いものとな
る。特開昭53−81458号公報は米国特許第385
6513号明細書記載の合金を箔の形で提供するもので
あるが、この場合には■を成分として含有していないた
め、酸化雰囲気中での液相拡散接合は全く不可能である
尚、本発明において「酸化雰囲気」とあるのは、接合雰
囲気中に体積%で0.1%以上の酸素ガスを含有し、酸
化ポテンシャルが10−’atm以上、即ち還元性のガ
ス、例えば++、 H2S 、水蒸気その他を含有して
いる場合でも酸化力が酸素濃度相当で0.1%以上であ
る雰囲気を意味している。
また「融点」あるいは’I11.9. Jとあるのは、
2元以上の合金においては、その状態図上での固相線を
、特に断わらない限りにおいて意味するものとする。
〔発明が解決しようとする課題〕
本発明は上記のような従来の欠点、即ち酸化雰囲気中に
おける液相拡散接合において被接合材表面に生成し、拡
散接合を妨げるCr酸化皮膜を無害化して酸化雰囲気下
においても液相拡散接合を可能ならしめるために為され
たものであって、■をインサートメタルの成分として含
有することでCr酸化皮膜を低融点のCr20.−シイ
0.複合酸化物化することによって球状化し、液相拡散
接合に対して無害化して、酸化雰囲気下での液相拡散接
合を実現する液相拡散接合用合金箔を提供することを目
的としている。
〔課題を解決するための手段〕
本発明者らは酸化雰囲気中で液相拡散接合を施工する場
合において、■を0.1〜20.Oat%含有し、Si
を増加し、加えてB、P、Cを複合添加したインサート
メタルを用いれば、接合が可能であることを見いだした
本発明はこうした知見に基づいてなされたもので、その
要旨とするところは、原子%でB : 0.5%〜10
.0%未満、P:0.5%〜10.0%未満。
C: 0.5%〜1O10%未満の2種以上を含有し、
Si;15.0%〜30.0%、V:0.1%〜20.
0%、あるいは更に(A) Cr : 0.1%〜20
.0%、Fe:0、1%〜20.0%、Mo:0.1%
〜20.0%、の1種または2種以上および/または(
B)W:0.1%〜10.0%、Co:0.1%〜10
.0%の1種または2種を含有し、(A)および/また
は(B)の場合は上記の元素の合計が90%以下であっ
て、残部は実質的にNiおよび不可避の不純物よりなる
組成を有し、厚さが3.0〜300μmであることを特
1′?iとする酸化雰囲気中での接合が可能な液相拡散
接合用合金箔であり、あるいは加えて実質的にガラス質
であることを特徴とする液相拡散接合用台金箔である。
以下本発明の詳細な説明する。
〔作 用〕
最初に本発明において各成分範囲を前記のごとく限定し
た理由を以下に述べる。
まず、B、P、Cはそれぞれ液相拡散接合を達成するに
必要な等温a固を実現するための拡散原子として、ある
いは基材のNiの融点を被接合材よりも低くするために
必要な元素であり、それぞれの目的のためには0.5%
以上含有させることが必要であるが、本発明者らは詳細
な研究によって10.0%以上含有させると接合部近傍
Mo、 Cr含有合金側の結晶粒界に5pm以上の粗大
な硼化物、燐化物、炭化物がそれぞれ生成し、接合部強
度が著しく低下することを見いだしたので、各元素個々
の範囲を0.5〜10.0%未満とした。
これらの元素は単独に添加しても液相拡散接合を達成で
きるが、本発明においてはそれぞれの濃度を10.0%
未満と比較的低くする必要があることから、インサート
メタルの融点が高くなることがある。従って液相拡散接
合に要する時間が長くなり、製造コストの上昇を招く結
果となる。
本発明者らは研究を重ねた結果、Bを主要な拡散原子と
して添加する場合においてはP、Cが、Pを主要な拡散
原子として添加する場合においてはB、Cがインサート
メタルの融点を更に低下させて、液相拡散接合に要する
時間を大幅に短縮できることを見いだした。
即ち、Bを主要な拡散元素として添加する場合にはイン
サートメタルは式 %式% で示される値の融点を持ち、Pを主要な元素として添加
する場合には 融点= 881−13XC%−0.87XP%で示され
る値の融点を持つ。
液相拡散接合における液相の消滅に要する時間は理論式
に実験値をあてはめて 6165.83 1og(t) =12.60837 =]゛ で示され、Bを主要拡散原子とするインサートメタルを
用いる場合には800〜1200°Cの接合温度範囲に
おいてごく粗い近似として、融点降下が同一の破断強度
(30)cg/ mj )を与えるに必要な接合時間の
短縮に寄与する効果が式 短縮される接合時間(分) =0.062 X降下温度
(接合時間15分以上、降下温度200°C以内の場合
) で示されることが詳細なlil査研究の結果明らかとな
った。
B、Pを単独で用いても液相拡散接合は十分に可能であ
るが、上記の接合時間短縮によって被接合材であるオー
ステナイト系合金の結晶粒粗大化による耐食性の劣化を
低減することが可能である。
更につけ加えるならば接合時間短縮効果のコストに与え
る影響は極めて大きく、工業的に大きな意義を有してい
る。
以上の知見に基づいて単独添加の場合に比較して低融点
のインサートメタルを製造すべく、P。
B、Cは2種以上を添加することを請求項1〜5の必要
条件とした。
次にStは基材のNiの融点を降下させるのに有効な元
素であるが、本発明の合金箔はVを多く含有することが
特徴であり、そのために融点が比較的高くなり接合時間
が長くなることを防止するために15.0%以上添加す
ることが必要である。しかしながら30.0%を越える
添加では、酸化雰囲気中での液相拡散接合の際にインサ
ートメタル中にSiを含む粗大な酸化物を生成し、接合
部強度および靭性を劣化させる場合があるので成分範囲
を15.0〜30.0%に限定した。
■はCr含有合金表面のCrの酸化皮膜を溶融・球状化
させ、溶融インサートメタルと合金の濡れを良くし、B
、P、Cの拡散がCr酸化皮膜によって阻害されること
を防止することで酸化雰囲気中における液相拡散接合を
実現させる極めて重要な元素である。その添加量は0.
1%未満ではCrの酸化皮膜を溶融させるに不十分であ
るために効果がなく、20.0%を越えて添加するとイ
ンサートメタルの融点が1300’Cを越えてしまうか
、あるいはV燐化物、■炭化物が生成し、液相拡散接合
が実質的に不可能となるため0.1〜20.0%の範囲
とした。
以上が本発明の基本成分であるが、本発明においてはこ
の他にそれぞれの用途に応じて、(A)Cr:1.O〜
20.0%、Fe: 1.0〜20.0%、Mo:1.
0〜20.0%、の1種または2種以上および/または
(B)W:0.1〜10.0%、Co:0.1〜10.
0%の1種または2種を含有させることができる。
まず、Cr、 Pa、 Moはこれらを含有する合金鋼
を液相拡散接合する場合に合金とインサートメタルとの
機械的特性の差異を減少させるべく添加する元素であっ
て、被接合材の合金鋼成分に見合った範囲で含有量を決
定すべきである。また、接合部分が腐食環境に曝される
可能性がある場合には旧インサートメタル領域の耐食性
向上にMoとCrが、被接合材が耐熱鋼である場合には
高温強度確保のためにMo、析出強化元素としてのMo
とCr、およびFeがそれぞれ有効である。何れの元素
も0.1%未満では効果がなく、20゜0%を越えて添
加するとインサートメタルの融点が1300℃を越え、
実質的に液相拡散接合が不可能となるか、あるいはCr
Fe、 Moの燐化物もしくは炭化物を生成するのでそ
れぞれ0.1〜20.0%の範囲とした。
また、W、Coは主に高強度材料の接合に際して旧イン
サートメタル部分に高い強度を付与させる目的で添加す
る元素であって、金属間化合物、あるいは炭化物として
析出し1強度を飛躍的に高める。何れも0.1%未満で
は効果がなく、10.0%を越えて添加するとインサー
トメタル中に粗大な金属間化合物が生成してしまい、接
合部靭性を著しく劣化させる場合があるので0.1〜1
0.0%の範囲とした。
上述の各合金成分はそれぞれ単独に添加しても、あるい
は併用しても添加して良い。
本発明の液相拡散接合用合金箔はインサートメタルとし
ての種々の形状で提供することが可能である。例えば請
求項1〜4の何れかの成分を有する合金を液体急冷法に
よって箔とすることは本発明の化学成分から十分に可能
であるし、また最も適している。更に、真空溶解、鋳造
して通常の方法で圧延、焼鈍し、箔の形態で提供するこ
ともまた可能である。
合金箔の結晶構造をガラス質としたのは本発明の合金箔
が液相拡散接合時に均一に溶融する必要があるためであ
る。不均一な組成で、含有合金成分の偏析がある場合に
はインサートメタルの融点が接合部の位置によって異な
ることとなり、均質な接合界面を得られないためである
。いうまでもなく、均質な組成の合金箔を容易に得られ
る場合には結晶構造はガラス質である必要はない。
本発明では、通常合金溶湯を用いて液体急冷法により箔
を製造するが、ここで採用される基本的製造方法は合金
の溶湯をノズルを介して冷却基板上に噴出し、熱的接触
によって急冷凝固させる液体急冷法のうち、いわゆる単
ロール法が適している。もちろん、ドラムの内壁を使う
遠心部、冷性やエンドレスタイプのベルトを使用する方
法や、これらの改良型、例えば補助ロールや、ロール表
面温度制′4Ta装置を付属させた方法、あるいは減圧
下ないし、真空中または不活性ガス中での鋳造もそれに
含まれる。また、一対のロール間に溶湯を注入して象、
冷凝固させる双ロール法も適用できる。
合金箔の厚みは薄いほど接合部近傍における機械的特性
の変化が少なく、接合に要する時間も短いので液相拡散
接合に有利であるが、3.0μm未満の場合にはVの絶
対量が被接合材合金表面のCr酸化皮膜を無害化するに
不十分となり、300.0μmを越えると液相拡散接合
終了までに要する時間が10時間以上となってしまい、
実用的でないことから3、θ〜300.0μlの厚みと
した。
本発明は液相拡散接合用の合金箔に関するものであるが
、大気中で接合が可能であることから、本発明合金箔を
ろう付け、半田づけなどの接合法に応用することもまた
可能であり、有用である。
〔実用例〕
第1表〜第32表に示すように請求項1〜4の何れかの
組成を有する合金約100gを(1)、単ロール法(C
u合金製300胴径)にて浪、冷し、あるいは(2)、
真空溶解炉で溶製し、鋳造した後に通常の方法で熱間圧
延して、板幅2〜215nun、板厚30.0μmの箔
とした。なお、熱間圧延により製造した箔は700″C
で10時間、均一化焼鈍して巨視的な成分の不均一をな
くした。急冷箔の鋳造条件は、ロール周速を5.0〜1
5.0m/sの間に保持しである。得られた箔は板幅と
板厚をそれぞれ5点測定して、上記の寸法が得られてい
ることを確認した後にDTA (示差熱分析装置)にて
融点を測定した。融点は第1表〜第32表に同時に示し
である。次に化学分析で成分を同定した。第1表〜第3
2表はその分析結果で、単位は原子%である。各箔は何
れもNiを基材としており、各成分の和と100%との
差がNiと不可避の不純物の合計濃度を意味する。各箔
の結晶構造は上記の製造条件においては非晶質、結晶質
、および部分的に結晶質と非晶質の混じった構造の何れ
かになるが、何れの構造をとるかはその組成で決定され
る。
続いて第1表〜第32表合計1280の箔を含む請求項
1〜5を満足するインサートメタルおよび第33表を含
む比較的インサートメタル(従来型インサートメタルを
含む)を用いて液相拡散接合を実施した。第33表の容
筒の基材は何れもNiであり、各成分の和と100%と
の差がNiと不可避の不純物の合計濃度を意味する。第
33表の箔の製造方法も第1表〜第32表の本発明箔の
場合と全く同様である。
試験片形状は第1図に示すごと<f00mm厚×100
100O幅X2000ma+長で、低炭素鋼と62%N
i耐食合金をそれぞれ用意し、第2図に示すごと(間に
インサートメタル3を挟み込んだ。第34表に液相拡散
接合に用いた被接合材化学成分を示した。
インサートメタルの厚みは3.0μm〜500umとし
た。雰囲気は大気、接合温度は容筒の融点直上〜融点+
50“Cの範囲とし、大型加熱炉を用いて実質的に約7
00 ”C−1300’Cで接合した。加圧は特に行な
っておらず、何れも自重で接合している。接合時間はす
べて1時間とし、非接合材の強度、耐食性、靭性を確保
するために接合後の熱処理を焼き鈍し、焼き入れ十焼き
鈍し、焼き鈍し+焼き戻し、焼き入れ士焼き鈍し十焼き
戻し、を適宜単独で、あるいは組み合わせて施した。こ
れらの熱処理の間に被接合材どうしの元素の相互拡散が
進行し、接合部の均質化が進んだが、インサートメタル
中のB、P、C量が少ないために析出物の生成、増加、
成長は殆ど見られなかった。次にJ ISC;−060
15rクラッド鋼板の超音波探傷試験法」に基づいて試
験片方式で接合部の健全性を調査したが、請求項1〜5
を満足するインサートメタルを用いた全ての試験片で非
接合面積率は0%であった。
更に第3図に示す要領で板厚方向からJ夏5A−2号引
っ張り試験片を切り出し、各接合材ともにインストロン
型引張試験機を用いて常温で接合部破断相対強度を調査
した。
接合部の必要引っ張り破断強度は、被接合材の材質、板
厚、および使用環境条件等で決定されるが、本実施例に
おいては実用上の制限から30kg/1ack”@最低
必要強度として仮に設定し、この値以上の破断強度が得
られた場合に十分な接合が実現したと判断した。
第4図は接合部破断強度に与えるインサートメタル中の
■の濃度の影響を表わしている。■濃度が原子%で0.
1%未満の場合には非接合材合金表面のCr酸化皮膜を
十分に無害化できないために、接合部破断強度が低いが
、0.1%以上では接合部破断強度が母材並みあるいは
母材以上となっており、■が効果的に作用してCr酸化
皮膜を無害化している。しかし■が20.0%を超える
とインサートメタルの融点が上昇するために接合時間が
不足して接合部破断強度が低下する。
第5図は同様にSiと接合部破断強度の関係を示した図
である。Stが15.0%未満および30.0%を越え
る場合では接合部破断強度が低(,15゜0〜30.0
%の場合には高い接合部破断強度が得られる。
第6図は拡散原子をB、P単独に選んだ場合と。
B+P、B十C,P+C,B+P+Cの複合添加にした
場合の必要接合時間を表わした図である。
横軸はP、B、Cの合計濃度、縦軸は接合破断強度30
kg/−を達成するに必要な接合時間をそれぞれとっで
ある。図から明らかなように複合添加インサートメタル
は同一相当濃度では単独添加に比較して短時間で液相拡
散接合を終了できる。
第7図は本発明インサートメタルの融点降下が与える接
合時間への影響を整理した図である。インサートメタル
はBを主要拡散原子として含有しており、P、Cを添加
することによって融点を降下させている。第7図から短
縮される接合時間は0.062×降下温度(°C) と計算できる。第6図の結果は第7図の効果によっても
たらされたものである。
第8図はB 十P −1−C複合添加インサートメタル
中のB濃度と破断強度の関係を示す図である。Bが0.
5%以上1O60%未満の範囲にある時、接合部破断強
度が30kg/−以上となる。Bが0.5%未満の場合
にはインサートメタルの融点が高いために、10.0%
以上の時には接合界面近傍に生成する硼化物のために接
合部破断強度が低下する。
この傾向はP、あるいはCについても全く同様であった
。更に複合添加の組合せがB+P、B4C。
P+Cの場合についても同様であった。
第9図はインサートメタルの厚みと接合部引っ張り強度
30kg/−以上を確保するに必要な接合時間との関係
を示した図である。インサートメタルには第1表31番
の箔と同一組成の箔を用いた。
厚みが300μmを越える箔では本発明の成分範囲にお
いては10時間以上の接合時間が必要となり、実用的で
はないことが明かである。
第33表は本発明合金箔に対する比較合金箔の化学成分
分析結果と融点、比較合金箔を用いて実施例と全く同様
な手法によって製造したクラツド鋼板の接合部引っ張り
破断強度を示したものである。第1表31番箔はB含有
量が高(、接合部近傍合金鋼側に粗大な硼化物が生成し
、接合部破断強度が低下した例、第1282番箔はC含
有量が高く、接合部近傍合金鋼側に粗大な炭化物が生成
し接合部破断強度が低下した例、第1283番箔はP含
有量が高(、接合部近傍合金鋼側に粗大な燐化物が生成
し、接合部破断強度が低下した例、第1284番箔はB
、P、C何れの濃度も低く、液相拡散接合を実現できな
かった例、第1285番箔はSi量が高く、インサート
メタル中に多数の粗大なSi酸化物が生成し、接合部破
断強度が低下した例、第1286番箔はSi量が少なく
、融点が1300°Cを超えてしまい、実質的に液相拡
散接合できなかった例、第1287番箔は■含有量が高
く、インサートメタルの融点が1300°Cを超え、液
相拡散接合できなかった例、第1288番箔は■を含有
していないために、大気中で液相拡散接合できなかった
例、第1289番箔はFe。
1290番箔はCr、第1表31番箔はMoがそれぞれ
高く、融点が1300℃を超えてしまい、液相拡散接合
ができなかった例、第1292番箔はCo、 1293
番箔は番箔それぞれ10.0%を超えて添加されたため
に融点が1300℃を超え、液相拡散接合できなかった
例をそれぞれ示している。
〔発明の効果〕
本発明は酸化雰囲気中においても液相拡散接合が可能で
、極めて破断強度の高い液相拡散接合を短時間の接合で
実現する液相拡散接合用合金箔を提供するもので、産業
の発展に寄与するところ極めて大なるものがある。
【図面の簡単な説明】
第1図は被接合材の模式図の一例を示す図、第2図は液
相拡散接合クラツド鋼板の組み立て要領を表わす俯緻図
、第3図は完成したクラツド鋼板と、接合部破断強度評
価用引っ張り試験片採取要頭図、第4図はインサートメ
タル中のVlと接合部破断強度の関係を表わす図、第5
図はインサートメタル中のSi量と接合部破断強度の関
係を表わす図、第6図は拡散原子をB、P単独に選んだ
場合と、B十P、B十C,P十C,B十P+Cの複合添
加にした場合の必要接合時間を比較した図、第7図は本
発明インサートメタルの融点膝下による接合時間短縮の
効果を表わした図、第8図は本発明インサートメタル中
のBfi度と破断強度の関係を示す図、第9図はインサ
ートメタルの厚みが液相拡散接合によって30kg/−
以上の破断強度を有する接合部を得るのに要する接合時
間に与える影響を表わす図である。 l・・・被接合材(炭素鋼)、2・・・被接合材(合金
鋼)、3・・・液相拡散接合用合金箔(インサートメタ
ル)、4・・・接合部破断強度調査用引っ張り試験片、
5・・・液相拡散接合済みクラッド鋼板、X・・・クラ
ッド鋼板幅方向、y・・・クラッド鋼板長さ方向。 2・・・クラツド鋼板厚方向。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)原子%でB:0.5%〜10.0%未満、P:0
    .5%〜10.0%未満、C:0.5%〜10.0%未
    満の2種以上を含有し、かつSi:15.0%〜30.
    0%、V:0.1%〜20.0%を含有し、残部は実質
    的にNiおよび不可避の不純物よりなる組成を有し、厚
    さが3.0〜300μmであることを特徴とする酸化雰
    囲気中での接合が可能な液相拡散接合用合金箔。
  2. (2)原子%でB:0.5%〜10.0%未満、P:0
    .5%〜10.0%未満、C:0.5%〜10.0%未
    満の2種以上を含有し、かつSi:15.0%〜30.
    0%、V:0.1%〜20.0%を含有し、加えて更に
    Cr:0.1%〜20.0%、Fe:0.1%〜20.
    0%、Mo:0.1%〜20.0%の1種または2種以
    上を含有し、以上の各元素の濃度の合計が90%以下で
    あって残部は実質的にNiおよび不可避の不純物よりな
    る組成を有し、厚さが3.0〜300μmであることを
    特徴とする酸化雰囲気中での接合が可能な液相拡散接合
    用合金箔。
  3. (3)原子%でB:0.5%〜10.0%未満、P:0
    .5%〜10.0%未満、C:0.5%〜10.0%未
    満の2種以上を含有し、かつSi:15.0%〜30.
    0%、V:0.1%〜20.0%を含有し、加えて更に
    W:0.1%〜10.0%、Co:0.1%〜10.0
    %の1種または2種を含有し、以上の各元素の濃度の合
    計が90%以下であって残部は実質的にNiおよび不可
    避の不純物よりなる組成を有し、厚さが3.0〜300
    μmであることを特徴とする酸化雰囲気中での接合が可
    能な液相拡散接合用合金箔。
  4. (4)原子%でB:0.5%〜10.0%未満、P:0
    .5%〜10.0%未満、C:0.5%〜10.0%未
    満の2種以上を含有し、かつSi:15.0%〜30.
    0%、V:0.1%〜20.0%を含有し、加えて更に
    Cr:0.1%〜20.0%、Fe: 0.1%〜20
    .0%、Mo:0.1%〜20.0%の1種または2種
    以上およびW:0.1%〜10.0%、Co:0.1%
    〜10.0%の1種または2種を含有し、以上の各元素
    の濃度の合計が90%以下であって残部は実質的にNi
    および不可避の不純物よりなる組成を有し、厚さが3.
    0〜300μmであることを特徴とする酸化雰囲気中で
    の接合が可能な液相拡散接合用合金箔。
  5. (5)実質的にガラス質である請求項1〜4の何れかに
    記載の酸化雰囲気中での接合が可能な液相拡散接合用合
    金箔。
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