JPH0217875A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
- Publication number
- JPH0217875A JPH0217875A JP63166127A JP16612788A JPH0217875A JP H0217875 A JPH0217875 A JP H0217875A JP 63166127 A JP63166127 A JP 63166127A JP 16612788 A JP16612788 A JP 16612788A JP H0217875 A JPH0217875 A JP H0217875A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- felt
- vibrating
- fixing
- face
- moving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000002783 friction material Substances 0.000 abstract description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 9
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 abstract description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 abstract description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 5
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 7
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000002657 fibrous material Substances 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 241000238366 Cephalopoda Species 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は圧電体による超音波振動を利用した超音波モー
タに関するものである。
タに関するものである。
従来の技術
一般に超音波モータは、圧電体を固定した振動体よりな
る振動部に、移動体と摩擦材よりなる移動部とが加圧接
触した構成であり、圧電体への電気入力によって、圧電
体と振動体に第３図に示すような超音波振動の進行波を
発生させ、その振動部と移動部との摩擦力によって移動
部を駆動させて機械エネルギーを得る原理である。第３
図において、１ａは圧電体であり、その表面に振動体１
ｂが接着固定されている。２ａは移動体であり、その表
面に摩擦材２ｂが固定されている。圧電体１ａに電気入
力を加えることによって振動体１ｂに入方向の超音波振
動の進行波が発生する。振動体の各質点はＢのような楕
円運動をしており、その各波頭は進行波の方向に対し、
逆向きの横に動く性質がある。進行波の谷の部分は進行
波と同じ方向の横に動く性質がある。したがって、振動
体の表面に置かれた移動部は波頭の上部のみに接触して
、振動体との摩擦力によってＣ方向に駆動するという原
理である。
る振動部に、移動体と摩擦材よりなる移動部とが加圧接
触した構成であり、圧電体への電気入力によって、圧電
体と振動体に第３図に示すような超音波振動の進行波を
発生させ、その振動部と移動部との摩擦力によって移動
部を駆動させて機械エネルギーを得る原理である。第３
図において、１ａは圧電体であり、その表面に振動体１
ｂが接着固定されている。２ａは移動体であり、その表
面に摩擦材２ｂが固定されている。圧電体１ａに電気入
力を加えることによって振動体１ｂに入方向の超音波振
動の進行波が発生する。振動体の各質点はＢのような楕
円運動をしており、その各波頭は進行波の方向に対し、
逆向きの横に動く性質がある。進行波の谷の部分は進行
波と同じ方向の横に動く性質がある。したがって、振動
体の表面に置かれた移動部は波頭の上部のみに接触して
、振動体との摩擦力によってＣ方向に駆動するという原
理である。
このような超音波モータにおいて、振動体および移動体
の材質として鉄やステンレスおよびアルミなどの金属が
使用されている。
の材質として鉄やステンレスおよびアルミなどの金属が
使用されている。
この振動部を固定する構成として、金属やプラスチック
成形体製の支持固定部に振動部の端面を接着固定する構
成、および有機材質のフェルトを振動部の端面に固定し
、さらに該フェルトの他方の端面を金属やプラスチック
製の支持固定部に接着固定した構成が一般的である。
成形体製の支持固定部に振動部の端面を接着固定する構
成、および有機材質のフェルトを振動部の端面に固定し
、さらに該フェルトの他方の端面を金属やプラスチック
製の支持固定部に接着固定した構成が一般的である。
発明が解決しようとする課題
しかし、振動部を固定する構成として、金属やプラスチ
ック成形体製の支持固定部に振動部の端面を接着固定す
る構成の場合、金属やプラスチック成形体が振動部の振
動を妨害するために、振動部が駆動しなくなるという問
題がある。また、フェルト（通常は有機繊維材質）を振
動部の端面に固定し、さらに該フヱルトの他方の端面を
金属やプラスチック製の支持固定部に接着固定した構成
の場合、有機繊維材質製のフェルトの熱伝導率が小さい
ために、振動部により発生する熱および振動部と移動部
との間の摩擦によって発生する熱の逃げ道がなくなり、
その結果、振動部の温度が蓄積されて、高温になるとい
う課題がある。さらに、振動部が高温になると、振動部
の共振周波数も大きく変動するために移動部の駆動出力
が劣化するという課題がある。
ック成形体製の支持固定部に振動部の端面を接着固定す
る構成の場合、金属やプラスチック成形体が振動部の振
動を妨害するために、振動部が駆動しなくなるという問
題がある。また、フェルト（通常は有機繊維材質）を振
動部の端面に固定し、さらに該フヱルトの他方の端面を
金属やプラスチック製の支持固定部に接着固定した構成
の場合、有機繊維材質製のフェルトの熱伝導率が小さい
ために、振動部により発生する熱および振動部と移動部
との間の摩擦によって発生する熱の逃げ道がなくなり、
その結果、振動部の温度が蓄積されて、高温になるとい
う課題がある。さらに、振動部が高温になると、振動部
の共振周波数も大きく変動するために移動部の駆動出力
が劣化するという課題がある。
本発明は、これらの課題に鑑み、振動部の温度上昇を抑
制した超音波モータを提供することを目とするものであ
る。
制した超音波モータを提供することを目とするものであ
る。
課題を解決するだめの手段
上記の目的を達成するために、振動部の一方の端面に熱
伝導性の良い金属製材質とカーボン製材質と無機質材質
とから選ばれる少なくとも一種よりなるフェルトを固定
し、該フェルトの他方の端面を支持固定部に同定して構
成する。
伝導性の良い金属製材質とカーボン製材質と無機質材質
とから選ばれる少なくとも一種よりなるフェルトを固定
し、該フェルトの他方の端面を支持固定部に同定して構
成する。
作 用
上記の構成によれば、振動部の振動性能に妨害を与える
ことなく、振動部に発生した熱および振動部と移動部と
の間の摩擦によって発生した熱を熱伝導性の優れたフェ
ルトを通じて放散させることができ、振動部への熱の蓄
積を抑制することが可能となる。
ことなく、振動部に発生した熱および振動部と移動部と
の間の摩擦によって発生した熱を熱伝導性の優れたフェ
ルトを通じて放散させることができ、振動部への熱の蓄
積を抑制することが可能となる。
実施例
本発明の超音波モータの主要部構成の一構成例、すなわ
ち、振動部、フェルト、支持固定部および移動部の各積
層構造の一例は第１図に示すとおりである。
ち、振動部、フェルト、支持固定部および移動部の各積
層構造の一例は第１図に示すとおりである。
第１図において、振動部１は電極を有する圧電体１ａの
表面に金属などの弾性体製の振動体１ｂを接着固定して
構成される。移動部２は移動体２ａの表面に摩擦材２ｂ
が付着して構成される。摩擦材２ｂと振動体１ｂとが加
圧接触した構成である。
表面に金属などの弾性体製の振動体１ｂを接着固定して
構成される。移動部２は移動体２ａの表面に摩擦材２ｂ
が付着して構成される。摩擦材２ｂと振動体１ｂとが加
圧接触した構成である。
振動部１の一方の端面に、フェルト３が接着固定され、
さらに該フェルト３の他方の端面は支持固定部４に接着
固定された構成である。前記フェルト３は、熱伝導性の
良い金属製材質とカーボン製材質と無機質材質とから選
ばれる少なくとも一種より成ることを特徴とする。
さらに該フェルト３の他方の端面は支持固定部４に接着
固定された構成である。前記フェルト３は、熱伝導性の
良い金属製材質とカーボン製材質と無機質材質とから選
ばれる少なくとも一種より成ることを特徴とする。
圧電体１ａへの共振周波数の高周波電界の印加により、
圧電体１ａと振動体１ｂには前述した通シの超音波振動
の進行波が発生する。このとき、振動体１ｂの進行波波
頭に接触する摩擦材２ｂは移動体２ａと一体となって、
振動体との摩擦力によって駆動される。振動部１はフェ
ルト３を介して支持固定部４に固定されているために動
くことはない。
圧電体１ａと振動体１ｂには前述した通シの超音波振動
の進行波が発生する。このとき、振動体１ｂの進行波波
頭に接触する摩擦材２ｂは移動体２ａと一体となって、
振動体との摩擦力によって駆動される。振動部１はフェ
ルト３を介して支持固定部４に固定されているために動
くことはない。
ここでフェルト３は熱伝導性の良い金属製材質とカーボ
ン製材質と無機質材質とから選ばれる少なくとも一種よ
構成るフェルトを構成しているため、振動部１に発生す
る熱および振動部１と移動部２との摩擦によって発生す
る熱を、該フェ！レト３を通過して効率良く放散するこ
とが可能となり、振動部への熱の蓄積を抑制することが
できる効果がある。
ン製材質と無機質材質とから選ばれる少なくとも一種よ
構成るフェルトを構成しているため、振動部１に発生す
る熱および振動部１と移動部２との摩擦によって発生す
る熱を、該フェ！レト３を通過して効率良く放散するこ
とが可能となり、振動部への熱の蓄積を抑制することが
できる効果がある。
金属製材質のフェルトとしては、特に制限はなイカ、ス
テンレス、鉄、アルミ、銅、ニッケル、およびこれらの
合金などの材質のフェルトが使用できる。
テンレス、鉄、アルミ、銅、ニッケル、およびこれらの
合金などの材質のフェルトが使用できる。
カーボン製材質のフェルトとしては、特に制限はないが
、黒鉛、グラファイト、カーボンおよび炭素などの材質
のフェルトが使用できる。
、黒鉛、グラファイト、カーボンおよび炭素などの材質
のフェルトが使用できる。
無機質材質のフェルトとしては、特に制限はないが、各
種セラミックやガラス製のフェルトが使用できる。
種セラミックやガラス製のフェルトが使用できる。
次に本発明を具体的な実施例により、さらに詳しく説明
する。
する。
第２図に円環型超音波モータの一実施例の構成図を示す
。第２図において、超音波モータの振動部１は電極が配
置された厚さ０．３ｔｍ、外径５０ ｍ 。
。第２図において、超音波モータの振動部１は電極が配
置された厚さ０．３ｔｍ、外径５０ ｍ 。
内径４２醪の円環型圧電体１ａの表面に、外径６゜■、
内径４２鵡、高さ６咽の鉄製円環型振動体１ｂを接着固
定し、該振動体１ｂの表面に深さ３朋の切り欠きを設け
たものである。振動体の切シ欠きは振動部を機械的に振
動しやすくするために設けられる。対応する移動部２を
構成する円環型永久磁石製移動体２ａには、ポリイミド
繊維と樹脂との複合プラスチックよシなる厚さ０．６ｒ
ａｎの摩擦材２ｂが接着同定されている。振動体１ｂの
表面と摩擦材２ｂの表面とは永久磁石製移動体２ａの磁
気引吸力によって互いに加圧接触されている。振動部１
の一方の端面に第１表に示すような厚さ１閣の金属製材
質のフェルト３、カーボン製材質のフェルト３、または
無機質材質のフェノレト３をそれぞれ接着固定し、さら
にそのフェルト３の他の端面はステンレス製の支持固定
部４に接着固定されている。
内径４２鵡、高さ６咽の鉄製円環型振動体１ｂを接着固
定し、該振動体１ｂの表面に深さ３朋の切り欠きを設け
たものである。振動体の切シ欠きは振動部を機械的に振
動しやすくするために設けられる。対応する移動部２を
構成する円環型永久磁石製移動体２ａには、ポリイミド
繊維と樹脂との複合プラスチックよシなる厚さ０．６ｒ
ａｎの摩擦材２ｂが接着同定されている。振動体１ｂの
表面と摩擦材２ｂの表面とは永久磁石製移動体２ａの磁
気引吸力によって互いに加圧接触されている。振動部１
の一方の端面に第１表に示すような厚さ１閣の金属製材
質のフェルト３、カーボン製材質のフェルト３、または
無機質材質のフェノレト３をそれぞれ接着固定し、さら
にそのフェルト３の他の端面はステンレス製の支持固定
部４に接着固定されている。
このようにして構成したそれぞれの円環型超音波モータ
について、約３０ＫＨｚの共振周波数近傍、５ｏｍＡの
入力を印加して２２℃雰囲気中でモータを起動させた時
の、超音波モータの出力性能（無負荷回転数、起動トル
ク、最大エネルギー変換効率）および、振動体表面の温
度を測定した結果を第１表に示す。たソし、振動体表面
の温度は切シ欠き部に熱電対を設置し、連続駆動２時間
後の温度を測定した。
について、約３０ＫＨｚの共振周波数近傍、５ｏｍＡの
入力を印加して２２℃雰囲気中でモータを起動させた時
の、超音波モータの出力性能（無負荷回転数、起動トル
ク、最大エネルギー変換効率）および、振動体表面の温
度を測定した結果を第１表に示す。たソし、振動体表面
の温度は切シ欠き部に熱電対を設置し、連続駆動２時間
後の温度を測定した。
第 １ 表
第１表より明らかなように、ステンレス金属製のフェル
トを構成した超音波モータの場合、振動体の温度は３０
℃であり、発熱は非常に少ない。
トを構成した超音波モータの場合、振動体の温度は３０
℃であり、発熱は非常に少ない。
また、カーボン材質製のフェルトを構成した超音波モー
タの場合、振動体の温度は４０℃であシ、発熱は少ない
。
タの場合、振動体の温度は４０℃であシ、発熱は少ない
。
また、シリカ材質のフェルトを構成した超音波モータの
場合、振動体の温度は５６℃であり、発熱は少ない。
場合、振動体の温度は５６℃であり、発熱は少ない。
これに対し、前記フェルトの材質として羊毛繊維よりな
るフェルト（嵩密度０．２９７ｃｍ）を構成した超音波
モータの場合、振動体の温度は９０’Ｃ’Ｊで上昇し最
大変換効率も３７％であった。
るフェルト（嵩密度０．２９７ｃｍ）を構成した超音波
モータの場合、振動体の温度は９０’Ｃ’Ｊで上昇し最
大変換効率も３７％であった。
また、前記フェライトの代りに、ポリカーボネートプラ
スチック製材質の板（厚さ１噛）を構成した場合、板振
体の振動が妨害されて、モータは駆動しなかった。
スチック製材質の板（厚さ１噛）を構成した場合、板振
体の振動が妨害されて、モータは駆動しなかった。
発明の効果
本発明の構成により、振動部への熱の蓄積を抑制するこ
とが可能となシ、振動部の温度を低くする効果がある。
とが可能となシ、振動部の温度を低くする効果がある。
第１図は本発明の超音波上〜りの主要部構成の断面図、
第２図は本発明の一実施例を説明する斜視図、第３図は
従来の超音波モータの原理を示す動作説明図である。 １・・・・・・振動部、１ａ・・・・・・圧電体、１ｂ
・・・・・・振動体、２・・・・・・移動部、２ａ・・
・・・・移動体、２ｂ・・・・・・摩擦材、３・・・・
・・フェルト、４・・・・・・支持固定部。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名１−
一一振動留 ４− 支井固定室
第２図は本発明の一実施例を説明する斜視図、第３図は
従来の超音波モータの原理を示す動作説明図である。 １・・・・・・振動部、１ａ・・・・・・圧電体、１ｂ
・・・・・・振動体、２・・・・・・移動部、２ａ・・
・・・・移動体、２ｂ・・・・・・摩擦材、３・・・・
・・フェルト、４・・・・・・支持固定部。 代理人の氏名 弁理士 粟 野 重 孝 ほか１名１−
一一振動留 ４− 支井固定室
Claims (3)
- （１）表面に進行波を発生する超音波振動部と移動部と
が加圧接触し、その両者間の摩擦力を介して前記振動部
により前記移動部を駆動する超音波モータにおいて、前
記振動部の一方の端面に、少なくとも金属製材質よりな
るフェルトを固定し、該フェルトの他方の端面を支持固
定部に固定して構成した超音波モータ。 - （２）表面に進行波を発生する超音波振動部と移動部と
が加圧接触し、その両者間の摩擦力を介して前記振動部
により前記移動部を駆動する超音波モータにおいて、前
記振動部の一方の端面に少なくともカーボン材質よりな
るフェルトを固定し、該フェルトの他方の端面を支持固
定部に固定して構成した超音波モータ。 - （３）表面に進行波を発生する超音波振動部と移動部と
が加圧接触し、その両者間の摩擦力を介して前記振動部
により前記移動部を駆動する超音波モータにおいて、前
記振動部の一方の端面に少なくとも無機材質よりなるフ
ェルトを固定し、該フェルトの他方の端面を支持固定部
に固定して構成した超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63166127A JPH0217875A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63166127A JPH0217875A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 超音波モータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0217875A true JPH0217875A (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=15825533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63166127A Pending JPH0217875A (ja) | 1988-07-04 | 1988-07-04 | 超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0217875A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5150000A (en) * | 1987-10-20 | 1992-09-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Ultrasonic motor |
| US5166572A (en) * | 1990-08-24 | 1992-11-24 | Alps Electric Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
| US5285069A (en) * | 1990-11-21 | 1994-02-08 | Ricoh Company, Ltd. | Array of field effect transistors of different threshold voltages in same semiconductor integrated circuit |
| US6495946B1 (en) * | 1999-06-19 | 2002-12-17 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator for positioning with heat dissipating inactive end section |
| JP2004506526A (ja) * | 2000-08-11 | 2004-03-04 | ピエゾモーター ウプサラ エイビー | ウォーキングアクチュエータ |
| JP2014007865A (ja) * | 2012-06-25 | 2014-01-16 | Canon Precision Inc | 振動型駆動装置 |
| JP2014087151A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ及び光学機器 |
-
1988
- 1988-07-04 JP JP63166127A patent/JPH0217875A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5150000A (en) * | 1987-10-20 | 1992-09-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Ultrasonic motor |
| US5166572A (en) * | 1990-08-24 | 1992-11-24 | Alps Electric Co., Ltd. | Ultrasonic motor |
| US5285069A (en) * | 1990-11-21 | 1994-02-08 | Ricoh Company, Ltd. | Array of field effect transistors of different threshold voltages in same semiconductor integrated circuit |
| US6495946B1 (en) * | 1999-06-19 | 2002-12-17 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric actuator for positioning with heat dissipating inactive end section |
| JP2004506526A (ja) * | 2000-08-11 | 2004-03-04 | ピエゾモーター ウプサラ エイビー | ウォーキングアクチュエータ |
| JP2011188739A (ja) * | 2000-08-11 | 2011-09-22 | Piezomotor Uppsala Ab | ウォーキングアクチュエータ |
| JP2014007865A (ja) * | 2012-06-25 | 2014-01-16 | Canon Precision Inc | 振動型駆動装置 |
| JP2014087151A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Nikon Corp | 振動アクチュエータ及び光学機器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Wu et al. | Polymer-based ultrasonic motors utilizing high-order vibration modes | |
| US4400641A (en) | Piezoelectric motor with two part rotor | |
| JP4477069B2 (ja) | リニア超音波モーター | |
| KR20010023649A (ko) | 진동 여자기 | |
| CN102201756B (zh) | 振动波马达 | |
| JPH0217875A (ja) | 超音波モータ | |
| JPH0532994B2 (ja) | ||
| US5146129A (en) | Vibration wave motor | |
| JPH0532991B2 (ja) | ||
| JPS62114481A (ja) | 超音波モ−タ | |
| KR100376137B1 (ko) | 원환형 압전초음파 모터 | |
| JPH0217873A (ja) | 超音波モータ | |
| JPS63190570A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JPS61191278A (ja) | 超音波モ−タ | |
| US6611081B1 (en) | Vibration actuator with two vibration modes | |
| JPS63178773A (ja) | 超音波モ−タ | |
| JP4736161B2 (ja) | 振動アクチュエータ装置 | |
| GB2044013A (en) | Piezoelectric vibration motor | |
| SU853710A1 (ru) | Вибродвигатель | |
| JPH074073B2 (ja) | 超音波モータ | |
| JP2667163B2 (ja) | 超音波モータ | |
| KR100310559B1 (ko) | 평판형 초음파 모터 | |
| SU1206837A1 (ru) | Привод лентопрот жного механизма | |
| JPS6426376A (en) | Ultrasonic motor | |
| JPH06261566A (ja) | 超音波モータ |