JPH02170400A - イオン加速管 - Google Patents

イオン加速管

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Publication number
JPH02170400A
JPH02170400A JP32416988A JP32416988A JPH02170400A JP H02170400 A JPH02170400 A JP H02170400A JP 32416988 A JP32416988 A JP 32416988A JP 32416988 A JP32416988 A JP 32416988A JP H02170400 A JPH02170400 A JP H02170400A
Authority
JP
Japan
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acceleration
lenses
electrodes
magnet
adjoining
Prior art date
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Pending
Application number
JP32416988A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiji Iwamoto
岩本 英司
Isamu Sakamoto
坂本 勇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nissin High Voltage Co Ltd
Original Assignee
Nissin High Voltage Co Ltd
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Publication date
Application filed by Nissin High Voltage Co Ltd filed Critical Nissin High Voltage Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) この発明はタンデム加速装置などに使用されるイオン加
速管に関する。
(従来の技術) 周知のようにタンデム加速装置に使用されるイオン加速
管としては、低エネルギー側の加速管と。
高エネルギー側の加速管とがあるが、その従来の何れも
が、第3図に示すように、環状の加速用の電極1を、セ
ラミック、ガラスなどからなる絶縁環2を介して多段に
積み重ねて構成されている。
(発明が解決しようとする課題) ところで最近に至って、前記したタンデム加速装置では
、加速対象のイオンビーム量の増大化が要求されるよう
になった。しかしイオンビーム量が多くなると、それだ
けビーム径(エミツタンス)が大きくなり、ビームが発
散して電極1に衝突し、消滅してしまうようになる。
また重イオンビームを加速する場合、それが重イオンに
なればなるほど、ビームの空間電荷のためにビーム自身
が広がってしまい、この場合でも電極1に衝突し、消滅
してしまうようになる。
そしてこのようにビームが発散し、広がったりすると、
タンデム加速装置の低エネルギー側の加速管から、その
隣にあるストリッパーカナールへのイオンの入射が極め
て困難となる。
この発明は、加速管内でのイオンの発散、広がりを抑制
するように集束し、イオンの加速−搬送効率を高めるこ
とを目的とする。
(課題を解決するための手段) この発明は加速用の複数の電極に四極磁石レンズを設置
し、各隣合う四極磁石レンズを互いに90度回転させて
取り付けることを特徴とする。
(作用) 四極磁石レンズを互いに90度回転させて配置すると、
凸レンズと凹レンズとが交互に並ぶことになる。凸レン
ズと凹レンズが交互に並ぶと、結果として集束レンズと
して作用するようになる。
このような集束レンズの作用により、ビームは加速管内
において集束され、絞られながら加速されていく。その
結果ビームの発散が抑制され、加速−搬送効率が向上す
るようになる。
(実施例) この発明の実施例を第1図、第2図によって説明する。
環状の加速用の電極1を、セラミック、ガラスなどから
なる絶縁環2を介して多段に積み重ねて構成されること
は、従来と同じである。
この発明にしたがい、電極1に四極磁石レンズ3を設置
する。四極磁石レンズ3は4個の永久磁石4を90度の
間隔を置いて配置されることによって構成される。そし
て隣合う永久磁石4の磁極の極性同志が互いに逆になる
ように位置されている。
したがってこのひとつの四極磁石レンズ3は、磁石の極
性方向に応じて凸レンズまたは凹レンズを構成すること
になる。
更に隣合う電極1に設置される四極磁石レンズ3は、そ
の取付は角度を互いに90度ずつ回転させである。した
がって隣合う電極1の四極磁石レンズ3同志は、その互
いに向い合う永久磁石4の極性が互いに逆となる。これ
により加速管の軸心方向に沿って、凸レンズと凹レンズ
とが交互に位置するように構成されることになる。
このように凸レンズと凹レンズとが交互に並ぶ結果、加
速管内に集束レンズが設置されたことになり、そのため
内部を通るビームは集束される。
このような集束作用は既によく知られているところであ
る。このようにしてビームは集束され、絞られながら加
速されていくようになる。
なお図に示す構成では、四極磁石レンズ3は一つおきの
電極1に設置しているが、これに代えて全部の電極に設
置するようにしてもよいし、あるいは二つ以上置きに取
り付けるようにしてもよい。
また必ずしも規則的に取付けなくてもよい、更に図の例
では磁石4として電極1よりも厚いものを使用している
が、これに代えて、電極1と同じ程度の厚さのものを使
用するようにしてもよい。
(発明の効果) 以上詳述したようにこの発明によれば、加速管内部に四
極磁石レンズを設置し、これによってビームを集束する
ようにしたので、ビームを集束させ絞りながら加速する
ことができ、これによってビームの加速−搬送効率を高
めることができるといった効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の実施例を示す断面図、第2図は第1
図の横断面図、第3図は従来例の断面図である。 1・・・電極、2・・・絶縁環、3・・・四極磁石レン
ズ、4・・・磁石、

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 加速用の電極を絶縁環を介して多段に積み重ねてなるイ
    オン加速管において、 前記電極の複数に、四極磁石レンズを設置するとともに
    、隣合う四極磁石レンズの取付角度を互いに90度回転
    して取り付けてなるイオン加速管。
JP32416988A 1988-12-22 1988-12-22 イオン加速管 Pending JPH02170400A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP32416988A JPH02170400A (ja) 1988-12-22 1988-12-22 イオン加速管

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JP32416988A JPH02170400A (ja) 1988-12-22 1988-12-22 イオン加速管

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JPH02170400A true JPH02170400A (ja) 1990-07-02

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08241691A (ja) * 1995-03-06 1996-09-17 Natl Res Inst For Metals 減速集束イオンビーム装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS538500A (en) * 1976-07-09 1978-01-25 Cgr Mev Radiation unit

Patent Citations (1)

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JPS538500A (en) * 1976-07-09 1978-01-25 Cgr Mev Radiation unit

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