JPH02169413A

JPH02169413A - 搬送システム装置

Info

Publication number: JPH02169413A
Application number: JP32231188A
Authority: JP
Inventors: Katsuhiko Aoyanagi; 青柳　克彦
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1988-12-21
Filing date: 1988-12-21
Publication date: 1990-06-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明は、一連に配置した複数の処理装置に、被搬送物
を供給または回収する搬送システム装置に係わり、詳し
くは、多品種・少量品の生産に適した高速搬送を可能と
した搬送システム装置に関する。

（従来の技術）近年、製造工場においては、加工１組立、検査装置など
の処理装置を一連に配置して、生産能率を挙げる工夫を
している。これら一連の装置に部品を供給したり回収す
る作業は、人手により行われる場合が多い。

しかし、最近の製造工場では、多品種・少量品の生産が
とみに要求されてきている。たとえば、半導体製造工場
におけるＡＳＩＣの生産が挙げられる。多品種、少量生
産では、生産品の切換が頻発し、これに伴い装置側の段
取り替えも頻発する。

そうすると、生産時間に対する段取り替え時間や部品の
搬送時間の割合いが増して生産能力の低下を招くだけで
なく、供給先や回収光を間違えるなどの重大な問題が発
生し易いといった問題があった。

そこで、半導体製造工場においては、これに対応するた
めの自動搬送装置が実用化されてきた。

すなわち、第６図で示すように、直線状に配置されたマ
ウンタａ、マウントキュアｂ、ボンダＣ・・・および検
査装置ｄ等の一連の装置の内、人手が介在しないマウン
トキュアｂから検査装置ｄまでの間に沿ってマガジンな
どの被搬送物ｆを自動搬送する自動搬送装置ｅを配置し
たものである。

前記自動搬送装置ｅは、１軸アームの被搬送物保持体ｇ
をラックとピニオンからなる保持体移送手段りにより往
復移動させる構成となっている。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、上記の自動搬送装置ｅは、被搬送物保持
体ｇの往復移動のみにより被搬送物ｆを搬送するため、
搬送速度は被搬送物保持体ｇの移動速度以上にできず、
搬送能力におのずと制限があった。このため、特に半導
体製造工程に於けるＡＳＩＣなどの多品種・少量生産で
あって生産能力の低下をきたすようなものにあっては、
前記被搬送物保持体ｇの移動速度を挙げただけでは対処
し切れないといった問題があった。

本発明は上記事情に基づきなされたもので、その目的と
するところは、一連に配置した複数の処理装置への被搬
送物の搬送時間を大幅に短縮でき、多品種・少量品の生
産時間の短縮や生産量の増加を可能とする高速の搬送シ
ステム装置を提供しようとするものである。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）本発明は、上記目的を達成すべく、一連に配置した複数
の処理装置に対向すべく被搬送物保持体を移送させ被搬
送物を前記処理装置に供給または回収する搬送手段と、
この搬送手段の前記被搬送物保持体の移動距離とほぼ同
じ距離だけ前記−連の処理装置を逆方向に移動させる処
理装置移送手段とを具備してなる構成としたものである
。

（作　用）すなわち、被搬送物保持体の移動距離とほぼ同じ距離だ
け処理装置が逆方向に移動するから、移動距離を少なく
ともほぼ１／２にできる。これにより、一連に配置した
複数の処理装置への被搬送物の貧送時間を大幅に短縮で
き、多品種・少量品の生産時間の短縮や生産量の増加が
可能となる。

（実施例）以下、本発明を一実施例を第１図ないし第５図を参照し
て説明する。

第１図は半導体製造工場の処理装置の全体構成を概念的
に示す平面図であり、第２図は第１図■−■線に沿う矢
視図である。第１図において、図中１は処理装置Ｊとし
てのマウンタであり、２は処理装置Ａとしてのマウント
キュア、３ａ〜３ｅは処理装置Ｂ−Ｆとしてのボンダ、
４は処理装置Ｇとしての検査装置、５は処理装置Ｈとし
てのモールド装置である。

そして、これら処理装置Ｊ、Ａ−Ｈの内、人手が介在す
る処理装置Ｊを除く処理装置Ａ−Ｈは、一連かつ環状搬
送路６上に等間隔で配置されている。さらに、これら一
連の処理装置Ａ−Ｈが配置される環状搬送路６の外側に
は、環状搬送路７が設けられていて被搬送物保持体８が
時計方向（実線矢印方向）に移動できるようになってお
り、前記処理装置Ａ−Ｈに被搬送物としてのマガジン９
の供給または回収を行なう搬送手段１０を構成している
。

前記処理装置Ｊは、搬送手段１０の環状搬送路７の外側
かつ処理装置Ａのホームポジションと対称位置に配置さ
れている。

また、前記一連の処理装置Ａ〜Ｈは、処理装置移送手段
１１により搬送手段１０の前記被搬送物保持体８の移動
距離と同じ距離だけ逆方向（破線矢印方向）に移動され
るようになっている。

前記搬送手段１０は、つぎのような構成となっている。

すなわち、支柱１５・・・で支えられることにより架設
された軌道ベース１６上にはレール１７が敷設されてい
る。そして、このレール１７に被搬送物保持体８を搭載
した台車１８が走行自在に設けられている。この台車１
８は、この上に搭載された正逆両方向に回転駆動可能な
モータ１９により駆動されるビニオン２０と前記軌道ベ
ース１６上に敷設されたラック２１とからなる走行手段
２２により、所定の速度で、所定方向に走行し得る構成
となっている。

また、前記被搬送物保持体８は、台車１８上に旋回可能
に取付け・られたアーム２３と、このアーム２３の先端
部に第１、第２のエアーシリンダ２４．２５を介して上
下動可能に取付けられたヘッド２６とで構成されている
。

また、前記処理袋装置搬送手段１１は、っぎのような構
成となっている。すなわち、一連の処理装置Ａ〜Ｈの下
面には、それぞれ車輪３ｏ・・・が設けられており、床
面３１に敷設されたレール３２゜３２上を走行し得る構
成となっている。また、前記は所定間隔になるように図
示しない連結手段で環状に連結されているとともに、処
理装置Ａ−Ｈの下面に取付けられたラック３３と床面３
１上に設けられた正逆両方向に回転駆動可能なモータ３
４により駆動されるピニオン３５とからなる走行手段３
６により、所定の速度で、所定方向に走行し得る構成と
なっている。

しかして、製造にあたっては、処理装置Ｊであるマウン
タ１により、ＬＳＩチップがリードフレーム（図示しな
い）に装着され、これが被搬送物であるところのマガジ
ン９に収納される。この後、被搬送物保持体８のヘッド
２６を第２図の二点鎖線で示す位置から実線位置まで旋
回移動させることによりマガジン９を、処理装置Ａであ
るマウントキュア２に搬送する。ここで、前記ＬＳＩチ
ップを装着されたリードフレームを一定時間加熱して前
記接着剤の固定がなされる。ついで、処理装置Ａである
マウントキュア２での作業が完了したリードフレームを
収容したマガジン９は、その仕様に合った処理装置Ｂ−
Ｆであるところのボンダ３ａ〜３ｅに選択的に送られ、
ここで、リードフレームとチップとを金線等で接続する
ボンディング作業が行われることになる。この後、マガ
ジン９は、前記搬送手段１０を介してボンディング後の
製品を検査する処理装置Ｇである検査装置４に送られ、
ついで、処理装置Ｈであるモールド装置５に送られ、セ
ラミック、樹脂などのパッケージに封入されることにな
る。

このような一連の製造工程において、前記被搬送物であ
るマガジン９は、搬送装置１０を介して処理装置Ａ−Ｈ
に供給されたり回収されたりするが、この時、第１図に
示すように理装置移送手段１１により前記搬送手段１０
の前記被搬送物保持体８の移動距離と同じ距離だけ前記
一連の処理装置Ａ−Ｈを逆方向に移動される。これによ
り、搬送装置１０の被搬送物保持体８の移動距離が少な
い状態で済むようになっている。

たとえば、第３図（ａ）〜（Ｃ）に示すように、処理装
置Ａ（マウントキュア２）から処理装置Ｃ（ボンダ３ｂ
）にマガジン９を搬送しようとする場合、処理装置Ａに
対向して受取った被搬送物保持体８を時計方向（実線矢
印方向）に移動させ、同時に一連の処理装置Ａ−Ｈを反
時計方向（破線矢印方向）に移動される。第４図（ａ）
〜（ｃ）は、このときの動作概念を示すもので、第４図
（ａ）では、搬送手段１０の被搬送物保持体８が、処理
装置Ａ（マウントキュア２）に対向した状態にある。こ
の時、処理装置Ａ（マウントキュア２）、処理装置Ｂ（
ボンダ３ａ）、処理装置Ｃ（ボンダ３ｂ）は、一定の間
隔ｐ・・・で配置されている。なお、図中りは、原点位
置を示すマークである。

しかして、搬送装置１０の被搬送物保持体８が図中右方
向（実線矢印方向）に、処理装置Ａ、Ｂ。

Ｃが、図中左方向（破線矢印方向）に移動する。

そして、第４図（ｂ）で示すように、まず、被搬送物保
持体８が処理装置Ｂに対向する。もし、処理装置Ａ、Ｂ
、Ｃが固定されているならば、被搬送物保持体８は間隔
ｐの距離移動しなければ、処理装置Ｂに対向することが
できない。しかし、処理装置Ａ、Ｂ、Ｃが被搬送物保持
体８の移動方向と逆の方向に移動しているため、被搬送
物保持体８はＰ／２の距離ですむ。同様に第４図（ｃ）
で示すように、処理袋ｚＡから処理装置Ｃまでの移動も
半分の距離でよい。

これにより、一連に配置した複数の処理装置Ａ〜Ｈへの
被搬送物としてのマガジン９の搬送時間を大幅に短縮で
き、多品種・少量品の生産時間の短縮や生産口の増加を
可能となる。

また、被搬送物保持体８が、環状搬送路７を無端走行可
能かつ正逆両方向に移動できるため、たとえば、第５図
に示すように、（イ）の位置にある被搬送物保持体８を
（ハ）の位置まで戻す場合には反時計方向に、また、（
ロ）の位置にある被搬送物保持体８を（ハ）の位置まで
戻す場合には時計方向に、それぞれ距離的に近い方に搬
送させることが可能となり、常に一方向に搬送させて戻
す場合に比べ、戻し時間を節約できるようになっている
。たとえば、直線的にした場合には、一端に到達したも
のを他端まで戻す場合は、全長を戻さなければならない
が、無端状の場合には、すこし進めるだけで戻すことが
できる。このように、戻す場合の時間的ロスが少なくて
済み、稼動効率の大幅な向上が可能となる。

また、同様に一連に配置した複数の処理装置Ａ〜Ｈも選
択的に移動させることができるため、処理装置Ａ−Ｈを
初期位置に戻すような場合など特に有用である。

なお、被搬送物保持体８および一連の処理装置Ａ−１（
の搬送を、ラックとビニオンによる走行手段２２．３６
により搬送するようにしたが、これに限るものでないこ
とは勿論である。

また、搬送手段１０と処理装置移送手段１１の搬送路７
，６は、真円状に限らず、また、平面的に限るものでも
ない。

その他、本発明は要旨を変えない範囲で種々変形実施可
能なことは勿論である。

［発明の効果］以上説明したように、本発明によれば、被搬送物保持体
の移動距離とほぼ同じ距離だけ処理装置が逆方向に移動
するから、移動距離を少なくともほぼ１／２にできる。

これにより、一連に配置した複数の処理装置への被搬送
物の搬送時間を大幅に短縮でき、多品種・少量品の生産
時間の短縮や生産量の増加を可能とする搬送システム装
置を提供できるといった効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第５図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は全体構成を概念的に示す平面図、第２図は第１
図■−■線に沿う矢視図、第３図は搬送状態を示す説明
図、第４図は同じく搬送動作概念を示す図、第５図は被
搬送物保持体の戻し動作状態を示す説明図、第６図は従
来例を示す概略的斜視図である。Ａ−Ｈ・・・処理装置、８・・・被搬送物保持体、９・
・・被搬送物（マガジン）　　１０・・・搬送手段、１
１・・・処理装置移送手段。出願人代理人　弁理士　鈴江武彦第２図第図第図

Claims

【特許請求の範囲】

一連に配置した複数の処理装置に対向すべく被搬送物保
持体を移送させ被搬送物を前記処理装置に供給または回
収する搬送手段と、この搬送手段の前記被搬送物保持体
の移動距離とほぼ同じ距離だけ前記一連の処理装置を逆
方向に移動させる処理装置移送手段とを具備してなるこ
とを特徴とする搬送システム装置。