JPH0216843B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は測定技術、特に連続的に移動する帯状
体、バンドおよび同様の物体の被膜ないしコーテ
イングの厚さを自動的に測定するために、放射線
例えばベータ線の後方散乱（beta backscatter）
を用いて新規で有用なシステムに関するものであ
る。

超薄層被膜の厚さを測定するためにベータ線の
後方散乱を利用することは公知であり、この技術
は例えば米国特許第3132248号に開示されており、
またこのために使用される種々の装置が開発され
ている。

これらの装置では被測定物は測定台に載置さ
れ、この測定台に設けた穴によつて被測定物を放
射線源と検出器に対して一直線上に配置するよう
に構成されている場合が多い。このような構成の
一例として米国特許第3115577号がある。

被測定物を上記のような支持台に載置すること
が実際的でなくあるいは不可能な場合は、携帯用
探測機ないしプローブ（probe）が使用される。
このプローブは被測定物上に直接載置されるか、
あるいは被測定物のための別の支持面上に載置さ
れる。米国特許第3529158号にはこの種の携帯用
プローブが開示されている。

連続的に移動している帯状体ないしバンドの被
膜ないしコーテイングを、例えばこの帯状体が被
膜形成装置から引き出されるのに応じて測定した
い場合がしばしばある。このような測定を行なう
ことにより被覆された物体が製造されている間に
被覆工程および装置に適当な調節を行なうことが
できる。

しかし、移動中の物体を測定する場合には種々
の問題があり、特に被測定物体が連続しているも
の、例えば半導体接点の帯状体のような場合には
測定が一層困難である。これは正確な測定結果を
得ようとすると、測定下にある区分された物体に
対してプローブを正確に位置付けする必要がある
からである。このことを可能にするために種々の
システムが提案されている。

この種のシステムの一つにおいては、被膜を形
成された帯状体を測定ホイール上に案内し、この
ホイールを帯状体と共に連続的に回転させるよう
になつている。そしてこのホイールにはこのホイ
ール上の帯状体の被膜に作用接触する一つまたは
それ以上の測定プローブが装備されている。しか
し、このシステムにはホイールの直径、移動する
試料の速度およびプローブに対する正確な位置付
けの点で制限がある。

この種の他のシステムにおいては、測定プロー
ブが静止配置され、摺動ブロツクの一方側に配備
されている。帯状体はブロツクの反対側をよこぎ
つて動かされ、連続回転する押えホイールによつ
てブロツクと接触状態に維持される。

このシステムでは、測定に要求される時間の間
の一定長さの帯状体の被膜の平均厚さが測定され
る。帯状体が被膜を形成された多数区画からなる
バンドのようにとぎれがある場合は、測定装置は
帯状体と各区画の中間で測定が中断されるので、
帯状体の送り速度の点で装置の性能ないし効率が
制限される。

本発明の主たる目的は、区画された帯状体を含
む連続的に移動する帯状体の被膜の厚さを測定す
るシステムであつて、測定プローブが連続移動す
る帯状体にその長さ方向に一定間隔おいて個所で
選択的に係合し、この係合状態を予め定められた
時間の間維持することにより、前述した従来技術
における欠点を回避して、帯状体の移動径路を変
えることなく高速で動作することができるシステ
ムを提供するにある。

本発明の測定システムは測定されるべき物体な
いし素材の移動径路に沿つて、この物の移動速度
よりも遅い速度で前進する往復可動体ないしシヤ
ツトル（shuttle）を有する。

このシヤツトルはその測定ストローク中は帯状
体と係合させられてこの帯状体によつて動かされ
復帰ストローク中は帯状体との係合から解除され
るように構成されている。

さらに、このシヤツトルは測定プローブを備え
このプローブは測定されるべき個所と正確に一致
させられるために選択的に調整可能であり、かつ
シヤツトルの測定ストローク中に測定されるべき
個所と作用接触させられるように構成されてい
る。

以下図面を参照して詳細に説明する。

第１図において、１０は測定装置を示し、１２
は連続移動される帯状体で、その被膜の厚さが測
定される。被膜はどんな物質でもよく、また被膜
の形成方法としては例えば電着、真空蒸着及び自
触媒付着（autocatalytic deposition）などがあ
る。

装置１０は帯状体１２の移動路のどの場所にで
も配備できる。

とぎれのないあるいは区分されていない帯状体１
２を測定するには、装置は固定機構ないしクラン
プ１４によつて帯状体１２に間欠的に固定され
る。区分された帯状体、または割出し穴を有する
帯状体を測定するには、例えばピンまたは位置合
わせ用支受部材を使用できる。

装置１０は一対のガイドレール１８によつて摺
動可能に支持された往復可動体ないしシヤツトル
１６を備えている。シヤツトル１６は、クランプ
１４のほかに帯状体１２を測定中に支持案内する
案内板２２を備えた基板２０と、この基板２０上
で案内板２２を位置付ける手段、例えば調節ねじ
２４とを有する。

測定ヘツド集合体（以下単にヘツドという）２
５がシヤツトル１６に取付けられており、このヘ
ツドは取付部材２８を有するホルダーアーム２６
（第７図）を備え、この取付部材２８には適当な
位置合わせ手段、例えば十字線投影ユニツト
（crosshair projection unit）（図示略）、または
ガイガー・ミユラー計数管および放射性同位体源
（図示略）を含む測定プローブ３０が取り外し可
能に取付けられる。この位置合わせ手段やプロー
ブは公知のタイプのものを使用できるから詳細な
説明は省略する。

ヘツド２５はさらにガイド３２を有しており、
このガイド３２に沿つてホルダーアーム２６がモ
ータ２７によつて動かされ、プローブ３０を帯状
体１２に対して垂直方向に位置付ける。

ヘツド２５はまた一対の校正手段３４，３５を
備えている。後述のように校正手段３４は手動操
作され、校正手段３５は自動的に動作する。なお
場合によつて校正手段を備えなくてもよい。

持上げローラ３７を有する持上げローラ機構３
６がシヤツトル１６に装備されており、シヤツト
ル１６と帯状体１２の係合を解除すべきときにロ
ーラ３７が帯状体１２を案内板２２の上方へ予め
定められた距離だけ持ち上げて支持する。もう一
つの持上げローラ（図示略）を基板２０の反対側
においてシヤツトルに配備してもよい。

帯状体１２の移動路を横切つてヘツド取付板２
９を前進または後退させることにより、帯状体１
２に対するプローブ３０の位置を調節するための
操作輪３８とねじ棒４０を含む粗調節機構から設
けられている。

シヤツトル１６は普通のエンドレスベルト駆動
装置によつてレール１８に沿つて往復移動させら
れる。エンドレスベルト４２は一対のプーリ４
４、４５に掛け回わされている。プーリ４４，４
５はそれぞれブロツク４８，４９に支承されたシ
ヤフト４６，４７に取付けられている。プーリ４
５は一方向クラツチを構成している。安全スリツ
プクラツチまたはオーバーライド（override）機
構５２を備えて普通の駆動モータ５０がシヤフト
４７、従つてベルト４２を駆動する。

第２図に示すように、ベルト４２にはローラ５
４が取付けられており、このローラ５４は案内ブ
ラケツト５９の一端に設けられた垂直案内スロツ
ト５７に係合されており、ブラケツト５９の他端
は基板２０に固定されている。ベルト４２が駆動
されるにつれて、ローラ５４がその往復動サイク
ルを通してシヤツトル１６を引き動かし、シヤツ
トル１６はそれぞれの前進および後退行程の終り
においてローラ５４がそれぞれ垂直下方および上
方に移動してシヤツトルの移動方向を変える間は
一時的に移動を停止する。

シヤツトルは運動する帯状体１２の速度よりも
僅かに遅い速度でベルト４２によつて駆動され、
帯状体１２とシヤツトル１６がシヤツトルの前進
中に係合されているとき、一方向クラツチをなす
プーリ４５によつて移動する帯状体１２がエンド
レスベルト駆動機構に打勝つて（override）移動
する帯状体１２の速度でシヤツトル１６を前方へ
引き動かす。

エンドレスベルト４２の代りに、第２０図、第
２１図に示すような普通のチエン駆動機構５５ま
たは他の適当な機構を使用することもできる。

シヤツトル１６はベアリングブロツク６２（第
７図）によつてレール１８に摺動可能に支持され
るとともに基板２０に垂設された案内ローラ機構
５６（第１０図）によつてレール１８に正確に一
致して案内されるようになつている。この案内ロ
ーラ機構５６はレール１８の上側に転接する固定
ローラ５８と、レール１８の下側に転接する中心
を異にして取付けられた調節可能なローラ６０と
を有している。

帯状体の案内板２２はシヤツトル１６に支持さ
れ、特定のタイプの帯状体１２に対して使用する
のに適合させることができる。案内板２２の上面
はどんな帯状体にでも（帯状体が区分されていて
も区分されていなくても）その形態に一致する形
状に形成され、測定されるべき個所を支持できる
ようになつている。

第１２図に示す案内板２２は区分ないし区画さ
れていない連続した帯状体１２に使用するように
設計されている。

案内板２２は一対の側縁（エツジ）ガイド６
４，６４′を備えており、これらのエツジガイド
は帯状体の進行方向を横切る方向に選択的に調節
可能である。この調節によつて帯状体の幅が種々
異なつても帯状体が帯状体牽引機構（図示略）の
方向へシヤツトル１６上を越えて動かされると
き、異なる幅の帯状体を測定装置に一致させるこ
とができる。

このために、エツジガイド６４，６４′にはそ
れぞれ一対のスロツト６５が設けられていて、各
スロツトに挿通されたねじ６５′によつてエツジ
ガイド６４，６４′を案内板２２上の調節された
位置に固定する。エツジガイド６４，６４′は帯
状体の両側縁に係合するようになつており、案内
板２２の上面の横断方向溝に取外し可能にねじ７
１によつて固定されたブロツク７０に支持されて
いる。

取外し可能な一対の摩擦パツド６８がブロツク
７０の前後側に配置され、案内板２２の上面７
０″と実質上面一になるように案内板２２の凹所
に嵌め込まれている（第１２図，第１３図）。ク
ランプ１４は第１２図に鎖線で示すように摩擦パ
ツド６８と一致する一対の間隔をおいて配置され
たクランプパツド７２を有している。

帯状体１２がエツジガイド６４と６４′の間を
案内板２２を越えて動かされるとき、帯状体１２
をクランプパツド７２と摩擦パツド６８の間で挾
持することによつて案内板２２、従つてシヤツト
ル１６を帯状体１２と係合状態に保持し、運動す
る帯状体１２によつてシヤツトル１６を動かすこ
とができる。この点については後に詳述する。

測定中、プローブ３０はクランプパツド７２の
内縁７４とガイド６４，６４′の内縁とによつて
区画された帯状体１２の区域に接触する。

第１４図の案内板２２は区画された帯状体に対
して使用するように構成されている。第１４図に
示される特定の帯状体１２ａは連続したバンドの
両側に突出する一連の多数の指状片ないし他の区
分７５を有している。この実施例においても、ガ
イド６４，６４′と同様の一対のガイド７６が使
用されガイド７６は異なる幅の帯状体に適合でき
るように帯状体の進行路を横切る方向に調節可能
である。このためガイド７６はそれぞれスロツト
７７を有し、各スロツトにはガイド７６を帯状体
１２ａの両側でブロツク７０′に固定するための
ねじ７７′が挿通されている。

駆動ピン７８と互いに間隔をおいて配置された
一対の位置決めピン８０とがエツジガイド７６の
間でブロツク７０′に直立して設けられている。
これらのピンはこの案内板が使用される特定の帯
状体１２ａの指状片ないしセグメント７５と係合
するのに適したパターンで互いに間隔をおいて配
備されている。

第１７図、第１８図および第１９図にそれぞれ
示す異なる形状の区分された帯状体１２ｂ，１２
ｃおよび１２ｄに対しては第１４図に示したもの
とは異なるピンの配置パターンまたは係合ガイド
が使用される。

第１６図に示すように駆動ピン７８は直立面８
４に隣接するカム面８２を有し、直立面８４は帯
状体１２ａの指状片７５の片側が係合して帯状体
１２ａの進行方向にシヤツトル１６を引き動かす
肩部となつている。カム面８２によつて帯状体１
２ａの前方側の指状片７５は駆動ピン７８をすべ
つて越えることができ、駆動ピンが指状片の間に
位置して後に詳述するように後方側の指状片によ
つて駆動ピンが動かされることができる。

帯状体１２ａと駆動ピン７８が第１４図，第１
６図に示すように駆動係合状態にあるとき、整合
ピン８０が帯状体１２ａの他方側で指状片７５と
係合して帯状体１２ａとプローブを装備したシヤ
ツトルとの正確な一致状態を維持する。

区分されていない連続帯状体１２に対する上記
装置の動作を説明すると、シヤツトル１６のブロ
ツク７０上でエツジガイド６４，６４′を調節し
て帯状体１２がこれらのエツジガイドの間を進行
するようにする。進行する帯状体１２のどの部分
もまず第３図〜第５図に詳細に示す速度および欠
陥検出部（以下センサという）８８を通過する。

センサ８８において、帯状体１２はばねで付勢
されたセンサホイール９０と通常の回転速度計
（タコメータ）１００のセンサ筒９８との間を通
過する。センサホイール９０はピボツトアーム９
２に取付けられ、このアームの一端にはマイクロ
スイツチ９６を動作させる加圧脚ローラ機構９４
が設けられている。

センサホイール９０はばね９１によつて帯状体
１２に転圧され、帯状体１２をセンサ筒９８に押
し付けている。センサホイール９０、センサ筒９
８およびこれらに関連する部材は適当な架台に取
付けられている。

センサ筒９８は帯状体１２によつて回転させら
れ、帯状体の走行速度に応じた信号を発信する。
この信号は公知のタイプの速度制御機構９７に送
られ、この制御機構が線６７′を介してエンドレ
スベルト駆動モータ５０の速度を調節し、ベルト
４２とシヤツトル１６の速度を走行する帯状体１
２の速度以下の予め定めた速度レベルに維持す
る。速度制御機構６７は帯状体１２とモータ５０
の間の所望の速度差を設定すべく調節可能であ
り、自動的に動作して設定された速度差を維持す
る。

センサホイール９０は帯状体１２の重ね継ぎ、
留め金（ステーブル）、その他の異常状態による
異常な厚みを検出してスイツチ９６を動作させク
ランプ作動用ソレノイド８６（第６図、第７図）
の付勢回路を開く。これによつて、帯状体の欠陥
部がセンサホイール９０を通過してから予め定め
られた時間の間シヤツトル１６が帯状体に係合さ
れるのを阻止する。従つて測定プローブ３０が帯
状体の留め金、重ね継ぎ、その他の異常な個所と
係合して傷付けられたり異常な測定結果を生じる
おそれがなくなる。

正常な動作中は、エンドレスベルト駆動機構が
帯状体１２の速度よりも僅かに遅い速度でシヤツ
トル１６を移動させ、帯状体とシヤツトルとが互
いに結合されるときに両者のスムーズな係合を可
能にし、急激な引張り運動を回避する。このこと
を可能にするために、エンドレスベルト駆動機構
の速度を適当な手段によつて自動調整して、セン
サ９８によつて検知される帯状体の速度変化に対
処している。

シヤツトル１６はエンドレスベルト駆動機構の
プーリ４４と４５の間隔によつて規定されたレー
ル１８の一定距離部分に沿つて連続して前後に往
復移動する。測定はシヤツトル１６の前進移動
（往動）中にのみ、かつセンサホイール９０が異
常検出しなかつたときにのみ行なわれる。

ローラ５４のシヤフトはエンドレスベルト４２
に固定されたブラケツト５５に支受されている。
ブラケツト５５のローラ５４側とは反対側には反
射面を有する金属片５５′が設けられ、この反射
面がシヤツトル１６の往動最前進位置の手前で光
電素子６１（第２図）を動作させ、ソレノイド８
６を動作させてクランプ１４を引き上げシヤツト
ル１６を帯状体１２との係合から解放するととも
にソレノイド８７を動作させてローラ３７を持ち
上げ帯状体１２をシヤツトルから浮上させる。ロ
ーラ３７はブラケツト６９に支受され、このブラ
ケツトはクランクアーム６９′を介してソレノイ
ド８７によつてピボツト軸のまわりを回動させら
れる。

クランプ１４はクランプパツド７２を備えた一
対のアームを有する揺動プレート１５を含んでい
る。このプレート１５はソレノイド８６によつて
ピボツト軸のまわりを揺動可能である。

クランプ１４をクランプ動作およびクランプ解
除動作さて、またローラ３７を上下させるために
それぞれソレノイド８６，８７に代えて液圧また
は空気圧アクチユエータを用いることもできる。

ブラケツト５９にも光電素子６１′を動作させ
るための反射面５８′が設けられている。光電素
子６１′はソレノイド８７を動作させてローラ３
７と帯状体１２を降下させるとともに、ソレノイ
ド８６を動作させてクランプ１４を降下させクラ
ンプパツド７２と摩擦パツド７８の間に帯状体１
２を挾持させる。

光電素子６１，６１′は、また、モータ２７を
制御して測定プローブ３０を上下させる。プロー
ブ３０はクランプが行なわれると降下させられて
その穴あきプラテン１０３を帯状体１２に接触さ
せ、クランプが解除されると上昇させられて帯状
体１２との接触を断たれる。

光電素子６１，６１′の制御の下にソレノイド
８６，８７およびモータ２７を動作させる回路は
公知のものを使用できるから説明は省略する。別
のタイプの光電装置を使用してもよいし、実施例
の光電式以外のセンサーを用いることもできる。

プラテン１０３は帯状体に接合する面を有し、
この面に測定されるべき区域を規定する適当な穴
があけられている。また、プラテン１０３はねじ
付きカラー１０３′によつてプローブ３０の下端
に取り外し可能に固定されている。これらの構成
については公知である。

帯状体１２をクランプする動作とプローブ３０
が帯状体に係合する動作との間に僅かな時間的遅
れを設けることにより、プローブ３０が帯状体１
２と係合する以前にシヤツトル１６と帯状体が係
合することが保証される。

被覆ないしコーテイングの厚さの測定は、シヤ
ツトル１６とプローブ３０が帯状体１２に係合し
ている間に行なわれる。シヤツトル１６は、セン
サホイール９０が帯状体１２の欠陥を検出し続け
ている限り、帯状体とは係合せずに往復動を続け
る。

プローブ３０による測定結果は第７図にブロツ
クで示された適当な装置１０７に送られ、ここで
分折、記憶および表示が行なわれる。

シヤツトル１６と帯状体１２との最初の設定時
に、ブラケツト１１９の突出部１１８に連結され
た手動ねじ１０２からなる微調整機構によつて、
取付部材２８を帯状体の進路に対して横方向に進
退させる。ブラケツト１１９はホルダーアーム２
６に設けた適当な軸受内で摺動可能なガイドシヤ
フト１２０を有している。

十字線投影ユニツトないし他の位置合わせ装置
（図示略）をまず取付部材２８に挿入し、ねじ１
０２を回わして取付部材２８を帯状体１２に位置
合わせする。このようにして取付部材２８に保持
されたプローブ３０と帯状体１２上の測定される
べき区域との正確な位置合わせがなされる。

次いで、位置合わせ装置を取付部材２８から取
外し、プローブ３０を挿入すると、帯状体１２上
の測定されるべき区域に位置付けられる。

区分された帯状体１２ａに対する装置の動作を
次に説明する。設定、センサ８８の動作およびエ
ンドレスベルト駆動機構によるシヤツトル１６の
駆動については前述の実施例におけると同様であ
る。しかし、本実施例においては、クランプ１４
は基板２０から外されており、前述の区分されて
いない連続帯状体に使用した案内板に代えて、適
当な駆動および位置ぎめピンまたは他の位置合わ
せ機構を有する案内板、例えば第１４図に示す案
内板が使用される。

シヤツトル１６が前進を始めると、光電素子６
１′が動作され、ローラ３７を第２図に示す下方
位置に降下させる。帯状体１２ａが案内板２２に
接近するにつれて帯状体のレベルは案内板２２の
上面よりわずかに下になる。従つて、帯状体１２
ａには張力が加えられており、帯状体は駆動ピン
７８の直立縁８４に結合する最初の指状片ないし
セグメントによつて案内板２２上に載置される。
これと同時に他のセグメントも位置ぎめピン８０
と係合する。

この帯状体１２ａと駆動ピン７８の係合により
シヤツトル１６は帯状体によつて前方へ引き動か
され、一方向クラツチ４５の存在によつてエンド
レスベルト機構をオーバーライドすることができ
るので、シヤツトルはエンドレスベルトよりも早
い帯状体１２ａの移行速度で、すなわち、帯状体
１２ａと同期して動かされる。

位置ぎめピン８０は駆動ピン７８よりも小さく
かつ短かくすることができ、そして一旦駆動ピン
７８が係合すると帯状体の位置ずれまたははね上
りを防止するためにのみ作用する。

ローラ３７が下方位置に降下する動作とプロー
ブ３０が帯状体１２ａと係合する動作との間に時
間遅れを設定しておくことによつて、プローブ３
０が帯状体１２ａと係合する以前に、帯状体と駆
動ピン７８とが係合することが保証される。

シヤツトル１６が往行程の最前端（前進限度）
に近づいたとき、光電素子６１がこれを検知し、
モータ２７がプローブ３０を上昇させ、ソレノイ
ド８７がローラ３７を持ち上げ、ローラ３７が帯
状体１２ａを駆動ピン７８と位置ぎめピン８０か
ら持ち上げてこの帯状体とピンの隔離した位置関
係をシヤツトル１６の復帰行程中維持する。

モータ５０はシヤツトル１６をその前進行程を
通して帯状体の移動速度よりも遅い速度で駆動す
るように構成されているが、モータ５０およびそ
の制御装置はシヤツトルをその復帰行程ではより
早い速度で駆動して、与えられた時間内において
可能な測定回数を増加させるように構成すること
もできる。

駆動ピン７８にカム面８２が形成してあるので
正常動作中帯状体１２ａがローラ３７によつて案
内板２２上に降下させられるとき、カム面８２に
接触する指状片ないしセグメントがこのカム面を
すべつてピン７８を越え、次に続く指状片ないし
セグメントがこのピンに係合することができる。

区分された帯状体には上記以外の駆動および位
置ぎめ機構を使用することができる。その一例を
第１８図に示す。

この実施例においては、案内板２２、特にその
ブロツク７０′には指状片と互いにはまり合つて
マトリツクスを形成するように一定のパターンに
配置された多数の突起部ないしエンボス８１が設
けられている。

装置１０の校正は、測定操作のための最初の設
定時およびその後適宜行なわれる。この校正は第
６図、第７図に示す手動校正手段（スライド）３
４または自動校正手段（スライド）３５のいずれ
かを用いて行なわれる。

これらのスライドは測定ヘツド取付板２９上に
互いに一定角度をなすように水平方向に往復摺動
可能に取付けられている。両スライドは互いに斜
交する通路に沿つて各別に進退し、これらの通路
の交差点はプローブ３０の穴１０３と同一垂直線
上に配置されている。

スライド３５にはその前端に一対の標準試料１
０４，１０６が並べて配備されている。標準試料
１０４は帯状体の基材であり、標準試料１０６は
被膜ないしコーテイングの材料である。

リミツトスイツチ１０８がスライド３５の近傍
に配備され、スライド３５の一側縁に適当な間隔
をおいて設けられた二つのノツチ１１０と協同動
作しスライドがモータ１１４によつて前進させら
れるとき標準試料１０４，１０６のプローブ３０
に対する位置合わせを制御し、校正完了後にはモ
ータ１１４によるスライドの後退限度を規制す
る。

スライド３４は実際の厚さ標準試料１０４′，
１０６′を保持し、その一方側の縁に沿つて設け
たノツチ１１０に係合する位置ぎめラツチ１０９
が配備されている。

プローブ３０は標準試料が位置付けされた後そ
の上に降下させられる。この操作はスイツチ１０
８の制御下で自動的に行なうことができる。

スライド３４はノブ１１２を手動操作して摺動
路に沿つて進退させる。この動作は自動的に行な
うようにしてもよい。スライド３５は第６図に示
す同期電動機１１４とこれに連結したラツク・ピ
ニオン機構１１６によつて自動的に進退させられ
る。

スライド３５は装置１０の正常な測定操作中に
自動校正に使用され、予め選定された回数の測定
終了後必要に応じてコンピユータで制御された定
期検査と校正が行なわれる。温度、塵埃、汚れの
付着、アイソトープの壊変、その他の原因がプロ
ーブの読みに影響を与えるから、測定の精度と信
頼性を確保するためにこのような定期検査と校正
が必要である。

帯状体１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃの運動お
よびシヤツトル１６の運動はこの自動検査および
校正操作中も中断されない。

第６図においてはスライド３４，３５は装置１
０の連続操作中の平常後退位置において示されて
いる。この位置においては、スライド３４，３５
はプローブ３０から外えた位置にあり、プローブ
３０の垂直移動ないし測定動作を妨害しない。

測定操作中帯状体１２，１２ａ，１２ｂまたは
１２ｃに対するプローブ３０の位置を変えたいと
き、例えばある一つの位置で一連の測定を行なつ
てから続いて横方向の他の位置で一連の測定を行
ないたい場合は、第１図に示すように、ステツプ
モータ１０５をねじ棒４０に作用連結し、適当に
プログラムされたコンピユータ１０６の制御下で
プローブ３０の位置を自動的に周期的に変えるよ
うにすればよい。コンピユータ１０６は読み出し
装置１０７の一部として組込むこともでき、装置
の他の機能を制御することもできる。

以上のように、本発明によれば、直線路に沿つ
て往復移動する往復可動体を用いるようにしたの
で、被測定帯状体の進路方向を変える必要がな
く、高速の測定操作が可能である。被膜を形成す
る沿から連続的に引き出される帯状体の場合、進
行方向を変えずに測定できることは特に有利であ
る。また、プローブ３０が測定サイクル中帯状体
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃに係合するため
に、プローブが帯状体から離れている構成におけ
るよりもより正確な測定が可能である。シヤツト
ルの移動距離も利用可能な空間内で最大の測定精
度を達成できるように選定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例にかかる装置の平面
図で、装置の左右側の矢印は移動する帯状体の移
動方向を、また図の下側の双頭矢印は往復可動体
の行程をそれぞれ示し、第２図は第１図の正面
図、第３図は帯状体の異常を検出して測定を中断
するための検出器と、往復可動体の駆動速度を決
定するための帯状体の速度検出器との平面図、第
４図は第３図の正面図、第５図は第２図の５−５
線からみた拡大端面図、第６図は測定ヘツド集合
体と手動および自動校正手段とを備えた往復可動
体の平面図、第７図は第６図の７−７線からみた
立面図、第８図は区分された帯状体と往復可動体
を駆動係合解除状態に保持する持ち上げローラ機
構の平面図、第９図は第８図の正面図、第１０図
は第２図の１０−１０線における断面図で往復可
動体の基板と案内ローラ機構を示し、第１１図は
第１０図の１１−１１線における断面図、第１２
図は帯状体が区分されていない場合に使用される
ガイド機構の平面図、第１３図は第１２図の１３
−１３線における断面図、第１４図は第１２図と
同様の図で区分された帯状体に使用する駆動およ
び位置ぎめピン機構を示す図、第１５図は図示を
容易にするために区分された帯状体を除いた第１
４図の１５−１５線における断面図、第１６図は
区分された帯状体に係合した駆動ピンの詳細図、
第１７図、第１８図および第１９図はそれぞれ区
分された帯状体の異なる形態を示すとともに、第
１８図はさらに他の形態の駆動、および位置合わ
せ機構も示し、第２０図は往復可動体のチエイン
駆動機構の詳細図、第２１図は第２０図の２１−
２１線における断面図である。 １０……測定装置、１２，１２ａ，１２ｂ，１
２ｃ，１２ｄ……帯状体、１４……クランプ、１
６……往復可動体（シヤツトル）、１８……案内
レール、２０……基板、２２……案内板、２５…
…測定ヘツド集合体、３０……測定プローブ、３
４，３５……校正手段（スライド）、３６……持
ち上げローラ機構、４２……エンドレスベルト、
６１，６１′……光電素子、６４，６４′……エツ
ジガイド、６８……摩擦パツド、７８……駆動ピ
ン、８０……位置ぎめピン、８８……速度および
欠陥検出部（センサ）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 厚さが測定されるべき被膜を有する帯状体を
   直線路上の第１位置と第２位置とを順次通過移動
   させ、前記直線路上の第１位置と第２位置の間を
   往復移動可能であり、かつ、被膜厚測定手段を備
   えた往復可動体を前記第１位置において前記帯状
   体に係合させ前記帯状体によつて前記往復可動体
   を牽引させて前記第１位置から第２位置へ往動さ
   せ、この往動中に前記被膜厚測定手段によつて前
   記帯状体の被膜の厚さを測定し、測定後前記往復
   可動体と前記帯状体の係合を前記第２位置におい
   て解除して前記往復可動体を前記第２位置から第
   １位置へ復動させることを特徴とする被膜の厚さ
   を測定する方法。 ２ 厚さが測定されるべき被膜を有する帯状体が
   連続的に移動せしめられる直線路に沿つて延長配
   備された直線状枠と； 前記直線路に所定間隔をおいて設けた第１位置
   と第２位置の間を移動可能に前記枠に配備された
   往復可動体と； 前記往復可動体に担われ、移動する前記帯状体
   に選択的に係合分離可能な係合手段と； 前記係合手段を前記第１位置において前記移動
   する帯状体に係合させてこの帯状体により前記往
   復可動体を前記直線路上を前記第１位置から第２
   位置へ牽引移動させ、前記係合手段を前記第２位
   置において前記帯状体より分離する係合手段制御
   手段と； 前記係合手段が前記帯状体から分離されたとき
   前記往復可動体を前記第２位置から前記第１位置
   へ復動させる駆動手段と； 前記往復可動体に少なくとも一部が取り付けら
   れ、前記往復可動体が前記第１位置から第２位置
   に移動させられるときに前記帯状体の被膜の厚さ
   を測定する測定手段と； からなることを特徴とする被膜の厚さを測定する
   装置。