JPH02161336A - 粒子検出装置 - Google Patents
粒子検出装置Info
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- JPH02161336A JPH02161336A JP63315674A JP31567488A JPH02161336A JP H02161336 A JPH02161336 A JP H02161336A JP 63315674 A JP63315674 A JP 63315674A JP 31567488 A JP31567488 A JP 31567488A JP H02161336 A JPH02161336 A JP H02161336A
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 66
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 37
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 101000609959 Homo sapiens Protein piccolo Proteins 0.000 description 1
- 102100039154 Protein piccolo Human genes 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
- G01N15/0211—Investigating a scatter or diffraction pattern
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は粒子検出装置に関し、気体或は液体といった流
体中の粒子の濃度を例えばレーザ光でなる光ビームを用
いて検出するいわゆる光散乱方式の粒子検出装置に適用
して好適なものである。
体中の粒子の濃度を例えばレーザ光でなる光ビームを用
いて検出するいわゆる光散乱方式の粒子検出装置に適用
して好適なものである。
本発明は、光散乱方式の粒子検出装置において、粒子の
移動に応じて複数の光電変換出力を得てこれを加算する
ことにより粒子検出信号を得るようにしたことにより、
Ｓ／Ｎ比を一段と改善した粒子検出信号を得ることがで
きる。
移動に応じて複数の光電変換出力を得てこれを加算する
ことにより粒子検出信号を得るようにしたことにより、
Ｓ／Ｎ比を一段と改善した粒子検出信号を得ることがで
きる。
この種の光散乱式粒子検出装置は、例えば、半導体製造
工程において用いられるクリーンルームの清浄度を測定
する場合などに適用するもので、第４図に示すように、
流入側ノズル１から流入した試料空気ＡＩＲを、例えば
レーザビームでなる光ビーム２を横切るように排出側流
路３に噴射させる。
工程において用いられるクリーンルームの清浄度を測定
する場合などに適用するもので、第４図に示すように、
流入側ノズル１から流入した試料空気ＡＩＲを、例えば
レーザビームでなる光ビーム２を横切るように排出側流
路３に噴射させる。
試料空気ＡＩＲ中に粒子ＰＣＬが含まれていると、これ
が光ビーム２を横切る際に散乱光ＬＡＩを発生させ、こ
の散乱光ＬＡＩが集光レンズ４によって光電変換素子で
なる受光素子５に集光される。
が光ビーム２を横切る際に散乱光ＬＡＩを発生させ、こ
の散乱光ＬＡＩが集光レンズ４によって光電変換素子で
なる受光素子５に集光される。
受光素子５から得られる光電変換出力Ｓ１は増幅処理回
路部６において増幅処理されて粒子検出信号Ｓ２として
粒子数カウント部７へ送出される。
路部６において増幅処理されて粒子検出信号Ｓ２として
粒子数カウント部７へ送出される。
第４図の構成の粒子検出装置によって得られる粒子検出
信号Ｓ２は、第５図に示すように、時間ｔの経過に従っ
て試料空気ＡＩＲ中に粒子ＰＣＬが含まれていないとき
出力電圧レベルがほぼＯになるのに対して、粒子ＰＣＬ
が光ビーム２を横切るごとにピーク波形ＰＥＡＫを発生
し、このピーク波形ＰＥＡＫＯ数を粒子数カウント部７
においてカウントすることによって単位体積当たりの粒
子数を求めることができる。
信号Ｓ２は、第５図に示すように、時間ｔの経過に従っ
て試料空気ＡＩＲ中に粒子ＰＣＬが含まれていないとき
出力電圧レベルがほぼＯになるのに対して、粒子ＰＣＬ
が光ビーム２を横切るごとにピーク波形ＰＥＡＫを発生
し、このピーク波形ＰＥＡＫＯ数を粒子数カウント部７
においてカウントすることによって単位体積当たりの粒
子数を求めることができる。
ところが実際上第４図の構成によって得ることができる
粒子検出信号Ｓ２には、ピーク波形ＰＥＡＫのピーク値
と比較してかなり大きな雑音成分Ｎ０ＩＳＥが混入する
ため、信号対雑音比（すなわちＳ／Ｎ比）が低下するこ
とにより粒子数を誤カウントするおそれがある。
粒子検出信号Ｓ２には、ピーク波形ＰＥＡＫのピーク値
と比較してかなり大きな雑音成分Ｎ０ＩＳＥが混入する
ため、信号対雑音比（すなわちＳ／Ｎ比）が低下するこ
とにより粒子数を誤カウントするおそれがある。
因に雑音成分Ｎ０ＩＳＨの発生原因としては、試料空気
ＡＩＲの空気分子によって光ビーム２が散乱されてこれ
が散乱光ＬＡＩに雑音成分として重畳したり、受光素子
５の光電変換動作時に雑音を発生したり、増幅処理回路
部６を構成する回路素子、配線等において雑音が発生し
たりすると考えられる。
ＡＩＲの空気分子によって光ビーム２が散乱されてこれ
が散乱光ＬＡＩに雑音成分として重畳したり、受光素子
５の光電変換動作時に雑音を発生したり、増幅処理回路
部６を構成する回路素子、配線等において雑音が発生し
たりすると考えられる。
Ｓ／Ｎ比を向上させる方法として、光ビーム２の光の強
さを増大させることが考えられるが、このようにしても
ピーク波形ＰＥＡＫのピーク値が太き（なると同時に空
気分子からの散乱光に基づく雑音成分Ｎ０ＩＳＥも大き
くなることを避けえないために、Ｓ／Ｎ比の改善手段と
しては実用上未だ不十分である。実際上、試料空気ＡＩ
Ｒのサンプル量を大きくするために、光ビーム２の照射
領域を大きくした場合に、Ｓ／Ｎ比改善効果が低くなる
傾向にある。
さを増大させることが考えられるが、このようにしても
ピーク波形ＰＥＡＫのピーク値が太き（なると同時に空
気分子からの散乱光に基づく雑音成分Ｎ０ＩＳＥも大き
くなることを避けえないために、Ｓ／Ｎ比の改善手段と
しては実用上未だ不十分である。実際上、試料空気ＡＩ
Ｒのサンプル量を大きくするために、光ビーム２の照射
領域を大きくした場合に、Ｓ／Ｎ比改善効果が低くなる
傾向にある。
本発明は以上の点を考慮してなされたもので、粒子検出
信号のＳ／Ｎ比を格段的に改善し得るようにした粒子検
出装置を提案しようとするものである。
信号のＳ／Ｎ比を格段的に改善し得るようにした粒子検
出装置を提案しようとするものである。
かかる問題点を解決するため本発明においては、試料流
体ＡＩＲに光ビーム２を照射し、試料流体ＡＩＲ中に含
まれている粒子ＰＣＬからの散乱光ＬＡＩを受光部１３
において光電変換することにより粒子検出信号Ｓ４を得
るようになされた粒子検出装置１１において、粒子ＰＣ
Ｌが光ビーム２内を進行している間の所定の複数の位置
において生ずる散乱光ＬＡＩに基づいて受光部１３から
複数の光電変換出力Ｓ２１〜Ｓ２ｎを得、この複数の光
電変換出力Ｓ２１〜Ｓ２ｎの加算結果出力を粒子検出信
号Ｓ４として送出するようにする。
体ＡＩＲに光ビーム２を照射し、試料流体ＡＩＲ中に含
まれている粒子ＰＣＬからの散乱光ＬＡＩを受光部１３
において光電変換することにより粒子検出信号Ｓ４を得
るようになされた粒子検出装置１１において、粒子ＰＣ
Ｌが光ビーム２内を進行している間の所定の複数の位置
において生ずる散乱光ＬＡＩに基づいて受光部１３から
複数の光電変換出力Ｓ２１〜Ｓ２ｎを得、この複数の光
電変換出力Ｓ２１〜Ｓ２ｎの加算結果出力を粒子検出信
号Ｓ４として送出するようにする。
粒子ＰＣＬが光ビーム２内を進行している間に、所定の
複数の位置において生ずる散乱光ＬＡＩは受光部１３上
に移動する粒子ＰＣＬの像を結像させる。その結果粒子
ＰＣＬの位置に対応して受光部１３から得られる複数の
光電変換出力Ｓ２１〜Ｓ２ｎを加算すると、各光電変換
出力５２１−３２ｎに含まれている雑音信号成分は互い
に相関をもたないので加算出力に含まれる雑音成分Ｎ０
ＩＳＥの比率が小さくなる。
複数の位置において生ずる散乱光ＬＡＩは受光部１３上
に移動する粒子ＰＣＬの像を結像させる。その結果粒子
ＰＣＬの位置に対応して受光部１３から得られる複数の
光電変換出力Ｓ２１〜Ｓ２ｎを加算すると、各光電変換
出力５２１−３２ｎに含まれている雑音信号成分は互い
に相関をもたないので加算出力に含まれる雑音成分Ｎ０
ＩＳＥの比率が小さくなる。
かくして全体としてＳ／Ｎ比を一段と改善し得る粒子検
出装置を得ることができる。
出装置を得ることができる。
以下図面について、本発明を例えば試料流体として空気
を用いた場合の一実施例を詳述する。
を用いた場合の一実施例を詳述する。
第４図との対応部分に同一符号を付して示す第１図にお
いて、１１は全体として粒子検出装置を示し、集光レン
ズ１２は光ビーム２内を粒子ＰｃＬが通過する際に生ず
る散乱光ＬＡＩを集束して当該集束光ＬＡ２を複数ｎ個
の光電変換素子Ｄ１、Ｂ２・・・・・・Ｄｎを直線上に
配列してなる受光部１３上に粒子ＰＣＬＯ像を結像させ
る。
いて、１１は全体として粒子検出装置を示し、集光レン
ズ１２は光ビーム２内を粒子ＰｃＬが通過する際に生ず
る散乱光ＬＡＩを集束して当該集束光ＬＡ２を複数ｎ個
の光電変換素子Ｄ１、Ｂ２・・・・・・Ｄｎを直線上に
配列してなる受光部１３上に粒子ＰＣＬＯ像を結像させ
る。
ここで光電変換素子Ｄ１、Ｂ２・・・・・・Ｄｎは、粒
子ＰＣＬが流入側ノズル１の方向から光ビーム２に突入
した後、排出側流路３側へ抜は出すまで移動して行く間
に、当該粒子ＰＣＬの移動位置の変化に対応して粒子Ｐ
ＣＬの像が光電変換素子Ｄ１、Ｂ２・・・・・・Ｄｎ上
を移動して行く。
子ＰＣＬが流入側ノズル１の方向から光ビーム２に突入
した後、排出側流路３側へ抜は出すまで移動して行く間
に、当該粒子ＰＣＬの移動位置の変化に対応して粒子Ｐ
ＣＬの像が光電変換素子Ｄ１、Ｂ２・・・・・・Ｄｎ上
を移動して行く。
かくして粒子ＰＣＬが光ビーム２内を移動して行く間に
、これに応じて光電変換素子Ｄ１、Ｂ２、Ｂ３””Ｄ
（ｎ−１） 、Ｄｎから第２図（Ａ１）、（Ａ２）、（
Ａ３）−・−（Ａ （ｎ−１））、（Ａｎ）に示すよう
に、時間Ｔの間隔を有する時点１、．１ｔ、１．・・・
・・・ｊ、ｌ−１、ｊｎにおいてピーク波形ＰＥＡＫを
生ずる光電変換出力Ｓ２１、Ｓ２２、Ｓ ２３”・・Ｓ
２ （ｎ −１） 、Ｓ ２ ｎが発生され、これが
それぞれ遅延回路部１４の遅延回路ＤＬＩ、ＤＬ２、Ｄ
Ｌ３・・・・”ＤＬ、（ｎ−１） 、ＤＬｎにおいて遅
延されて遅延検出出力Ｓ３１、Ｓ３２、Ｓ ３３・・・
・・・Ｓ ３ （ｎ −１） 、Ｓ ３ ｎとじて加算
回路部１５に入力される。
、これに応じて光電変換素子Ｄ１、Ｂ２、Ｂ３””Ｄ
（ｎ−１） 、Ｄｎから第２図（Ａ１）、（Ａ２）、（
Ａ３）−・−（Ａ （ｎ−１））、（Ａｎ）に示すよう
に、時間Ｔの間隔を有する時点１、．１ｔ、１．・・・
・・・ｊ、ｌ−１、ｊｎにおいてピーク波形ＰＥＡＫを
生ずる光電変換出力Ｓ２１、Ｓ２２、Ｓ ２３”・・Ｓ
２ （ｎ −１） 、Ｓ ２ ｎが発生され、これが
それぞれ遅延回路部１４の遅延回路ＤＬＩ、ＤＬ２、Ｄ
Ｌ３・・・・”ＤＬ、（ｎ−１） 、ＤＬｎにおいて遅
延されて遅延検出出力Ｓ３１、Ｓ３２、Ｓ ３３・・・
・・・Ｓ ３ （ｎ −１） 、Ｓ ３ ｎとじて加算
回路部１５に入力される。
ここで遅延回路部１４の遅延回路ＤＬＩ、ＤＬ２、ＤＬ
３−−”ＤＬ、（ｎ−１） 、ＤＬｎは、それぞれ第２
図（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｂ３）・・・・・・（Ｂ（ｎ
−１））、（Ｂ ｎ）に示すように、遅延時間（ｎ−１
）Ｔ、（ｎ−２） Ｔ、 （ｎ−３） Ｔ・・・・・・
ＩＴ、ＯＴの遅延時間を存し、かくして集束光ＬＡ２が
光電変換素子Ｄ１、Ｂ２、Ｂ３・・・・・・Ｄ（ｎ
１）、Ｄｎまで移動していったとき、集束光ＬＡ２が最
後の光電変換素子Ｄｎに入射したタイミング（すなわち
時点ｔｎのタイミング）で遅延検出出力３３１、Ｓ３２
、Ｓ３３・・・・・・Ｂ３ （ｎｔ） 、Ｓ３ｎが同時
に加算回路部１５に入力され、その加算出力が粒子検出
信号Ｓ４として粒子数カウント部７に送出される。
３−−”ＤＬ、（ｎ−１） 、ＤＬｎは、それぞれ第２
図（Ｂ１）、（Ｂ２）、（Ｂ３）・・・・・・（Ｂ（ｎ
−１））、（Ｂ ｎ）に示すように、遅延時間（ｎ−１
）Ｔ、（ｎ−２） Ｔ、 （ｎ−３） Ｔ・・・・・・
ＩＴ、ＯＴの遅延時間を存し、かくして集束光ＬＡ２が
光電変換素子Ｄ１、Ｂ２、Ｂ３・・・・・・Ｄ（ｎ
１）、Ｄｎまで移動していったとき、集束光ＬＡ２が最
後の光電変換素子Ｄｎに入射したタイミング（すなわち
時点ｔｎのタイミング）で遅延検出出力３３１、Ｓ３２
、Ｓ３３・・・・・・Ｂ３ （ｎｔ） 、Ｓ３ｎが同時
に加算回路部１５に入力され、その加算出力が粒子検出
信号Ｓ４として粒子数カウント部７に送出される。
第１図の構成において、遅延検出出力３３１、Ｓ３２、
Ｓ ３３・”・Ｓ ３ （ｎ −１） 、Ｓ ３ ｎの
出力電圧をＶ＋ 、Ｖｚ 、Ｖ３”・ｌ／、１−１ 、
Ｖ、とじ、それぞれ次式 のように、 信号電圧成分ｖ、３、ＶｔＳ、Ｖ３ｓ・・
・・・・Ｖ（ｎ−１１３、ＶＭＳと、 雑音電圧成分Ｖ
ＩＮ％ ＶｚｗｓＶｓｓ・・・・・・Ｖ（ＰＩ−１＋１
％ Ｖ□との和として表すと、信号電圧成分ＶＩｆｆｓ
Ｖｔｌ、Ｖ ３ｍ・・”・・Ｖ （，１−１） Ｓ、ｖ
７゜は、同じ粒子ＰＣＬについての検出信号であるので
相関があると考えることができる。従って加算回路部１
３において加算することによって得られる粒子検出信号
Ｓ４の信号電圧成分Ｖ□Ｇは次式、Ｖｓ＋ａ ｘｖ、
、＋ｖ、、＋ｖ、、＋・＋−ｎ＋Ｖい−ＵＳ＋ＶｎＳ
・・・・・・ （２）のように、 信号電圧成
分ＶＩ！、ＶｔＳ、Ｖ３ｓ・・・・・・Ｖ（＋５−１１
１、■１．の和として表すことができる。
Ｓ ３３・”・Ｓ ３ （ｎ −１） 、Ｓ ３ ｎの
出力電圧をＶ＋ 、Ｖｚ 、Ｖ３”・ｌ／、１−１ 、
Ｖ、とじ、それぞれ次式 のように、 信号電圧成分ｖ、３、ＶｔＳ、Ｖ３ｓ・・
・・・・Ｖ（ｎ−１１３、ＶＭＳと、 雑音電圧成分Ｖ
ＩＮ％ ＶｚｗｓＶｓｓ・・・・・・Ｖ（ＰＩ−１＋１
％ Ｖ□との和として表すと、信号電圧成分ＶＩｆｆｓ
Ｖｔｌ、Ｖ ３ｍ・・”・・Ｖ （，１−１） Ｓ、ｖ
７゜は、同じ粒子ＰＣＬについての検出信号であるので
相関があると考えることができる。従って加算回路部１
３において加算することによって得られる粒子検出信号
Ｓ４の信号電圧成分Ｖ□Ｇは次式、Ｖｓ＋ａ ｘｖ、
、＋ｖ、、＋ｖ、、＋・＋−ｎ＋Ｖい−ＵＳ＋ＶｎＳ
・・・・・・ （２）のように、 信号電圧成
分ＶＩ！、ＶｔＳ、Ｖ３ｓ・・・・・・Ｖ（＋５−１１
１、■１．の和として表すことができる。
これに対して雑音電圧成分ＶＩ Ｎ％ Ｖ ｚＨｌｖａ
Ｎ・・・・・・Ｖい−Ｉ、いＶ、、、ｌは、互いに相関
がない信号であるので、加算回路部１５において加算し
た結果得られる粒子検出信号Ｓ４の雑音電圧成分ＶｎＯ
９は次式、 ｗｏｓ− のように、各雑音信号成分の２乗和の平方根として表す
ことができる。
Ｎ・・・・・・Ｖい−Ｉ、いＶ、、、ｌは、互いに相関
がない信号であるので、加算回路部１５において加算し
た結果得られる粒子検出信号Ｓ４の雑音電圧成分ＶｎＯ
９は次式、 ｗｏｓ− のように、各雑音信号成分の２乗和の平方根として表す
ことができる。
そこで信号電圧成分Ｖ＋Ｓ〜■７ｓの値をＶ＋ｓ−Ｖｚ
ｓ＝ Ｖ３！”・”・”” Ｖ ＜、Ｉ−＋＞ｓ−Ｖｎ
ｓミＶ。
ｓ＝ Ｖ３！”・”・”” Ｖ ＜、Ｉ−＋＞ｓ−Ｖｎ
ｓミＶ。
のように、電圧Ｖ、に等しいと考えれば、（４）式を（
２）式に代入することにより、信号電圧成分Ｖ３．６は Ｖ３１０ ＝ｎｖｉ のように、電圧■、の１倍になる。
２）式に代入することにより、信号電圧成分Ｖ３．６は Ｖ３１０ ＝ｎｖｉ のように、電圧■、の１倍になる。
同様にして、雑音電圧成分Ｖ工〜■、の平均値を■８と
して ＶＩＮ−ｖｚｓ＝ ＶｆｆＮ＝”””＝ Ｖ （ｎ−１
１Ｎ−Ｖｔ５Ｈ＝ＶＨ のように、互いに等しい値をもつものと考えれば、（６
）式を（３）式に代入することにより雑音電圧成分ｖＮ
ｏｓは次式 のように雑音電圧成分の平均値ｖＨの１倍になる。
して ＶＩＮ−ｖｚｓ＝ ＶｆｆＮ＝”””＝ Ｖ （ｎ−１
１Ｎ−Ｖｔ５Ｈ＝ＶＨ のように、互いに等しい値をもつものと考えれば、（６
）式を（３）式に代入することにより雑音電圧成分ｖＮ
ｏｓは次式 のように雑音電圧成分の平均値ｖＨの１倍になる。
そこで粒子検出信号Ｓ４のＳ／Ｎ比を次式％式％（８）
のように表すことができる。
このようにして、第１図の構成によれば、（８）式に基
づいて粒子検出信号Ｓ４のＳ／Ｎ比を１倍に改善するこ
とができる。
づいて粒子検出信号Ｓ４のＳ／Ｎ比を１倍に改善するこ
とができる。
実験によれば、受光部１３として、第４図の従来の場合
と同様に光電変換素子数ｎをｎ＝１に選定した場合には
、第３図（Ａ）に示すように、第５図について上述した
と同様にＳ／Ｎ比がかなり小さい粒子検出信号Ｓ４Ｌか
得られないのに対して、充電変換素子数ｎをｎ＝１６程
度選定した場合には、第３図（Ｂ）に示すように、Ｓ／
Ｎ比の改善度が大きな粒子検出信号Ｓ４を得ることがで
きた。
と同様に光電変換素子数ｎをｎ＝１に選定した場合には
、第３図（Ａ）に示すように、第５図について上述した
と同様にＳ／Ｎ比がかなり小さい粒子検出信号Ｓ４Ｌか
得られないのに対して、充電変換素子数ｎをｎ＝１６程
度選定した場合には、第３図（Ｂ）に示すように、Ｓ／
Ｎ比の改善度が大きな粒子検出信号Ｓ４を得ることがで
きた。
さらに光電変換素子数ｎをｎ＝２５程度に増大した場合
には、第３図（Ｃ）に示すように、さらに、Ｓ／Ｎ比が
一段と大きな粒子検出信号Ｓ４を得ることができた。
には、第３図（Ｃ）に示すように、さらに、Ｓ／Ｎ比が
一段と大きな粒子検出信号Ｓ４を得ることができた。
なお、上述の実施例においては、試料液体として空気を
用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
空気以外の気体、又は気体以外の流体例えば液体にも広
く適用できる。
用いた場合について述べたが、本発明はこれに限らず、
空気以外の気体、又は気体以外の流体例えば液体にも広
く適用できる。
上述のように本発明によれば、粒子が光ビーム内を進行
する間に、当該粒子ＰＣＬの位置の変化に対応する複数
の光電変換出力を得てこれを加算処理して粒子検出信号
を得るようにしたことにより、従来の場合と比較して一
段とＳ／Ｎ比が大きな粒子検出信号を得ることができる
。
する間に、当該粒子ＰＣＬの位置の変化に対応する複数
の光電変換出力を得てこれを加算処理して粒子検出信号
を得るようにしたことにより、従来の場合と比較して一
段とＳ／Ｎ比が大きな粒子検出信号を得ることができる
。
系統図、第５図はその粒子検出信号を示す信号波形図で
ある。
ある。
１・・・・・・流入側ノズル、２・・・・・・光ビーム
、３・・・・・・排出側流路、４．１２・・・・・・集
光レンズ、５・・・・・・受光素子、７・・・・・・粒
子数カウント部、１３・・・・・・受光部、１４・・・
・・・遅延回路部、１５・・・・・・加算回路部、Ｄ１
〜Ｄｎ・・・・・・光電変換素子、ＤＬＩ〜ＤＬｎ・・
・・・・遅延回路。
、３・・・・・・排出側流路、４．１２・・・・・・集
光レンズ、５・・・・・・受光素子、７・・・・・・粒
子数カウント部、１３・・・・・・受光部、１４・・・
・・・遅延回路部、１５・・・・・・加算回路部、Ｄ１
〜Ｄｎ・・・・・・光電変換素子、ＤＬＩ〜ＤＬｎ・・
・・・・遅延回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 試料流体に光ビームを照射し、上記試料流体中に含まれ
ている粒子からの散乱光を受光部において光電変換する
ことにより粒子検出信号を得るようになされた粒子検出
装置において、 上記粒子が上記光ビーム内を進行している間の所定の複
数の位置において生ずる上記散乱光に基づいて上記受光
部から複数の光電変換出力を得、上記複数の光電変換出
力の加算結果出力を粒子検出信号として送出する ことを特徴とする粒子検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63315674A JPH0619320B2 (ja) | 1988-12-14 | 1988-12-14 | 粒子検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63315674A JPH0619320B2 (ja) | 1988-12-14 | 1988-12-14 | 粒子検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02161336A true JPH02161336A (ja) | 1990-06-21 |
| JPH0619320B2 JPH0619320B2 (ja) | 1994-03-16 |
Family
ID=18068206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63315674A Expired - Fee Related JPH0619320B2 (ja) | 1988-12-14 | 1988-12-14 | 粒子検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0619320B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03269342A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-11-29 | Hamamatsu Photonics Kk | 液中パーティクルカウンタ |
| JP2018513971A (ja) * | 2015-04-02 | 2018-05-31 | パーティクル・メージャーリング・システムズ・インコーポレーテッド | 粒子計数器におけるレーザノイズ検出及び緩和 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3818867B2 (ja) * | 2000-05-12 | 2006-09-06 | リオン株式会社 | 光散乱式粒子検出器 |
-
1988
- 1988-12-14 JP JP63315674A patent/JPH0619320B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03269342A (ja) * | 1990-03-20 | 1991-11-29 | Hamamatsu Photonics Kk | 液中パーティクルカウンタ |
| JP2018513971A (ja) * | 2015-04-02 | 2018-05-31 | パーティクル・メージャーリング・システムズ・インコーポレーテッド | 粒子計数器におけるレーザノイズ検出及び緩和 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0619320B2 (ja) | 1994-03-16 |
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