JPH02161285A - 熱間静水圧加圧成形装置の温度制御装置 - Google Patents

熱間静水圧加圧成形装置の温度制御装置

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JPH02161285A
JPH02161285A JP31552788A JP31552788A JPH02161285A JP H02161285 A JPH02161285 A JP H02161285A JP 31552788 A JP31552788 A JP 31552788A JP 31552788 A JP31552788 A JP 31552788A JP H02161285 A JPH02161285 A JP H02161285A
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    • B30B11/00Presses specially adapted for forming shaped articles from material in particulate or plastic state, e.g. briquetting presses, tabletting presses
    • B30B11/001Presses specially adapted for forming shaped articles from material in particulate or plastic state, e.g. briquetting presses, tabletting presses using a flexible element, e.g. diaphragm, urged by fluid pressure; Isostatic presses
    • B30B11/002Isostatic press chambers; Press stands therefor

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、熱間静水圧加圧成形装置(以下HIP装置と
いう)の温度制御装置に関する。
(従来の技術) 従来、HIP装置1は第9図に示すように、上蓋2、下
部中蓋3及び下部外M4を備えた圧力容器5と、圧力容
器5の内壁と処理室6との熱地を図る断熱層7と、下部
中M3上に載設された処理物載置台8と、断熱層7と処
理物載置台8の間に配設されたヒータ9〜12及びヒー
タ支持筒13とにより主に構成されている。そして、ヒ
ータ9〜12は、上下方向の均熱性を得るために、上下
方向に数段に分割して配置されており、その各ヒータ9
〜12は、第1O図及び第11図に示すように、ヒータ
支持筒13に碍子14を介してピン15により懸垂状に
取付けられている。なお、ヒータ支持筒13は、支柱1
6を介して下部外M4上に固定されており、超大形のH
IP装置では直径が1m以上で高さが数mに及ぶものが
ある。17は電極、18はガス供給孔である。更に、ヒ
ータ支持筒13の内側には、処理室6内の温度を測定す
るための測温手段19〜22が各ヒータ9〜12に対応
して配置され、各ヒータ9〜12への投入電力が各測温
手段19〜22の温度信号に応じて制御し調整される。
(発明が解決しようとする課題) 従来では、ヒータ支持筒13の内側に配置した測温手段
19〜22により処理室6の温度を測温して各ヒータ9
〜12への投入電力を制御しているが、ヒータ支持筒1
3の内側よりも外側の方が高温になるため、ヒータ支持
筒13、ヒータ9〜12、断熱層7内面が予期しない温
度まで過熱されることがあった。また、このヒータ支持
筒13の内外の温度差は、昇温中と温度保持中とを比べ
ると昇温中の方が、上部と下部とを比べると熱応答性の
悪い下部の方が大きい。従って、従来では、実運転時に
ヒータ支持筒13の外側温度に第12図の如く過昇温領
域が発生し、これによってヒータ支持筒13、ヒータ9
〜12、断熱層7内面が過熱され、熱応力による変形、
自重によるクリープ変形等を引起し、寿命が著しく短か
くなる欠点があった。
本発明は、かかる従来の課題を解決することを目的とし
て提供されたものである。
(課題を解決するための手段) 本発明は、そのための第1の手段として、圧力容器5内
にヒータ支持筒13を備え、このヒータ支持筒13に上
下方向に複数個のヒータ9〜12を設け、この各ヒータ
9〜12に対応して測温手段19〜22を設け、この各
測温手段19〜22による温度を基にして各ヒータ9〜
12の投入電力を制御するようにした熱間静水圧加圧装
置の温度制御装置において、少なくとも最下部のヒータ
12に対応する測温手段22をヒータ支持筒13の外側
に、残りのヒータ9〜itに対応する測温手段19〜2
1をヒータ支持筒13の内側に夫々配置し、最下部の測
温手段22を、温度保持状態において処理物載置台8の
上面近傍の温度と略同一となる位置に配置したものであ
る。
本発明は、第2の手段として、少なくとも最下部のヒー
タ12に対応してヒータ支持筒13の内外に測温手段2
2.34を設け、内側の測温手段22をヒータ12の投
入電力制御用とすると共に、外側の測温手段34からの
温度信号によって、外側測定温度が設定温度をこえない
ような電力値に前記投入電力を抑制する電力調整器37
を設けたものである。
更に本発明は、第3の手段として、少なくとも最下部の
ヒータ12に対応してヒータ支持筒13の内外に測温手
段22.34を設け、外側の測温手段34をヒータ12
の投入電力制御用とすると共に、温度保持直後又は保持
中に投入電力制御用の温度信号を外側の測温手段34か
ら内側の測温手段22に切換えるようにしたものである
(作 用) 上記第1の手段においては、各測温手段19〜22によ
り処理室6内の温度を測温し、その温度信号によって各
ヒータ9〜12への投入電力を制御し調整する。この場
合、熱応答性の悪い下部側では測温手段22をヒータ支
持筒13の外側に配置しているため、昇温時における過
昇温領域の発生を防止できる。また、測温手段22は処
理物載置台8の上面近傍と略同一の温度となる測温位置
にあるため、温度保持状態における処理室の均熱性も良
好になる。
第2の手段では、内側の測温手段22からの温度信号に
よりヒータ12の投入電力を制御する一方、外側の測温
手段34によりヒータ支持筒13の外側の温度を測定し
、その測定温度が設定温度をこえないように電力調整器
38でヒータ12の投入電力を抑制する。従って、過昇
温領域の発生を防止できる。
第3の手段では、当初は外側の測温手段34からの温度
信号によりヒータ12の投入電力を制御し、温度保持直
後又は保持中に内側の測温手段22からの温度信号に切
換えて投入電力を制御する。従って、過昇温領域の発生
を防止できると共に、保持状態での処理室6内の均熱化
も図れる。
(実施例) 以下、図示の実施例について本発明を詳述する。
第1図は本発明の第1実施例を示し、複数個の測温手段
19〜22の内、少なくとも最下部(本実施例では最下
部のみ)の測温手段22がヒータ支持筒13の外側に配
置され、残りの測温手段19,20.21はヒータ支持
筒13の内側に配置されている。そして測温手段22の
測温位置は、処理物載置台8の上面近傍23の温度と略
同一となる位置に設定されている。
各ヒータ9〜12への投入電力は、温度プログラム設定
器24にされたプログラムに従って、各測温手段19〜
22からの温度信号を基に温度調節計25〜28、電力
制御装置29〜32により夫々独立して制御される。即
ち、予め設定しておいた温度条件に従って温度プログラ
ム設定器24が温度信号を出力し、この温度信号と各測
温手段19〜22からの温度信号とが各温度調節計25
〜28に入力する。各温度調節計25〜28では両温度
信号に基づきPID制御等によって各ヒータ9〜12に
投入すべき電力(電流又は電圧の場合もある)に関する
信号を各電力制御装置29〜32に出力する。従って、
各電力制御装置29〜32はサイリスタの位相制御等に
よって人力信号に基づき各ヒータ9〜12へ投入する電
力を制御するのである。
なお、測温手段19〜22は熱電対により構成されてい
る。
上記構成によれば、最下部の測温手段22をヒータ支持
筒13の外側に配置し、しかも処理物載置台8の上面近
傍の温度と略同一の温度の位置に配置しているので、過
昇温領域が完全になく、ヒータ9〜12、ヒータ支持筒
13、断熱層7内面の熱応力による変形、自重によるク
リープ変形等を防止でき、寿命が大幅に向上すると共に
、温度保持状態における処理室6の均熱性も良好にでき
る。
次に、これをFe−41−Cr合金製のヒータを持つ1
200°C用のHIP装置について具体的に説明する。
HIP装置の処理室6内は高圧ガス雰囲気下にあるため
、加熱されたガスはと方への流れを生じ、ヒータ9〜1
2により生じた熱は上方へ移動する傾向が強く、特にヒ
ータ支持筒13の内側下部の昇温はヒータ支持筒13の
存在によって非常に緩慢となり、昇温中の内外の温度差
は極端な場合too’cにも達する。従って、従来のよ
うに測温手段22がヒータ支持筒13の内側にあれば、
最下部のヒータ12へ過大な電力が投入される。
一方、1200°C用のHIP装置に用いられるヒータ
9〜12であるFe−Al−Cr合金の最高使用温度は
約1300°Cであるので、ヒータ9〜12近傍の雰囲
気温度を1250°C程度以下に抑える必要があるが、
内側温度が1200°C近くなったときには、外側温度
が1250”Cをこえることがある。
然るに本実施例においては、最も熱応答性の悪い最下部
の測温手段22をヒータ支持筒13の外側に配置してい
るので、第2図に示す如く過昇温領域を完全になくすこ
とができる。
また測温手段22の高さ方向の測温位置は、温度保持を
した場合において、処理物載置台8の上昇近傍の温度と
略同一となる位置としているため、温度保持における処
理室6の均熱性も良好に保たれる。
因みに、1200°C用のHI P装置に用いられる代
表的なヒータ支持筒13、断熱層7内面の材料の融点は
1300〜1400°Cであり、HIP装置の仕様であ
る1200’Cと非常に近いため、これらの材料の変形
防止に対して大いなる効果が期待できる。実際に、本実
施例をφ700m+++級の大型HIP装置に適用した
場合において、従来は50サイクルの使用でヒータ支持
筒13及び断熱層7内面に変形が生じたのに対し、10
0サイクル以上にわたって変形なしで使用することがで
きた。
ヒータ9〜12、ヒータ支持筒13、断熱層7内面の材
料は、第3図に示す如く高温で急激に強度が低下するた
め、過昇温防止はこれらの変形を防止する上で特に有効
である。
外側に設ける測温手段は、最下部から適当数(例えば2
個)であれば良い。
第4図は本発明の第2実施例を示し、ヒータ支持筒13
の内側に、各ヒータ9〜12に対応して測温手段19〜
22を設けると共に、最下部のヒータ12に対応してヒ
ータ支持筒13の外側に測温手段34を設け、内側の測
温手段19〜22の温度信号を各ヒータ9〜12への投
入電力制御用に使い、かつその投入電力を外側の測温手
段34の温度信号で設定温度をこえないような電力値に
抑制するようにしたものである。
つまり、最下部のヒータ12に投入される電力は、温度
プログラム設定器24から出力される温度信号と内側の
測温手段22により測温された内側温度信号とにより温
度調節計28から出される出力へに加えて、外側測定温
度の許容最高温度を設定する温度設定器35から出力さ
れる温度信号と外側の測温手段34により測温された温
度信号とにより別の温度調節計36から出される出力B
を用いて制御する。
即ち、2台の温度調節計28.36からの出力Aおよび
出力Bは、電力調整器37に入力され、外側測定温度が
温度設定器35で設定された温度を越えないような電力
信号を電力制御装置32に対して出力する。
通常、出力Aは投入すべき電力に対応する信号、また出
力Bは投入すべき電力に対応する信号、あるいは温度設
定器35からの出力温度と外側温度との差に対応する信
号である。電力調整器37の具体的作用は、出力Aと出
力Bが共に電力に対応する信号である場合には、両出力
の小さい方の出力を電力制御装置32に出力し、また出
力Aが電力であり、出力Bが温度差である場合には、例
えば第5図に示すような出力を電力制御装置32に出力
する。
このような制御方式を採る場合にも、第6図に示すよう
に過昇温領域をなくすことができるため、ヒータ9〜1
2、ヒータ支持筒13、断熱層7内面の過昇温等を防止
できる。
第7図は本発明の第3実施例を示し、ヒータ支持筒13
の外側に配置した測温手段34をヒータ12への投入電
力制御用として用いると共に、温度保持直後又は保持中
に、ヒータI2への投入電力の制御を外側の測温手段3
4から内側の測温手段22に切換えるようにしたもので
ある。
即ち、最下部のヒータ12への投入電力制御用の測温手
段22.34は、ヒータ支持筒13の内外側の両方に配
置されており、これらの温度信号は、まず演算4ff1
38へ(直接または熱電変換器等を通して)入力されて
演算がなされ、その演算結果(温度信号)が温度調節計
28に入力される。
演算機38でのデータ処理方法は、温度プログラム設定
器24の予め設定されていたイベント信号によって選択
される。この場合のデータ処理は、具体的には、 ■ 外側温度信号を出力する。
■ 内側温度信号を出力する。
■ 外側温度と内側温度の平均温度信号を出力する。
■ その他予めインプットしているプログラム(任意)
に従って外側温度、内 側温度に関する演算を行い、その結果 の温度信号を出力する。
等が考えられる。
第8図に実際の昇温例を示す。本例では(1)〜■の各
イベント信号に対して、次のような演算をしている。
(1)  外側温度信号を出力する。
■ 外側温度と内側温度の平均温度信号を出力する。
(2)内側温度信号を出力する。
従って、第8図の例では、昇温過程をイベン) (1)
、即ち外側温度で制御し、保持直後にイベント■を出力
して、外側・内側の平均温度で制御し、最終的に保持中
にイベントatに換えて内側温度で制御するようにして
いる。これから明らかなように、外側温度の過上昇が抑
制できると共に、保持中に内側温度がプログラムと一敗
しているため、保持室6内の均熱性が向上し適切なHI
P処理がなされる。
(発明の効果) 本発明によれば、少なくとも最下部のヒータ12に対応
する測温手段22をヒータ支持筒13の外側に、残りの
ヒータ9〜11に対応する測温手段19〜21をヒータ
支持筒13の内側に夫々配置し、最下部の測温手段22
を、温度保持状態において処理物載置台8の上面近傍の
温度と略同一となる位置に配置しているので、過昇温領
域がなく、ヒータ9〜12、ヒータ支持筒13、断熱層
7内面の熱応力による変形、自重によるクリープ変形等
を防止でき、寿命が大幅に向上すると共に、温度保持状
態における処理室6の均熱性も良好になる。
また本発明では、少なくとも最下部のヒータ12に対応
してヒータ支持筒13の内外に測温手段22,34を設
け、内側の測温手段22をヒータ12の投入電力制御用
とすると共に、外側の測温手段34からの温度信号によ
って、外側測定温度が設定温度をこえないような電力値
に前記投入電力を抑制する電力調整器37を設けている
ので、前述と同様、過昇温領域がない寿命が大幅に向上
する。
更に本発明では、少なくとも最下部のヒータ12に対応
してヒータ支持筒13の内外に測温手段22,34を設
け、外側の測温手段34をヒータ12の投入電力制御用
とすると共に、温度保持直後又は保持中に投入電力制御
用の温度信号を外側の測温手段34から内側の測温手段
22に切換えるようにしているので、過昇温領域がなく
、寿命が大幅に向上すると共に、保持状態での処理室6
の均熱性も向上する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第1実施例を示す構成図、第2図は同
温度特性図、第3図は同強度特性図、第4図は本発明の
第2実施例を示す構成図、第5図は同出力特性図、第6
図は同温度特性図、第7図は本発明の第3実施例を示す
構成図、第8図は同温度特性図、第9図は従来例を示す
断面図、第1θ図は同ヒータ支持部の断面図、第11図
は第1θ図のXt−U矢視図、第12図は従来の温度特
性図である。 5・・・圧力容器、6・・・処理室、7・・・断熱層、
8・・・処理物載置台、9.12・・・ヒータ、19〜
22.34・・・測温手段。 」1度−一

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)圧力容器(5)内にヒータ支持筒(13)を備え
    、このヒータ支持筒(13)に上下方向に複数個のヒー
    タ(9)〜(12)を設け、この各ヒータ(9)〜(1
    2)に対応して測温手段(19)〜(22)を設け、こ
    の各測温手段(19)〜(22)による温度を基にして
    各ヒータ(9)〜(12)の投入電力を制御するように
    した熱間静水圧加圧装置の温度制御装置において、少な
    くとも最下部のヒータ(12)に対応する測温手段(2
    2)をヒータ支持筒(13)の外側に、残りのヒータ(
    9)〜(11)に対応する測温手段(19)〜(21)
    をヒータ支持筒(13)の内側に夫々配置し、最下部の
    測温手段(22)を、温度保持状態において処理物載置
    台(8)の上面近傍の温度と略同一となる位置に配置し
    たことを特徴とする熱間静水圧加圧成形装置の温度制御
    装置。
  2. (2)圧力容器(5)内にヒータ支持筒(13)を備え
    、このヒータ支持筒(13)に上下方向に複数個のヒー
    タ(9)〜(12)を設け、この各ヒータ(9)〜(1
    2)に対応して測温手段(19)〜(22)を設け、こ
    の各測温手段(19)〜(22)による温度を基にして
    各ヒータ(9)〜(12)の投入電力を制御するように
    した熱間静水圧加圧装置の温度制御装置において、少な
    くとも最下部のヒータ(12)に対応してヒータ支持筒
    (13)の内外に測温手段(22)(34)を設け、内
    側の測温手段(22)をヒータ(12)の投入電力制御
    用とすると共に、外側の測温手段(34)からの温度信
    号によって、外側測定温度が設定温度をこえないような
    電力値に前記投入電力を抑制する電力調整器(37)を
    設けたことを特徴とする熱間静水圧加圧成形装置の温度
    制御装置。
  3. (3)圧力容器(5)内にヒータ支持筒(13)を備え
    、このヒータ支持筒(13)に上下方向に複数個のヒー
    タ(9)〜(12)を設け、この各ヒータ(9)〜(1
    2)に対応して測温手段(19)〜(22)を設け、こ
    の各測温手段(19)〜(22)による温度を基にして
    各ヒータ(9)〜(12)の投入電力を制御するように
    した熱間静水圧加圧装置の温度制御装置において、少な
    くとも最下部のヒータ(12)に対応してヒータ支持筒
    (13)の内外に測温手段(22)(34)を設け、外
    側の測温手段(34)をヒータ(12)の投入電力制御
    用とすると共に、温度保持直後又は保持中に投入電力制
    御用の温度信号を外側の測温手段(34)から内側の測
    温手段(22)に切換えるようにしたことを特徴とする
    熱間静水圧加圧成形装置の温度制御装置。
JP31552788A 1988-12-13 1988-12-13 熱間静水圧加圧成形装置の温度制御装置 Expired - Fee Related JPH0765857B2 (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6323120B1 (en) 1999-03-18 2001-11-27 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Method of forming a wiring film

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US6323120B1 (en) 1999-03-18 2001-11-27 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Method of forming a wiring film

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