JPH02157612A - 形状計測装置のセンサ移動方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、対象物の三次元形状を計測可能な形状計測
装置によって対象物の周辺部分の形状を自動計測する場
合に用いて好適なセンサ移動方法に関するものである。

（従来の技術） 対象物の三次元形状を計測可能な形状計測装置としては
、例えば、接触式センサを三次元空間内で移動させてそ
のセンサのプローブを対象物に接触させ、その接触位置
を、読取ることにより対象物の各計測点の位置ひいては
形状を計測する接触式三次元測定機があり、かかる測定
機により対象物の周辺部分の形状を計測する場合、従来
は、対象物の周辺部分を切るように所定範囲の計測平面
を設定し、その平面内でセンサを移動させて一定間隔の
計測点列を求め、その計測点列の相対位置から計測平面
内での対象物の断面形状を計測するという手順を、対象
物の稜線に沿って前記計測平面が少しづつ移動するよう
にセンサを移動させながら繰返すことにより、その計測
を行っていた。

（発明が解決しようとする課題） ところで、上述したセンサの移動方法にあっては、対象
物の稜線の方向の変化に伴って計測平面の向きおよび移
動方向を変化させないと、対象物の周辺部分から計測平
面が外れてしまい、計測が不可能となる。

このため従来は、あらかじめセンサの移動経路を全て三
次元測定機の制御装置に教示し、これによって計測平面
の向きおよび移動方向を稜線方向に対応させて変化させ
ていたが、かかる移動方法ではセンサの移動経路の教示
に長時間を要し、例えば生産ラインでの計測等、対象物
の数が多い場合には対応しきれないという問題があった
。

この発明は、対象物の計測を行いながら稜線の方向を検
出し、その方向に基づき計測平面の次の移動方向および
移動後の向きを決定するという手順を繰返すことにより
、上述した従来方法の問題点を有利に解決したセンサの
移動方法を提供するものである。

（課題を解決するための手段） この発明の形状計測装置のセンサ移動方法は、形状計測
装置のセンサを、そのセンサにより所定範囲の計測平面
内での稜線上の点を含む対象物の断面形状を計測しなが
ら、その対象物の稜線に沿って移動させるに際し、 先ず、対象物の稜線上の任意、の点を横切る位置に前記
計測平面を設定するとともに、その設定位置における計
測平面外であって前記稜線の近傍の任意の位置に移動方
向起点を設定する第１の工程とし、 前記設定位置を第１の計測位置として、その位置におけ
る計測平面内での稜線上の点の位置をセンサにより計測
する第２の工程と、 前記移動方向起点から第１の計測位置にて計測した稜線
上の点へ向かう方向へ、計測平面が第１の計測位置から
所定距離移動するように、センサを移動させる第３の工
程と、 その移動後の計測平面の位置を第２の計測位置として、
その位置における計測平面内での稜線上の点の位置をセ
ンサにより計測する第４の工程とを順次に行い、 その後に、第１の計測位置にて計測した稜線上の点から
第２の計測位置にて計測した稜線上の点へ向かう方向へ
、計測平面が第２の計測位置から所定距離移動し、その
移動後の計測平面がその移動方向と直交する方向へ延在
する姿勢となるように、センサを移動させる第５の工程
と、その移動後の計測平面の位置における計測平面内で
の稜線上の点の位置を計測する第６の工程とを、第２の
計測位置を第１の計測位置に置換えながら順次に繰返し
行うことを特徴とするものである。

（作　用） かかる方法にあっては、初期の第１〜第５の工程にて、
設定した計測平面と、その設定位置から、移動方向起点
とその設定計測平面内での稜線上の点とに基づく稜線の
概略接線方向へ移動した計測平面とで稜線上の二点の位
置を計測し、その後の第６および第７の繰返し工程にて
、稜線上の二点の位置に基づく概略接線方向へ計測平面
の位置がさらに移動し、かつその移動後の計測平面がそ
の移動した方向と直交する姿勢となるようにセンサを移
動させて、その移動後の計測平面内での稜線上の点の位
置を求めるという手順を繰返しなからセンサを逐次移動
させる。

従って、この発明の方法によれば、最初に第１の計測平
面の位置と移動方向起点とを設定するのみで、計測平面
が常に対象物の稜線に概略直交し、その稜線から外れな
いように、センサを自動的に移動させることができ、ひ
いては、センサの移動経路の教示を不要とし得て、対象
物の数が多い場合にも容易にその形状計測を行うことが
できる。

（実施例） 以下に、この発明の実施例を図面に基づき詳細に説明す
る。

第１図はこの発明の形状計測装置のセンサ移動方法の一
実施例に用いる非接触式三次元測定機を例示する斜視図
であり、この測定機は、基台ｌの上方に直交座標型ロボ
ット２を配設し、そのロボット２の腕３の下端の手首部
３ａに、レーザー式二次元センサ４を取付けてなる。

ここで、ロボット２は、モータ５，６．７を各々駆動す
ることにより、腕３ひいてはその手首部３ａを図中矢印
Ｘ、Ｙ、Ｚで示す方向へ三次元空間内で移動させること
ができ、また、モータ８を駆動することにより手首３ａ
を垂直軸線まわりに図中矢印θで示す如く回動させるこ
とができ、さらに、モータ９を駆動することにより手首
部３ａを水平軸線まわりに図中矢印Ｅで示す如く揺動さ
せることができる。

従って、ここにおける三次元測定機は、その基台１上に
載置された計測対象物１０に対しセンサ４を三次元空間
内の任意の位置および姿勢に移動させることができる。

また、レーザー式二次元センサ４は、第２図に示すよう
に、レーザーダイオードを内蔵するレーザー発光器１１
が出力したレーザー光束を反射鏡１２により基台１へ向
けて反射させ、その反射鏡１２をモータ１３で矢印Ｍで
示す如く角度変化させて、設定された振り角度Ｆの範囲
内でレーザー光束を振ることにより対象物１０を走査し
、その走査の間のレーザー光束の対象物ｌＯからの反射
光を反射鏡１２でビデオカメラ１４へ向けて反射させ、
ビデオカメラ１４内の一次元ＣＣＤ光センサでその反射
光の像の位置を反射鏡１２の角度変化に伴って断続的に
検出することにより、三角測量の原理に基づき、所定計
測平面すなわちレーザー光束を振った範囲の平面内での
センサ４から対象物１０上の計測点列の各計測点までの
距離を示すビデオ信号を出力することができる。

第３図は上記三次元測定機の制御系を一部機能ブロック
で示す構成図であり、図中２１は六輪制御回路、２２は
主コンピユータをそれぞれ示す。

六輪制御回路２１は、サーボコントロール用のマイクロ
コンピュータと、五個のモータ駆動回路とを内蔵してな
り、主コンピユータ２２から指示された、ロボット２０
手首部３ａひいてはセンサ４の目標位置および姿勢に基
づき、マイクロコンピュータによりロボ・ント２の各モ
ータ５〜９の作動量を演算してそれらを各モータ駆動回
路に与え、モータ駆動回路から各モータ５〜９に駆動電
流を供給させることによりロボット２を作動させ、さら
に、各モータ５〜９の実際の作動量をそれらのモータに
設けられたエンコーダからマイクロコンピュータおよび
モータ駆動回路にフィードバックすることにより、ロボ
ット２の作動を適正に制御してセンサ４を指示された目
標位置および姿勢に移動させることができる。

六輪制御回路２１はまた、主コンピユータ２２から指示
された反射鏡１２の目標角度から、マイクロコンビエー
タによりセンサ４のモータ１３の作動量を演算して、そ
れを外部のミラーモータ駆動回路２３に与え、その駆動
回路２３からモータ１３に駆動電流を供給させて反射鏡
１２の角度を変化させ、さらにモータ１３の実際の作動
量をそのモータに設けられたエンコーダからフィードバ
ックすることにより、反射鏡１２を指示された目標角度
まで移動させることができる。

また、図中２４で示すセンサインターフェースは、主コ
ンピユータ２２から出力された計測指示信号に基づき、
レーザーダイオード駆動回路２５に作動指示信号を与え
、その駆動回路２５からレーザー発光器１１に駆動電流
を供給させてレーザーダイオードを励起し、これによっ
てレーザー発光器１１が照射したレーザー光束の、対象
物１０からの反射光によリビデオオメラ１４が出力した
ビデオ信号を入力して、そのビデオ信号を、ミラーモー
タ駆動回路２３からの、反射鏡１２の角度を示す信号と
ともに高速演算処理基板２６に入力する。

高速演算処理基板２６は、これもマイクロコンピュータ
を具えてなり、機能的には、極座標−直交座標変換部２
７と、計測点列データ記録部２８とを有する。ここで、
極座標−直交座標変換部２７は、レーザー光束の一回の
走査による計測点列の多数（例えば概略２０００点）の
計測点の各々についての、反射鏡１２の角度Ｍに基づく
レーザ光束の基準位置からの振り角度と、その角度にお
けるビデオ信号から求めたセンサ４から対象物１０の計
測点までの距離とで表される極座標上での位置を、高速
で、センサ４を基準とした前記計測平面内での直交座標
に変換することができ、計測点列データ記録部２８は、
その−回の走査分の計測点列の各計測点の直交座標を全
てメモリ内に一旦記録することができる。

しかして、主コンピユータ２２は、機能的には、各軸教
示データ作成部３１と、センサ座標系−測定機座標系変
換部３２と、稜線上点検出部３３と、計測データ格納部
３４と、進行方向演算部３５と、計測指令部３６と、直
線補間演算部３７と、センサ制御部３８とを有し、これ
らを用いて、第４図に示す如き手順によりセンサ４を移
動させながら対象物１０の周辺部分の三次元形状を自動
的に計測する。

第４図中ステップ１０１では、作業者が主コンピユータ
２２に、第５図に示す如く、対象物１０の稜線付近の任
意の位置に設定した移動方向起点ａの位置ベクトルｏａ
（ｏは測定機座標系での任意の原点）を教示するととも
に、計測平面がその移動方向起点ａを含まないで対象物
１０の稜線１０ａを横切るような計測位置を、そこでの
計測平面の両端とする点すおよび点Ｃの位置ベクトルｏ
ｂ、　ｏｃにて教示し、その計測位置を第１の計測位置
とする。

ここで、上記計測位置での計測平面は、点すを通るレー
ザー光束と点Ｃを通るレーザー光束との間で延在するの
で、点すは対象物１０へ向かうレーザー光束上の任意の
点とすれば良く１、また点Ｃは対象物１０から外れるレ
ーザー光束上の任意の点とすれば良いが、好ましくは、
計測平面が確実に稜線１０ａを横切るように、レーザー
光束で対象物１０を一回走査し、それによって得た対象
物１０上の点および対象物外の点を点すおよび点Ｃにそ
れぞれ設定する。尚、上記計測位置での計測平面は、稜
線と直交する必要はない。

またステップ１０１では、主コンピユータ２２に、計測
平面の移動ピッチＰと全移動ＮＬも教示する。

次のステップ１０２では、上記第１の計測位置にセンサ
４の計測平面が位置するように、ロボット２の作動によ
ってセンサ４を移動させ、その位置における計測平面内
での対象物１０の断面形状ひいては稜線１０ａ上の点ｄ
の位置を計測する。

すなわちここでは、進行方向演算部３５が、−旦上記位
置ベクトルδ、詳、訂を受取り、ベクトルイ、Ｊにより
定まる第１の計測位置のデータを計測指令部３６に与え
、計測指令部３６が、与えられた計測位置データの位置
にセンサ４の計測平面を位置させるための指令をその計
、測位置データとともに各軸教示データ作成部３１に与
える。

各軸教示データ作成部３１は、与えられた計測位置デー
タの位置にセンサ４を位置させるための、ロボット２の
各軸のモータ作動量の教示データを、モータの作動量と
センサ４の移動量との関係を示すロボット各軸データに
基づき作成して、その教示データを太軸制御回路２１に
与える。

これにより太軸制御回路２１はロボット２を作動させて
センサ４を、その計測平面が前記第１の計測位置に位置
するように移動および姿勢変化させる。

さらにここでは、計測指令部３６が直線補間演算部３７
に計測位置を定める二点す、ｃのデータを与え、直線補
間演算部３７がその二点す、ｃ間の線分上に多数（例え
ば、概略２０００個）の点を等間隔に設定して、それら
の点の位置を計測指令部３６に与える。

計測指令部３６は、上記線分ｂｃ間の各点の位置を受取
ると、それらを順次、各軸教示データ作成部３１に与え
てレーザー光束による走査を指令し、各教示データ作成
部３１は、上記各点にレーザー光束を通すための、セン
サ４のモータ１３の作動量の教示データをセンサ軸デー
タに基づき作成して、それらの教示データを順次六輪制
御回路２１に与える。

これにより六輪制御回路２１はセンサ４のモータ１３を
断続的に作動させて反射鏡１２を角度変化させ、レーザ
ー光束を、上記点すから各点を経て点Ｃまで順次に辿り
、かつ各点を通る位置で一旦停止するように振って、計
測平面内における対象物１０の走査を行わしめる。

この一方、計測指令部３６は、センサ制御部３８に上記
計測位置での計測を指令し、この指令によりセンサ制御
部３８はセンサインクフェース２４にビデオ信号と反射
鏡角度との取込みを指示する。

この指示によりセンサインタフェース２４は、レーザー
光束の振りが上記点す、ｃおよびその間の各点で停止す
る毎にそのときの反射鏡角度とビデオ信号とを取込んで
高速演算処理基板２６に入力し、高速演算処理基板２６
はそれらの人力信号から、−回の走査の間の、点す、　
　ｃおよびそれらの間の直線上の多数の点の各々を通っ
たレーザー光束による対象物１０上の計測点列の各計測
点のセンサ座標系における座標を求め、それらの座標デ
ータを、−旦保持した後、主コンピユータ２２の稜線上
点検出部３３に与える。

稜線上点検出部３３は、上記計測点列の各計測点の座標
を与えられると、その計測点列の折曲点もしくは延長線
の仮想交点から上記第１の計測位置における計測平面内
での稜線１０ａ上の点ｄの位置を求め、そしてセンサ座
標系−測定機座標系変換部３２は、ロボット各軸データ
および、六輪制御回路２１から得た各モータの実際の作
動量に基づき、上記稜線上の点ｄを含む計測点列の各計
測点の位置を、センサ座標系から測定機座標系での位置
に変換して計測データ格納部３４に与え、計測データ格
納部３４はそれらの計測データを格納する。

かかる一連の処理により、第１の計測位置に計測平面が
位置するようにセンサ４を移動させ、その位置における
計測平面内での稜線上の点ｄの位置を求めることができ
る。

尚、ステップ１０１で対象物１０の走査によって点す、
ｃを設定した場合には、その走査を上述のステップ１０
２の如く行うことにより稜線上の点ｄの位置も求まるの
で、第１の計測位置を、その走査を行った位置とするこ
とができ、従ってステップ１０２におけるセンサ４の移
動は不要となる。

次のステップ１０３では、進行方向演算部３５が、計測
回路を示すカウンタｉをｉ＝１とし、また繰返し回数Ｎ
を、移動ピッチＰで全移動長りを割って求める（　Ｎ　
＝　１．、　／　Ｐ　）。

次のステップ１０４では、進行方向演算部３５が、以下
の演算を行って、第１の計測位置から次の計測位置であ
る第２の計測位置へ向かう移動方向おすなわち、第５図
に示す如く、先ず、最初の移と、ステップ１０２で求め
た稜線上の点ｄの位置ベクトル訂とから次式により求め
る。

ｎ＝討−； そして、上記ベクトルａｄを単位長さに直したＵＮＩＴ
（ｎ）から、ベクトルＴＥＭＰを次式により求める。

次のステップｌＯ５では、進行方向演算部３５がさらに
、以下の演算を行って、第１の計測位置と上記ベクトル
ＴＥＭＰとから第２の計測位置を求める。

すなわち、先ず、点すから上記ベクトルＴＥＭＰだけ移
動した点ｅの位置ベクトルｏｅを次式により求める。

８＝　訂　土面 次に、点すから点ｄへ向かうベクトルｂｄを次式で求め
、 ｂｄ＝　　ｏｄ　　−ｏｂ さらにそのベクトルｂｄと、点すから点ｅへ向かう、Ｔ
ＥＭＰと同じ向きおよび大きさのベクトルｂｅとに直交
するベクトルＲ３を次式により求める。

Ｒ１＝　ｈ、　Ｘ　ｌ’ＷＦ１１’ 次に、点ｅから上記ベクトルＲ２の方向へ、点す。

０間の距離と同距離だけ移動した点ｆの位置ベクトルｏ
ｆを次式により求める。

以上の手順で求めた二点ｅ、ｆを第２の計測位置の範囲
とし、その位置での計測平面の延在方向は、第１の計測
位置から第２の計測位置への移動二のようにして求めた
第２の計測位置における計測平面は、第１の計測位置で
の計測平面を、稜線１０ａの近傍の移動方向起点ａから
稜線上の点ｄへ向かう方向、すなわち、この段階では概
ね稜線１０ａの接線方向へ、移動後の計測平面がその移
動した方向と直交する方向へ延在するように移動させた
ものとなる。

従って、上記第２の計測位置における計測平面は、稜線
上の点ｇを含み、かつ稜線１０ａと概ね直交するものと
なる。

次のステップ１０６では、ステップ１０２で行った手順
と同様にして、センサ４の計測平面が上記第１の計測位
置から第２の計測位置まで移動するように、ロボット２
の作動によってセンサ４を移動させ、続くステップ１０
７では、その第２の計測位置における計測平面内での対
象物１０の断面形状、ひいては稜線１０ａ上の点ｇの位
置を計測する。

次のステップ１０８では、計測回数を示すカウンタｉを
インクリメント（歩進）する（ｉ＝ｉ＋１）。

そして次のステップ１０９では、進行方向演算部３５が
、全移動長しまで計測が終了したか否かを、計測回数ｉ
と繰返し回数Ｎとを比較して判断し、計測が終了するま
でステップ１１０以降の手順を繰返し実行する。

ステップ１１０では、進行方向演算部３５が、第１の計
測位置における計測平面内での稜線上の点ｄと、第２の
計測位置における計測平面内での稜線上の点ｇとから、
次の移動方向を示すベクトルｄｇを次式により求め、 ｄｇ　＝　ｏｇ　−ｏｄ そのベクトルｄｇから、計測平面の次の移動方向と移動
距離とを与えるベクトルＴＥＭＰを次式により求める。

次のステップ１１１では、前記ステップ１０５で求めた
第２の計測位置を第１の計測位置に置換える。

その後は、ステップ１０５以降へ戻り、元の第２の計測
位置である第１の計測位置とステップ１１０で求めたベ
クトルＴＥＭＰとから次の第２の計測位置を求め、その
第２の計測位置へ計測平面が移動するようセンサ４を移
動させて、そこでの計測により対象物の断面形状および
その稜線上の点の位置を求めるという手順を、計測回数
ｉがＮとなるまで繰返す。

尚、三回目以降の計測における計測位置は、先の二回で
計測した稜線上の二点に基づき定めるので、二回目の計
測位置よりもさらに正確に、稜線と直交するものとなる
。

かかる方法により、対象物１０の稜線１０ａに沿ってセ
ンサ４を移動させながら、対象物１０の周辺部分の三次
元形状を計測することができる。

しかも、上記方法によれば、最初に、計測平面の第１の
計測位置を位置ベクトルｏｂ、　ｏｃで設定するととも
に移動方向起点を位置ベクトルＯａで設定し、移動ピッ
チＰを指示するのみで、計測平面が常に対象物の稜線１
０ａに概略直交し、その稜線から外れないように、セン
サ４を自動的に移動させることができるので、センサの
移動経路の教示を不要とし得て生産ラインでの計測等、
対象物の数が多い場合にも容易にその形状計測を行うこ
とができる。

尚、測定機座標系とセンサ座標系との間の座標変換は、
次式の変換マトリックスΣ。→１．Σ、→２Σ２．１．
Σ１．４．Σ４．３．Σ、→、を用いることにより行う
ことができる。

ここで、Σ。は測定機座標系、Σ１はΣ。をＹ方向へ移
動させた座標系、Σ２はΣ１をＸ方向へ移動させた座標
系、Σ３はΣ２をＺ方向へ移動させた座標系、Σ４はΣ
３をθ方向へ回転させた座標系、Σ、はΣ４をＥ方向へ
回転させた座標系、Σ、はセンサ座標系を表し、ａ１〜
ａ＆＋　ｂｔ〜ｂ、、　ｃ〜Ｃ２は長さの定数、ｄ４＋
　ｄ、は角度の定数、α、β。

γ、δ、εは分解能を示す定数である。

上記の変換マトリックスをＸ、Ｙ、Ｚ、　　θ方向の移
動量あるいは位置ｘ、ｙ、ｚ、　　θを代入して用いれ
ば、センサ座標系でのデータを測定機座標系に変換する
ことができる。

また、測定機座標系での計測データを対象物の座標系に
変換するマトリックスΣ、−＋。は以下の如くして作成
することができる。

先ず、測定機座標系Σ０を仮想のキャリプレート座標系
Σ、に変換するマトリックスΣ。→Ｃを作成する。

これは、測定機座標系Σ。での任意の三点Ｐ１７＋　ｐ
ｆｆを、例えば測定機にセットした対象物上に定め、そ
れらの点の測定機座標系での位置ペクトを通るようにキ
ャリプレート座標系Σ。のｙ′軸を定め、また位置ベク
トルＯＰ３で定まる点Ｐ３を通ってｙ′軸に直交するよ
うにキャリプレート座標系Σ。の２′軸を定め、さらに
それら、ｌ　、　ｚｌ軸に直交するようにキャリプレー
ト座標系Σ、のＸ′軸を定めることにより作成する。

次いで、対象物の座標系Σ、を上記キャリプレート座標
系に変換するマトリックスΣｗｃを作成する。これは、
対象物上の既知の位置を上記点Ｐ〜Ｐ３とすることにて
作成する。

その後、２ｗ　−＋　ｏを次式により求める。

Σ８う。＝Σ８．．（Σ０−＋。）− この変換マトリックスΣｗ−１０を用いれば、測定機座
標系での計測データを、対象物の寸法、形状の把渥が容
易な対象物の座標系に変換することができる。

以上図示例に基づき説明したが、この発明は上述の例に
限定されるものでなく、例えば接触式の三次元測定機に
も適用し得て、上記と同様の効果をもたらすことができ
る。

また、前記計測平面を直線上での計測範囲に置換え、−
次元センサによる計測を行えば、対象物の平面的輪郭形
状の計測にも本発明を適用することができる。

さらに、上記方法によれば、対象物の周辺部分のみでな
（、特定断面形状の部分や孔の部分の計測をも行うこと
ができる。

（発明の効果） かくして、この発明の方法によれば、最初に第１の計測
平面の位置と移動方向起点とを設定するのみで、計測平
面が常に対象物の稜線に概略直交し、その稜線から外れ
ないように、センサを自動的に移動させることができ、
ひいては、センサの移動経路の教示を不要とし得て、生
産ラインでの計測等、対象物の数が多い場合にも容易に
その形状計測を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の形状計測装置のセンサ移動方法の一
実施例に用いる装置を例示する斜視図、第２図は第１図
のセンサの内部を示すＡ方向矢視図、 第３図は第１図に示す装置の制御系を一部機能ブロック
で示す構成図、 第４図は上記装置が実行するセンサ移動および対象物計
測の手順を示すフローチャート、第５図は上記装置が計
測位置を順次に求める状況を示す説明図である。 ２・・・直交座標型ロボット ４・・・レーザー式二次元センサ １０・・・対象物　　　　　　１０ａ・・・稜線２１・
・・６軸制御回路　　　２２・・・主コンピユータ２３
・・・ミラーモータ駆動回路 ２４・・・センサインターフェース ２５・・・レーザーダイオード駆動回路２６・・・高速
演算処理基板 特許出願人　　日産自動車株式会社 第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、形状計測装置のセンサを、そのセンサにより所定範
   囲の計測平面内での稜線上の点を含む対象物の断面形状
   を計測しながら、その対象物の稜線に沿って移動させる
   に際し、 先ず、対象物の稜線上の任意の点を横切る位置に前記計
   測平面を設定するとともに、その設定位置における計測
   平面外であって前記稜線の近傍の任意の位置に移動方向
   起点を設定する第１の工程と、 前記設定位置を第１の計測位置として、その位置におけ
   る計測平面内での稜線上の点の位置をセンサにより計測
   する第２の工程と、 前記移動方向起点から第１の計測位置にて計測した稜線
   上の点へ向かう方向へ、計測平面が第１の計測位置から
   所定距離移動するように、センサを移動させる第３の工
   程と、 その移動後の計測平面の位置を第２の計測位置として、
   その位置における計測平面内での稜線上の点の位置をセ
   ンサにより計測する第４の工程とを順次に行い、 その後に、第１の計測位置にて計測した稜線上の点から
   第２の計測位置にて計測した稜線上の点へ向かう方向へ
   、計測平面が第２の計測位置から所定距離移動し、その
   移動後の計測平面がその移動方向と直交する方向へ延在
   する姿勢となるように、センサを移動させる第５の工程
   と、 その移動後の計測平面の位置における計測平面内での稜
   線上の点の位置を計測する第６の工程とを、第２の計測
   位置を第１の計測位置に置換えながら順次に繰返し行う
   ことを特徴とする、形状計測装置のセンサ移動方法。