JPH02156441A - 情報記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の分野１ 本発明は、高エネルギー密度のレーザービームを用いて
情報の書き込みおよび／または読み取りができる情報記
録媒体の製造方法に関する。

［発明の技術的背景］ 近年において、レーザー光等の高エネルギー密度のビー
ムを用いる情報記録媒体が開発され、実用化されている
。この情報記録媒体は光ディスクと称され、ビデオ・デ
ィスク、オーディオ・ディスク、さらには大容量静止画
像ファイルおよび大容量コンピュータ用ディスク・メモ
リーとして使用されうるものである。

光ディスクは、基本構造としてプラスチック。

ガラス等からなる円盤状の透明基板と、この上に設けら
れたＢｉ、Ｓｎ、Ｉｎ、Ｔｅ等の金属または半金属から
なる記録層とを有する。なお、記録層が設けられる側の
基板表面には通常、基板の平面性の改善、記録層との接
着力の向上あるいは光ディスクの感度の向上などの点か
ら、高分子物質からなる下塗層または中間層が設けられ
ている。

光ディスクへの情報の書き込みは、たとえばレーザービ
ームをこの光ディスクに照射することにより行なわれ、
記録層の照射部分がその光を吸収して局所的に温度上昇
する結果、物理的あるいは化学的な変化を生じてその光
学的特性を変えることにより情報が記録される。光ディ
スクからの情報の読み取りもまた、レーザービームを光
ディスクに照射することなどにより行なわれ、記録層の
光学的特性の変化に応じた反射光または透過光を検出す
ることにより情報が再生される。

前述のように、情報記録媒体は種々の分野において非常
に利用価値が高いものであるが、その記録感度は少しで
も高いものであることが望まれている。また、記録され
た情報をできる限り高い精度で読み取ることができるも
のであることが望まれている。

近年、記録感度を向上させる目的であるいは読取精度を
高める目的で、二つの層からなる記録層が提案されてい
る０例えば、金属性薄層とｐｂｏ、金属弗化物またはＩ
ｎ−Ｇｅ−３系力ルコゲン化合物などからなる非金属薄
層との積層（特公昭５９−３４５１９号公報）、金属性
薄層と種々な記録材料の組合わせからなる金属または非
金属薄層との積層（特開昭５８−７１８３４号公報）が
知られている。そして上記下層である金属性薄層は主に
単一金属からなるもので、複数の金属を用いる場合は合
金の薄層である。また、本出願人も、上記二層からなる
形態に近い記録層として、金属と金属化合物の層、およ
びその下に融点と融点より３００℃高い温度の範囲内に
おいて６００　ｄ！ｎ／　Ｃｍ以上の表面張力を有する
金属が斑点状等にて存在することを基本構成とする情報
記録媒体を出願している（特開昭６１−２７２１９１号
公報、特開昭６２−２２６４４０号公報、特開昭６２−
２２６４４１号公報等）。

しかしながら、このような情報記録媒体をインライン方
式で大量生産を行なった場合、情報記録媒体の全てが、
その記録感度やジッターなどの特性において優れたもの
であるとは言えなかった。

すなわち、蒸着などの一系統の全動作を一定サイクルで
連続的に作動させて製造を行なう上記インライン方式で
は、製造開始時から製造終了蒔までの製造条件が常に一
定であるとは言えず、このため上記のような特性の良好
な光ディスクを充分に高い収率では得られないとの問題
があった。

［発明の目的］ 本発明は、インライン方式による大量生産に適した情報
記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。

また本発明は、記録感度の高く、ジッターの小さい情報
記録媒体を高い収率で得ることができる製造方法を提供
することを目的とする。

［発明の要旨］ 本発明は、基板上に、融点と融点より３００℃高い温度
の範囲内において６００　　ｄｙｎ／　Ｃｍ以上の表面
張力を有する金属を、インライン方式にて、該蒸着量を
上記基板の温度上昇に応じて増加させながら蒸着もしく
はスパッタリングすることにより中間層を形成し、次い
で該中間層上に低融点金属と、金属硫化物、金属弗化物
および金属酸化物からなる群より選ばれる少なくとも一
種の金属化合物とからなる記録層を形成することからな
る情報記録媒体の製造方法にある。

尚１本発明の中間層は、記録層の役割を担っており、情
報を記録した場合に形成されたピットは記録層だけでな
く中間層にまで形成されている。

また、本発明のインライン方式による蒸着またはスパッ
タリングとは、蒸着またはスパッタリングの一回の全動
作を一定サイクルで、連続的に行なうことをいう。

上記本発明の情報記録媒体の製造方法の好ましい態様は
下記の通りである。

ｌ）該６００　ｄｙｎ／ａｍ以上の表面張力を有する金
属が、Ａｇ、Ａｎ、Ｃｄ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ａｕ、Ｍｎ、Ｐ
ｄ、ＰｂおよびＺｎからなる群より選ばれる少なくとも
一種の金属であることを特徴とする上記情報記録媒体の
製造方法。

２）該６００　ｄｙｎ／　ａｍ以上の表面張力を有する
金属が、Ａｕであることを特徴とする上記情報記録媒体
の製造方法。

３）上記中間層の層厚が、５０〜３００Ｘの範囲内にあ
ることを特徴とする上記情報記録媒体の製造方法。

４）上記低融点金属が、Ｉ　ｎ、Ｔｅ、Ｓｎ。

ＰｂおよびＢｉから選ばれる少なくとも一種の金属であ
ることを特徴とする上記情報記録媒体の製造方法。

５）上記記録層が、ＩｎおよびＧｅＳの混合物からなる
ことを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の情報記録
媒体の製造方法。

６）上記記録層の層厚が、３００〜１０００又の範囲内
にあることを特徴とする上記情報記録媒体の製造方法。

［発明の効果］ 本発明者等は、記録特性の優れた上記特定の構成を有す
る情報記録媒体において、特に中間層形成時のインライ
ンＩｔ（インライン方式による蒸着機またはスパッタリ
ング機）内の温度上昇に伴う基板温度の上昇により、得
られる情報記録媒体の特性が大きく異なることを見出だ
した。

これを解決する方法として、本発明者等は、本発明の上
記６Ｑ　Ｑ　ｄｙｆｌ／　ｃｍ以上の表面張力を有する
金属を蒸着もしくはスパッタリングする際に、該蒸着量
を上記基板の温度上昇に応じて増加させる製造方法によ
り、インライン機での製造の初めから最後上、常に優れ
た特性（記録感度の高く、ジッターの小さい）を有する
情報記録媒体を得ることができることを明らかにした。

すなわち、上記金属をインライン機内が低温の状態で蒸
着を行なった場合、蒸着源より蒸発した金属がターゲッ
トである基板に付着しても、該基板の温度も低いため該
金属の結晶化が阻害され、充分大きな結晶粒子とはなら
ない、また粒子間が明確でなく、繋がった部分と離れた
部分がある。

この中間層上に記録層を設けた場合、記鵞感度は比較的
高く且つジッターも低く、記録特性は良好である。しか
しながら１時間の経過と共にインライン機内の温度が上
昇すると、該基板の温度も上昇して該金属の結晶化が促
進され、大きな結晶粒子に成長し、また粒子間が明確と
なる。このような中間層に記録層を設けて、ピット記録
した場合、金属が粒子として蒸発し易くなり、ピットは
形成し易くなる、すなわち記録感度は向上するが、ピッ
トが大きく成り易く、且つピットの形が揃わないためジ
ッターが大きくなり好ましくない。

このように基板温度が上昇した場合、本発明の方法のよ
うに該金属の蒸着量を増加させることによってジッター
の増大を抑えることが可能である。すなわち２基板の温
度が上昇すると該金属の結晶化が促進されるが、その際
金属の蒸着量を増加させることによりその結晶化が阻害
されるためである。その理由は、明確ではないが、蒸着
量の増加が基板に生じた結晶の間を埋めるｆＩＡきをす
るか、あるいは基板に付着した金属の温度上昇を防止す
る機能を有していると推測される。従って、本発明のイ
ンライン機の製造方法により、製造の初期から終了時ま
でに得られる中間層の全てが。

結晶の成長が充分でなく、結晶間が不明確なものとなる
。これにより該金属の中間層を設けることによる記録感
度の上昇と、上記良好なピットを形成することによるジ
ッターを小さくできるという両方の効果を、°インライ
ン機で製造された全ての情報記録媒体が得ることができ
る。

［発明の詳細な記述］ 本発明は、高エネルギー密度のレーザービームを用いて
情報の書き込みおよび／または読み取りができる記録層
を有する情報記録媒体を、大量生産するためにインライ
ン機（インライン方式による蒸着機またはスパッタリン
グ機）で製造した場合に発生する問題点を解消したもの
である。

すなわち、情報記録媒体の記録層を、基板上に金属等を
蒸着もしくはスパッタリングすることにより設ける工程
をインライン機で行なった場合、蒸着等が連続して行な
われることから、最初の基板に金属が蒸着される条件と
、その途中あるいは最後とでは異なってくる。それは、
蒸着等を行なう際の雰囲気、例えば温度、圧力、ガス成
分に差異が有るためと考えられる０本発明者等の検討に
よれば、上記蒸着条件のうち、形成された金属記録層の
状態に大きな影響を与える因子として、温度が重要であ
ることが明らかとなった。そして、特に感度向上に効果
のある金属の中間層と、その上の金属等からなる記録層
との二層からなる記録層を設けた際、その影響が顕著で
あることが分かった。

本発明者等がさらに検討した結果、上記感度向上に効果
のある金属として、融点と融点より３００℃高い温度の
範囲内において６００　　ｄｙｎ／　ｃｍ以上の表面張
力を有する金属を用いて、これを蒸着もしくはスパッタ
リングすることにより中間層を形成し、次いで該中間層
上に低融点金属と、金属硫化物、金属弗化物および金属
酸化物からなる群より選ばれる少なくとも一種の金属化
合物とからなる記録層を形成する場合に、特に中間層形
成時のインライン機内の温度上昇に伴う基板温度の上昇
により、得られる情報記録媒体の特性が大きく異なるこ
とを見出した。そして、これを解決するため鋭意検討を
重ねたところ、上記６００ｄｙｎ／ｃｍ以上の表面張力
を有する金属を蒸着もしくはスパッタリングする際に、
該蒸着量を上記基板の温度上昇に応じて増加させること
により、インライン機での製造の初めから最後迄、常に
優れた特性（記録感度の高く、ジッターの小さい）を有
する情報記録媒体を得ることができることが判明した。

本発明者らの検討によると、中間層を形成するための上
記６００　ｄ７ｎ／　ｃｍ以上の表面張力を有する金属
を蒸着もしくはスパッタリングするために、本発明のよ
うにインライン機で行なった場合、製造の初めの段階で
は、インライン機内は比較的低温であり、時間と共に機
内温度が上昇する傾向があり、従ってそれに応じて基板
の温度も低温から高温に変化する。このようなインライ
ン機で、金属の蒸着等を製造の開始時から終了時までそ
の条件を変えないで行なった場合は１機内が低温の時は
、得られる情報記録媒体の記録感度は低くなるがジッタ
ーの方は小さく良好であり、高温の時は記録感度は高い
が、ジッターが大きくなる傾向を示す。

本発明者等は、このような状況下において、常に良好な
特性の情報記録媒体を製造できる方法について鋭意検討
を重ねたところ、上記６００ｄｙｎ／ｃ鳳以上の表面張
力を有する金属をインライン機で蒸着もしくはスパッタ
リングする際に、該蒸着量を上記基板の温度上昇に応じ
て増加させることによって達成されることが明らかとな
った。

好ましくは、温度上昇に応じて増加または温度低下に応
じて減少させながら蒸着等を行なうことである。一般的
には、インライン機内は製造の初めの段階では比較的低
温であり、時間と共に蒸着源を加熱する影響で機内温度
が上昇し、そして種々の外部環境や内部条件にも依るが
、いずれはほぼ一定の温度で安定する傾向を示す、従っ
て、この場合に、製造を開始してから徐々に上記金属の
蒸着量を増加するようにする。

上記金属をインライン機内が低温の状態で蒸着を行なっ
た場合、蒸着源より蒸発した金属がターゲットである基
板に付着しても、該基板の温度も低いため該金属の結晶
化が阻害され、充分大きな結晶粒子とはならない、また
粒子間が明確でなく、繋がった部分と離れた部分がある
。この中間層上に記録層を設けた場合、記録感度は比較
的高く且つジッターも低く、記録特性は良好である。

しかしながら、時間の経過と共にインライン機内の温度
が上昇すると、該基板の温度も上昇して該金属の結晶化
が促進され、大きな結晶粒子に成長し、また粒子間が明
確となる。このような中間層に記録層を設けて、ビット
記録した場合、金属が粒子として蒸発し易くなり、ピッ
トは形成し易くなるが、すなわち記録感度は向上するが
、ビットが大きく成り易く、且つピー２トの形が揃わな
いためジッターが大きくなり好ましくない。

このように基板温度が上昇した場合１本発明の方法のよ
うに該金属の蒸着量を増加させることによってジッター
の増大を抑えることが可能である。すなわち、基板の温
度が上昇すると該金属の結晶化が促進されるが、その際
金属の蒸着量を増加させるこよによりその結晶化が阻害
されることが明らかとなった。その理由は、明確ではな
いが、蒸着量の増加が基板に生じた結晶の間を埋める働
きをするか、あるいは基板に付着した金属の温度上昇を
防止する機能を有していると推測される、従って、本発
明の方法により得られる中間層は結晶の成長が充分でな
く、結晶間が不明確であり、これにより該金属の中間層
を設けることによる記録感度の上昇と、上記良好なピッ
トを形成することによるジッターを小さくできるという
両方の効果を得ることができる。また、インライン機内
の温度上昇後、時間の経過と共に機内温度が低下した場
合でも特に蒸着量を減少させる必要はない、すなわち、
結晶化はむしろ阻害される傾向があり、感度低下もほと
んど起こらないためであるが、結晶化が極端に抑えられ
た場合には感度低下が起こる時もあり、機内温度（基板
温度）の低下と共に蒸着量を減少させた方が好ましい。

上記金属蒸着量の増加の程度は、中間層に用いる金属、
基板の種類や厚さ、中間層と基板との間に設ける下塗層
の種類や厚さ、インライン機の規模、等によって異なる
０例えば、次のように行なわれる。基板にポリカーボネ
ート（厚さ＝１．２ｍｍ）上に、塩素化ポリオレフィン
層（１００〜１０００又）を設け、この上にＡｕの中間
層を設ける場合、蒸着開始詩には１５〜２５　ｇ　ｇ　
／　ｃ　ｒｎ’の範囲の蒸着量にて蒸着を行ない、徐々
にその量を増やしながら１５〜２５　ｇ　ｇ　／　ｃ　
ｒｎ’の範囲の蒸着量まで増加させる。中間層上にはＩ
ｎ（１０〜２０μｇ／ｃｒｎ’）およびＧｅＳ　（５〜
１５ｇｇ／ｃｒｎ′）が共蒸着され、記録層が形成され
る。

本発明の情報記録媒体の装造方法は、たとえば以下のよ
うに行なわれる。

本発明において使用する基板は、従来の情報記録媒体の
基板として用いられている各種の材料から任意に選択す
ることができる。基板の光学的特性、平面性、加工性、
取扱い性、経時安定性および製造コストなどの点から、
基板材料の例としてはソーダ石灰ガラス等のガラス；セ
ルキャストポリメチルメタクリレート、射出成形ポリメ
チルメタクリレート等のアクリル樹脂；ポリ塩化ビニル
、塩化ビニル共重合体等の塩化ビニル系樹脂；エポキシ
樹脂；およびポリカーボネートを挙げることができる。

これらのうちで寸度安定性、透明性および平面性などの
点から、好ましいものはポリメチルメタクリレート、ポ
リカーボネート、エポキシ樹脂およびガラスである。

記録層が設けられる側の基板表面には、平面性の改善、
接着力の向上および記録層の変質の防止の目的で、下塗
層が設けられていてもよい、下塗層の材料としては、た
とえば、ポリメチルメタクリレート、アクリル酸・メタ
クリル酸共重合体。

ニトロセルロース、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポ
リカーボネート等の高分子物質；シランカップリング剤
などの有機物質；および無機酸化物（Ｓｉ０２、Ａ文２
０３等）、無機弗化物（ＭｇＦ２）などの無機物質を挙
げることができる。

基板材料がガラスの場合、基板から遊離するアルカリ金
属イオンおよびアルカリ土類金属イオンによる記録層へ
の悪影響を防止するためには、スチレン・無水マレイン
酸共重合体などの親木性基および／または無水マレイン
酸基を有するポリマーからなる下塗層が設けられている
のが望ましい。

下塗層は、たとえば上記物質を適当な溶剤に溶解または
分散したのち、この塗布液をスピンコード、デイツプコ
ート、エクストルージョンコートなどの塗布法により基
板表面に塗布することにより形成することができる。

あるいは、基板（または下塗層）上には、トラッキング
用溝またはアドレス信号等の情報を表わす凹凸の形成の
目的で、プレグルーブ層またはプレピット層が設けられ
てもよい、プレグルーブ層等の材料としては、アクリル
酸のモノエステル、ジエステル、トリエステルおよびテ
トラエステルのうちの少なくとも一種の七ツマ−（また
はオリゴマー）と光重合開始剤との混合物を用いること
ができる。

プレグルーブ層の形成は、まず精密に作られた母型（ス
タンバ−）上に上記のアクリル酸エステルおよび重合開
始剤からなる混合液を塗布し、さらにこの塗布液層上に
基板を載せたのち、基板または母型を介して紫外線の照
射により液層を硬化させて基板と液相とを固着させる０
次いで、基板を母型から剥離することにより、プレグル
ーブ層の設けられた基板が得られる。プレグルーブ層等
の層厚は、一般に０．０５〜１１００ｐの範囲内であり
、好ましくは０．１〜５０ｐｍの範囲内である。また、
基板材料がプラスチックの場合、射出成形あるいは押出
成形等により直接基板上にプレグルーブまたはプレピッ
トを設けてもよい。

次に、基板（または下塗層もしくはプレグルーブ層）上
、もしくは基板に直接プレグルーブ等が設けられた場合
は該プレグルーブ等の上には、記録感度を高めると共に
読取誤差を低減させるために塩素化ポリオレフィン層ま
たは弗素樹脂層が設けられることが好ましい、塩素化ポ
リオレフィン層は、一般に溶剤に溶解させてスピンコー
ド等を用いて塗布により設けられる。弗素樹脂層は、般
に蒸着やスパッリング等により設けられる。

次に、基板（または下塗層、プレグルーブ層、もしくは
塩素化ポリオレフィン層または弗素樹脂層）上、もしく
は基板に直接プレグルーブ等が設けられた場合は該プレ
グルーブ等の上には、上記中間層が設けられる。

上記融点と融点より３００℃高い温度の範囲内において
６００　ｄ２ｎ／　ｃ■以上の表面張力を有する金属と
しては、Ａｇ、Ａｎ、Ｃｄ、Ｃｏ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ｇａ、
Ｍｏ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｖ、Ａｕ。

Ｂｅ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｎｂ、Ｐｔ、Ｐｄ。

Ｒｈ、Ｐｂ、ＴｉおよびＺｎを挙げることができる。好
ましくは、Ａｇ、Ａｎ、Ｃｄ、Ｃｕ、Ｇｅ、Ａｕ、Ｍｎ
、Ｐｄ、ＰｂおよびＺｎであり、さらに好ましくはＡｎ
、ＡｕおよびＺｎである。そして最も好ましくはＡｕで
ある。上記中間層の層厚は、５０〜３００大の範囲内が
好ましい。

本発明の中間層は、感度の向上に加えて情報記録媒体の
製造時において、上記中間層の層厚を変えることにより
基板の反射率を任意に調節することができるので、読み
取りの際にレーザー光の反射率を調節するのも容易とな
る。

上記中間層は、上記材料を蒸着、スパッタリング、イオ
ンブレーティングなどの方法により基板上に形成される
。蒸着条件としては、真空度はｌＸｌ０−３〜ｌ　Ｘ　
１０−６Ｔｏｒｒの範囲が好ましく、特に好ましくはＩ
　Ｘ　１０−４〜Ｉ　Ｘ　１０−’Ｔｏｒｒの範囲であ
る。さらに蒸着速度は０．１−１０又／秒の範囲が好ま
しい、そして蒸着量の増減は主に蒸着速度により調整さ
れる。

上記中間層上に設けられる記録層の材料としては、Ｉ　
ｎ、Ｔｅ、Ｓ　ｎ、Ｐｂ、Ｂ　ｉなどの低融点金属を挙
げることができる。

そして、上記金属と組み合わせて用いられる記Ｑ層の材
料として、ＣｒＳ、Ｃｒ２５．Ｃｒ２５１、Ｍ　ｏ　Ｓ
　２、ＭｎＳ、ＦｅＳ、ＦｅＳ２、Ｃｏｄ、Ｃｏ２５３
．ＮｉＳ、Ｎ１２Ｓ、ＰｂＳ、Ｃｕ２Ｓ、Ａｇ２Ｓ、Ｚ
ｎＳ、Ｉｎ２Ｓ３、Ｉｎ２５２、Ｇｅ５１　（０，５＜
Ｘ≦２．０）、ＳｎＳ、５ｎＳ２、Ａｓ２５．．５ｂ２
ｓ、およびＢｉ２５２などの金属硫化物；ＭｇＦ、、Ｃ
ａＦ２およびＲｈＦ、などの金属弗化物およびＭ２Ｏ３
、Ｉｎ２Ｏ、Ｉｎ２Ｏ３、Ｇ　ｅ　ＯおよびＰｂＯなど
の金属・酸化物を挙げることができる。好ましくは、低
融点金属と金ｍ硫化物、金属弗化物および金属酸化物の
うちの少なくとも一種の金属化合物との混合物である。

特に好ましくは、記録層材料がＩｎおよびＧｅＳからな
る組合せの場合である。

記録層中における低融点金属の含有量は一般に２０〜９
９重量％、好ましくは５０〜８０重量％の範囲内である
。また、金属硫化物、金属弗化物および金属酸化物など
の金属化合物の含有量は一般に１〜８０重量％、好まし
くは２０〜５０重量％の範囲内である。

記録層は、上記材料を蒸着、スパッタリング、イオンブ
レーティングなどの方法により基板上に形成される。

記録層は単層または重層でもよいが、その層厚は光情報
記録に要求される光学濃度の点から一般に３００〜１５
００大の範囲で、好ましくは３００〜１０００スの範囲
である。

なお、基板の記録層が設けられる側とは反対側の表面に
は耐傷性、防湿性などを高めるために、たとえば二酸化
ケイ素、酸化スズ、弗化マグネシウムなどの無機物質；
熱可便性樹脂、光硬化型樹脂などの高分子物質からなる
薄膜が真空蒸着、スパッタリングまたは塗布等の方法に
より設けられていてもよい。

このようにして基板および記録層がこの順序で桔層され
た基本構成からなる情報記録媒体を製造することができ
る。

なお、貼り合わせタイプの記録媒体においては、上記構
成を有する二枚の基板を接着剤等を用いて接合すること
により製造することができる。

また、エアーサンドイッチタイプの記録媒体においては
、二枚の円盤状基板のうちの少なくとも一方が上記構成
を有する基板を、リング状の外側スペーサと内側スペー
サとを介して接合することにより製造することができる
。

次に本発明の実施例および比較例を記載する。

［実施例１１ 円盤状ポリカーボネート基板（外径：１３０ｍｍ、内径
：１５ｍｍ、厚さ：　ｌ　、２ｍｍ）２５枚についてそ
の面上に、Ａｕをインライン機にて蒸着を行なった。蒸
着開始時（１枚目）の条件が、基板温度３４℃、蒸着速
度１１７秒、真空度１０＝Ｔｏｒｒにて蒸着量２　ＯＪ
Ａ　ｇ　／　ｃ　ｍ’まで蒸着を行ない、そして蒸着量
を徐々に増加させながら２４枚の基板に蒸着を行ない、
蒸着終了時（２５枚目）の条件が、基板温度３８℃、蒸
着速度１１７秒、真空度１０−’Ｔｏｒｒで蒸着量が２
２　ＪＬ　ｇ　／　ｃ　ｍ″あった。

中間層上に、更にＩｎおよびＧｅＳを上記と同条件下に
て共蒸着して、ＩｎおよびＧｅＳからなる記録層を６０
０又の層厚で形成した。この時、ＩｎおよびＧｅＳの記
録層における割合は重量比で６６．７：３３．３であっ
た。

このようにして、順に基板、中間層および記録層からな
る情報記録媒体を２５枚製造した。

［比較例１］ 実施例１において、中間層の形成を蒸着量２０ｇ　ｇ　
／　ｃ　ｍ″の一定で行なった以外は実施例１と同様に
して情報記録媒体を製造した。

［情報記録媒体の評価］ （１）感度試験 得られたそれぞれの情報記録媒体について、半導体レー
ザーを用いて１．３ｍ／秒の線速度、変調周波数２．５
ＭＨｚにて二値情報の記録を行ない、キャリアーとノイ
ズの出力レベルの比（Ｃ／Ｎ）が最大となるレーザー出
力を測定した。

（２）ジッター 情報が記録された情報記録媒体について、市販のＣＯプ
レーヤー（ＹＡＭＡＨＡ■製）で再生した。再生信号を
二値化した信号の立ち上がりから立ち下がりまでの時間
、および立ち下がりから立ち上がりまでの時間を信号長
毎に多数回測定し、その標準偏差を求めた。

得られた結果を第１表に示す。

第１表 感度　　ジッター　　感度　　ジッター（ｍＷ）　　　
（ｎ　ｓ）　　　（ｍＷ）　　　（ｎ　ｓ）実施例１１
２　　２３　　　　１２　　２３比較例１１２　　２３
　　　　１１　　２８第１表に示された結果から明らか
なように。

本発明のインライン機による製造方法により得られた２
５枚の情報記録媒体（実施例１）は、記録感度およびジ
ッターが２５枚共優れたもので、製造の初期あるいは最
期による特性値の変動が殆どない。

一方、Ａｕの蒸着量を一定で行なった比較例１では、製
造の最期では感度がわずかに向上するものの、ジッター
が高くなりすぎて、製造の初期と最期とで特性の変動が
大きすぎる。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、基板上に、融点と融点より３００℃高い温度の範囲
   内において６００ｄｙｎ／ｃｍ以上の表面張力を有する
   金属を、インライン方式にて、該蒸着量を上記基板の温
   度上昇に応じて増加させながら蒸着もしくはスパッタリ
   ングすることにより中間層を形成し、次いで該中間層上
   に低融点金属と、金属硫化物、金属弗化物および金属酸
   化物からなる群より選ばれる少なくとも一種の金属化合
   物とからなる記録層を形成することからなる情報記録媒
   体の製造方法。