JPH02153594A - Manufacture of multilayer printed wiring board - Google Patents

Manufacture of multilayer printed wiring board

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JPH02153594A
JPH02153594A JP30851388A JP30851388A JPH02153594A JP H02153594 A JPH02153594 A JP H02153594A JP 30851388 A JP30851388 A JP 30851388A JP 30851388 A JP30851388 A JP 30851388A JP H02153594 A JPH02153594 A JP H02153594A
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JP
Japan
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board
hole
metal layer
exposed
layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP30851388A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshiyasu Nishikawa
西川 嘉保
Toshio Nishiwaki
西脇 俊雄
Kunio Setsuda
説田 国男
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ibiden Co Ltd
Original Assignee
Ibiden Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH02153594A publication Critical patent/JPH02153594A/en
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PURPOSE:To form a non-penetrating-hole of proper depth without being influ enced by the thickness of a board and to plate the inside of the blind via hole and an outer base at the same time by a method wherein a hole boring process by a drill is not performed in a blind via hole forming process. CONSTITUTION:A glass epoxy double-sided copper clad laminar board is patterned, and a metal layer is laminated thereon through the intermediary of glass epoxy prepreg, which is hot-pressed and patterned to form a four- layered film which serves as an inner board 1. Adhesive layers 2 are transferred onto both the sides of the inner board 1 through a roll coater, and then a metal layer 3 is hot pressure-bonded to both the sides of the board 1 to obtain a multilayer board 4. Then, a part of the metal layer 3 at a specified position is removed in a circle of a specified diameter through etching to expose the adhesive layer 2, and furthermore an inner pattern 6 inside the adhesive layer 2 exposed by etching is exposed. Thereafter, a through-hole 8 is board by a drill to serve as a through-hole, plating is performed to connect the exposed pattern 6 and the metal layer 3, and a blind via hole 7 and an outer pattern 10 of the board 4 are formed.

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、各種電子機器の電子部品を実装するために使
用される多層プリント配線板に関し、特に非貫通孔(以
下、ブラインド・バイアホールと称す)を有する多層プ
リント配線板に関するものである。
Detailed Description of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention relates to a multilayer printed wiring board used for mounting electronic components of various electronic devices, and particularly relates to a multilayer printed wiring board that is used to mount electronic components of various electronic devices. The present invention relates to a multilayer printed wiring board having a multilayer printed wiring board.

(従来の技術) 従来のプリント配線板は、部品挿入用の孔やバイアホー
ルを貫通させて、めっき等によつて孔内壁に導体層を形
成するのが−・般的であるつしかし、近年、電子機器の
性能上及び経済上のニーズから実装の高密度化が進んで
おり、プリント配線板においてもより一層高密度化への
要求が高まってきている。
(Prior art) In conventional printed wiring boards, it is common to pass through holes or via holes for inserting components and form a conductor layer on the inner wall of the hole by plating, etc. However, in recent years, Due to the performance and economical needs of electronic devices, the density of packaging is increasing, and the demand for higher density printed wiring boards is also increasing.

ところが、バイアホールを貫通孔で設ける従来の多層プ
リント配線板にあっては、このバイアホールによって、
高密度化のための配線密度が著しく阻害されるという問
題が生じるばかりでなく、さらに高多層化を招来して、
アスペクト比(外層基材の厚さと当該外層基材に穴明け
する穴径の比)が増加し、スルーホールの信頼性ならび
経済性も必ずしも満足するものではなかった。
However, in conventional multilayer printed wiring boards in which via holes are provided as through holes,
This not only causes the problem of significantly hindering the wiring density for higher density, but also leads to higher multilayering.
The aspect ratio (the ratio of the thickness of the outer layer base material to the diameter of the hole drilled in the outer layer base material) increases, and the reliability and economic efficiency of the through hole are not necessarily satisfactory.

これに対して9.ブラインド・バイアホールによって配
線密度を向上させる設計が提案されており、このブライ
ンド・バイアホールの製造上から考慮すると、次の2つ
の試みがなされている。
On the other hand, 9. A design for improving wiring density using blind via holes has been proposed, and from the viewpoint of manufacturing the blind via holes, the following two attempts have been made.

即ち、その第1の試みは、ドリルによってブラインド・
バイアホールを形成する方法であり、この方法は、目的
の暦数の多層基板を形成後、ドリルによって必要なブラ
インド・バイアホールを形成するものである。この場合
、多層基板の厚み方向に対してドリルの深さを制御する
必要があるが、多層基板の製造時にはロット間の板の厚
みの変動は避けられず、ブラインド・バイアホールの底
部と次の層の導体回路との距離が変動し、電気的特性の
変動が大きくなるという欠点がある。また、片面づつ穴
明けし、さらに貫通孔を穴明けせざるを得ないという制
約があり、量産するには不向きであった。
That is, the first attempt was to conduct a blind drill using a drill.
This is a method of forming via holes, and after forming a multilayer board of the desired number, a necessary blind via hole is formed using a drill. In this case, it is necessary to control the depth of the drill in the thickness direction of the multilayer board, but when manufacturing multilayer boards, variations in board thickness between lots are unavoidable, and the bottom of the blind via hole and the next The disadvantage is that the distance between the layer and the conductor circuit varies, resulting in large variations in electrical characteristics. In addition, there was a restriction that holes had to be drilled on one side at a time and through-holes had to be drilled, making it unsuitable for mass production.

第2の試みは、あらかじめバイアホールを設けたプリン
ト配線板を、プリプレグを介してaFRする方法である
。この方法は、最外層にバイアホールを設けたプリント
配線板を使用するため、最外層の銅めっき厚みが厚くな
って、ファインパターンには不適当であり、また、経済
的にもニーズを満足するものではなかった。
The second attempt is to perform aFR on a printed wiring board with via holes provided in advance via prepreg. Since this method uses a printed wiring board with via holes in the outermost layer, the thickness of the copper plating on the outermost layer becomes thick, making it unsuitable for fine patterns.It also does not meet economic needs. It wasn't something.

(発明が解決しようとする課題) 以りに述べたように、本発明が解決しようとする課題は
、従来の多層プリント配線板の配線密度の低下及び製造
コストのJ:、!lIである。
(Problems to be Solved by the Invention) As described above, the problems to be solved by the present invention are the reduction in wiring density and manufacturing cost of conventional multilayer printed wiring boards. It is lI.

而して、本発明の目的とするところは、ブラインド・バ
イアホールを有する多層プリント配線板を容易に量産で
きる製造方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a manufacturing method that allows easy mass production of multilayer printed wiring boards having blind via holes.

(課題を解決するための手段) 以J−の課題を解決するために本発明が採った手段は、 あらかじめパターニング、もしくは、積層およびパター
ニングされた内層基板上に、接着層を介した金属層を形
成し、 所望の位置の金属層を除去し、接着層を露出させ1次、
いて、露出した接着層を除去し、所望の内層パターンを
露出させた後、 少なくとも化学鋼めっきを施して、露光した内層パター
ンと前記金属層とを電気的に接続し1次いで外層パター
ンを形成することにより、ブラインドバイアホールを有
する多層プリント配線板を形成することである。
(Means for Solving the Problems) The means taken by the present invention to solve the problems described below are as follows: A metal layer is formed via an adhesive layer on an inner layer substrate that has been patterned or laminated and patterned in advance. The metal layer at the desired position is removed, the adhesive layer is exposed, and the first step is performed.
After removing the exposed adhesive layer and exposing the desired inner layer pattern, at least chemical steel plating is applied to electrically connect the exposed inner layer pattern and the metal layer to form an outer layer pattern. By forming a multilayer printed wiring board with blind via holes.

次に1本発明の多層゛プリント配線板の製造方法の一例
について図面に基づいてさらに詳細に説明する。
Next, an example of the method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to the present invention will be described in more detail with reference to the drawings.

まず、(a)従来より一般的に行なわれている方法で内
層基板(1)を形成する。このとき、内層基板(1)に
は内層パターン(6)を形成しておく。
First, (a) an inner layer substrate (1) is formed by a conventionally commonly used method. At this time, an inner layer pattern (6) is formed on the inner layer substrate (1).

次に、(b)この内層基板(1)上に接着層(2)を介
して銅箔等の金属層(3)を加熱圧着することにより所
望の多層基板(4)を形成し、(c)この多層基板(4
)のブラインドバイアホール(7)を形成すべき位置の
金fi1m(31を除去するのである。すなわち、この
(C)工程では1次工程で除去すべき接着層(2)を露
出させるのであるにの所定位置の金属層(3)を除去し
た状態の多層基板(4)を示したのが第1図の部分拡大
断面図である。
Next, (b) a desired multilayer substrate (4) is formed by hot-pressing a metal layer (3) such as copper foil on this inner layer substrate (1) via an adhesive layer (2), and (c ) This multilayer board (4
) is removed at the position where the blind via hole (7) is to be formed.In other words, in this step (C), the adhesive layer (2) to be removed in the first step is exposed. The partially enlarged sectional view of FIG. 1 shows the multilayer substrate (4) with the metal layer (3) removed at a predetermined position.

第2図は、上記の(c)工程で露出させた接着層(2)
を除去して、内層パターン(6)を露出させた(′d)
工程を示す部分拡大断面図である。この(d)工程では
、ブラインドバイアホール(7)となる穴(5)を設け
ることにより、金属層(3)と電気的に接続する内層パ
ターン(6)を露出させるのである。
Figure 2 shows the adhesive layer (2) exposed in step (c) above.
was removed to expose the inner layer pattern (6) ('d)
It is a partially enlarged sectional view showing a process. In this step (d), the inner layer pattern (6) electrically connected to the metal layer (3) is exposed by providing a hole (5) that becomes a blind via hole (7).

その後、公知の方法により、多層基板(4)にスルーホ
ールとなるべき貫通穴(8)を穴明してから、この貫通
穴(8)内に銅めっき(9)を行うのである。この銅め
っき(9)は少なくとも化学銅めっきによって行ない、
この化学銅めっきを貫通穴(8)内に対して行なうと同
時に、(e)金属層(3)の表面、L記(d)工程で形
成したブラインドバーイアホールとなる穴(5)内及び
この穴(5)内にて露出している内層パターン(6)に
銅めっきを行うのである。この銅めっきによって、金属
層(3)と内層パターン(6)とを電気的に接続する外
層パターン(10)を形成しくf)、目的とする多層プ
リント配線板を完成するのである。この多層プリント配
線板を完成した状態を示したのだ第3図の部分拡大断面
図である。
Thereafter, a through hole (8) to be a through hole is bored in the multilayer substrate (4) by a known method, and then copper plating (9) is performed in this through hole (8). This copper plating (9) is performed at least by chemical copper plating,
At the same time, this chemical copper plating is applied to the inside of the through hole (8), and at the same time, (e) the surface of the metal layer (3), the inside of the hole (5) which will become the blind via hole formed in step Copper plating is performed on the inner layer pattern (6) exposed within this hole (5). By this copper plating, an outer layer pattern (10) is formed which electrically connects the metal layer (3) and the inner layer pattern (6) f), thereby completing the desired multilayer printed wiring board. It is the partially enlarged sectional view of FIG. 3 showing the completed state of this multilayer printed wiring board.

(発明の作用) 本発明が以上のような手段を採ることによって、以下の
ような作用かある。
(Actions of the Invention) By adopting the above-mentioned means, the present invention has the following effects.

ブラインド・バイアホール形成工程において、トリルに
よる穴明は工程を行なわないため、板厚に左右されず適
切な深さの非貫通穴を形成でき名ようになつている。
In the process of forming blind via holes, drilling using a trill is not performed, so it has become famous for forming non-through holes of appropriate depth regardless of board thickness.

ブラインド・バイアホール内のメツキと同時に外層基材
上にメツキを施すため、外層基材1の導体回路の厚みを
任意に設定できるようになっている。
Since the outer layer base material is plated at the same time as the plating inside the blind via hole, the thickness of the conductor circuit of the outer layer base material 1 can be set arbitrarily.

(実施例) 吹に、本発明の実施例を、図面を参照して説明する。(Example) First, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

第1図に示すように、内層基材として、カラス′エポキ
シ両面銅張積層板(0,4mm厚、金属層厚35ILm
)を公知の方法でパターニングした後、ガラスエポキシ
プリプレグを介して金属層を81層して加熱圧着し1次
いで公知の方法でパターニングした4層板を内層基板(
1)として用いる。その両側に、厚さ100ルmの接着
層(2)をロールコータ−により転写した後1両側に厚
さ18gmの金属層(3)を加熱圧着して多層基板(4
)を得る。
As shown in FIG.
) was patterned by a known method, 81 metal layers were heat-pressed through glass epoxy prepreg, and the 4-layer board patterned by a known method was then made into an inner layer substrate (
Used as 1). On both sides, an adhesive layer (2) with a thickness of 100 gm was transferred using a roll coater, and then a metal layer (3) with a thickness of 18 gm was bonded with heat and pressure on both sides of the multilayer board (4).
).

次いで、第2図に示すように、所定の位置の金属層(3
)をエツチングにより、0.41径の円形に取り除き接
着層(2)を露出させた後、過マンガン酸系のエツチン
グ液で露出した接着層(2)をエツチングし、その内部
の内層パターン(6)を露出させる。
Next, as shown in FIG. 2, the metal layer (3
) was removed to a circular shape with a diameter of 0.41 to expose the adhesive layer (2), and then the exposed adhesive layer (2) was etched with a permanganate-based etching solution to remove the internal layer pattern (6). ) to expose.

その後、必要に応じて所定の位置にスルーホールとなる
べき貫通穴(8)をドリルによって穴明けし、公知の化
学鋼メツキおよび電気銅メツキを施すことにより露出し
た内層パターン(6)と外層金属層(3)とを電気的に
接続し2次いでエツチング処理によって、多層基板(4
)のブラインド・スルーホール(7)および外層パター
ン(10)を形成して、第3図に示すように1本発明に
係る6Rの多層プリント配線板を得た。
Thereafter, a through hole (8) to be a through hole is drilled at a predetermined position as necessary, and known chemical steel plating and electrolytic copper plating are applied to the exposed inner layer pattern (6) and the outer layer metal. The multilayer substrate (4) is electrically connected to the layer (3) and then etched.
) blind through holes (7) and outer layer patterns (10) were formed to obtain a 6R multilayer printed wiring board according to the present invention as shown in FIG.

(発明の効果) 以−ヒ詳述した通り、本発明においては、[少なくとも
1次の(a)〜仁f)の工程を含むことを特徴とする多
層プリント配線板の製造方法。
(Effects of the Invention) As described in detail below, the present invention provides a method for manufacturing a multilayer printed wiring board characterized by including at least the first steps (a) to (f).

(a)内層基板をパターニングする工程:(b)内層基
板上に、接着層を介した金属層を形成する工程: (c)所望の位置の前記金属層を除去する工程: (d)この金属層除去により露出した接着層を除去し、
所望の内層パターンを露出させる工y: (e)少なくとも化学銅めっきを施して露出した内層パ
ターンと前記金属層とを電気的に接続する工程: (f)外層パターンを形成する工程」 によって、多層プリント配線板を形成するようにしたの
で、これにより、ブラインド・バイアホールを有する多
層プリント配線板を容易に量産てきる製造方法を提供す
ることができるのである。
(a) Step of patterning the inner layer substrate: (b) Step of forming a metal layer on the inner layer substrate via an adhesive layer: (c) Step of removing the metal layer at a desired position: (d) This metal Remove the adhesive layer exposed by layer removal,
A step of exposing a desired inner layer pattern: (e) A step of electrically connecting the exposed inner layer pattern to the metal layer by at least chemical copper plating; (f) A step of forming an outer layer pattern. Since a printed wiring board is formed, it is possible to provide a manufacturing method that can easily mass-produce multilayer printed wiring boards having blind via holes.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

if<はブラインドバイアホールを形成すべき位置の金
属層を除去した多層基板の部分拡大断面図第2図は露出
させた接M層を除去した状態を示す部分拡大断面図、第
3図は多層プリント配線板を完成した状態を示した部分
拡大断面図である。 符   号   の   説   明 l・・・内層基板、2・・・接着層、3・・・金属層、
4・・・多層基板、5・・・穴、6・・・内層パターン
、7・・・ブラインドバイアホール、8・・・(スルー
ホールとなるべき)1通穴、9・・・金属めっき、io
−・・外層パターン。 特許出願人  イビデン株式会社 第1図 第3図
if< is a partially enlarged cross-sectional view of a multilayer board with the metal layer removed at the position where a blind via hole is to be formed. FIG. 2 is a partially enlarged cross-sectional view showing the state where the exposed contact M layer has been removed. FIG. 2 is a partially enlarged sectional view showing a completed printed wiring board. Explanation of symbols 1...Inner layer substrate, 2...Adhesive layer, 3...Metal layer,
4... Multilayer board, 5... Hole, 6... Inner layer pattern, 7... Blind via hole, 8... 1 through hole (which should be a through hole), 9... Metal plating, io
-... Outer layer pattern. Patent applicant: IBIDEN Co., Ltd. Figure 1 Figure 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】  少なくとも、次の(a)〜(f)の工程を含むことを
特徴とする多層プリント配線板の製造方法。 (a)内層基板をパターニングする工程; (b)内層基板上に、接着層を介した金属層を形成する
工程; (c)所望の位置の前記金属層を除去する工程;(d)
この金属層除去により露出した接着層を除去し、所望の
内時パターンを露出させる工 程; (e)少なくとも化学銅めっきを施して露出した内層パ
ターンと前記金属層とを電気的に接 続する工程; (f)外層パターンを形成する工程。
Claims: A method for manufacturing a multilayer printed wiring board, comprising at least the following steps (a) to (f). (a) Step of patterning the inner layer substrate; (b) Step of forming a metal layer on the inner layer substrate via an adhesive layer; (c) Step of removing the metal layer at a desired position; (d)
A step of removing the adhesive layer exposed by this metal layer removal and exposing a desired inner layer pattern; (e) A step of electrically connecting the exposed inner layer pattern and the metal layer by applying at least chemical copper plating; (f) Step of forming an outer layer pattern.
JP30851388A 1988-12-05 1988-12-05 Manufacture of multilayer printed wiring board Pending JPH02153594A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04250695A (en) * 1991-01-28 1992-09-07 Matsushita Electric Works Ltd Forming mehtod for viahole multilayer circuit board
US6802120B2 (en) * 2001-07-10 2004-10-12 Nippon Avionics Co., Ltd. Method of manufacturing a printed wiring board having a non-through mounting hole

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